JP2009231741A - レーザ共振器 - Google Patents
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Abstract
【課題】パルスレーザを無偏光で発振させることができ、かつ従来よりもレーザ発振のHold−off性能を向上させることができるレーザ共振器を提供する。また、AO−Qスイッチを用いて無偏光のレーザ光を回折させる場合でも、レーザ発振のON/OFF(Hold−off)の性能を向上させることができ、かつAO−Qスイッチの切り替えの過渡期に、発生するレーザ光のビームプロファイルを均一化できるレーザ共振器を提供する。
【解決手段】無偏光のレーザ光を増幅するレーザ発振器であって、レーザ光の光路11上に配置された1対又は複数対の直線偏光用のQスイッチ12A,12Bを備え、対のQスイッチによる回折方向が、交互に互に直交する。
【選択図】図5
【解決手段】無偏光のレーザ光を増幅するレーザ発振器であって、レーザ光の光路11上に配置された1対又は複数対の直線偏光用のQスイッチ12A,12Bを備え、対のQスイッチによる回折方向が、交互に互に直交する。
【選択図】図5
Description
本発明は、Hold−off性能を向上させるためのレーザ共振器に関する。
高効率のレーザ共振器として、例えば特許文献1〜3が既に提案されている。
特許文献1の「レーザ共振器」は、高効率で波長変換されたレーザ光を得ることを目的とする。
そのため、このレーザ共振器は、図8に示すように、レーザ媒質50aおよびレーザ媒質を励起する励起光源50bを有する励起装置50と、励起装置50から互いに反対方向に出射される基本波をそれぞれ反射する第1および第2の反射鏡51,52と、第1および第2の反射鏡51,52により反射された基本波をそれぞれ折り返し反射して励起装置を通して往復させる第3および第4の反射鏡53,54と、第1と第3の反射鏡51,53との間および第2と第4との反射鏡52,54の間に設けられ、基本波の一部を変換して基本波と異なる波長の変換波を出射する第1および第2の非線形光学媒質56,57とから成り、第1乃至第4の反射鏡51,52,53,54は、基本波を反射すると共に第1および第2の非線形光学媒質56,57から出射された変換波を透過する波長分離手段でなるものである。
そのため、このレーザ共振器は、図8に示すように、レーザ媒質50aおよびレーザ媒質を励起する励起光源50bを有する励起装置50と、励起装置50から互いに反対方向に出射される基本波をそれぞれ反射する第1および第2の反射鏡51,52と、第1および第2の反射鏡51,52により反射された基本波をそれぞれ折り返し反射して励起装置を通して往復させる第3および第4の反射鏡53,54と、第1と第3の反射鏡51,53との間および第2と第4との反射鏡52,54の間に設けられ、基本波の一部を変換して基本波と異なる波長の変換波を出射する第1および第2の非線形光学媒質56,57とから成り、第1乃至第4の反射鏡51,52,53,54は、基本波を反射すると共に第1および第2の非線形光学媒質56,57から出射された変換波を透過する波長分離手段でなるものである。
特許文献2の「レーザ共振器及びその組立方法」は、波長変換素子をレーザ光の焦点位置に好適に配置し得ることを目的とする。
そのため、このレーザ共振器は、図9に示すように、レーザ媒質64からレーザ光を出射してレーザ光の焦点位置に基準点を定める基本光学系に、像転写光学系を付加するレーザ共振器67であって、像転写光学系は、レーザ光の基準点から複数のレンズ60,61の焦点距離f1,f2を用いて像転写の投影点を決定する像転写レンズ手段を備え、投影点には、レーザ光の波長を変更し得る波長変換素子66を配置して構成されるものである。
そのため、このレーザ共振器は、図9に示すように、レーザ媒質64からレーザ光を出射してレーザ光の焦点位置に基準点を定める基本光学系に、像転写光学系を付加するレーザ共振器67であって、像転写光学系は、レーザ光の基準点から複数のレンズ60,61の焦点距離f1,f2を用いて像転写の投影点を決定する像転写レンズ手段を備え、投影点には、レーザ光の波長を変更し得る波長変換素子66を配置して構成されるものである。
