JP5229456B2 - レーザ共振器 - Google Patents

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Description

本発明は、ビームプロファイルにアンバランスが生じず、Hold−off性能を向上させるためのレーザ共振器に関する。
高効率のレーザ共振器として、例えば特許文献1〜3が既に提案されている。
特許文献1の「レーザ共振器」は、高効率で波長変換されたレーザ光を得ることを目的とする。
そのため、このレーザ共振器は、図6に示すように、レーザ媒質51aおよびレーザ媒質を励起する励起光源51bを有する励起装置51と、励起装置51から互いに反対方向に出射される基本波をそれぞれ反射する第1および第2の反射鏡61,62と、第1および第2の反射鏡61,62により反射された基本波をそれぞれ折り返し反射して励起装置を通して往復させる第3および第4の反射鏡63,64と、第1と第3の反射鏡61,63との間および第2と第4との反射鏡62,64の間に設けられ、基本波の一部を変換して基本波と異なる波長の変換波を出射する第1および第2の非線形光学媒質66,67とから成り、第1乃至第4の反射鏡61,62,63,64は、基本波を反射すると共に第1および第2の非線形光学媒質66,67から出射された変換波を透過する波長分離手段でなるものである。
特許文献2の「レーザ共振器及びその組立方法」は、波長変換素子をレーザ光の焦点位置に好適に配置し得ることを目的とする。
そのため、このレーザ共振器は、図7に示すように、レーザ媒質74からレーザ光を出射してレーザ光の焦点位置に基準点を定める基本光学系に、像転写光学系を付加するレーザ共振器77であって、像転写光学系は、レーザ光の基準点から複数のレンズ70,71の焦点距離f1,f2を用いて像転写の投影点を決定する像転写レンズ手段を備え、投影点には、レーザ光の波長を変更し得る波長変換素子76を配置して構成されるものである。
特許文献3の「レーザ発振器」は、所望のパルス幅のレーザ光を出力できることを目的とする。
そのため、このレーザ発振器は、図8に示すように、レーザ媒質81を挟んで設けられる一対のミラー83,84からなる光共振器86と、この光共振器86内に励起されるレーザ光をスイッチングするQスイッチ82と、光共振器86内に配置されて光共振器86内に励起された所定位置の光の像を所定距離離れた位置に転写して光共振器86の共振器長を調整する像転写光学系80とを具備するものである。
特開2000−216465号公報、「レ―ザ共振器」 特開2005−45174号公報、「レーザ共振器及びその組立方法」 特開2005−72131号公報、「レーザ発振器」
図1(A)は、Q−スイッチとしてAO−Qスイッチを用いたレーザ共振器の従来例である。このレーザ共振器1は、反射ミラー2と透過ミラー3の間に固体レーザ媒体4(例えばNd:YAG等)を配置し、固体レーザ媒体4と透過ミラー3の間にAO−Qスイッチ5を配置している。
図1(B)は、AO−Qスイッチ5の作動説明図である。AO−Qスイッチ5は、音響光学効果(Acusto Optical effect)を利用したQスイッチであり、音響光学効果を有する媒体(石英など)に超音波6を伝播させると、一種の回折格子として入射レーザ7をある角度(回折角)で回折反射し、超音波を停止すると直進させる特性を利用するものである。回折反射光8を「1次回折光」、直進光9を「0次光」と呼ぶ。
AO−Qスイッチ5は媒体の1側面にピエゾ素子等を貼り付けた構造である。すなわち、Qスイッチとして、ピエゾ素子に電圧を印加して超音波6を伝播させ入射レーザを回折反射する状態がOFFであり、電圧印加を中止し入射レーザを直進させる状態がONである。
しかし、AO−Qスイッチ5のON/OFF切り替えは光軸から見て横方向に伝播する音響波によって行っているため、切り換えの過渡期にレーザ光(直進光9a,9b)のビームプロファイルにアンバランスが生じる問題点があった。
