JP2000305120A - 共振器及び共振器を有する顕微鏡 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 組立が容易で動作が安定した小型の共振器及
び共振器を有する顕微鏡を提供する。 【解決手段】 レーザ光ｌは平面板６１、圧電素子１１
及び反射鏡１０を通して連続的に共振器に入射され、２
枚の反射鏡１０，２０によって反射される。レーザ光Ｌ
は共振器内で反射鏡１０→反射鏡２０→プリズム３０→
反射鏡１０とリング型に進行し、反射鏡１０を通して共
振器に入射されるレーザ光Ｌと共振し、パワーが増大さ
れる。パワーが増大されたレーザ光Ｌは波長変換素子４
０で２倍波に変換され、反射鏡２０、圧電素子２１及び
平面板７１を通して共振器から連続的に出射される。共
振器を構成する反射鏡１０，２０の製造や組立時に発生
した誤差は、ブリュースタ角だけ傾けたパッケージ５０
の側面５０ａ，５０ｂに沿って平面板６１，７１を移動
させることによって補正される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する分野】この発明は共振器及び共振器を有
する顕微鏡に関する。

【０００２】

【従来の技術】図１０は従来の共振器を説明する概念図
である。

【０００３】この共振器は、反射鏡Ｍ１〜Ｍ４と、波長
変換素子２４０と、反射鏡Ｍ１〜Ｍ４と波長変換素子２
４０とを収容するパッケージ２５０とを備える。

【０００４】パッケージ２５０の外部から基本波となる
レーザ光Ｌが反射鏡Ｍ１へ入射し、このレーザ光が４枚
の反射鏡Ｍ１〜Ｍ４によって反射される。反射鏡Ｍ１→
反射鏡Ｍ２→反射鏡Ｍ４→反射鏡Ｍ３→反射鏡Ｍ１→反
射鏡Ｍ２と８の字形に進行したレーザ光Ｌが共振するこ
とでよってパワー（光の強度）が増幅する。

【０００５】パワーを増幅されたレーザ光Ｌは波長変換
素子２４０で２倍波に変換され、反射鏡Ｍ２を通して共
振器の外部へ射出される。波長変換素子２４０の変換効
率はパワーの２乗に比例するので、共振器により共振器
内のパワーを増幅することで強度の大きい高調波が得ら
れる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、この共振器
は構成部品の製造工程や組立時に生じる反射鏡Ｍ１〜Ｍ
４の間隔や角度の誤差を組立後に修正するための複数の
調整機構を備えている。

【０００７】また、熱、振動、空気ゆらぎ等によって使
用しているうちに共振器内の光路長が変化し、出射する
２倍波の強度が低下する。これを補正するため、反射鏡
に共振器内の光路長が一定になるように制御するＰＺＴ
素子（ピエゾ素子）を貼り付けている。

【０００８】しかし、調整後に反射鏡Ｍ１〜Ｍ４が経時
変化や温度によって動いてしまい、位相がずれて共振が
不安定になる。

【０００９】更に、調整機構や光路長を制御する素子が
装着される分だけ共振器が大きくなってしまう。

【００１０】この発明はこのような事情に鑑みてなされ
たもので、その課題は組立が容易で動作が安定した小型
の共振器及び共振器を有する顕微鏡を提供することであ
る。

【００１１】

【課題を解決するための手段】前述の課題を解決するた
め、請求項１に記載の発明は、レーザ光を反射させる反
射手段と、光の伝搬方向を変える光偏向手段と、入射し
た光の波長変換を行うための波長変換手段と、前記反射
手段、光偏向手段及び波長変換手段を保持する保持手段
とを備えている共振器において、共振器内の光が共振し
最大パワーになるように前記反射手段の位置を補正する
補正手段を備えていることを特徴とする。

【００１２】組立時に発生する反射手段の位置の誤差
を、組立後に補正手段だけで調整することができる。

【００１３】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の共振器において、前記補正手段は、前記反射手段をブ
リュースタ角だけ傾けて保持する平面板と、前記平面板
を前記保持手段に押し付ける付勢手段と、前記平面板を
２次元方向へ移動させる駆動手段とを備えていることを
特徴とする。