特許文献3の「レーザ発振器」は、所望のパルス幅のレーザ光を出力できることを目的とする。
そのため、このレーザ発振器は、図10に示すように、レーザ媒質71を挟んで設けられる一対のミラー73,74からなる光共振器76と、この光共振器76内に励起されるレーザ光をスイッチングするQスイッチ72と、光共振器76内に配置されて光共振器76内に励起された所定位置の光の像を所定距離離れた位置に転写して光共振器76の共振器長を調整する像転写光学系70とを具備するものである。
そのため、このレーザ発振器は、図10に示すように、レーザ媒質71を挟んで設けられる一対のミラー73,74からなる光共振器76と、この光共振器76内に励起されるレーザ光をスイッチングするQスイッチ72と、光共振器76内に配置されて光共振器76内に励起された所定位置の光の像を所定距離離れた位置に転写して光共振器76の共振器長を調整する像転写光学系70とを具備するものである。
(1)第1の問題点
図1は、Q−スイッチとしてAO−Qスイッチを用いたレーザ共振器の従来例である。このレーザ共振器1は、終端ミラー2と出力ミラー3の間にレーザ媒体4(例えばNd:YAG等)を配置し、レーザ媒体4と出力ミラー3の間に複数(図で2台)のAO−Qスイッチ5を配置している。
すなわち、レーザ発振のON/OFF(Hold−off)の性能を向上させる手段として、この例では2台のAO−Qスイッチ5を直列に並べている。なおこの図で6は出力レーザであり、Q−スイッチを用いる場合にはパルスレーザ光である。
図1は、Q−スイッチとしてAO−Qスイッチを用いたレーザ共振器の従来例である。このレーザ共振器1は、終端ミラー2と出力ミラー3の間にレーザ媒体4(例えばNd:YAG等)を配置し、レーザ媒体4と出力ミラー3の間に複数(図で2台)のAO−Qスイッチ5を配置している。
すなわち、レーザ発振のON/OFF(Hold−off)の性能を向上させる手段として、この例では2台のAO−Qスイッチ5を直列に並べている。なおこの図で6は出力レーザであり、Q−スイッチを用いる場合にはパルスレーザ光である。
図2は、直線偏光用(A)と無偏光用(B)のQ-スイッチの作動説明図である。
Q−スイッチを用いるパルスレーザは、直線偏光で発振させる場合と無偏光で発振させる場合がある。両者はQスイッチ素子の最適設計が異なるため、各々専用の素子を使用する。
Q−スイッチを用いるパルスレーザは、直線偏光で発振させる場合と無偏光で発振させる場合がある。両者はQスイッチ素子の最適設計が異なるため、各々専用の素子を使用する。
図2(A)の直線偏光用のQスイッチ5Aは、特定の1方向(Qスイッチの最適な偏光方向c)の偏光成分Yに対して高い回折能力(例えば、無偏光用の3倍)を持つが、それに直交する偏光成分Xに対しては回折能力が低い。
そのため、直線偏光用のQスイッチ5Aを、直線偏光動作以外(無偏光)のレーザに用いても、Hold−off性能が低下してしまう。
特に高出力レーザにおいては、複数のQスイッチ5Aを直列に並べても、回折能力が低い方の偏光成分Xが十分に回折しきれず、より高いHold−off性能が必要な高出力レーザにおいてHold−off状態を維持することができず、寄生発振等が生じやすい問題点があった。
そのため、直線偏光用のQスイッチ5Aを、直線偏光動作以外(無偏光)のレーザに用いても、Hold−off性能が低下してしまう。
特に高出力レーザにおいては、複数のQスイッチ5Aを直列に並べても、回折能力が低い方の偏光成分Xが十分に回折しきれず、より高いHold−off性能が必要な高出力レーザにおいてHold−off状態を維持することができず、寄生発振等が生じやすい問題点があった。
一方、図2(B)の無偏光用のQスイッチ5Bは、両方の偏光成分X、Yに対して均等な回折能力を持つが、回折能力が直線偏光用のQスイッチよりも大幅に低い(例えば、直線偏光用の1/3)ため、複数のQスイッチ5Bを直列に並べても、Hold−off性能が不足して寄生発振が起きることがある問題点があった。
(2)第2の問題点