すなわち、図1(C)において、AO−Qスイッチ5のON/OFF切り替えの際には過渡時間(切り替え時間)を必要とする。たとえばレーザのビーム径0.1〜20mm程度に対して、Qスイッチ素子の材質のひとつである石英中の音速は、約1.5mm/μsなのでビーム径全体を伝播する時間は0.67〜13μs程度となり、過渡時間(切り替え時間)は、レーザの立ち上がり時間の0.1〜100μs程度とほぼ一致する。
このためHold−off(OFF状態)が解除されてレーザの発振が立ち上がる際には、Hold−offの強弱に横方向の分布ができており、レーザの立ち上がりに偏りが生じ、ビームプロファイル形状がアンバランスになる問題点があった。
一方、レーザ共振器内にAO−Qスイッチを配置したパルスレーザ装置でレーザ発振のON/OFF(Hold−off)をする場合において、Hold−off性能を向上させるために、図2(A)に示すように、複数のAO−Qスイッチ5A,5Bを直列に配置することが従来あった。
しかし、図2(B)に示すように、AO−Qスイッチ5A,5Bには設計上の有効径(図に破線で示す)があり、それ以上の径を持つレーザ光7に適用する場合、Hold−off性能が極端に低下する。また、AO−Qスイッチ5A,5Bの性能を最大限に引き出すためには、AO−Qスイッチ5A,5Bへ入射するレーザ光7は極力平行光であることが望ましい。AO−Qスイッチ5A,5Bを配置する際には、共振器内のレーザ光7がこれらの条件を満たすような状態になっている場所を選択するが、このような条件を満たす箇所は限られており、必ずしもQスイッチ複数個分のスペースがあるわけでない。
図2(B)の例では、AO−Qスイッチ5Bへ入射するレーザ光7が設計上の有効径(破線)より広がっており、性能を低下させている。
さらに、図2(C)に示すように、AO−Qスイッチが複数になると、ビームプロファイル形状(9a,9b)がアンバランスになる現象がより顕著となる問題点があった。
本発明は、上述した問題点を解決するために創案されたものである。
すなわち、本発明の第1の目的は、AO−QスイッチのON/OFF切り替えの過渡期に、発生するレーザ光のビームプロファイルにアンバランスが生じないレーザ共振器を提供することにある。
また、本発明の第2の目的は、複数のAO−Qスイッチを用い、それぞれのAO−Qスイッチの性能低下を防止して、Hold−off性能を向上させることができるレーザ共振器を提供することにある。
本発明によれば、レーザ光を発生するレーザ媒体と、
該レーザ媒体を軸方向に挟み、その間にレーザ光が集光される基準点を形成する1対の反射ミラーと、
該反射ミラーの一方と前記基準点との間に配置され、基準点におけるレーザ光のビームプロファイルを軸線上の転写点に転写する1又は複数の像転写光学系と、
該像転写光学系の両端に配置された1又は複数のAO−Qスイッチと、を備えたことを特徴とするレーザ共振器が提供される。
本発明の好ましい実施形態によれば、前記AO−Qスイッチは、像転写光学系内のビーム集光位置もしくはその近傍のごとく、レーザ光の直径がAO−Qスイッチの有効径内であるような場所に位置する。
また、前記AO−Qスイッチは、像転写光学系内の基準点及び/又は転写点もしくは各々の位置から同一方向に同一距離移動した場所に位置する。
また、前記像転写光学系は、同一の焦点距離を有し互いに該焦点距離の2倍の間隔を隔てた第1と第2の凸レンズからなり、
第1凸レンズの前方のビームプロファイルを、第2凸レンズの後方に同一の倍率で転写する。
上記本発明の構成によれば、1対又は複数対のAO−Qスイッチを像転写光学系の両端の前述位置に配置することにより、像転写光学系は第1のQスイッチ上のビームプロファイルを第2のQスイッチ上に転写するので、AO−QスイッチのON/OFF切り替えの過渡期に、転写位置におけるレーザ光のビームプロファイルが互いに対称となり、ビームプロファイルのアンバランスを防止することができる。
