JP2008098496A - チャープパルス増幅器及び増幅方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 偏光ビームスプリッタを用いることなく、かつ増幅後のレーザパルスの空間的な光強度分布や発散角の変化を抑制したチャープパルス増幅器を提供する。
【解決手段】 パルス伸長器が、レーザパルスをチャープすることにより、パルス幅を伸長させる。パルス伸長器によりチャープされたレーザパルスがパルス圧縮器に入射する。パルス圧縮器は回折格子を含み、回折格子によって分光された各波長成分の光路長の差を利用してパルス幅の圧縮を行う。パルス伸長器とパルス圧縮器との間に、レーザパルスの偏光方向を変化させる偏光方向可変手段が配置されている。パルス伸長器とパルス圧縮器との間に、光増幅器が配置されている。
【選択図】 図1
【解決手段】 パルス伸長器が、レーザパルスをチャープすることにより、パルス幅を伸長させる。パルス伸長器によりチャープされたレーザパルスがパルス圧縮器に入射する。パルス圧縮器は回折格子を含み、回折格子によって分光された各波長成分の光路長の差を利用してパルス幅の圧縮を行う。パルス伸長器とパルス圧縮器との間に、レーザパルスの偏光方向を変化させる偏光方向可変手段が配置されている。パルス伸長器とパルス圧縮器との間に、光増幅器が配置されている。
【選択図】 図1
Description
本発明は、チャープパルス増幅器及び増幅方法に関し、特に、チャープされたレーザパルスを、回折格子により分光された各波長成分の光路長の差を利用したパルス圧縮器でパルス圧縮を行うチャープパルス増幅器及び増幅方法に関する。
図2Aに、従来のチャープパルス増幅器のブロック図を示す。レーザ発振器1がレーザパルスを出射する。パルス伸長器2が、レーザ発振器1から出射されたレーザパルスをチャープすることにより、そのパルス幅を伸長させる。
光増幅器3が、チャープされたレーザパルスを増幅する。チャープされたレーザパルスは、パルス幅が長くなったことに対応して、その強度(パワー)が低下している。このため、光増幅器3のレーザ媒質の損傷を防止することができる。
光増幅器3で増幅されたレーザパルスが、パルス圧縮器10により圧縮される。2枚の回折格子及び2枚の凸レンズを含むパルス伸長器(ストレッチャ)、及び2枚の回折格子と反射鏡とを含むパルス圧縮器(コンプレッサ)が、下記の非特許文献1に開示されている。また、2枚の回折格子と反射鏡とを含むパルス圧縮器が、下記の特許文献1に開示されている。
パルス幅が圧縮されたレーザパルスのパワーが大きくなり、結果として、光増幅器3のレーザ媒質が損傷を受ける限界値よりも高出力のレーザパルスを生成することができる。
図2B〜図2Dに、パルスエネルギを調整することができるチャープパルス増幅器のブロック図を示す。
図2Bに示した装置では、光増幅器3とパルス圧縮器10との間に、アッテネータ50が配置されている。アッテネータ50は、偏光子51と偏光ビームスプリッタ52により構成される。偏光子51を回転させることにより、偏光ビームスプリッタ52に入射するレーザビームのP偏光成分とS偏光成分との比を変えることができる。P偏光成分のみが偏光ビームスプリッタ52を直進してパルス圧縮器10に到達する。従って、偏光子51により、P偏光成分とS偏光成分との比を変化させることにより、パルス圧縮器10から出力されるレーザパルスのパルスエネルギを調整することができる。下記の非特許文献2に、偏光子と偏光ビームスプリッタとの組み合わせにより、パルスエネルギを変化させる技術が開示されている。
図2Cに示した装置では、パルス伸長器2と光増幅器3との間に、アッテネータ50が配置されている。光増幅器3に入射する前のレーザパルスのパワーを調整することにより、パルス圧縮器10から出力されるレーザパルスのパルスエネルギを調整することができる。
図2Dに示した装置では、光増幅器3のレーザ媒質の励起用光源55から出射される励起光の強度を変化させることにより、光増幅器3の増幅率を調整する。これにより、パルス圧縮器10から出力されるレーザパルスのパルスエネルギが調整される。
図2Bに示した装置では、増幅された後の高パワーのレーザパルスが偏光ビームスプリッタ52に入射する。偏光ビームスプリッタ52が損傷を受けないようにするために、偏光ビームスプリッタ52に入射するレーザビームのビーム径を大きくしなければならない。このため、偏光子51及び偏光ビームスプリッタ52の開口径を大きくしなければならない。
