JP5228371B2 - 非晶質合金薄帯の製造方法及び製造装置 - Google Patents

Description

本発明は、溶融合金を、冷却ロールの表面に噴射し、急冷凝固させて非晶質合金薄帯を製造する方法及び装置、特に、薄帯の製造中、冷却ロールの表面を、オンラインで研磨する方法及び装置に関するものである。

非晶質合金薄帯の製造方法としては、通常、溶融合金を、高速回転している冷却ロールの円周面に噴出し、冷却ロールの抜熱作用で急冷凝固させる方法、即ち、単ロール法が、一般的に採用されている。

単ロール法においては、溶融合金を、１０^４〜１０^５℃／秒程度の冷却速度で急冷することが必要である。そのため、溶融合金から急速に熱を奪う冷却ロールとして、通常、銅合金等の熱伝導度の大きい金属材料で構成した冷却ロールが用いられている。

非晶質合金薄帯を工業的に製造する場合、溶融合金を冷却ロールで急冷凝固させた後、非晶質合金薄帯を、冷却ロールから剥離しつつ、連続的に巻き取るが、冷却ロールの表面には、溶融合金が直接接触するので、製造が進むにつれ、冷却ロールの表面が、熱履歴や溶融合金の凝固などにより損傷し、冷却ロールの表面粗度が増大したり、冷却ロールの表層部の材質が劣化したりする。

この現象は、非晶質合金薄帯の表面性状、磁気特性等に悪影響を及ぼし、時には、製造中、非晶質合金薄帯の破断を引き起こすこともある。

それ故、非晶質合金薄帯を工業的に製造する場合、冷却ロールの円周面を、長時間にわたり、健全な状態に維持することは、非晶質合金薄帯の生産性だけでなく、その磁気特性を一定に維持するうえで、不可欠のことであり、これまで、冷却ロールの円周面を研磨する提案が、数多くなされている（特許文献１〜１２、参照）。

なかでも、特許文献５には、冷却ロールの円周面に付着した異物を除去するため、冷却ロールの円周面に、複数個のブラシロールを配置した冷却ロールの表面清浄化装置が提案されている。

特許文献７には、粒度が異なる４種類のエメリーペーパーを、粒度の粗い順に、ばね機構で、冷却ロールの円周面に押し付けて、冷却ロールの表面を研磨する方法が提案されている。

特許文献８には、冷却ロール表面粗さを計測するオンライン計測装置を設け、オンライン計測装置の出力に基づいて、研磨又は研削する方法が提案され、一実施態様として、ブラシロール、次いで、バフロールで研磨又は研削する態様が図示されている。

特許文献１１には、冷却ロールの表面をブラシロールで研磨し、研磨により発生した研磨粉及びブラシ屑を櫛刃状の鋤き取り装置で除去する方法が提案されている。

しかし、特許文献１〜１２が提案する方法は、全て、非晶質合金薄帯の製造に伴い、冷却ロールの円周面に生じる損傷が、冷却ロールの幅方向においてほぼ同程度であることを前提とするものである。

即ち、上記方法は、冷却ロールの円周面が受ける損傷の程度が、冷却ロールの幅方向において異なる場合、冷却ロールの円周面を、健全な状態にまで研磨することができないものである。

磁気特性に優れた非晶質合金薄帯を工業的に製造する場合、冷却ロールの円周面を、長時間にわたり、常に、健全な状態に維持する必要があり、損傷の程度が、冷却ロールの幅方向において異なる場合でも、冷却ロールの円周面を、常に、健全な状態にまで研磨することができる技術の開発が求められている。

特開昭５８−０２５８４８号公報 特開昭５８−０２９５５７号公報 特開昭６１−２０９７５５号公報 特開昭６２−１６６０５９号公報 特開昭６２−１７６６５０号公報 特開昭６３−０９０３４１号公報 特開昭６３−０９０３４３号公報 特開平０３−１６９４６０号公報 特開平０３−２７５２５２号公報 特開平０７−１７８５１６号公報 特開平０７−１７８５１７号公報 特開平０８−０１９８３４号公報

