JP5241562B2 - 接続装置、フレキシブル基板付き半導体素子収納用パッケージ、およびフレキシブル基板付き半導体装置 - Google Patents

接続装置、フレキシブル基板付き半導体素子収納用パッケージ、およびフレキシブル基板付き半導体装置 Download PDF

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本発明は、端子台の上面に形成された導体配線に接続されたリード端子と、フレキシブル基板に形成された接続配線とを、例えば、半田等の接続部材によって接続する接続装置、フレキシブル基板付き半導体素子収納用パッケージ、およびフレキシブル基板付き半導体装置に関する。
従来から、光通信の分野等で使用される半導体レーザダイオード、フォトダイオード等の光半導体素子を収納するための半導体素子収納用パッケージ(以下、単に「パッケージ」と称する)が知られている(例えば、特許文献1参照)。このようなパッケージは、半導体素子を装着するための装着部を有する基体と、この装着部を囲むようにして設けられた枠体と、枠体の内外を電気的に導通するための端子台とを備えている。ここで、端子台の上面には、導体配線が形成されている。また、枠体の外側における、端子台に形成された導体配線には、リード端子が接続されている。このようなパッケージのリード端子と外部回路基板とを電気的に接続することによって、光通信用の各種装置が構成される。
ところで、パッケージのリード端子と外部回路基板とを電気的に接続するために、従来では、次のような方法が行われていた。すなわち、パッケージのリード端子をそのまま外部回路基板に半田等の接続部材を用いて直接平面にて接続することによって、リード端子と外部回路基板とを電気的に接続していた。しかしながら、このような接続方法では、リード端子を外部回路基板に直接平面にて接続(平面接続)しているため、接続強度が弱く、リード端子が外部回路基板から外れ易いという問題があった。また、外部回路基板にリード端子が接続された状態で、リード端子がパッケージの端子台から外れることもあった。このような問題を解決するために、従来では、フレキシブル基板に貫通孔を形成し、この貫通孔にリード端子を挿入することによって、フレキシブル基板を介して、リード端子と外部回路基板とを電気的に接続する方法が行われていた(例えば、特許文献2参照)。このようにすると、パッケージのリード端子と外部回路基板とを強固に接続することができる。
特開2003−218258号公報 特開2006−80418号公報
しかしながら、近年では、パッケージのリード端子と外部回路基板とを、フレキシブル基板を介して、より強固に接続することが求められている。
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、リード端子と外部回路基板とを、フレキシブル基板を介してより強固に接続することができる接続装置、フレキシブル基板付き半導体素子収納用パッケージ、およびフレキシブル基板付き半導体装置に関する。
上記目的を達成するために本発明における接続装置は、上面に第1導体配線が形成された端子台と、前記端子台から突出するようにして設けられ、前記第1導体配線に接続されたリード端子と、前記リード端子が挿入された貫通孔、前記貫通孔の内周面に設けられた導電部材、および前記導電部材と接続された接続配線がそれぞれ形成されたフレキシブル基板とを備え、前記端子台には、前記端子台の端面を切り欠いた切欠部が形成されており、かつ前記切欠部には、前記第1導体配線から延設された第2導体配線が形成されており、前記貫通孔に挿入されたリード端子と、前記貫通孔の内周面に設けられた導電部材と、前記切欠部に形成された第2導体配線とが、接続部材によってそれぞれ接続されている。
上記目的を達成するために本発明におけるフレキシブル基板付き半導体素子収納用パッケージは、半導体素子を装着するための装着部を有する基体と、前記装着部を囲むようにして設けられた枠体と、本発明に係る接続装置とを備える。
上記目的を達成するために本発明におけるフレキシブル基板付き半導体装置は、本発明に係る半導体素子収納用パッケージと、前記半導体素子収納用パッケージの基体が有する装着部に装着された半導体素子と、前記枠体の上面に設けられ、前記装着部に装着された半導体素子を封止するための蓋体とを備える。
本発明の接続装置、フレキシブル基板付き半導体素子収納用パッケージ、およびフレキシブル基板付き半導体装置は、リード端子と外部回路基板とを、フレキシブル基板を介してより強固に接続することができるという効果を奏する。