図2Cに示した装置では、光増幅器3へ入射するレーザパルスのパルスエネルギの変化量と、増幅後のレーザパルスのパルスエネルギの変化量とは、線型の関係を示さず、増幅後のレーザパルスのパルスエネルギの変化量が相対的に小さくなる。このため、パルスエネルギを変化させることができる範囲が限定されてしまう。
図2Dに示した装置では、励起光のパワーを変化させると、光増幅器3のレーザ媒質内の温度分布が変化する。このため、増幅後のレーザパルスの空間的な光強度分布や発散角が変化してしまう。
本発明の目的は、偏光ビームスプリッタを用いることなく、かつ増幅後のレーザパルスの空間的な光強度分布や発散角の変化を抑制したチャープパルス増幅器及び増幅方法を提供することである。
本発明の一観点によると、
レーザパルスをチャープすることにより、パルス幅を伸長させるパルス伸長器と、
前記パルス伸長器によりチャープされたレーザパルスが入射する位置に配置され、回折格子によって分光された各波長成分の光路長の差を利用してパルス幅の圧縮を行うパルス圧縮器と、
前記パルス伸長器と前記パルス圧縮器との間に配置され、透過光が、偏光方向可変の直線偏光されたレーザパルスとなる偏光方向可変手段と、
前記パルス伸長器と前記パルス圧縮器との間に配置された光増幅器と
を有するチャープパルス増幅器が提供される。
レーザパルスをチャープすることにより、パルス幅を伸長させるパルス伸長器と、
前記パルス伸長器によりチャープされたレーザパルスが入射する位置に配置され、回折格子によって分光された各波長成分の光路長の差を利用してパルス幅の圧縮を行うパルス圧縮器と、
前記パルス伸長器と前記パルス圧縮器との間に配置され、透過光が、偏光方向可変の直線偏光されたレーザパルスとなる偏光方向可変手段と、
前記パルス伸長器と前記パルス圧縮器との間に配置された光増幅器と
を有するチャープパルス増幅器が提供される。
本発明の他の観点によると、
(a)レーザパルスをチャープすることによって、パルス幅を伸長させる工程と、
(b)パルス幅が伸長されたレーザパルスを増幅する工程と、
(c)増幅されたレーザパルスを、回折格子によって分光された各波長成分の光路長の差を利用してパルス幅の圧縮を行うパルス圧縮器に入射させる工程と
を有し、さらに、
(d)前記工程aの後、前記工程c前に、パルス幅が伸長されたレーザパルスの偏光方向を変化させる工程を含むチャープパルス増幅方法が提供される。
(a)レーザパルスをチャープすることによって、パルス幅を伸長させる工程と、
(b)パルス幅が伸長されたレーザパルスを増幅する工程と、
(c)増幅されたレーザパルスを、回折格子によって分光された各波長成分の光路長の差を利用してパルス幅の圧縮を行うパルス圧縮器に入射させる工程と
を有し、さらに、
(d)前記工程aの後、前記工程c前に、パルス幅が伸長されたレーザパルスの偏光方向を変化させる工程を含むチャープパルス増幅方法が提供される。
偏光方向可変手段で偏光方向を変化させると、パルス圧縮器を構成する回折格子の回折効率が変化する。このため、パルス圧縮器から出射されるレーザパルスのパルスエネルギを変化させることができる。
図1Aに、実施例によるチャープパルス増幅装置の概略図を示す。レーザ発振器1が、レーザパルスを出射する。レーザ発振器1は、例えばフェムト秒オーダのパルス幅の直線偏光されたパルスレーザを出力するモードロックチタンサファイアレーザ発振器である。なお、その他のパルスレーザ発振器を用いることも可能である。ただし、そのままでは増幅が困難なピークパワーの高いレーザパルスの増幅を行うという観点から、極短パルス、例えばパルス幅がピコ秒以下のモードロックレーザ発振器を用いる場合に顕著な効果が期待できる。
レーザ発振器1から出射されたレーザパルスがパルス伸長器2に入射する。パルス伸長器2は、入射したレーザパルスをチャープすることにより、パルス幅を伸長させる。パルス伸長器2として、複数の回折格子を配置した分散性遅延線や、波長分散を有する光ファイバ等を用いることができる。パルス伸長器2は、波長の長い赤色成分が、波長の短い青色成分に比べて、より遅延するような構成とされている。このため、レーザパルスは、先行部分が青色成分で構成され、後方部分が赤色成分で構成されるようにチャープされる。
パルス伸長器2によりパルス幅が伸長されたレーザパルスが、光増幅器3に入射する。光増幅器3のレーザ媒質として、レーザ発振器1の発振波長に応じたものが用いられる。レーザ発振器1をチタンサファイアレーザで構成した場合には、光増幅器3のレーザ媒質としてチタンサファイアを用いることができる。
光増幅器3により増幅されたレーザパルスが、半波長板4に入射する。回転機構5が、半波長板4を、レーザビームの光路を中心として回転させる。これにより、半波長板4を透過したレーザパルスの偏光方向を変化させることができる。半波長板4によって偏光方向が制御されたレーザパルスが、パルス圧縮器10に入射する。