図3は、AO−Qスイッチ5の作動説明図である。AO−Qスイッチ5は、音響光学効果(Acusto Optical effect)を利用したQスイッチであり、音響光学効果を有する媒体(石英など)に超音波aを伝播させると、一種の回折格子として入射レーザ6aをある角度(回折角)で回折反射し、超音波を停止すると直進させる特性を利用するものである。回折反射光8を「1次回折光」、直進光9を「0次光」と呼ぶ。
図3は、AO−Qスイッチ5の作動説明図である。AO−Qスイッチ5は、音響光学効果(Acusto Optical effect)を利用したQスイッチであり、音響光学効果を有する媒体(石英など)に超音波aを伝播させると、一種の回折格子として入射レーザ6aをある角度(回折角)で回折反射し、超音波を停止すると直進させる特性を利用するものである。回折反射光8を「1次回折光」、直進光9を「0次光」と呼ぶ。
AO−Qスイッチ5は媒体の1側面にピエゾ素子等を貼り付けた構造である。すなわち、Qスイッチとして、ピエゾ素子に電圧を印加して超音波aを伝播させ入射レーザを回折反射する状態がOFFであり、電圧印加を中止し入射レーザを直進させる状態がONである。
図4は、AO−Qスイッチ5の回折光8によるレーザへの影響を示す説明図である。
上述したように、AO−Qスイッチ5は入射レーザ光7を特定の方向に回折させることによりHold−offを行っているが、Hold−offを切ってレーザが発振を開始するときには過渡状態であるため回折光8が残留しており、これがレーザ発振に影響を与える。すなわち、回折光8は回折方向の平面8a上にあり、その回折方向が不均等であるためレーザ光に不均等な影響を与え、ビームプロファイル形状(強度分布)の不均一化の原因になる。
上述したように、AO−Qスイッチ5は入射レーザ光7を特定の方向に回折させることによりHold−offを行っているが、Hold−offを切ってレーザが発振を開始するときには過渡状態であるため回折光8が残留しており、これがレーザ発振に影響を与える。すなわち、回折光8は回折方向の平面8a上にあり、その回折方向が不均等であるためレーザ光に不均等な影響を与え、ビームプロファイル形状(強度分布)の不均一化の原因になる。
そのため、図1のように、複数(2台)のAO−Qスイッチ5を直列に並べると、AO−Qスイッチ5のHold−offを切ってレーザが発振を開始する際の過渡状態における回折光の影響がさらに大きくなり、ビームプロファイル形状(強度分布)が不均一になりすぎる問題点があった。
本発明は、上記(1)及び(2)の問題点を解決するために創案されたものである。
すなわち、本発明の目的は、パルスレーザを無偏光で発振させることができ、かつ従来よりもレーザ発振のHold−off性能を向上させることができるレーザ共振器を提供することにある。また、本発明の別の目的は、AO−Qスイッチを用いて無偏光のレーザ光を回折させる場合でも、レーザ発振のON/OFF(Hold−off)の性能を向上させることができ、かつAO−Qスイッチの切り替えの過渡期に、発生するレーザ光のビームプロファイルを均一化できるレーザ共振器を提供することにある。
すなわち、本発明の目的は、パルスレーザを無偏光で発振させることができ、かつ従来よりもレーザ発振のHold−off性能を向上させることができるレーザ共振器を提供することにある。また、本発明の別の目的は、AO−Qスイッチを用いて無偏光のレーザ光を回折させる場合でも、レーザ発振のON/OFF(Hold−off)の性能を向上させることができ、かつAO−Qスイッチの切り替えの過渡期に、発生するレーザ光のビームプロファイルを均一化できるレーザ共振器を提供することにある。
本発明によれば、無偏光のレーザ光を増幅するレーザ発振器であって、
前記レーザ光の光路上に配置された1対又は複数対の直線偏光用のQスイッチを備え、
該対のQスイッチによる回折方向が、交互に互に直交する、ことを特徴とするレーザ発振器が提供される。
前記レーザ光の光路上に配置された1対又は複数対の直線偏光用のQスイッチを備え、
該対のQスイッチによる回折方向が、交互に互に直交する、ことを特徴とするレーザ発振器が提供される。
