JP5241087B2 - 圧電体、圧電素子、圧電素子を用いた液体吐出ヘッド、液体吐出装置及び圧電素子の製造方法 - Google Patents

圧電体、圧電素子、圧電素子を用いた液体吐出ヘッド、液体吐出装置及び圧電素子の製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP5241087B2
JP5241087B2 JP2006227074A JP2006227074A JP5241087B2 JP 5241087 B2 JP5241087 B2 JP 5241087B2 JP 2006227074 A JP2006227074 A JP 2006227074A JP 2006227074 A JP2006227074 A JP 2006227074A JP 5241087 B2 JP5241087 B2 JP 5241087B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
piezoelectric
piezoelectric body
piezoelectric element
liquid chamber
substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2006227074A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2007088447A (ja
JP2007088447A5 (enExample
Inventor
俊博 伊福
堅義 松田
活水 青木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP2006227074A priority Critical patent/JP5241087B2/ja
Publication of JP2007088447A publication Critical patent/JP2007088447A/ja
Publication of JP2007088447A5 publication Critical patent/JP2007088447A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5241087B2 publication Critical patent/JP5241087B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
JP2006227074A 2005-08-23 2006-08-23 圧電体、圧電素子、圧電素子を用いた液体吐出ヘッド、液体吐出装置及び圧電素子の製造方法 Active JP5241087B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006227074A JP5241087B2 (ja) 2005-08-23 2006-08-23 圧電体、圧電素子、圧電素子を用いた液体吐出ヘッド、液体吐出装置及び圧電素子の製造方法

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005241398 2005-08-23
JP2005241398 2005-08-23
JP2006227074A JP5241087B2 (ja) 2005-08-23 2006-08-23 圧電体、圧電素子、圧電素子を用いた液体吐出ヘッド、液体吐出装置及び圧電素子の製造方法

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2007088447A JP2007088447A (ja) 2007-04-05
JP2007088447A5 JP2007088447A5 (enExample) 2009-09-17
JP5241087B2 true JP5241087B2 (ja) 2013-07-17

Family

ID=37975069

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006227074A Active JP5241087B2 (ja) 2005-08-23 2006-08-23 圧電体、圧電素子、圧電素子を用いた液体吐出ヘッド、液体吐出装置及び圧電素子の製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5241087B2 (enExample)

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5241086B2 (ja) * 2005-08-23 2013-07-17 キヤノン株式会社 圧電体、圧電素子、圧電素子を用いた液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置
JP2007250626A (ja) * 2006-03-14 2007-09-27 Seiko Epson Corp 圧電素子の製造方法、アクチュエータ装置の製造方法、液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射装置の製造方法および圧電素子
JP2008258516A (ja) * 2007-04-09 2008-10-23 Funai Electric Co Ltd 圧電素子及び結晶質セラミックスの成膜方法
JP5426861B2 (ja) * 2007-10-24 2014-02-26 富士フイルム株式会社 強誘電性酸化物とその製造方法、圧電体、圧電素子
JP2010228266A (ja) 2009-03-26 2010-10-14 Seiko Epson Corp 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエーター
JP5905192B2 (ja) * 2010-07-30 2016-04-20 コニカミノルタ株式会社 超音波探触子の製造方法
WO2013058064A1 (ja) * 2011-10-19 2013-04-25 コニカミノルタホールディングス株式会社 圧電素子およびその製造方法
JP5794114B2 (ja) * 2011-11-07 2015-10-14 コニカミノルタ株式会社 圧電素子およびその製造方法と、超音波送受信プローブ
JP5692042B2 (ja) * 2011-12-16 2015-04-01 コニカミノルタ株式会社 圧電セル、圧電素子、超音波探触子および超音波診断装置
TWI574439B (zh) * 2011-12-30 2017-03-11 晶緻材料科技私人有限公司 多樁式致動器及其製造方法及使用該多樁式致動器的衍生設備、壓電式馬達、微型馬達
JP6155498B2 (ja) * 2013-07-19 2017-07-05 ヤマハ株式会社 圧電素子
JPWO2017018222A1 (ja) * 2015-07-24 2018-06-07 株式会社ユーテック 圧電体膜及びその製造方法、バイモルフ素子、圧電体素子及びその製造方法
JP6384688B1 (ja) * 2017-03-24 2018-09-05 セイコーエプソン株式会社 圧電素子及び圧電素子応用デバイス