また、前記AO−Qスイッチが像転写光学系内のビーム集光位置もしくはその近傍のごとく、レーザ光の直径がAO−Qスイッチの有効径内であるような場所に位置することにより、AO−Qスイッチに設計上の有効径があっても、その有効径内にレーザ光のビームプロファイルを集光させることができるので、AO−Qスイッチの性能低下を防止して、Hold−off性能を確保することができる。
さらに、前記AO−Qスイッチが、像転写光学系内の基準点及び/又は転写点もしくは各々の位置から同一方向に同一距離移動した場所に位置することにより、1対又は複数対のAO−Qスイッチを用いて、ビームプロファイルのアンバランスを防止すると共に、複数のAO−Qスイッチを用い、それぞれのAO−Qスイッチの性能低下を防止して、Hold−off性能を向上させることができる。
以下、本発明の好ましい実施形態を図面を参照して説明する。なお各図において、共通する部分には同一の符号を付し、重複した説明は省略する。
図3は、本発明によるレーザ共振器の第1実施形態図である。この図において、本発明のレーザ共振器10は、レーザ媒体12、1対の反射ミラー13、14、像転写光学系16、およびAO−Qスイッチ18を備える。
レーザ媒体12は、例えばNd:YAG等の固体レーザ媒体であり、図示しない励起源により励起され レーザ光を出射する。
1対の反射ミラー13、14は、全反射ミラー13と半反射ミラー14からなり、その間にレーザ媒体12を軸方向に挟んで設けられ、その間でレーザ光11を往復させて光共振によりレーザ光11を増幅し、半反射ミラー14を透してレーザ光11を外部(図で右方向)に出射するようになっている。
また、この反射ミラー13、14は、その間にレーザ光11のビームプロファイル11aを最小に集光する基準点21を形成する。基準点21はレーザ光11の焦点位置に相当する。
像転写光学系16は、反射ミラーの一方(この例で半反射ミラー14)と基準点21との間に配置され、基準点21におけるレーザ光11のビームプロファイルを軸線上の転写点22に転写する機能を有する。
像転写光学系16は、この例では、同一の焦点距離fを有し、互いに焦点距離fの2倍の間隔を隔てた第1と第2の凸レンズ16a,16bからなる。
またこの例において、基準点21と第1凸レンズ16aの距離f+Lは、焦点距離fと正負の任意の値を取りうるLの和となり、基準点21は第1凸レンズ16aの前方の焦点位置に位置するのがよい。また、転写点22と第2凸レンズ16bの距離f−Lも、焦点距離fと前述のLの差となる、転写点22は第2凸レンズ16bの後方の焦点位置に位置するのがよい。
この構成により、基準点21のビームプロファイルを、転写点22に同一の倍率で転写することができる。
AO−Qスイッチ18は、像転写光学系16の両端に配置されている。
すなわち、この例では、2つのAO−Qスイッチ18が、上述した基準点21と転写点22にそれぞれ配置されている。AO−Qスイッチ18には設計上の有効径があり、これを図中に破線で示す。
上述した構成により、2つのAO−Qスイッチ18が像転写光学系16内のビーム集光位置(基準点21と転写点22)にそれぞれ位置することにより、AO−Qスイッチに設計上の有効径があっても、その有効径内にレーザ光11のビームプロファイル11aを集光させることができ、AO−Qスイッチの性能低下を防止して、Hold−off性能を確保することができる。
また、この条件を維持する限り、本実施例におけるQスイッチの位置は、互いの像転写の関係が成立する任意の位置に配置してよい。
図3(B)は、図3(A)における音響光学効果を示す図である。この図において、2つのAO−Qスイッチ18は、像転写光学系16内の基準点21及び転写点22に位置し、かつ超音波6が同じ向き(図で上向き)に伝搬するように配置されている。