図1は、本発明の一実施形態に係るフレキシブル基板付き半導体装置の一例を示す斜視図である。 図2は、上記フレキシブル基板付き半導体装置の一部を拡大して示した断面図である。 図3は、上記フレキシブル基板付き半導体装置の一部を拡大して示した断面図である。 図4は、変更例1に係るフレキシブル基板付き半導体装置の一部を拡大して示した断面図である。 図5は、変更例2に係るフレキシブル基板付き半導体装置の一例を示す平面図である。
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。
但し、以下で参照する各図は、説明の便宜上、本発明の一実施形態の構成部材のうち、本発明を説明するために必要な主要部材のみを簡略化して示したものである。したがって、本発明に係る接続装置、フレキシブル基板付き半導体素子収納用パッケージ、およびフレキシブル基板付き半導体装置は、本明細書が参照する各図に示されていない任意の構成部材を備え得る。また、各図中の部材の寸法は、実際の構成部材の寸法および各部材の寸法比率等を忠実に表したものではない。
図1は、本発明の一実施形態に係るフレキシブル基板付き半導体装置(以下、「FPC基板付き半導体装置」と称する)1の一例を示す斜視図である。図1に示すように、本実施形態に係るFPC基板付き半導体装置1は、半導体素子2、基体3、枠体4、蓋体5、端子台6、リード端子7、およびフレキシブル基板(以下、「FPC基板」と称する)8を備えている。ここで、端子台6およびFPC基板8が、本発明に係る接続装置となる。また、基体3、枠体4、端子台6、およびFPC基板8が、本発明に係るFPC基板付き半導体素子収納用パッケージとなる。
半導体素子2は、例えば、半導体レーザダイオード、フォトダイオード等の光半導体素子である。なお、半導体素子2は、このような光半導体素子に限らず、例えば、抵抗器、圧電素子、水晶振動子、セラミック発振子等の任意の半導体素子であってもよい。
基体3は、半導体素子2を装着するための装着部3aを有している。すなわち、装着部3a上に、半導体素子2が装着される。ここで、基体3は、例えば、セラミック材料、金属材料、ガラス材料、高耐熱の樹脂材料等からなる。セラミック材料は、例えば、酸化アルミニウム(Al)質焼結体、ムライト(3Al・2SiO)質焼結体、炭化珪素(SiC)質焼結体、窒化アルミニウム(AlN)質焼結体、窒化珪素(Si)質焼結体、ガラスセラミックス等である。また、金属材料は、例えば、Fe系合金、無酸素銅、SUS等である。また、ガラス材料は、例えば、ホウケイ酸ガラス、石英ガラス等である。さらに、高耐熱の樹脂材料は、例えば、ポリイミド等である。
枠体4は、基体3の上面であって、かつ装着部3aを囲むようにして設けられている。ここで、枠体4は、例えば、セラミック材料、金属材料、ガラス材料、高耐熱の樹脂材料等からなる。なお、枠体4は、基体3と一体的に形成されていてもよいし、基体3と別個独立に形成されていてもよい。基体3と枠体4とが別個独立に形成された場合、基体3と枠体4とは、例えば、半田やロウ材等の接続部材を介して接合される。
蓋体5は、枠体4の上面に接合される。すなわち、蓋体5は、枠体4によって形成される半導体素子2が収容された収容空間を、例えば、中空構造で密閉するように、枠体4の上面に、半田やロウ材等の接続部材を介して接合される。
端子台6は、枠体4の内外を電気的に導通するための役割を担う部材である。このため、端子台6の上面61には、第1導体配線6aが形成されている。ここで、枠体4の内側における第1導体配線6aと半導体素子2とは、ワイヤ(ボンディングワイヤ)Wにて電気的に接続される。また、端子台6には、第1導体配線6aの一端側における端子台6の上面61、および端子台6の端面62を切り欠いた切欠部Cが形成されている(詳細は図2参照)。すなわち、この切欠部Cは、キャスタレーションとなる。なお、切欠部Cは、端子台6の端面62のみを切り欠いて形成してもよい。また、切欠部Cには、第1導体配線6aから延設される第2導体配線6bが形成されている。すなわち、この第2導体配線6bは、キャスタレーション電極となる。
リード端子7は、枠体4の外側における、端子台6に形成された第1導体配線6aに接続されている。また、リード端子7は、端子台6から突出するようにして設けられている。なお、図1では、リード端子7が3本存在する例について図示したが、これに限定されない。すなわち、リード端子7の数については、任意である。