【００１４】ブリュースタ角だけ傾けて反射手段を保持
する平面板を、駆動手段によって２次元方向へ移動させ
る。ブリュースタ角だけ傾ける理由は光偏光手段の透過
率を最大にするためである。

【００１５】請求項３に記載の発明は、請求項１又は２
に記載の共振器において、前記保持手段はブリュースタ
角だけ傾けた側面を有する箱であることを特徴とする。

【００１６】ブリュースタ角だけ側面を傾けた箱である
ので、側面に平面板、付勢手段及び駆動手段を保持させ
るだけで補正手段を構成することができる。

【００１７】請求項４に記載の発明は、請求項１〜３の
いずれか１項に記載の共振器において、前記平面板は光
軸のずれを調整した後、前記側面に固着されることを特
徴とする。

【００１８】光軸のずれを調整した後に平面板を側面に
固着するので、調整後に反射鏡の移動が阻止される。

【００１９】請求項５に記載の発明は、請求項１〜４の
いずれか１項に記載の共振器において、曲率半径に対応
する２つの共振安定領域のうち、曲率半径の小さい共振
安定領域に対応する前記反射手段を用いることを特徴と
する。

【００２０】曲率半径の小さい共振安定領域に対応する
反射手段を用いるので、反射鏡の平行移動による反射角
の変化が大きくなる。

【００２１】請求項６に記載の発明は、請求項１〜５の
いずれか１項に記載の共振器において、前記波長変換手
段は前記光偏向手段の機能を備えていることを特徴とす
る。

【００２２】波長変換手段は光偏向手段の機能を備えて
いるので、共振器を構成する部品点数を削減できる。

【００２３】請求項７に記載の発明は、請求項１〜６の
いずれか１項に記載の共振器において、保持手段に光コ
ネクタを一体に設け、この光コネクタを介して光ファイ
バによって導かれた前記レーザ光を入射させることを特
徴とする。

【００２４】保持手段に光コネクタを一体に設けたの
で、共振器に対するコネクタの角度・位置を一定にする
ことができる。

【００２５】請求項８に記載の発明は、請求項１〜７の
いずれか１項に記載された前記共振器が組み込まれてい
ることを特徴とする共振器を有する顕微鏡。

【００２６】小型であり、しかも動作が安定している共
振器が顕微鏡に組み込まれる。

【００２７】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面に基づいて説明する。

【００２８】図１はこの発明の第１実施形態に係る共振
器の断面図、図２は図１の部分拡大断面図である。図１
において、ｓ１，ｓ２はｘ−ｚ面内のパッケージの側面
に沿った軸である。

【００２９】この共振器は、反射鏡（反射手段）１０，
２０と、プリズム（光偏向手段）３０と、波長変換素子
（波長変換手段）４０と、パッケージ（保持手段）５０
とを備えている。

【００３０】プリズム３０は光の伝搬方向を変える。こ
のプリズム３０の屈折面３０ａ，３０ｂは透過率を高め
る（反射による損失がなくなる）ためにブリュースタカ
ットされている。

【００３１】波長変換素子４０は入射した光の波長変換
を行う。波長変換素子として例えばＢＢＯ（β−ＢａＢ
2 Ｏ4 ）を用いる。

【００３２】パッケージ５０は反射鏡１０，２０、プリ
ズム３０及び波長変換素子４０を保持する筐体である。
このパッケージ５０は金属やセラミックで形成されてい
る。

【００３３】パッケージ５０の断面形状は台形であり、
底面に対してブリュースタ角だけ傾いた側面５０ａ，５
０ｂを有する。ブリュ−スタ角はプリズム３０の屈折率
と共振器へ入射するレーザ光の波長とによって決まる。

【００３４】パッケージ５０の側面５０ａ，５０ｂには
開口部５１，５２が形成され、この開口部５１，５２に
光がプリズム３０に対してブリュースタ角で入射するよ
うに補正する補正機構（補正手段）６０，７０が取り付
けられている。