本発明の好ましい実施形態によれば、前記対のQスイッチは、回折方向が互に直交するように配置されている。この場合、前記直線偏光用のQスイッチは、AO−Qスイッチであってもよい。
また、別の好ましい実施形態によれば、前記対のQスイッチは、回折方向が同一になるように配置され、
さらにその間に偏光面を90°回転させる偏光回転素子を備える。
さらにその間に偏光面を90°回転させる偏光回転素子を備える。
また、本発明によれば、無偏光のレーザ光を増幅するレーザ発振器であって、前記レーザ光の光路上に配置された直線偏光用のQスイッチと、該Qスイッチを通過したレーザ光を折り返す反射ミラーと、該反射ミラーと前記対のQスイッチの間に配置された1/4波長板又はファラデーローテータとを備える、ことを特徴とするレーザ発振器が提供される。
上記本発明の構成によれば、無偏光のレーザ光を増幅するレーザ発振器の場合に、対の直線偏光用のQスイッチによる回折方向が、交互に互に直交し、直交する両方の偏光成分に対して幾何学的に均等になるため、素子単体で不均等な直線偏光のQスイッチ素子を無偏光のレーザに使用することができる。
また、直線偏光用のQスイッチは回折能力が無偏光のものより高いため、直線偏光用のQスイッチ素子を無偏光のレーザに使用することでHold−off性能を向上させることができ、より高出力のレーザ装置に対応可能となる。
特に、対のAO−Qスイッチを回折方向が互に直交するように配置した場合には、直交する2方向に対して均等に回折が起こり、AO−Qスイッチの切り替えにおける過渡期の影響が直交する2方向に分散される効果が生じる。これにより、ビームプロファイル形状(強度分布)を直交する2方向に均一化できる。したがって、複数のAO−Qスイッチを直列に並べてレーザ発振のON/OFF(Hold−off)の性能を向上させることができ、かつAO−Qスイッチの切り替えの過渡期に、発生するレーザ光のビームプロファイルを均一化できる。
以下、本発明の好ましい実施形態を図面を参照して説明する。なお各図において、共通する部分には同一の符号を付し、重複した説明は省略する。
図5は、本発明によるレーザ共振器の第1実施形態図である。この図において、本発明のレーザ共振器10は、無偏光のレーザ光を増幅するレーザ発振器である。
このレーザ共振器10は、対の直線偏光用のQスイッチ12A,12Bと、図示しないレーザ媒体と1対の反射ミラーを備える。対のQスイッチ12A,12Bは、この例では、1対(2台)であるが、複数対であってもよい。直線偏光用のQスイッチは、この例ではAO−Qスイッチである。
以下、Qスイッチが1対の場合を説明する。
このレーザ共振器10は、対の直線偏光用のQスイッチ12A,12Bと、図示しないレーザ媒体と1対の反射ミラーを備える。対のQスイッチ12A,12Bは、この例では、1対(2台)であるが、複数対であってもよい。直線偏光用のQスイッチは、この例ではAO−Qスイッチである。
以下、Qスイッチが1対の場合を説明する。
レーザ媒体(図示せず)は、例えばNd:YAG等の固体レーザ媒体であり、図示しない励起源により励起され レーザ光を出射する。このレーザ光は、出射時点から直線偏光であるのが好ましい。しかし、偏光フィルタ等を用いて円偏光を直線偏光に変換してもよい。
1対の反射ミラー(図示せず)は、全反射ミラーと半反射ミラーからなり、その間にレーザ媒体を軸方向に挟んで設けられ、その間で直線偏光のレーザ光を往復させて光共振によりレーザ光を増幅し、半反射ミラーを透してレーザ光を外部に出射するようになっている。
図5において、1対のAO−Qスイッチ12A,12Bは、レーザ光の光路11上に配置され、交互に直交する回折方向bを有する。なお、cは各Qスイッチの最適な偏光方向であり、それぞれ回折方向bに対し、直交する。また、X、Yは各Qスイッチを通過する直線偏光の偏光方向を示している。この偏光方向X、Yは、それぞれ各Qスイッチの最適な偏光方向cと一致する。
AO−Qスイッチは、直線偏光用のQスイッチ素子であり、特定の方向(最適な偏光方向c)の偏光成分に対して、無偏光専用のQスイッチ素子よりも3倍程度の高い回折能力を有する。