FPC(Flexible-Printed-Circuit)基板8は、ポリイミド等の樹脂フィルムで形成されたベースフィルムに接続配線が形成された可撓性を有する基板である。すなわち、FPC基板8は、折り曲げたり、折り畳んだりすることが可能である。ここで、FPC基板8には、リード端子7が挿入される貫通孔Hが形成されている。また、FPC基板8は、貫通孔Hが形成された部位とは反対側の部位で、外部回路基板(図示省略)と接続される。このため、外部回路基板には、FPC基板8が接続可能なように、例えば、コネクタ等が形成される。なお、図1では、貫通孔Hが3つ存在する例について図示したが、これに限定されない。すなわち、貫通孔Hの数については、リード端子7の数と同等であればよく、任意である。
図2は、FPC基板2の貫通孔Hにリード端子7が挿入された場合の、FPC基板付き半導体装置1の一部を拡大して示した断面図である。図2に示すように、FPC基板2の貫通孔Hの内周面には、導電部材8aが設けられている。また、端子台6側におけるFPC基板8の表面には、接続配線8bが形成されている。なお、この接続配線8bは、導電部材8aと接続される。
ここで、本実施形態においては、貫通孔Hに挿入されたリード端子7と、貫通孔Hの内周面に設けられた導電部材8aと、切欠部Cに形成された第2導体配線6bとが、接続部材9によってそれぞれ接続されている。なお、接続部材9は、例えば、半田、ロウ材、導電性接着材等である。すなわち、貫通孔Hに挿入されたリード端子7と、貫通孔Hの内周面に設けられた導電部材8aとが、接続部材9によって接続されているだけでなく、切欠部Cに形成された第2導体配線6bも、接続部材9によってこれらと接続されている。このため、リード端子7と外部回路基板とを、FPC基板8を介してより強固に接続することができる。
なお、図3に示すように、端子台6側のFPC基板8の表面(具体的には、切欠部Cに対応するFPC基板8の表面)に、貫通孔Hの内周面に設けられた導電部材8aと接続される表面電極8cを形成しておくことが好ましい。このようにすると、貫通孔Hに挿入されたリード端子7と、貫通孔Hの内周面に設けられた導電部材8aと、切欠部Cに形成された第2導体配線6bと、端子台6側のFPC基板8の表面に形成された表面電極8cとを、接続部材9によってそれぞれ接続することができる。これにより、図2に示す態様と比較して、リード端子7と外部回路基板とを、FPC基板8を介してより強固に接続することができる。
また、本実施形態においては、図2または図3に示すように、端子台6側におけるFPC基板8の表面に、接続配線8bが形成されているので、次のような効果もある。すなわち、FPC基板8の裏面に接続配線が形成されている態様と比較して、FPC基板8の厚み分、リード端子7における信号の伝送経路が短くなる。リード端子7は大きなインダクタンス成分を有するため、伝送特性の劣化に寄与するが、本実施形態では、リード端子7における信号の伝送経路が短くなるため、信号の伝送特性の劣化を抑制することができる。なおここで、FPC基板8の裏面とは、端子台6側のFPC基板8の表面と反対側の面をいう。また、FPC基板8の裏面に接続配線が形成されている場合、外部回路基板に接続するためにFPC基板8を図1の矢印Pの方向へ折り曲げた際に、FPC基板8の裏面に形成された接続配線が対向することになる。接続配線が対向するので、接続配線において電磁界結合が発生する。すなわち、接続配線において余分な容量、相互インダクタンス等が発生し、伝送損失が大きくなる。これに対して、本実施形態においては、FPC基板8の表面に接続配線8bが形成されているので、このような問題は生じない。
また、第2導体配線6bの長さは、第1導体配線6aを伝送する信号の周波数の波長の1/4未満であることが好ましい。すなわち、第2導体配線6bは、開放端を有する導体配線(スタブ)である。ここで、仮に、第2導体配線6bの長さが、第1導体配線6aを伝送する信号の周波数の波長の1/4であれば、第2導体配線6bにおいて共振が生じることになる。共振が生じると、利得が低下し、信号の伝送特性が低下する。そのため、第2導体配線6bの長さは、第1導体配線6aを伝送する信号の周波数の波長の1/4未満であることが好ましい。このようにすると、第2導体配線6bにおいて共振が生じることはない。この結果、信号の伝送特性を向上することができる。