【００３５】補正機構６０と補正機構７０とは同じ構成
であるので、以下補正機構６０についてだけ説明する。

【００３６】補正機構６０は、開口部５２を塞ぐように
配置され、パッケージ５０の側面５０ｂに沿って移動可
能な平面板６１と、平面板６１を薄板６２とスプリング
６３とによってパッケージ５０の側面５０ｂに押し付け
る付勢部材（付勢手段）６４と、平面板６１を動かすこ
とができるねじを備えるマイクロメータ等の駆動部材
（駆動手段）６５とを備えている。なお、図２では１つ
の駆動部材６５だけを示した。

【００３７】図３は反射鏡の共振安定領域を説明する図
である。

【００３８】図において、横軸は反射鏡１０，２０の曲
率半径（単位：ｍ）を、縦軸は波長変換素子４０の中心
又は近傍のビームウエストの半径（単位：ｍ）をそれぞ
れ示す。

【００３９】曲線ｃ１は曲率半径５０ｍｍ以上のとき
に、曲線ｃ２は曲率半径２５〜５０ｍｍのときにそれぞ
れ対応する。曲率半径が２５ｍｍ以下と５０ｍｍ付近の
曲線ｃ１及び曲線ｃ２がない領域では共振が不安定であ
る。この発明では安定な領域である曲線ｃ１，ｃ２のう
ち、曲線ｃ１に相当する曲率半径が２５〜５０ｍｍの反
射鏡を用いることを特徴とする。

【００４０】反射鏡１０，２０はレーザ光Ｌを反射させ
る。この反射鏡の反射面は吸収の少ない透明な材料であ
る誘電体多層膜が使われ、凹面に形成されている。

【００４１】反射鏡１０，２０は圧電素子１１，２１を
介して例えば円形の平面板に取り付けられている。そし
て、共振器からの漏れ光や波長変換された光の強度変動
等を検出する検出系（透過光の一部を検出する受光部
等）と、この検出系の出力に基いて圧電素子１１，２１
に印加する電圧を制御する制御系とによって共振の同調
がとられる。

【００４２】平面板６１，７１及び圧電素子１１，１２
にはレーザ光Ｌが透過する穴（図示せず）が形成されて
いる。

【００４３】これらの穴を通して共振器（パッケージ５
０）に入射されたレーザ光Ｌは、２枚の反射鏡１０，２
０によって反射される。

【００４４】レーザ光Ｌは共振器内で反射鏡１０→反射
鏡２０→プリズム３０→反射鏡１０とリング型に進行
し、共振することでパワーが増大される。

【００４５】パワーが増大されたレーザ光Ｌは波長変換
素子４０で２倍波に変換され、反射鏡２０、圧電素子２
１及び平面板７１の穴を通して共振器から連続的に射出
される。

【００４６】このとき、圧電素子１１，２１によって両
レーザ光の共振の同調がとられている。

【００４７】一方、共振器を構成する反射鏡１０，２０
の製造や組立時に発生した誤差（光軸のずれ）は、平面
板６１，７１をパッケージ５０の側面５０ａ，５０ｂに
沿って軸ｓ１，ｓ２方向へ移動させることによって補正
される。

【００４８】たとえば、プリズム３０がｚ方向へ０．５
ｍｍずれたとき、平面板６１（反射鏡１０）をｓ１方向
へ−０．１３ｍｍ、平面板７１（反射鏡２０）をｓ２方
向へ０．１４ｍｍ移動させることによって誤差が補正さ
れる。

【００４９】また、パッケージ５０の角度αが１度だけ
大きく製造されてしまったとき、平面板７１（反射鏡２
０）をｓ２方向へ−０．３５ｍｍ移動させることによっ
て誤差が補正される。この補正量は、共振器の大きさ、
反射鏡の曲率等により変わる。