本発明は、冷却ロールを用いて非晶質合金薄帯を製造する際、製造中、冷却ロールの円周面を、オンラインで、冷却ロールの幅方向において研磨し、長時間にわたり、健全な状態に維持することを課題とし、該課題を解決し、磁気特性に優れた非晶質合金薄帯を量産することができる製造方法及び製造装置を提供することを目的とする。

本発明者らは、非晶質合金薄帯の製造中、冷却ロールの円周面を、長時間にわたり、健全な状態に維持する手法を開発するため、冷却ロールの円周面に発生する損傷の態様について、鋭意調査した。

その結果、（ｉ）溶融合金が冷却ロール上で凝固し、収縮する時、冷却ロール表面の微細凹部に食い込んで凝固した凝固部分が、冷却ロール表面を引っ掻いて疵が発生するが、（ii）薄帯の収縮は、薄帯の幅方向の両端部において、最も大きく、（iii）時間の経過とともに、薄帯両端部に当接する冷却ロールの円周面の損傷が、中央部の損傷に比べ大きくなることが判明した。

そして、薄帯の製造中、非晶質合金薄帯を分離した後の冷却ロールの円周面を、冷却ロールの幅方向にわたり研磨する際、冷却ロールの回転方向に研磨特性の分布を設定して研磨する、即ち、研磨特性の異なる研磨手段を配置して研磨すると、損傷の程度が中央部と薄帯両端部で異なる冷却ロールの円周面を、常に、健全な状態に維持することができるとの知見を得るに至った。

本発明は、上記知見に基づいてなされたもので、その要旨は以下のとおりである。

（１） 溶融合金を、高速回転中の冷却ロールの円周面に噴射し、急冷凝固させて非晶質合金薄帯を製造する方法において、薄帯の製造中、非晶質合金薄帯を剥離した後の冷却ロールの円周面を、冷却ロールの幅方向にわたり研磨する際、
（ｉ）研磨特性が異なる、少なくとも二つの研磨手段を、冷却ロールの回転方向に配置し、
（ii）上記研磨手段を、冷却ロールの円周の０．２％以上の長さで、冷却ロールの円周面に接触させて研磨する、
ことを特徴とする非晶質合金薄帯の製造方法。

（２） 前記研磨手段のうち、最終段の研磨手段が、研磨機能とともに、研磨後の冷却ロールの円周面を清浄化する機能を備えていることを特徴とする前記（１）に記載の非晶質合金薄帯の製造方法。

（３） 研磨後の冷却ロールの円周面を清浄化する清浄化手段を、研磨手段、清浄化手段の順序で、冷却ロールの回転方向に配置する、
ことを特徴とする前記（１）又は（２）に記載の非晶質合金薄帯の製造方法。

（４） 前記研磨特性を、研磨手段の材質、形状、研磨粗さ、硬度、接触面積、押圧力の一つ又は二つ以上を調整して設定することを特徴とする前記（１）〜（３）のいずれかに記載の非晶質合金薄帯の製造方法。

（５） 前記研磨手段の全部又は一部を、連続的又は間欠的に、冷却ロールの円周面に接触させることを特徴とする前記（１）〜（４）のいずれかに記載の非晶質合金薄帯の製造方法。

（６） 溶融合金を、高速回転中の冷却ロールの円周面に噴射し、急冷凝固させて非晶質合金薄帯を製造する装置において、薄帯の製造中、冷却ロールの円周面上の、非晶質合金薄帯を剥離した位置から溶融合金噴射までの間の位置に、冷却ロールの幅方向にわたり、
（ｉ）研磨特性が異なる、少なくとも二つの研磨手段を、冷却ロールの回転方向に配置し、
（ii）上記研磨手段を、冷却ロールの円周の０．２％以上の長さで、冷却ロールの円周面に接触させる、
ことを特徴とする非晶質合金薄帯の製造装置。