上述したように、AO−Qスイッチ18は、音響光学効果(Acusto Optical effect)を利用したQスイッチであり、音響光学効果を有する媒体(石英など)の1側面にピエゾ素子等を貼り付けた構造である。Qスイッチとして、ピエゾ素子に電圧を印加して超音波6を伝播させ入射レーザを回折反射する状態がOFFであり、電圧印加を中止し入射レーザを直進させる状態がONである。
図3(B)において、2つのAO−Qスイッチ18が、像転写光学系16内の基準点21と転写点22に位置することにより、2つのAO−Qスイッチ18が作用する切り換えの過渡期のレーザ光(直進光19aと19b)が像転写光学系16により図で上下反転するので、ビームプロファイル11aのアンバランスを防止することができる。
図4(A)は、本発明によるレーザ共振器の第2実施形態図であり、図4(B)は、その作動説明図、図4(C)は、その音響光学効果を示す図である。
図4(A)において、半反射ミラー14は、平面ミラーである。また、像転写光学系16は、基準点21と半反射ミラー14の間に位置する焦点距離fの凸レンズ16cからなる。この凸レンズ16cは基準点21から距離L、半反射ミラー14から焦点距離fの位置に位置する。
基準点21と第1凸レンズ16aの距離Lは、焦点距離fにほぼ等しく、基準点21は第1凸レンズ16aの前方の焦点位置に位置するのがよい。
その他の構成は図3の第1実施形態図と同様である。
上述した構成により、半反射ミラー14が平面ミラーであるので、図4(B)に示すように、半反射ミラー14を中心として凸レンズ16cの虚像16c’とAO−Qスイッチ18の虚像18’が形成される。従って、凸レンズ16cとその虚像16c’により、第1実施形態図と同様の像転写光学系16’が形成され、同様の効果を得ることができる。
すなわち、上述した構成により、擬似的に2つのAO−Qスイッチ18,18’が像転写光学系16’内のビーム集光位置(基準点21と転写点21’)にそれぞれ位置することにより、AO−Qスイッチに設計上の有効径があっても、その有効径内にレーザ光11のビームプロファイル11aを集光させることができ、AO−Qスイッチの性能低下を防止して、Hold−off性能を確保することができる。
また、図4(C)において、擬似的に2つのAO−Qスイッチ18,18’が、像転写光学系16’内の基準点21と転写点21’に位置することにより、2つのAO−Qスイッチ18,18’が作用する切り換えの過渡期のレーザ光(直進光19aと19b)が像転写光学系16’により図で上下反転するので、ビームプロファイル11aのアンバランスを防止することができる。
図5(A)は本発明のレーザ共振器の第3実施形態図である。この図において、本発明のレーザ共振器10は、2組の像転写光学系16が直列に配置されている。また、基準点21には、AO−Qスイッチ18を備えず、2つのAO−Qスイッチ18が転写点22に配置されている。その他の構成は、第1実施形態と同様である。
この構成により、基準点21におけるビームプロファイル11aに影響を与えることなく、第1実施形態と同様の効果を得ることができる。
すなわち、2つのAO−Qスイッチ18が像転写光学系16内のビーム集光位置(2つの転写点22)にそれぞれ位置することにより、AO−Qスイッチに設計上の有効径があっても、その有効径内にレーザ光11のビームプロファイル11aを集光させることができ、AO−Qスイッチの性能低下を防止して、Hold−off性能を確保することができる。
また、2つのAO−Qスイッチ18が、像転写光学系16内の2つの転写点22に位置することにより、2つのAO−Qスイッチ18が作用する切り換えの過渡期のレーザ光(直進光19aと19b)が像転写光学系16により図で上下反転するので、ビームプロファイル11aのアンバランスを防止することができる。