【００５０】上記方法によって誤差を補正した後、平面
板６１，７１は例えば３ヶ所を接着剤５５を用いてパッ
ケージ５０に固定される。

【００５１】なお、反射鏡１０，２０と圧電素子１１，
２１及び圧電素子１１，２１と平面板６１，７１も同様
に接着剤５５を用いて固定される。

【００５２】この実施形態によれば、以下の効果を奏す
る。

【００５３】従来例のように反射鏡のそれぞれに設けら
れていた複雑な調整機構や光路長を制御する素子が省略
されるので、組立が容易となるとともに小型化を図るこ
とができる。

【００５４】また、平面板６１，７１とパッケージ５０
を接着剤５５を用いて固定するので、ねじによる固定の
ように調整後に緩むことがなく経年変化の少ない安定し
た共振器となる。

【００５５】更に、曲率半径の小さい反射鏡１０，２０
を用いたので、反射鏡１０，２０の反射角の変化を大き
くでき、調整幅を相対的に広げることができるととも
に、曲率半径が５０ｍｍ以上の反射鏡に比しビームウエ
ストが小さくなるので、単位面積当りのパワー密度が高
まり、波長変換効率が向上する。

【００５６】図４はこの発明の第２実施形態に係る共振
器の断面図であり、第１実施形態と同一部分には同一符
号を付してその説明を省略する。

【００５７】この実施形態は波長変換素子１４０に光の
伝搬方向を変える機能を持たせた点で第１実施形態と異
なる。

【００５８】波長変換素子１４０の断面形状は台形に形
成され、その屈折面１４０ａ，１４０ｂをブリュースタ
カットにしている。

【００５９】レーザ光Ｌは反射鏡１０から共振器内に入
射し、反射鏡１０→反射鏡２０→波長変換素子１４０→
反射鏡１０とリング型に進行し、共振することでパワー
が増大される。

【００６０】パワーが増大されたレーザ光Ｌは波長変換
素子１４０で２倍波に変換され、波長変換素子１４０か
ら反射鏡１０へ向かうレーザ光Ｌとは異なる方向へ連続
的に共振器外へ射出される。

【００６１】この実施形態によれば第１実施形態と同じ
効果を奏する。また、部品点数が第１実施形態より少な
くなるので、共振器をより小型化することができるとと
もに、製造コストを低減することができる。

【００６２】図５はこの発明の第３実施形態に係る共振
器の断面図であり、第１実施形態と同一部分には同一符
号を付してその説明を省略する。

【００６３】この実施形態は平面板６１に光ファイバ６
６用のアダプタ６７を固定し、光ファイバ６６を通して
レーザ光Ｌを共振器内へ入射させるようにした点で第１
実施形態と異なる。

【００６４】光ファイバ６６とアダプタ６７とは光ファ
イバ６６の端部に固着されたコネクタ（光コネクタ）６
８を介して接続される。アダプタ６７はレンズ６７ａ，
６７ｂを備え、光ファイバ６６を伝搬してきたレーザ光
Ｌを所望のビーム形状とする。ここではレンズを２枚で
示したが、この枚数は伝搬してきた光の特性で異なる。

【００６５】光ファイバ６６を伝搬してきたレーザ光Ｌ
はコネクタ６８、アダプタ６７、圧電素子１１及び反射
鏡１０を通して共振器へ導入される。レーザ光Ｌは共振
器内で反射鏡１０→反射鏡２０→プリズム３０→反射鏡
１０とリング型に進行し、共振することでパワーが増大
される。

【００６６】パワーが増大されたレーザ光Ｌは波長変換
素子４０で２倍波に変換され、反射鏡２０、圧電素子２
１及び平面板７１の穴を通して共振器から連続的に射出
される。

【００６７】この実施形態によれば第１実施形態と同じ
効果を奏する。また、コネクタ６８はアダプタ６７に対
して常に一定の角度・位置で取り付けることができるの
で、共振器の調整後に光ファイバ６６を外した場合でも
コネクタ６８をアダプタ６７に挿入するだけで調整時と
同じ状態を再現できる。