しかし、AO−Qスイッチは、最適な偏光方向cに直交する偏光成分に対しては回折能力が低く、特に高出力レーザにおいては、回折能力が低い方の偏光成分は十分に回折しきれず、より高いHold−off性能が必要な高出力レーザにおいてHold−off状態を維持することができないことがある。
しかし、AO−Qスイッチは、最適な偏光方向cに直交する偏光成分に対しては回折能力が低く、特に高出力レーザにおいては、回折能力が低い方の偏光成分は十分に回折しきれず、より高いHold−off性能が必要な高出力レーザにおいてHold−off状態を維持することができないことがある。
上述した第1実施形態の構成により、偏光方向X,Yの両成分を含む無偏光のレーザ光が偏光方向Yと同一の偏光方向cに最適なAO−Qスイッチ12Aを通過し、次いで偏光方向Xと同一の偏光方向cに最適なAO−Qスイッチ12Bを通過する。
また、図示しないレーザ媒体と1対の反射ミラーにより、その間で直線偏光のレーザ光を往復させて光共振によりレーザ光を増幅し、半反射ミラーを透してレーザ光を外部に出射する。
また、図示しないレーザ媒体と1対の反射ミラーにより、その間で直線偏光のレーザ光を往復させて光共振によりレーザ光を増幅し、半反射ミラーを透してレーザ光を外部に出射する。
従って、対の直線偏光用のQスイッチ12A,12Bによる回折方向が、交互に互に直交し、直交する両方の偏光成分X,Yに対して幾何学的に均等になるため、素子単体で不均等な直線偏光のQスイッチ素子を無偏光のレーザに使用することができる。
また、直線偏光用のQスイッチ(この例でAO−Qスイッチ)は回折能力が無偏光のものより高いため、直線偏光用のQスイッチ素子を無偏光のレーザに使用することでHold−off性能を向上させることができ、より高出力のレーザ装置に対応可能となる。
また、直線偏光用のQスイッチ(この例でAO−Qスイッチ)は回折能力が無偏光のものより高いため、直線偏光用のQスイッチ素子を無偏光のレーザに使用することでHold−off性能を向上させることができ、より高出力のレーザ装置に対応可能となる。
また、対のAO−Qスイッチ12A,12Bは、回折方向が互に直交するように配置されているので、AO−Qスイッチの切り替えにおける過渡期の影響が直交する2方向に分散される効果が生じる。これにより、ビームプロファイル形状(強度分布)を直交する2方向に均一化できる。したがって、複数のAO−Qスイッチを直列に並べてレーザ発振のON/OFF(Hold−off)の性能を向上させることができ、かつAO−Qスイッチの切り替えの過渡期に、発生するレーザ光のビームプロファイルを均一化できる。
図6は、本発明によるレーザ共振器の第2実施形態図である。この図において、本発明のレーザ共振器10は、無偏光のレーザ光を増幅するレーザ発振器である。
このレーザ共振器10は、レーザ光の光路11上に配置された対のQスイッチ14A,14Bとその間に配置された偏光回転素子16を備える。対のQスイッチ14A,14Bは、この例では、1対(2台)であるが、複数対であってもよい。直線偏光用のQスイッチの種類は特に限定されないが、例えばAO−Qスイッチを用いることができる。
以下、Qスイッチが1対の場合を説明する。
このレーザ共振器10は、レーザ光の光路11上に配置された対のQスイッチ14A,14Bとその間に配置された偏光回転素子16を備える。対のQスイッチ14A,14Bは、この例では、1対(2台)であるが、複数対であってもよい。直線偏光用のQスイッチの種類は特に限定されないが、例えばAO−Qスイッチを用いることができる。
以下、Qスイッチが1対の場合を説明する。
この例では、1対のQスイッチ14A,14Bは、回折方向bが同一になるように配置されている。
また、偏光回転素子16は、例えば1/2波長板又は像回転プリズムであり、通過する無偏光のレーザ光の偏光方向(偏光面)を90°回転させるようになっている。無偏光のレーザ光は、偏光方向X,Yの両成分を含むので、偏光回転素子16を通過すると、両成分が交互に反転する。
その他の構成は、第1実施形態と同様である。