さらに、本実施形態においては、端子台6に切欠部Cが形成されており、この切欠部Cに第2導体配線6bが形成されているので、次のような効果もある。すなわち、半導体素子2からの信号は、第1導体配線6a、リード端子7、および接続配線8bの順に伝送されることになる。この場合、第1導体配線6a、リード端子7、および接続配線8bにおいて、それぞれ特性インピーダンスが一定であることが好ましい。つまり、特性インピーダンスの不整合による反射が引き起こす伝送損失を抑制することができ、その結果伝送損失が低下し、信号の伝送特性を向上することができるからである。しかしながら、リード端子7は、一般に、第1導体配線6aおよび接続配線8bと比較して、大きなインダクタンス成分を有しているため、リード端子7において特性インピーダンスが大きくなる。ここで、本実施形態においては、切欠部Cに第2導体配線6bが形成されているので、第2導体配線6bにおいてキャパシタンス成分が形成される。第2導体配線6bにおいて形成されるキャパシタンス成分により、リード端子7のインダクタンス成分が打ち消されることになる。そのため、本実施形態においては、リード端子7における特性インピーダンスの変動を抑制することができる。すなわち、本実施形態においては、第1導体配線6a、リード端子7、および接続配線8bにおいて、それぞれ特性インピーダンスを一定にすることができる。この結果、信号の伝送特性を向上することができる。
なお、上述した実施形態は、本発明の実施形態の一具体例を示すものであり、種々の変更が可能である。以下、いくつかの主な変更例を示す。
(変更例1)
図4は、変更例1に係るFPC基板付き半導体装置の一部を拡大して示した断面図である。なお、図4において、図2と同様の機能を有する構成については、同じ参照符号を付記し、その詳細な説明を省略する。
すなわち、変更例1に係るFPC基板付き半導体装置におけるFPC基板8には、突起部10が設けられている。ここで、突起部10は、端子台6の切欠部Cに差し込み可能である。このようにすると、切欠部Cに対して突起部10がガイドの役割を果たすことになるので、容易に、リード端子7をFPC基板8に接続することができる。また、変更例1においては、突起部10に、突起部側電極10aが形成されている。これにより、貫通孔Hに挿入されたリード端子7と、貫通孔Hの内周面に設けられた導電部材8aと、切欠部Cに形成された第2導体配線6bと、突起部10に形成された突起部側電極10aとを、接続部材9によってそれぞれ接続することができる。そのため、図2および図3に示す態様と比較して、リード端子7と外部回路基板とを、FPC基板8を介してより強固に接続することができる。
なお、上記では、突起部10に突起部側電極10aが形成されている例について説明したが、これに限定されない。すなわち、突起部10自体が電極であってもよい。この場合、突起部10に突起部側電極10aを形成しなくともよい。また、突起部10は、例えば、金属材料から構成される。
(変更例2)
図5は、変更例2に係るFPC基板付きパッケージにおけるFPC基板8の一例を示す平面図である。すなわち、接続配線8b間におけるFPC基板8には、スリットSが形成されている。これにより、接続配線8b間のクロストークを抑制することができる。また、FPC基板8の貫通孔Hにリード端子7を接続する際、例えば、半田による熱応力をスリットSによって緩和することができる。さらに、熱膨張によるFPC基板8の変形も抑制することができる。
以上のように、本発明は、リード端子と外部回路基板とを、フレキシブル基板を介してより強固に接続することができる接続装置、フレキシブル基板付き半導体素子収納用パッケージ、またはフレキシブル基板付き半導体装置として有用である。
1 半導体装置
2 半導体素子
3 基体
4 枠体
6 端子台(端子台)
6a 第1導体配線
6b 第2導体配線
7 リード端子
8 FPC基板
9 接続部材
10 突起部
C 切欠部
H 貫通孔

Claims (6)

  1. 上面に第1導体配線が形成された端子台と、
    前記端子台から突出するようにして設けられ、前記第1導体配線に接続されたリード端子と、
    前記リード端子が挿入された貫通孔、前記貫通孔の内周面に設けられた導電部材、および前記導電部材と接続された接続配線がそれぞれ形成されたフレキシブル基板とを備え、
    前記端子台には、前記端子台の端面を切り欠いた切欠部が形成されており、かつ前記切欠部には、前記第1導体配線から延設された第2導体配線が形成されており、
    前記貫通孔に挿入されたリード端子と、前記貫通孔の内周面に設けられた導電部材と、前記切欠部に形成された第2導体配線とが、接続部材によってそれぞれ接続されており、
    前記フレキシブル基板には、前記端子台の前記切欠部に差し込み可能な突起部が設けられていることを特徴とする接続装置。
  2. 前記接続配線は、前記端子台側の前記フレキシブル基板の表面に形成されている、請求項1記載の接続装置。