（７） 研磨後の冷却ロールの円周面を清浄化する清浄化手段を、研磨手段、清浄化手段の順序で、冷却ロールの回転方向に配置する、
ことを特徴とする前記（６）に記載の非晶質合金薄帯の製造装置。

（８） 前記研磨手段の全部又は一部を、冷却ロールの円周面に接触させることを特徴とする前記（６）または（７）のいずれかに記載の非晶質合金薄帯の製造装置。

（９） 前記研磨手段の一つが、研磨材を備えることを特徴とする前記（６）〜（８）のいずれかに記載の非晶質合金薄帯の製造装置。

（１０） 前記研磨手段の一つが、ブラシロールであることを特徴とする前記（６）〜（８）のいずれかに記載の非晶質合金薄帯の製造装置。

（１１） 前記研磨特性を、研磨手段の材質、形状、研磨粗さ、硬度、接触面積、押圧力の一つ又は二つ以上を調整して設定する機能を有することを特徴とする前記（６）〜（１０）のいずれかに記載の非晶質合金薄帯の製造装置。

本発明によれば、非晶質合金薄帯の製造中、冷却ロールの幅方向で損傷の程度が異なる冷却ロールの円周面を、オンラインで研磨し、長時間にわたり、冷却ロールの幅方向において健全な状態に維持することができ、その結果、磁気特性に優れた非晶質合金薄帯を安定して量産することができる。

本発明について詳細に説明する。

非晶質合金薄帯の製造に伴い、冷却ロールの円周面に生じる損傷は、非晶質合金薄帯の表面性状及び磁気特性に大きく影響する。そこで、本発明者らは、非晶質合金薄帯の表面性状及び磁気特性に大きく影響する冷却ロールの表面粗度の変化に着目し、損傷の発生態様について調査し、次の知見を得るに至った。

冷却ロールの円周面を研磨しない場合、製造の進行に伴い、図１に示すように、冷却ロールの幅方向における粗度が変化する。

図１は、製造した非晶質合金薄帯毎に、冷却ロール幅方向の粗度変化を調査した結果であるが、具体的には、溶融合金が接触した冷却ロールの円周面において、中央部の粗度に対し、接触端部（薄帯端部）に向かうほど、粗度が大きくなる。

また、中央部と接触端部（薄帯端部）の粗度の差は、非晶質合金薄帯の幅が広くなるほど、大きくなり、非晶質薄帯の幅が５０ｍｍ以上で顕著となる。

そして、本発明者らが、この原因を鋭意解析した結果、非晶質合金薄帯の製造の進行に伴い、冷却ロールの円周面の中央部と接触端部（薄帯端部）において、ロール粗度に差が生じ、その差が拡大する現象は、溶融合金の凝固時に生じる冷却ロールの幅方向における熱収縮に起因することが判明した。

即ち、溶融合金が冷却ロールの表面で凝固する際、冷却ロール上で収縮するが、この収縮時、冷却ロール表面の微細な凹部に食い込んで既に凝固した合金が、冷却ロールの中央部に引っ張られて、冷却ロールの表面を引っ掻くことになり、その結果、冷却ロールの表面が損傷を受け、粗くなる。

また、一旦、冷却ロール表面が損傷を受けると、損傷部に溶融合金が食い込み易くなり、冷却ロールの損傷は、製造の進行に伴い、大きくなる。

溶融合金の凝固時の熱収縮は、冷却ロールの幅方向及び長手方向で生じるが、長手方向では、供給する溶融合金の幅がほぼ一定であるので、冷却ロールの長手方向での熱収縮量は等しく、また、溶融合金の長手方向の幅は数ｍｍ以下と狭いため、熱収縮量も小さく、結果として、熱収縮による冷却ロールの粗面化の程度もほぼ同程度となり、また、熱収縮による冷却ロールの粗面化の程度も小さい。

一方、冷却ロールの幅方向においては、接触端部（薄帯端部）の収縮長さは、中央部の収縮長さに比較して長いので、接触端部（薄帯端部）及びその近傍での表面損傷の程度は、中央部に比較し大きくなる。