【００６８】図６はこの発明の第４実施形態に係る共振
器の概略断面図であり、第１実施形態と同一部分には同
一符号を付してその説明を省略する。

【００６９】この実施形態では第１実施形態の共振器に
半導体レーザＬＤを組み合わせてレーザシステムとして
構成している。

【００７０】半導体レーザＬＤから射出されたレーザ光
Ｌはレンズ系８０で所望のビーム形状にされ、反射鏡１
０を通して共振器へ導入される。レーザ光Ｌは共振器内
で反射鏡１０→反射鏡２０→プリズム３０→反射鏡１０
とリング型に進行し、共振することでパワーが増大され
る。

【００７１】パワーが増大されたレーザ光Ｌは波長変換
素子４０で２倍波に変換され、反射鏡２０を通して共振
器から連続的に射出される。

【００７２】この実施形態によれば第１実施形態と同じ
効果を奏する。

【００７３】なお、波長３８６ｎｍの半導体レーザＬＤ
を選択し、波長変換素子４０としてＳＢＢＯ（Ｓｒ2 Ｂ
ｅ2 Ｂ０7 ）を用いることによって、このレーザシステ
ムから波長１９３ｎｍのレーザ光を出射させることがで
きる。この波長はエキシマレーザと同じ波長であるの
で、このレーザ光を光マイクロエレクトロニクス（ＩＣ
の製造）や検査装置の調整等に応用することができる。

【００７４】図７はこの発明の第５実施形態に係る共振
器の概略断面図であり、第４実施形態と同一部分には同
一符号を付してその説明を省略する。

【００７５】この実施形態は半導体レーザの代わりに固
体レーザ９０を用いた点で第４実施形態と異なる。

【００７６】固体レーザ９０は、半導体レーザＬＤ１
と、レンズ系９１と、反射鏡９２，９３と、レーザ結晶
９４と、複屈折フィルタ９５と、エタロン９６と、波長
変換素子９７と、光分離器９８とを備える。

【００７７】ここで、複屈折フィルタ９５とエタロン９
６とは射出光を縦単一モードにするための部材である。
なお、複屈折フィルタ９５及びエタロン９６の個数は要
求される射出光によって異なる。

【００７８】半導体レーザＬＤ１から出射されたレーザ
光はレンズ系９１と反射鏡９２とを通してレーザ結晶９
４に集光される。

【００７９】レーザ結晶９４に集光されたレーザ光は、
レーザ結晶９４で吸収された後異なる波長の光を再放射
し、反射鏡９２と反射鏡９３とで構成される共振器でパ
ワーが増大される。

【００８０】パワーが増大された光は波長変換素子９７
で波長変換され、光分離器９８を透過し、固体レーザ９
０の射出光が得られる。

【００８１】このレーザ光は反射鏡８１で反射され、レ
ンズ系８０を通って共振器に入射される。

【００８２】例えば、波長６７０ｎｍの半導体レーザＬ
Ｄ１、レーザ結晶９４にＣｒ：ＬｉＳＡＦ（ＬｉＳｒＡ
ｌ1-X ＣｒX Ｆ6 ）、波長変換素子４０にＬＢＯ（Ｌｉ
Ｂ3Ｏ5 ）を用いたとき、固体レーザ９０は波長４２０
ｎｍのレーザ光を出射するので、共振器は波長２１０ｎ
ｍのレーザ光を射出する。

【００８３】また、レーザ結晶９４にＣｒ：ＬｉＣＡＦ
（ＬｉＣａＡｌ1-X ＣｒX Ｆ6 ）、波長変換素子４０に
ＬＢＯを用いたとき、固体レーザ９０は３８６ｎｍのレ
ーザ光を射出するので、共振器は波長１９３ｎｍのレー
ザ光を出射する。

【００８４】この実施形態によれば、第４実施形態と同
じ効果を奏する。

【００８５】図８はこの発明の第６実施形態に係る共振
器の概略断面図であり、第１実施形態と同一部分には同
一符号を付してその説明を省略する。

【００８６】この実施形態は２台の共振器をレンズ系８
２を介して直列に接続するとともに、２台の共振器とレ
ンズ系８２とを一体のパッケージ１５０に収容してな
る。

【００８７】この実施形態によれば、第１実施形態と同
じ効果を奏する。

【００８８】また、１台の共振器で入射光に対して２度
の波長変換を行うことができるので、独立した２台の共
振器を用いて２度の波長変換を行うより省スペース化を
図ることができる。

