JP5251153B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
本発明の第1実施形態による半導体装置について図3及び図4を用いて説明する。図3は本実施形態による半導体装置の構造を示す平面図、図4(a)は図3のA−A′線断面図、図4(b)は図3のB−B′線断面図である。
本実施形態の変形例(その1)による半導体装置について図5を用いて説明する。図5は本変形例による半導体装置の構造を示す平面図である。
本実施形態の変形例(その2)による半導体装置について図6を用いて説明する。図6は本変形例による半導体装置の構造を示す平面図である。
本実施形態の変形例(その3)による半導体装置について図7を用いて説明する。図7は本変形例による半導体装置の構造を示す平面図である。
本実施形態の変形例(その4)による半導体装置について図8を用いて説明する。図8は本変形例による半導体装置の構造を示す平面図である。
本実施形態による半導体装置の評価結果について図9を用いて説明する。
本発明の第2実施形態による半導体装置及びその製造方法について図10乃至図19を用いて説明する。図10は本実施形態による半導体装置の構造を示す平面図、図11乃至図17は本実施形態による半導体装置の製造方法を示す工程断面図、図18は本実施形態による半導体装置の評価に用いた配線構造の基本単位を示す平面図、図19は本実施形態による半導体装置の評価結果を示すグラフである。なお、図3及び図4に示す第1実施形態による半導体装置と同様の構成要素については同一の符号を付し説明を省略し或いは簡略にする。
次に、本実施形態による半導体装置の評価結果について図18及び図19を用いて説明する。
本発明は上記実施形態に限らず種々の変形が可能である。
前記第1の実配線に接続されたビアと、
前記ビアに接続された第2の実配線と、
前記ビアと100nm以下の距離に隣接して配置され、前記ビアと同層に形成されたダミービアと
を有することを特徴とする半導体装置。
前記ダミービアは複数個配置される
ことを特徴とする半導体装置。
前記第1の実配線は、第1の幅広配線部と、前記第1の幅広配線部よりも幅が狭く、前記第1の幅広配線部から突出した第1の凸状配線部とを有し、
前記ビアは、前記第1の凸状配線部に接続されている
ことを特徴とする半導体装置。
前記第2の実配線は、第2の幅広配線部と、前記第2の幅広配線部よりも幅が狭く、前記第2の幅広配線部から突出した第2の凸状配線部とを有し、
前記ビアは、前記第2の凸状配線部に接続されている
ことを特徴とする半導体装置。
前記第1の実配線と同層に形成された第1のダミー配線を更に有し、
前記ダミービアは、前記第1のダミー配線に接続されている
ことを特徴とする半導体装置。
前記第2の実配線と同層に形成された第2のダミー配線を更に有し、
前記ダミービアは、前記第2のダミー配線に接続されている
ことを特徴とする半導体装置。
前記ダミービアは、前記第2の実配線に接続されている
ことを特徴とする半導体装置。
前記ダミービアは、前記第1の実配線に接続されている
ことを特徴とする半導体装置。
前記第2の実配線と同層に形成された第1のダミー配線を更に有し、
前記ダミービアは、前記第1のダミー配線に接続されている
ことを特徴とする半導体装置。
前記第2の実配線は、銅を有する配線材料よりなる
ことを特徴とする半導体装置。
前記ビアと前記ダミービアとの距離は50nm以上である
ことを特徴とする半導体装置。
前記第1の実配線とは異なる層に形成され、第2の幅広配線部と、前記第2の幅広配線部よりも幅が狭く、前記第2の幅広配線部から突出した第2の凸状配線部とを有する第2の実配線と、
前記第1の凸状配線部と前記第2の凸状配線部とを電気的に接続するビアと、
前記ビアと同層に形成され、前記第1の凸状配線部に電気的に接続された第1のダミービアと、
前記ビアと同層に形成され、前記第2の凸状配線部に電気的に接続された第2のダミービアと
を有することを特徴とする半導体装置。
前記ビアと同層に形成され、電気的にフローティング状態の第3のダミービアを更に有する
ことを特徴とする半導体装置。
前記第1の幅広配線部及び前記第2の幅広配線部は第1の方向に延在し、前記第1の凸状配線部及び前記第2の凸状配線部は、前記第1の方向とは異なる第2の方向に延在する
ことを特徴とする半導体装置。
前記第1のダミービア、または前記第2のダミービア、または前記第3のダミービアと、前記ビアとの距離は50nm以上100nm以下である