本発明者らは、上記現象が、５０ｍｍ幅以上の非晶質合金薄帯を、冷却ロールの円周面を研磨せずに、５分以上継続して製造する場合に顕著に発現することを確認した。

図２に、冷却ロールの円周面を研磨せずに、１０６ｍｍ幅の非晶質合金薄帯を、製造時間を変更して製造した場合の中央部と接触端部（薄帯端部）の冷却ロールの粗度変化を示す。

中央部での損傷は、製造時間を長くしても変化が少ない（図中、△印、参照）のに対し、接触端部（薄帯端部、エッジ部）は、５分以上継続して製造すると、損傷が大きくなり（図中、●印、参照）、薄帯性状、磁気特性が劣化する。

本発明においては、このように、冷却ロールの幅方向において、損傷の程度が異なる冷却ロールの円周面を、幅方向にわたり健全な円周面に仕上げるため、
（ｉ）研磨特性が異なる、少なくとも二つの研磨手段を、冷却ロールの回転方向に配置する、
ことを第一の特徴とする。

さらに、本発明においては、上記第一の特徴に加え、
（ii）上記研磨手段が、冷却ロールの円周の０．２％以上の長さで、冷却ロールの円周面に接触させて研磨する、
ことを、第二の特徴とする。

この理由は、次のとおりである。

前述したように、冷却ロールの幅方向において、接触端部（薄帯端部）及びその近傍での表面損傷の程度は、中央部の損傷の程度に比較し大きい。

したがって、接触端部（薄帯端部）の損傷以上の粗研磨を行えば、冷却ロール幅方向で均一な粗度状態を維持できることになるが、冷却ロールの表面粗度が粗すぎで、磁気特性が劣化することになる。そのため、接触端部（薄帯端部）の損傷も、中央部の損傷も、所望の粗度レベルの研磨を実現できる研磨手段で、損傷前と同程度の粗度に仕上げる必要がある。

非晶質合金薄帯の単ロール法での製造では、冷却ロールは、一周毎に、溶鋼が接触し、凝固するので、凝固時の熱収縮により、冷却ロールの表面は、一回転毎に損傷を受ける。冷却ロールの円周面を健全な状態に維持するため、冷却ロールの円周面に研磨手段を配置した場合、一回転に一回、回転方向一箇所で接触し研磨することになる。

そのため、所望の粗度レベルの研磨を実現できる研磨手段を用いて、健全な冷却ロール円周面を維持するためには、一回の接触での研磨効率を上げる必要がある。

本発明者らが、効率的な研磨方法を探索した結果、研磨特性の異なる研磨材を組み合わせることにより、同一特性の研磨材を複数又は広範囲に設置するよりも、大幅に、研磨効率を上げることができ、非晶質合金薄帯の製造終了まで、冷却ロール幅方向にわたって均一に、ほぼ、初期の冷却ロールの表面状態を維持できることが判明した。

さらに、冷却ロールの表面状態を、ほぼ初期の表面状態に維持するためには、研磨手段の一つを、冷却ロールの円周に、該円周の０．２％以上接触させる必要があることが判明した。即ち、上記接触％が、０．２％未満であると、研磨効率が減少し、冷却ロールの損傷が徐々に大きくなるこが判明した。

本発明について、図面に基づいて、さらに説明する。図３ａ〜図３ｃに、非晶質合金薄帯を製造する単ロール装置の態様例を示す。

図３ａに示す単ロール装置においては、高速回転している冷却ロール５の円周面に、噴出ノズル３の開口面を接近させ、噴出ノズル３から、タンディッシュ１内の溶融合金２を噴出させて、非晶質合金薄帯６を連続的に製造する。

タンディッシュ１内のストッパー４を上げると、溶融合金２は、冷却ロール５の円周面に噴出し、非晶質合金薄帯６の製造が始まり、非晶質合金薄帯６は、巻取りロール７ａに巻き取られる。