【００８９】なお、例えば波長７７３ｎｍのレーザ光を
用い、波長変換素子４０ａにＬＢＯを、波長変換素子４
０ｂにＳＢＢＯを用いることによって、１９３ｎｍのレ
ーザ光を出射することができる。

【００９０】また、波長８４０ｎｍのレーザ光を用い、
波長変換素子４０ａにＬＢＯを、波長変換素子４０ｂに
ＢＢＯ用いることによって、２１０ｎｍのレーザ光を出
射することができる。

【００９１】上記実施形態では光の伝搬方向を変えるた
めにプリズムを用いたが、プリズムの代わりに反射鏡を
用いてもよい。

【００９２】図９は上記各実施形態のうちいずれかの共
振器を組み込んだ共焦点レーザ走査顕微鏡のブロック構
成図である。

【００９３】顕微鏡は、顕微鏡本体１００と、照明光学
系１１０と、画像処理装置１２０と、画像モニタ１２１
とを備える。

【００９４】照明光学系１１０は、レーザ光源１１１
と、反射ミラー１１２，１１３と、ビームエキスパンダ
１１４とで構成されている。レーザ光源１１１から射出
した光は上記共振器によって２倍波の光となる。ここ
で、図９上に共振器は示されていない。

【００９５】顕微鏡本体１００は、対物レンズ１０１
と、リレーレンズ１０２と、ＸＹスキャナ１０３と、ビ
ームスプリッタ１０４と、集光レンズ１０５と、ピンホ
ール１０６と、光検出器１０７とを備える。

【００９６】レーザ光源１１１から射出されたレーザ光
は、ビームエキスパンダ１１４で対物レンズ１０１の瞳
面を満たせる大きさに拡大される。

【００９７】このレーザ光はビームスプリッタ１０４で
反射され、ＸＹスキャナ１０３でスキャニングされ、リ
レーレンズ１０２、対物レンズ１０１を通して試料１０
８に照射される。

【００９８】試料１０８で反射された光は対物レンズ１
０１、リレーレンズ１０２からＸＹスキャナ１０３へと
光路を逆行し、ＸＹスキャナ１０３でデスキャニングさ
れる。

【００９９】光はビームスプリッタ１０４を透過する。
ビームスプリッタ１０４を透過した光は集光レンズ１０
５で集光され、ピンホール１０６を通過し、光検出器１
０７で電気信号に変換される。このとき、ピンホール１
０６で迷光等の不必要な光が除去される。

【０１００】電気信号は画像処理装置１２０でデジタル
処理された後、画像モニタ１２１に１〜３次元のデジタ
ル画像として出力される。

【０１０１】この実施形態によれば、共振器が小型であ
るので、顕微鏡を小型にすることができ、しかもその動
作が安定しているので、顕微鏡の光学性能を向上させる
ことができる。

【０１０２】

【発明の効果】以上説明したように請求項１に記載の共
振器によれば、組立が容易で動作が安定した小型の共振
器を得ることができる。

【０１０３】請求項２に記載の共振器によれば、光偏向
手段のずれやブリュースタ角の製造誤差を容易に補正す
ることができる。

【０１０４】請求項３に記載の共振器によれば、側面に
平面板、付勢手段及び駆動手段を保持させるだけで容易
に補正手段を構成することができる。

【０１０５】請求項４に記載の共振器によれば、調整後
に反射鏡が動かず、反射鏡のずれが防止される。

【０１０６】請求項５に記載の共振器によれば、反射鏡
の平行移動による反射角の変化が大きくなり、調整幅を
広げることができる。

【０１０７】請求項６に記載の共振器によれば、部品点
数を削減でき、共振器の小型化を図ることができる。

【０１０８】請求項７に記載の共振器によれば、共振器
に対するコネクタの角度・位置を一定にすることがで
き、共振器を調整した後に光ファイバをはずしても入射
光を再現性よく共振器に入射させることができる。