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2878986B2 (ja) * 1994-05-20 1999-04-05 株式会社東芝 薄膜キャパシタ及び半導体記憶装置
JP2003118104A (ja) * 2001-10-10 2003-04-23 Matsushita Electric Ind Co Ltd 強誘電体膜形成用スパッタリングターゲット、それを用いた強誘電体膜、強誘電体素子およびそれを用いたアクチュエータ、インクジェットヘッドならびにインクジェット記録装置
JP4521751B2 (ja) * 2003-03-26 2010-08-11 国立大学法人東京工業大学 チタン酸ジルコニウム酸鉛系膜、誘電体素子、誘電体膜の製造方法
JP4058018B2 (ja) * 2003-12-16 2008-03-05 松下電器産業株式会社 圧電素子及びその製造方法、並びにその圧電素子を備えたインクジェットヘッド、インクジェット式記録装置及び角速度センサ
JP5241086B2 (ja) * 2005-08-23 2013-07-17 キヤノン株式会社 圧電体、圧電素子、圧電素子を用いた液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2007088447A (ja) 2007-04-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5041765B2 (ja) エピタキシャル酸化物膜、圧電膜、圧電膜素子、圧電膜素子を用いた液体吐出ヘッド及び液体吐出装置
KR101113490B1 (ko) 압전체, 압전체 소자, 및 압전체 소자를 이용한 액체 토출 헤드 및 액체 토출 장치
US7521845B2 (en) Piezoelectric substance, piezoelectric element, liquid discharge head using piezoelectric element, and liquid discharge apparatus
JP5127268B2 (ja) 圧電体、圧電体素子、圧電体素子を用いた液体吐出ヘッド及び液体吐出装置
JP5164052B2 (ja) 圧電体素子、液体吐出ヘッド及び液体吐出装置
JP2011192975A (ja) 誘電体、誘電体の製造方法、圧電体、インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置
US7998362B2 (en) Piezoelectric substance, piezoelectric element, liquid discharge head using piezoelectric element, liquid discharge apparatus, and production method of piezoelectric element
JP5241087B2 (ja) 圧電体、圧電素子、圧電素子を用いた液体吐出ヘッド、液体吐出装置及び圧電素子の製造方法
JP5241086B2 (ja) 圧電体、圧電素子、圧電素子を用いた液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置
JP4875827B2 (ja) 圧電薄膜及びその製造方法、並びにその圧電薄膜を備えた圧電素子、並びにその圧電素子を用いたインクジェットヘッド、並びにそのインクジェットヘッドを備えたインクジェット式記録装置
JP3907628B2 (ja) 圧電アクチュエーターおよびその製造方法ならびに液体吐出ヘッド
JP5448320B2 (ja) 圧電アクチュエータ及びそれを用いた液体吐出ヘッド
JP5398131B2 (ja) 圧電体素子、圧電体の製造方法及び液体噴射ヘッド
JP4953351B2 (ja) ペロブスカイト型酸化物、これを用いた圧電素子、液体吐出ヘッド及び液体吐出装置
JP2007112069A (ja) 液体吐出ヘッド
JP5131674B2 (ja) 圧電体とその製造方法、圧電素子とそれを用いた液体吐出ヘッド及び液体吐出装置
JP5121186B2 (ja) 圧電体、圧電体素子、液体吐出ヘッド及び液体吐出装置
JP4689482B2 (ja) 圧電アクチュエーター、圧電アクチュエーターの製造方法、液体吐出ヘッド
JP2007088445A (ja) 圧電体、圧電素子、液体吐出ヘッド、液体吐出装置及び圧電体の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090730

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20090730

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20120719

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20120724

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120924

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20130326

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20130402

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160412

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160412

Year of fee payment: 3