JP5229456B2 - レーザ共振器 - Google Patents
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Description
そのため、このレーザ共振器は、図6に示すように、レーザ媒質51aおよびレーザ媒質を励起する励起光源51bを有する励起装置51と、励起装置51から互いに反対方向に出射される基本波をそれぞれ反射する第1および第2の反射鏡61,62と、第1および第2の反射鏡61,62により反射された基本波をそれぞれ折り返し反射して励起装置を通して往復させる第3および第4の反射鏡63,64と、第1と第3の反射鏡61,63との間および第2と第4との反射鏡62,64の間に設けられ、基本波の一部を変換して基本波と異なる波長の変換波を出射する第1および第2の非線形光学媒質66,67とから成り、第1乃至第4の反射鏡61,62,63,64は、基本波を反射すると共に第1および第2の非線形光学媒質66,67から出射された変換波を透過する波長分離手段でなるものである。
そのため、このレーザ共振器は、図7に示すように、レーザ媒質74からレーザ光を出射してレーザ光の焦点位置に基準点を定める基本光学系に、像転写光学系を付加するレーザ共振器77であって、像転写光学系は、レーザ光の基準点から複数のレンズ70,71の焦点距離f1,f2を用いて像転写の投影点を決定する像転写レンズ手段を備え、投影点には、レーザ光の波長を変更し得る波長変換素子76を配置して構成されるものである。
そのため、このレーザ発振器は、図8に示すように、レーザ媒質81を挟んで設けられる一対のミラー83,84からなる光共振器86と、この光共振器86内に励起されるレーザ光をスイッチングするQスイッチ82と、光共振器86内に配置されて光共振器86内に励起された所定位置の光の像を所定距離離れた位置に転写して光共振器86の共振器長を調整する像転写光学系80とを具備するものである。
しかし、AO−Qスイッチ5のON/OFF切り替えは光軸から見て横方向に伝播する音響波によって行っているため、切り換えの過渡期にレーザ光(直進光9a,9b)のビームプロファイルにアンバランスが生じる問題点があった。
このためHold−off(OFF状態)が解除されてレーザの発振が立ち上がる際には、Hold−offの強弱に横方向の分布ができており、レーザの立ち上がりに偏りが生じ、ビームプロファイル形状がアンバランスになる問題点があった。
図2(B)の例では、AO−Qスイッチ5Bへ入射するレーザ光7が設計上の有効径(破線)より広がっており、性能を低下させている。
すなわち、本発明の第1の目的は、AO−QスイッチのON/OFF切り替えの過渡期に、発生するレーザ光のビームプロファイルにアンバランスが生じないレーザ共振器を提供することにある。
また、本発明の第2の目的は、複数のAO−Qスイッチを用い、それぞれのAO−Qスイッチの性能低下を防止して、Hold−off性能を向上させることができるレーザ共振器を提供することにある。
該レーザ媒体を軸方向に挟み、その間にレーザ光が集光される基準点を形成する1対の反射ミラーと、
該反射ミラーの一方と前記基準点との間に配置され、基準点におけるレーザ光のビームプロファイルを軸線上の転写点に転写する1又は複数の像転写光学系と、
該像転写光学系の両端に配置された1又は複数のAO−Qスイッチと、を備えたことを特徴とするレーザ共振器が提供される。
第1凸レンズの前方のビームプロファイルを、第2凸レンズの後方に同一の倍率で転写する。
また、この反射ミラー13、14は、その間にレーザ光11のビームプロファイル11aを最小に集光する基準点21を形成する。基準点21はレーザ光11の焦点位置に相当する。
像転写光学系16は、この例では、同一の焦点距離fを有し、互いに焦点距離fの2倍の間隔を隔てた第1と第2の凸レンズ16a,16bからなる。
またこの例において、基準点21と第1凸レンズ16aの距離f+Lは、焦点距離fと正負の任意の値を取りうるLの和となり、基準点21は第1凸レンズ16aの前方の焦点位置に位置するのがよい。また、転写点22と第2凸レンズ16bの距離f−Lも、焦点距離fと前述のLの差となる、転写点22は第2凸レンズ16bの後方の焦点位置に位置するのがよい。
この構成により、基準点21のビームプロファイルを、転写点22に同一の倍率で転写することができる。