また、偏光回転素子16は、例えば1/2波長板又は像回転プリズムであり、通過する無偏光のレーザ光の偏光方向(偏光面)を90°回転させるようになっている。無偏光のレーザ光は、偏光方向X,Yの両成分を含むので、偏光回転素子16を通過すると、両成分が交互に反転する。
その他の構成は、第1実施形態と同様である。
上述した第2実施形態の構成により、偏光方向X,Yの両成分を含む無偏光のレーザ光が偏光方向Yと同一の偏光方向cに最適なAO−Qスイッチ14Aを通過し、偏光回転素子16により偏光面を90°回転して偏光方向X,Yの両成分が反転し、次いで偏光方向Xと同一の偏光方向cに最適なAO−Qスイッチ14Bを通過する。
また、図示しないレーザ媒体と1対の反射ミラーにより、その間で直線偏光のレーザ光を往復させて光共振によりレーザ光を増幅し、半反射ミラーを透してレーザ光を外部に出射する。
また、図示しないレーザ媒体と1対の反射ミラーにより、その間で直線偏光のレーザ光を往復させて光共振によりレーザ光を増幅し、半反射ミラーを透してレーザ光を外部に出射する。
従って、1対のAO−Qスイッチ14A,14Bにより、両方のQスイッチ素子に対してそれぞれ順に最適な偏光方向Y,Xの偏光成分に対して強く回折させることができ、これにより直交する2方向X、Yに対して均等に回折が起こり、その回折方向が、交互に互に直交し、直交する両方の偏光成分に対して幾何学的に均等になるため、素子単体で不均等な直線偏光のQスイッチ素子を無偏光のレーザに使用することができる。
また、直線偏光用のQスイッチは回折能力が無偏光のものより高いため、直線偏光用のQスイッチ素子を無偏光のレーザに使用することでHold−off性能を向上させることができ、より高出力のレーザ装置に対応可能となる。
また、直線偏光用のQスイッチは回折能力が無偏光のものより高いため、直線偏光用のQスイッチ素子を無偏光のレーザに使用することでHold−off性能を向上させることができ、より高出力のレーザ装置に対応可能となる。
図7は、本発明によるレーザ共振器の第3実施形態図である。この図において、本発明のレーザ共振器10は、無偏光のレーザ光を増幅するレーザ発振器である。
このレーザ共振器10は、レーザ光11の光路上に配置されたQスイッチ18A,18Bと、反射ミラー24と、1/4波長板又はファラデーローテータ26を備える。本実施形態ではQスイッチは2つ(18A,18B)配置されているが、一つであってもよい。また、Qスイッチ18A,18Bは、1対でも、複数対でもよい。また、Qスイッチ18A,18Bは、回折方向が互に直交しても、同一でもよい。直線偏光用のQスイッチの種類は特に限定されないが、例えばAO−Qスイッチを用いることができる。
以下、Qスイッチが1対の場合を説明する。
このレーザ共振器10は、レーザ光11の光路上に配置されたQスイッチ18A,18Bと、反射ミラー24と、1/4波長板又はファラデーローテータ26を備える。本実施形態ではQスイッチは2つ(18A,18B)配置されているが、一つであってもよい。また、Qスイッチ18A,18Bは、1対でも、複数対でもよい。また、Qスイッチ18A,18Bは、回折方向が互に直交しても、同一でもよい。直線偏光用のQスイッチの種類は特に限定されないが、例えばAO−Qスイッチを用いることができる。
以下、Qスイッチが1対の場合を説明する。
反射ミラー24は、1対のAO−Qスイッチ18A,18Bを通過したレーザ光を同一の光路11に折り返す機能を有する。反射ミラー24は、終端ミラーと出力ミラーのどちらであってもよい。
1/4波長板又はファラデーローテータ26は、反射ミラー24とAO−Qスイッチ18A,18Bの間に配置され、反射ミラー24で折り返される往復で、偏光面を90°回転させる機能を有する。
その他の構成は、第1実施形態と同様である。
その他の構成は、第1実施形態と同様である。
上述した第3実施形態の構成により、偏光方向X,Yの両成分を含む無偏光のレーザ光が偏光方向Yと同一の偏光方向cに最適なAO−Qスイッチ18A,18Bを通過し、1/4波長板又はファラデーローテータ26と反射ミラー24により偏光面を90°回転して偏光方向X,Yの両成分の方向が逆転し、次いで再度偏光方向Yと同一の偏光方向cに最適なAO−Qスイッチ18A,18Bを通過する。