パルス圧縮器10は、第1の回折格子12、第2の回折格子13、及び反射鏡11、14、15を含む。半波長板4によって偏光方向が制御されたレーザパルスは、反射鏡11の近傍を通過して、第1の回折格子12に入射角γで入射する。第1の回折格子12に入射する光線の光路に平行な方向をz軸、第1の回折格子12の溝に平行な方向をy軸とするxyz直交座標系を定義する。
回折格子による回折効率は、入射する光の偏光方向に依存する。一般に、チタンサファイアレーザの波長域において、偏光方向(電界ベクトルの方向)と回折格子12の溝の方向とが垂直である場合の回折効率が最大になり、両者が平行である場合の回折効率が最小になる。すなわち、偏光方向がx軸に平行である場合に、回折効率が最大になり、y軸に平行である場合に回折効率が最小になる。このため、第1の回折格子12に入射するレーザパルスの偏光方向を半波長板4で変化させることにより、回折効率を変化させることができる。
回折格子12に入射するレーザパルスは、先行部分が波長の短い青色成分で構成され、後方部分が波長の長い赤色成分になるようにチャープされている。波長によって回折角が異なるため、レーザパルスが第1の回折格子12により分光される。波長の短い青色成分の回折角θBが、波長の長い赤色成分の回折角θRよりも大きくなる。波長の異なる成分が、異なる光路に沿って伝搬し、第2の回折格子13に入射する。第2の回折格子13は、入射した光線が波長によらず同一方向に回折されるように構成されている。例えば、第1の回折格子12と第2の回折格子13とは、溝の周期が同一であり、両者の溝が形成された面が相互に平行に配置され、かつ両者の溝の延在する方向も相互に平行になるように配置されている。
第2の回折格子13により回折された平行光線が、反射鏡14にほぼ垂直に入射する。反射鏡14で反射された光線は、zx面内に関して入射光の経路と同一の経路を逆方向に伝搬して、第2の回折格子13に再入射する。第2の回折格子13に再入射した光線は、第2の回折格子13で回折され、第1の回折格子12に再入射する。第1の回折格子12に再入射した光線は、第1の回折格子12で回折され、反射鏡11に入射する。
図1Aに示すように、反射鏡11の近傍を通過して反射鏡14に入射するまでの往路と、反射鏡14で反射して反射鏡11に入射するまでの復路とは、zx面内において同一の経路を辿る。ただし、図1Bに示すように、yz面内においては、往路が反射鏡11の近傍を通過し、復路が反射鏡11に入射するように、反射鏡11が配置された位置において往路と復路とがy軸方向にずれている。これは、例えば反射鏡14による反射光の経路が、入射光の経路よりもy軸方向にややずれるように反射鏡14を配置することにより実現される。第1の回折格子12に再入射して回折された後は、波長の異なる成分が同一光路上に合成される。
波長の短い青色成分の光路長が、波長の長い赤色成分の光路長よりも長いため、レーザパルスの先行部分を構成していた青色成分が、後方部分を構成していた赤色成分に比べてより大きく遅延する。このため、パルス幅が短くなり、レーザパルスが圧縮される。
反射鏡11で反射されたレーザパルスは、他の反射鏡15で反射されて、パルス圧縮器10から出射される。半波長板4により直線偏光光の偏光方向を変化させると、第1の回折格子12の回折効率が変化するため、パルス圧縮器10から出射するレーザパルスのパルスエネルギを変化させることができる。
上記実施例では、第1の回折格子12の回折効率が、入射光の偏光方向に依存することを利用してパワーを調節するため、図2B及び図2Cに示したチャープパルス増幅器の偏光ビームスプリッタ52を使用する必要がない。また、光増幅器3の増幅率を調整する必要が無いため、光増幅器3のレーザ媒質の温度分布を一定に維持することができる。このため、レーザビームの光強度分布や発散角の乱れを抑制することができる。
光増幅器3を通過しても偏光状態及び偏光方向が維持されるのであれば、半波長板4をパルス伸長器2と光増幅器3との間に配置してもよい。
上記実施例では、パルス圧縮器10を、2枚の回折格子と、複数の反射鏡で構成したが、異なる波長成分の光路長を、相互に異ならせることができ、最終的に異なる波長成分の光線を同一光路上に合成することができる他の構成としてもよい。なお、パルス伸長器2の伝搬遅延時間の波長分散特性と、パルス圧縮器10の伝搬遅延時間の波長分散特性とを、相互に逆特性にしなければならないことは言うまでもない。