図5(B)は本発明のレーザ共振器の第4実施形態図である。この図において、本発明のレーザ共振器10は、1組の像転写光学系16の中間位置に単一のAO−Qスイッチ18が配置されている。また、この像転写光学系16は、第1凸レンズ16aと第2凸レンズ16bの間にあるAO−Qスイッチ18の位置がビーム集光位置となるように、基準点21と第1凸レンズ16aの距離は、焦点距離fよりも大きくし、転写点22と第2凸レンズ16bの距離を、像転写光学系が成立するように焦点距離fよりも小さく設定するのがよい。その他の構成は、第1実施形態と同様である。
この構成により、基準点21におけるビームプロファイル11aに影響を与えることなく、第1実施形態と同様の効果を得ることができる。
すなわち、基準点21と第1凸レンズ16aの距離は、焦点距離fよりも大きく、転写点22と第2凸レンズ16bの距離を、像転写光学系が成立するように焦点距離fよりも小さく設定することにより、AO−Qスイッチに設計上の有効径があっても、転写光学系16の第1凸レンズ16aと第2凸レンズ16bの間にある単一のAO−Qスイッチ18の有効径内にレーザ光11のビームプロファイル11aを集光させることができ、AO−Qスイッチの性能低下を防止して、Hold−off性能を確保することができる。
また、単一のAO−Qスイッチ18が、像転写光学系16内の第1凸レンズ16aと第2凸レンズ16bの間に位置することにより、単一のAO−Qスイッチ18が作用する切り換えの過渡期のレーザ光(直進光19aと19b)が像転写光学系16により図で上下反転するので、ビームプロファイル11aのアンバランスを防止することができる。
図5(C)は本発明のレーザ共振器の第5実施形態図である。この図において、本発明のレーザ共振器10は、2組の像転写光学系16の第1凸レンズ16aと第2凸レンズ16bの間に2つのAO−Qスイッチ18が配置されている。また、この像転写光学系16は、AO−Qスイッチ18が位置する第1凸レンズ16aと第2凸レンズ16bの間がビーム集光位置となるように、基準点21と第1凸レンズ16aの距離Lは、焦点距離fよりも大きく、転写点22と第2凸レンズ16bの距離は、像転写光学系が成立するように焦点距離fよりも小さく設定するのがよい。その他の構成は、第4実施形態と同様である。
この構成により、基準点21におけるビームプロファイル11aに影響を与えることなく、第1実施形態と同様の効果を得ることができる。
すなわち、基準点21と第1凸レンズ16aの距離は、焦点距離fよりも大きく、転写点22と第2凸レンズ16bの距離は、像転写光学系が成立するように焦点距離fよりも小さく設定することにより、AO−Qスイッチに設計上の有効径があっても、転写光学系16の第1凸レンズ16aと第2凸レンズ16bの間に位置する単一のAO−Qスイッチ18の有効径内にレーザ光11のビームプロファイル11aを集光させることができ、AO−Qスイッチの性能低下を防止して、Hold−off性能を確保することができる。
また、2つのAO−Qスイッチ18が、2組の像転写光学系16内の第1凸レンズ16aと第2凸レンズ16bの間に位置することにより、2つのAO−Qスイッチ18が作用する切り換えの過渡期のレーザ光(直進光19aと19b)が像転写光学系16により図で上下反転するので、ビームプロファイル11aのアンバランスを防止することができる。
上述したように、本発明では、Qスイッチ素子(AO−Qスイッチ)の間に像転写光学系16を挿入し、一方のQスイッチ上の像をもう一方のQスイッチ上に転写する。転写は1回に限らず、複数回行っても構わない。また、ミラーによる折り返しを用いた配置にしてもかまわない。
また本発明の第1の目的を達成するために、像転写により一対のQスイッチ素子上での像が反転し、Hold−offの過渡的な偏りを補償することができる。また、像転写光学系により同一の像を結像させることによって補償の精度を向上させることができる。
さらに本発明の第2の目的を達成するために、Qスイッチを設置するのに最適な場所を像転写によって複製することにより、より多くのQスイッチを最適な場所設置することができる。