【０１０９】請求項８に記載の共振器によれば、顕微鏡
を小型にすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１はこの発明の第１実施形態に係る共振器の
断面図である。

【図２】図２は図１の部分拡大断面図である。

【図３】図３は反射鏡の共振安定領域を説明する図であ
る。

【図４】図４はこの発明の第２実施形態に係る共振器の
断面図である。

【図５】図５はこの発明の第３実施形態に係る共振器の
断面図である。

【図６】図６はこの発明の第４実施形態に係る共振器の
概略断面図である。

【図７】図７はこの発明の第５実施形態に係る共振器の
概略断面図である。

【図８】図８はこの発明の第６実施形態に係る共振器の
概略断面図である。

【図９】図９は上記共振器を組み込んだ共焦点レーザ走
査顕微鏡のブロック構成図である。

【図１０】図１０は従来の共振器を説明する概念図であ
る。

【符号の説明】

１０，２０ 反射鏡（反射手段） ３０ プリズム（光偏向手段） ４０，１４０ 波長変換素子（波長変換手段） ５０ パッケージ（保持手段） ５０ｂ 側面 ６０，７０ 補正機構（補正手段） ６１ 平面板 ６４ 付勢部材（付勢手段） ６５ 駆動部材（駆動手段） ６６ 光ファイバ ６８ コネクタ（光コネクタ）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大内 泰司 東京都千代田区丸の内３丁目２番３号 株 式会社ニコン内 (72)発明者 原田 昌樹 東京都千代田区丸の内３丁目２番３号 株 式会社ニコン内 Ｆターム(参考） 2G065 AA04 AA11 AB02 AB05 AB09 AB22 BA36 BB02 BB10 BB11 BB14 BB22 BB30 BB44 BB45 BB48 BB49 BC11 BD01 DA01 2H052 AA08 AC04 AC12 AC15 AC26 AC27 AC34 AF13 AF14 AF25 2K002 AA04 AB12 CA02 EA29 EA30 EB15 HA20

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 レーザ光を反射させる反射手段と、光の
   伝搬方向を変える光偏向手段と、入射した光の波長変換
   を行うための波長変換手段と、前記反射手段、光偏向手
   段及び波長変換手段を保持する保持手段とを備えている
   共振器において、 共振器内の光が共振し最大パワーになるように前記反射
   手段の位置を補正する補正手段を備えていることを特徴
   とする共振器。
2. 【請求項２】 前記補正手段は、前記反射手段をブリュ
   ースタ角だけ傾けて保持する平面板と、前記平面板を前
   記保持手段に押し付ける付勢手段と、前記平面板を２次
   元方向へ移動させる駆動手段とを備えていることを特徴
   とする請求項１に記載の共振器。
3. 【請求項３】 前記保持手段はブリュースタ角だけ傾け
   た側面を有する箱であることを特徴とする請求項１又は
   ２に記載の共振器。
4. 【請求項４】 前記平面板は光軸のずれを調整した後、
   前記側面に固着されることを特徴とする請求項１〜３の
   いずれか１項に記載の共振器。
5. 【請求項５】 曲率半径に対応する２つの共振安定領域
   のうち、曲率半径の小さい共振安定領域に対応する前記
   反射手段を用いることを特徴とする請求項１〜４のいず
   れか１項に記載の共振器。
6. 【請求項６】 前記波長変換手段は前記光偏向手段の機
   能を備えていることを特徴とする請求項１〜５のいずれ
   か１項に記載の共振器。
7. 【請求項７】 保持手段に光コネクタを一体に設け、こ
   の光コネクタを介して光ファイバによって導かれた前記
   レーザ光を入射させることを特徴とする請求項１〜６の
   いずれか１項に記載の共振器。
8. 【請求項８】 請求項１〜７のいずれか１項に記載され
   た前記共振器が組み込まれていることを特徴とする共振
   器を有する顕微鏡。