図３ａでは、次の巻取りロール７ｂが、非晶質合金薄帯の近傍に待機しており、巻取りロール７ａの巻取り量が所定量になったところで、非晶質合金薄帯６は切断され（切断装置は図示せず）、次の巻取りロール７ｂに切り替わる。

所定量の非晶質合金薄帯を巻き取った巻取りロール７ａは、交換装置により（図示せず）、新たな巻取りロールに交換され、その後、カローゼルリール８が回転して、図３ａに示す状態で巻取りを継続し、長時間にわたり、非晶質合金薄帯を製造する。

本発明においては、非晶質合金薄帯６を剥離した後の冷却ロール５の円周面を、オンラインで、研磨特性が異なる研磨手段で研磨する。図３ａに示す単ロール装置では、二つの研磨手段９ａ及び９ｂを、冷却ロールの回転方向に配置している。研磨手段９ａ及び９ｂは、冷却ロールの円周面に、常に、長さＬで接触し、長さＬの面域を研磨する。

上記長さＬは、冷却ロールにおいて、表面損傷の程度が大きい接触端部（薄帯端部）の研磨効率を上げるうえで、重要な指標である。

研磨手段の研磨特性は、研磨手段の材質、形状、研磨粗さ、硬度、接触面積、押圧力の一つ又は二つ以上を適宜調整して設定することができるが、所要の接触長さＬを、長時間にわたり維持できる研磨特性が好ましい。

本発明者らは、所要の研磨特性を有する研磨手段につき、冷却ロールの円周面との接触長さ（以下「研磨長さ」ともいう）Ｌを変え、オンライン研磨をしながら、非晶質合金薄帯を製造し、損傷程度が最大となる接触端部（薄帯端部）と、損傷が最小となる中央部の冷却ロールの表面粗度を測定した。

その結果（冷却ロールの回転方向に二つの研磨手段を配置した場合の結果）を、図４に示す。

図４から、接触長さ（研磨長さ）Ｌを、冷却ロールの円周の０．２％以上とすると、接触端部（薄帯端部）と中央部の粗度の差が、殆どなくなり、平滑化できることが解る。それ故、本発明では、研磨手段の上記接触長さ（研磨長さ）Ｌを、冷却ロールの円周の０．２％以上とする。この点は、前述したように、本発明の第二の特徴である。

研磨手段としては、所要の研磨特性を備え、上記接触長さ（研磨長さ）Ｌを、長時間にわたり維持することができるものであればよく、特定の形状、材質のものに限定されないが、研磨特性を、適宜、調整でき、かつ、接触長さＬを、長時間、維持することができるものが好ましい。

冷却ロールの表面硬度より軟らかく、冷却ロール表面の摩擦に強い材質、例えば、樹脂繊維線材に砥粒を編み込んだ研磨材で構成される円筒形状のブラシロール等が好ましい。

ブラシロールとした場合における回転方向は、冷却ロール回転方向に対して同一方向であっても、逆方向であってもよいが、ブラシロール損傷の観点から、少なくとも回転させることは必要である。

また、他にも、研磨材としては入手のし易さから、研磨パッド、研磨紙、研磨ベルト等も適用できる。なお、研磨の仕上がりを均一化するために、研磨手段を、冷却ロール幅方向に揺動させてもよい。

研磨手段９ａ、９ｂは、前述したように、冷却ロールの回転方向に、研磨特性を変えることが重要である。即ち、図３ａに示す単ロール装置において、研磨手段として、研磨手段９ｂは、９ａと同じ手段を採用するにしても、研磨特性は、研磨手段９ａの研磨特性と相違せしめることが必要である。研磨手段９ｂの研磨特性は、当然のことながら、前段の研磨手段で研磨された冷却ロールの円周面の表面性状に応じて設定する。

図３ｃに示すように、さらに、研磨手段の近傍に、研磨後、冷却ロールの円周面に残る微小な研磨屑を除去するため、冷却ロールの円周面を清浄化する清浄化装置１０を配置することは、磁気特性に優れた非晶質合金薄帯を安定的に製造するうえで好ましい。