また、図示しないレーザ媒体と別の反射ミラーにより、その間で直線偏光のレーザ光を往復させて光共振によりレーザ光を増幅し、半反射ミラーを透してレーザ光を外部に出射する。
また、図示しないレーザ媒体と別の反射ミラーにより、その間で直線偏光のレーザ光を往復させて光共振によりレーザ光を増幅し、半反射ミラーを透してレーザ光を外部に出射する。
従って、AO−Qスイッチ18A,18Bに入射するレーザ光は、反射ミラーに向かって進む場合には、Qスイッチの最適な偏光方向cと一致する偏光成分が強く回折させられる。次に、反射ミラー24で反射してから1/4波長板又はファラデーローテータ26を通過してAO−Qスイッチ18A,18Bに入射するレーザ光は、反射前に入射したレーザ光に対して偏光方向が90°回転させられており、Qスイッチの最適な偏光方向cと一致する偏光成分が強く回折させられる。
これにより、レーザ光における直交する偏光成分の両方が、Qスイッチ18A,18Bの最適な偏光方向cと一致することで、回折能力が無偏光のものより高い直線偏光用のQスイッチ18A,18Bにより、直交する偏光成分の両方を高効率に回折させることができる。したがって、Hold−off性能を向上させることができ、より高出力のレーザ装置に対応可能となる。なお、この例では、AO−Qスイッチは1台であっても同様の効果が得られる。
なお、本発明は、上述した実施形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々に変更することができることは勿論である。
10 レーザ共振器、11 レーザ光の光路、
12A,12B 直線偏光用のQスイッチ(AO−Qスイッチ)、
14A,14B 直線偏光用のQスイッチ(AO−Qスイッチ)、
16 偏光回転素子(1/2波長板又は像回転プリズム)、
18A,18B 直線偏光用のQスイッチ(AO−Qスイッチ)、
24 反射ミラー、
26 1/4波長板又はファラデーローテータ
12A,12B 直線偏光用のQスイッチ(AO−Qスイッチ)、
14A,14B 直線偏光用のQスイッチ(AO−Qスイッチ)、
16 偏光回転素子(1/2波長板又は像回転プリズム)、
18A,18B 直線偏光用のQスイッチ(AO−Qスイッチ)、
24 反射ミラー、
26 1/4波長板又はファラデーローテータ
Claims (5)
- 無偏光のレーザ光を増幅するレーザ発振器であって、
前記レーザ光の光路上に配置された1対又は複数対の直線偏光用のQスイッチを備え、
該対のQスイッチによる回折方向が、交互に互に直交する、ことを特徴とするレーザ発振器。 - 前記対のQスイッチは、回折方向が互に直交するように配置されている、ことを特徴とする請求項1に記載のレーザ発振器。
- 前記直線偏光用のQスイッチは、AO−Qスイッチである、ことを特徴とする請求項2に記載のレーザ発振器。
- 前記対のQスイッチは、回折方向が同一になるように配置され、
さらにその間に偏光面を90°回転させる偏光回転素子を備える、ことを特徴とする請求項1に記載のレーザ発振器。 - 無偏光のレーザ光を増幅するレーザ発振器であって、
前記レーザ光の光路上に配置された直線偏光用のQスイッチと、
該Qスイッチを通過したレーザ光を折り返す反射ミラーと、
該反射ミラーと前記対のQスイッチの間に配置された1/4波長板又はファラデーローテータとを備える、ことを特徴とするレーザ発振器。
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JP2008078264A JP2009231741A (ja) | 2008-03-25 | 2008-03-25 | レーザ共振器 |
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2008
- 2008-03-25 JP JP2008078264A patent/JP2009231741A/ja active Pending
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