また、本発明はQスイッチをEO−Qスイッチ又は波長変換結晶に置き換えることができる。この場合は、AO−QスイッチをEO−Qスイッチ又は波長変換結晶に読み替え、同様の効果を得る。
なお、本発明は、上述した実施形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々に変更することができることは勿論である。
QAO−Qスイッチを用いたレーザ共振器の従来例である。 複数のAO−Qスイッチを直列に配置したレーザ共振器の従来例である。 本発明によるレーザ共振器の第1実施形態図である。 本発明によるレーザ共振器の第2実施形態図である。 本発明によるレーザ共振器の第3〜5の実施形態図である。 特許文献1の「レーザ共振器」の模式図である。 特許文献2の「レーザ共振器」の模式図である。 特許文献3の「レーザ発振器」の模式図である。
符号の説明
6 超音波、10 レーザ共振器、
11 レーザ光、11a ビームプロファイル、
12 レーザ媒体、13 反射ミラー(全反射ミラー)、
14 反射ミラー(半反射ミラー)、
16 像転写光学系、16a,16b,16c 凸レンズ、
18 AO−Qスイッチ、19a,19b 直進光

Claims (5)

  1. レーザ光を発生するレーザ媒体と、
    該レーザ媒体を軸方向に挟み、その間にレーザ光が集光される基準点を形成する1対の反射ミラーと、
    該反射ミラーの一方と前記基準点との間に配置され、基準点におけるレーザ光のビームプロファイルを軸線上の転写点に転写する1又は複数の像転写光学系と、
    該像転写光学系内の、前記基準点と転写点又は隣接する2つの転写点、もしくは各々の位置近傍であって同一方向に同一距離移動した位置に配置された2つのAO−Qスイッチと、を備えたことを特徴とするレーザ共振器。
  2. 前記AO−Qスイッチは、像転写光学系内のビーム集光位置もしくはその近傍であってレーザ光の直径がAO−Qスイッチの有効径内である場所に位置する、ことを特徴とする請求項1に記載のレーザ共振器。
  3. 前記像転写光学系は、同一の焦点距離を有し互いに該焦点距離の2倍の間隔を隔てた第1と第2の凸レンズからなり、
    第1凸レンズの前方のビームプロファイルを、第2凸レンズの後方に同一の倍率で転写する、ことを特徴とする請求項1に記載のレーザ共振器。
  4. レーザ光を発生するレーザ媒体と、
    該レーザ媒体を軸方向に挟み、その間にレーザ光が集光される基準点を形成する1対の反射ミラーと、
    該反射ミラーの一方と前記基準点との間に配置され、焦点距離fを有する凸レンズと、
    前記基準点に配置されたAO−Qスイッチと、を備え、
    前記反射ミラーの前記一方は、平面ミラーであり、
    前記凸レンズと前記平面ミラーの距離と、前記凸レンズと前記基準点との距離は、前記焦点距離fであり、
    前記基準点では、前記レーザ光は、集光されたビームプロファイルを有する、ことを特徴とするレーザ共振器。
  5. レーザ光を発生するレーザ媒体と、
    該レーザ媒体を軸方向に挟み、その間にレーザ光が集光される基準点を形成する1対の反射ミラーと、
    該1対の反射ミラーの一方と前記基準点との間に配置され、基準点におけるレーザ光のビームプロファイルを軸線上の転写点に転写する像転写光学系と、を備え、
    前記像転写光学系は、焦点距離fを有する第1凸レンズおよび第2凸レンズからなり、第1凸レンズの前方のビームプロファイルを、第2凸レンズの後方に転写し、
    第1凸レンズと第2凸レンズの中間位置に配置されたAO−Qスイッチをさらに備え、
    第1凸レンズおよび第2凸レンズとは、焦点距離fを有し、前記反射ミラーの前記一方は、凹面ミラーであり、
    前記AO−Qスイッチの位置がビーム集光位置となる、ことを特徴とするレーザ共振器。
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