すなわち、この例では、2つのAO−Qスイッチ18が、上述した基準点21と転写点22にそれぞれ配置されている。AO−Qスイッチ18には設計上の有効径があり、これを図中に破線で示す。
また、この条件を維持する限り、本実施例におけるQスイッチの位置は、互いの像転写の関係が成立する任意の位置に配置してよい。
上述したように、AO−Qスイッチ18は、音響光学効果(Acusto Optical effect)を利用したQスイッチであり、音響光学効果を有する媒体(石英など)の1側面にピエゾ素子等を貼り付けた構造である。Qスイッチとして、ピエゾ素子に電圧を印加して超音波6を伝播させ入射レーザを回折反射する状態がOFFであり、電圧印加を中止し入射レーザを直進させる状態がONである。
図4(A)において、半反射ミラー14は、平面ミラーである。また、像転写光学系16は、基準点21と半反射ミラー14の間に位置する焦点距離fの凸レンズ16cからなる。この凸レンズ16cは基準点21から距離L、半反射ミラー14から焦点距離fの位置に位置する。
基準点21と第1凸レンズ16aの距離Lは、焦点距離fにほぼ等しく、基準点21は第1凸レンズ16aの前方の焦点位置に位置するのがよい。
その他の構成は図3の第1実施形態図と同様である。
さらに本発明の第2の目的を達成するために、Qスイッチを設置するのに最適な場所を像転写によって複製することにより、より多くのQスイッチを最適な場所設置することができる。
また、本発明はQスイッチをEO−Qスイッチ又は波長変換結晶に置き換えることができる。この場合は、AO−QスイッチをEO−Qスイッチ又は波長変換結晶に読み替え、同様の効果を得る。
11 レーザ光、11a ビームプロファイル、
12 レーザ媒体、13 反射ミラー(全反射ミラー)、
14 反射ミラー(半反射ミラー)、
16 像転写光学系、16a,16b,16c 凸レンズ、
18 AO−Qスイッチ、19a,19b 直進光
Claims (5)
- レーザ光を発生するレーザ媒体と、
該レーザ媒体を軸方向に挟み、その間にレーザ光が集光される基準点を形成する1対の反射ミラーと、
該反射ミラーの一方と前記基準点との間に配置され、基準点におけるレーザ光のビームプロファイルを軸線上の転写点に転写する1又は複数の像転写光学系と、
該像転写光学系内の、前記基準点と転写点又は隣接する2つの転写点、もしくは各々の位置近傍であって同一方向に同一距離移動した位置に配置された2つのAO−Qスイッチと、を備えたことを特徴とするレーザ共振器。 - 前記AO−Qスイッチは、像転写光学系内のビーム集光位置もしくはその近傍であってレーザ光の直径がAO−Qスイッチの有効径内である場所に位置する、ことを特徴とする請求項1に記載のレーザ共振器。
- 前記像転写光学系は、同一の焦点距離を有し互いに該焦点距離の2倍の間隔を隔てた第1と第2の凸レンズからなり、
第1凸レンズの前方のビームプロファイルを、第2凸レンズの後方に同一の倍率で転写する、ことを特徴とする請求項1に記載のレーザ共振器。 - レーザ光を発生するレーザ媒体と、
該レーザ媒体を軸方向に挟み、その間にレーザ光が集光される基準点を形成する1対の反射ミラーと、
該反射ミラーの一方と前記基準点との間に配置され、焦点距離fを有する凸レンズと、
前記基準点に配置されたAO−Qスイッチと、を備え、
前記反射ミラーの前記一方は、平面ミラーであり、
前記凸レンズと前記平面ミラーとの距離と、前記凸レンズと前記基準点との距離は、前記焦点距離fであり、
前記基準点では、前記レーザ光は、集光されたビームプロファイルを有する、ことを特徴とするレーザ共振器。 - レーザ光を発生するレーザ媒体と、
該レーザ媒体を軸方向に挟み、その間にレーザ光が集光される基準点を形成する1対の反射ミラーと、
該1対の反射ミラーの一方と前記基準点との間に配置され、基準点におけるレーザ光のビームプロファイルを軸線上の転写点に転写する像転写光学系と、を備え、
前記像転写光学系は、焦点距離fを有する第1凸レンズおよび第2凸レンズからなり、第1凸レンズの前方のビームプロファイルを、第2凸レンズの後方に転写し、
第1凸レンズと第2凸レンズの中間位置に配置されたAO−Qスイッチをさらに備え、
第1凸レンズおよび第2凸レンズとは、焦点距離fを有し、前記反射ミラーの前記一方は、凹面ミラーであり、
前記AO−Qスイッチの位置がビーム集光位置となる、ことを特徴とするレーザ共振器。
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