上記実施例では、半波長板4を回転させることによって、直線偏光されたレーザパルスの偏光方向を制御したが、レーザパルスがランダム偏光である場合には、半波長板に代えて偏光子を用いればよい。偏光子を回転させることによって、偏光方向が制御された直線偏光のレーザパルスを得ることができる。なお、この場合には、ランダム偏光されたレーザパルスのエネルギの約50%しか利用できないことになる。
以上実施例に沿って本発明を説明したが、本発明はこれらに制限されるものではない。例えば、種々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者に自明であろう。
1 レーザ発振器
2 パルス伸長器
3 光増幅器
4 半波長板
5 回転機構
10 パルス圧縮器
11、14、15 反射鏡
12 第1の回折格子
13 第2の回折格子
50 アッテナータ
51 偏光子
52 偏光ビームスプリッタ
55 強度可変励起光源
2 パルス伸長器
3 光増幅器
4 半波長板
5 回転機構
10 パルス圧縮器
11、14、15 反射鏡
12 第1の回折格子
13 第2の回折格子
50 アッテナータ
51 偏光子
52 偏光ビームスプリッタ
55 強度可変励起光源
Claims (3)
- レーザパルスをチャープすることにより、パルス幅を伸長させるパルス伸長器と、
前記パルス伸長器によりチャープされたレーザパルスが入射する位置に配置され、回折格子によって分光された各波長成分の光路長の差を利用してパルス幅の圧縮を行うパルス圧縮器と、
前記パルス伸長器と前記パルス圧縮器との間に配置され、透過光が、偏光方向可変の直線偏光されたレーザパルスとなる偏光方向可変手段と、
前記パルス伸長器と前記パルス圧縮器との間に配置された光増幅器と
を有するチャープパルス増幅器。 - 前記偏光方向可変手段が、
前記パルス伸長器を通過したレーザビームが入射する位置に配置された半波長板と、
前記半波長板を、レーザビームの偏光方向が変化するように回転させる回転機構と
を含む請求項1に記載のチャープパルス増幅器。 - (a)レーザパルスをチャープすることによって、パルス幅を伸長させる工程と、
(b)パルス幅が伸長されたレーザパルスを増幅する工程と、
(c)増幅されたレーザパルスを、回折格子によって分光された各波長成分の光路長の差を利用してパルス幅の圧縮を行うパルス圧縮器に入射させる工程と
を有し、さらに、
(d)前記工程aの後、前記工程c前に、パルス幅が伸長されたレーザパルスの偏光方向を変化させる工程を含むチャープパルス増幅方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006280079A JP2008098496A (ja) | 2006-10-13 | 2006-10-13 | チャープパルス増幅器及び増幅方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
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ID=39381008
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009272346A (ja) * | 2008-04-30 | 2009-11-19 | Sunx Ltd | レーザ発生装置及びレーザ加工装置 |
JP2011107139A (ja) * | 2009-11-20 | 2011-06-02 | Mitsutoyo Corp | 物体表面の形状測定装置、その形状測定方法及び部品キット |
CN103401134A (zh) * | 2013-08-27 | 2013-11-20 | 上海理工大学 | 一种低阈值飞秒脉冲光纤激光器 |
CN107123920A (zh) * | 2017-06-28 | 2017-09-01 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 一种大型超短脉冲激光压缩器中光栅的初装方法 |
CN109407365A (zh) * | 2018-12-13 | 2019-03-01 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 激光作用下液晶光栅器件衍射效率的测量装置及方法 |
-
2006
- 2006-10-13 JP JP2006280079A patent/JP2008098496A/ja not_active Withdrawn
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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