  3. 上面に第1導体配線が形成された端子台と、
    前記端子台から突出するようにして設けられ、前記第1導体配線に接続されたリード端子と、
    前記リード端子が挿入された貫通孔、前記貫通孔の内周面に設けられた導電部材、および前記導電部材と接続された接続配線がそれぞれ形成されたフレキシブル基板とを備え、
    前記端子台には、前記端子台の端面を切り欠いた切欠部が形成されており、かつ前記切欠部には、前記第1導体配線から延設された第2導体配線が形成されており、
    前記貫通孔に挿入されたリード端子と、前記貫通孔の内周面に設けられた導電部材と、前記切欠部に形成された第2導体配線とが、接続部材によってそれぞれ接続されており、
    前記フレキシブル基板には、複数の前記接続配線がそれぞれ形成されており、
    前記接続配線間における前記フレキシブル基板には、スリットが形成されていることを特徴とする接続装置。
  4. 上面に第1導体配線が形成された端子台と、
    前記端子台から突出するようにして設けられ、前記第1導体配線に接続されたリード端子と、
    前記リード端子が挿入された貫通孔、前記貫通孔の内周面に設けられた導電部材、および前記導電部材と接続された接続配線がそれぞれ形成されたフレキシブル基板とを備え、
    前記端子台には、前記端子台の端面を切り欠いた切欠部が形成されており、かつ前記切欠部には、前記第1導体配線から延設された第2導体配線が形成されており、
    前記貫通孔に挿入されたリード端子と、前記貫通孔の内周面に設けられた導電部材と、前記切欠部に形成された第2導体配線とが、接続部材によってそれぞれ接続されており、
    前記第2導体配線の長さは、前記第1導体配線を伝送する信号の周波数の波長の1/4未満であることを特徴とする接続装置。
  5. 半導体素子を装着するための装着部を有する基体と、
    前記装着部を囲むようにして設けられた枠体と、
    請求項1〜のいずれか一項に記載の接続装置とを備えたフレキシブル基板付き半導体素子収納用パッケージ。
  6. 請求項に記載の半導体素子収納用パッケージと、
    前記半導体素子収納用パッケージの基体が有する装着部に装着された半導体素子と、
    前記枠体の上面に設けられ、前記装着部に装着された半導体素子を封止するための蓋体とを備えた、半導体装置
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5537736B2 (ja) 2011-07-26 2014-07-02 京セラ株式会社 半導体素子収納用パッケージ、これを備えた半導体装置および電子装置
JP5743827B2 (ja) * 2011-09-26 2015-07-01 京セラ株式会社 接続構造体および電子装置
JP5773828B2 (ja) * 2011-09-30 2015-09-02 京セラ株式会社 接続構造体および電子装置
JP6122309B2 (ja) * 2013-02-23 2017-04-26 京セラ株式会社 電子部品搭載用パッケージおよびそれを用いた電子装置
JP6193595B2 (ja) * 2013-03-26 2017-09-06 京セラ株式会社 電子部品搭載用パッケージおよびそれを用いた電子装置
CN105230136B (zh) * 2013-10-30 2018-06-22 京瓷株式会社 电路基板、电子部件收纳用封装件以及电子装置
EP3588549A4 (en) * 2017-02-23 2020-12-02 KYOCERA Corporation INSULATING BEAM, SEMI-CONDUCTOR HOUSING AND SEMICONDUCTOR COMPONENT

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004296577A (ja) * 2003-03-26 2004-10-21 Kyocera Corp 入出力端子および半導体素子収納用パッケージならびに半導体装置
JP2005286305A (ja) * 2004-03-02 2005-10-13 Mitsubishi Electric Corp 光半導体装置
JP2007005636A (ja) * 2005-06-24 2007-01-11 Kyocera Corp 入出力端子および電子部品収納用パッケージならびに電子装置

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