ことを特徴とする半導体装置。
12…層間絶縁膜
14…配線溝
16a、16a、16c…配線溝
18…第1の配線
18a…幅広配線部
18b…凸状配線部
20a、20b、20c…ダミー配線
22…層間絶縁膜
24…層間絶縁膜
26…ビアホール
28a、28b、28c、28d…ビアホール
30…配線溝
32a、32b、32d…配線溝
34…第2の配線
34a…幅広配線部
34b…凸状配線部
36a、36b、36d…ダミー配線
38…ビア
40a、40b、40c、40d…ダミービア
42…第3の配線
44…ビア
46…ポーラスシリカ膜
48…SiC膜
50…SiC膜
52…SiOC膜
54…ポーラスシリカ膜
56…SiC膜
58…シリコン酸化膜
60…シリコン窒化膜
62…ポリマー膜
64…シリコン酸化膜
66…有機系反射防止膜
68…ArFレジスト膜
70…開口部
72…ポリマー膜
74…シリコン酸化膜
76…有機系反射防止膜
78…ArFレジスト膜
80…開口部
82…バリアメタル膜
84…銅膜
86…銅膜
100…銅配線
102…層間絶縁膜
104…ビアホール
106…銅配線
108…ビア
110…ボイド
112…銅配線
112a…幅広配線部
112b…凸状配線部
114…ビア
116…銅配線
118…シリコン基板
120…層間絶縁膜
122…配線溝
124…第1の配線
124a…幅広配線部
124b…凸状配線部
126…層間絶縁膜
128…層間絶縁膜
130…ビアホール
132…配線溝
134…第2の配線
134a…幅広配線部
134b…凸状配線部
136…ビア
Claims (9)
- 第1の実配線と、
前記第1の実配線に接続されたビアと、
前記ビアに接続された第2の実配線と、
前記ビアと100nm以下の距離に隣接して配置され、前記ビアと同層に形成されたダミービアとを有し、
前記第1の実配線は、第1の幅広配線部と、前記第1の幅広配線部よりも幅が狭く、前記第1の幅広配線部から突出した第1の凸状配線部とを有し、
前記ビアは、前記第1の凸状配線部に接続されている
ことを特徴とする半導体装置。 - 請求項1記載の半導体装置において、
前記ダミービアは複数個配置される
ことを特徴とする半導体装置。 - 請求項1又は2記載の半導体装置において、
前記第2の実配線は、第2の幅広配線部と、前記第2の幅広配線部よりも幅が狭く、前記第2の幅広配線部から突出した第2の凸状配線部とを有し、
前記ビアは、前記第2の凸状配線部に接続されている
ことを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至3のいずれか1項に記載の半導体装置において、
前記ダミービアは、前記第2の実配線に接続されている
ことを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至3のいずれか1項に記載の半導体装置において、
前記ダミービアは、前記第1の実配線に接続されている
ことを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至5のいずれか1項に記載の半導体装置において、
前記ビアと前記ダミービアとの距離は50nm以上である
ことを特徴とする半導体装置。 - 第1の幅広配線部と、前記第1の幅広配線部よりも幅が狭く、前記第1の幅広配線部から突出した第1の凸状配線部とを有する第1の実配線と、
前記第1の実配線とは異なる層に形成され、第2の幅広配線部と、前記第2の幅広配線部よりも幅が狭く、前記第2の幅広配線部から突出した第2の凸状配線部とを有する第2の実配線と、
前記第1の凸状配線部と前記第2の凸状配線部とを電気的に接続するビアと、
前記ビアと同層に形成され、前記第1の凸状配線部に電気的に接続された第1のダミービアと、
前記ビアと同層に形成され、前記第2の凸状配線部に電気的に接続された第2のダミービアと
を有することを特徴とする半導体装置。 - 請求項7記載の半導体装置において、
前記ビアと同層に形成され、電気的にフローティング状態の第3のダミービアを更に有する
ことを特徴とする半導体装置。 - 請求項7又は8記載の半導体装置において、
前記第1の幅広配線部及び前記第2の幅広配線部は第1の方向に延在し、前記第1の凸状配線部及び前記第2の凸状配線部は、前記第1の方向とは異なる第2の方向に延在する
ことを特徴とする半導体装置。
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