冷却ロールの円周面を清浄化する清浄化装置としては、ガスの吹付け・吸引、布などを直接冷却ロール円周面に押し付ける、研磨材を含まないブラシロールを用いる手段等を採用することができる。

ブラシロールについては、研磨手段と同様に、冷却ロールの表面硬度より軟らかく、冷却ロール表面の摩擦に強い材質、例えば、樹脂繊維線材で構成される円筒形状のブラシロール等が好ましい。

また、最終段の研磨手段として、図３ｂに示すように、研磨部材を、直接、冷却ロールの円周面に押し付ける研磨手段９ｃを採用してもよい。研磨部材としては、研磨パッドや、連続的に新しい面を供給することができる機構を備える研磨紙・研磨ベルト等が好ましい。

研磨パッドや研磨ベルトは、冷却ロールの円周面を研磨しつつ、清浄化する機能を備えているので、冷却ロールの円周面に接触長さＬで接触する研磨手段（図３ｂ中、９ａ、参照）の次に配置する研磨手段として好適である。

研磨手段９ｃについては、所定の接触長さが得られるように、冷却ロールも外周面に合わせた形状や、冷却ロールの外周面に合わせて変形できるよう、軟質ゴムで押える等の機構を設けると、さらに好ましい。

また、冷却ロールの円周面をオンラインで円周面の損傷程度を測定し、測定結果に基づいて、研磨手段の全部又は一部を、連続的又は間欠的に、冷却ロールの円周面に接触させてもよい。

このように、本発明においては、薄帯の製造中、非晶質合金薄帯を分離した後の冷却ロールの円周面を、効率的に研磨することができるので、冷却ロールの円周面を、長時間にわたり、常に、健全な状態に維持することができ、磁気特性に優れた非晶質合金薄帯を安定して量産することができる。

次に、本発明の実施例について説明するが、実施例の条件は、本発明の実施可能性及び効果を確認するために採用した一条件例であり、本発明は、この一条件例に限定されるものではない。本発明は、本発明の要旨を逸脱せず、本発明の目的を達成する限りにおいて、種々の条件を採用し得るものである。

（実施例）
図３ａ及び図３ｂに示す態様の単ロール装置を用い、原子％で、Ｆｅ：８０．５％、Ｓｉ：６．５％、Ｂ：１２％Ｃ：１％のＦｅ系非晶質合金を、冷却ロール直径１１９８ｍｍ、ロール幅２５０ｍｍの冷却ロール表面に、１７０ｍｍ×０．８５ｍｍ及び１０６ｍｍ×０．８５ｍｍの矩形スリット状のノズル開口から噴出し、板幅１７０ｍｍ、板厚約３０μｍおよび板幅１０６ｍｍ、板厚約３０μｍのＦｅ系非晶質合金薄帯を製造した。なお、製造時の冷却ロール周速は２１ｍ／ｓとした。

製造した非晶質薄帯の製造終了位置からサンプルを採取し、板幅方向に分割して、磁気特性を測定し、中央部と薄帯端部の磁気特性を比較した。磁気特性については、採取したＦｅ系非晶質合金薄帯サンプル（幅２５ｍｍ×長さ１２０ｍｍ）につき、３６０℃×１時間の熱処理の後、ＳＳＴ（Single Sheet Tester）装置で、鉄損（１．３Ｔ、５０Ｈｚ）を測定した。

表１に、製造条件及び測定結果を示す。なお、表１に示す研磨手段１及び研磨手段２は、この順序で、冷却ロールの回転方向に設置した。

表１に示す結果から、本発明例１〜６では、研磨特性の異なる研磨手段を配置し、かつ接触長さ（研磨長さ）Ｌを０．２％以上としているため、長時間にわたり、冷却ロールの円周面を健全な状態に維持することができ、その結果、薄帯中央部と薄帯端部の鉄損差がなく、良好な非晶質合金薄帯が得られている。

一方、比較例７〜９では、研磨特性の異なる研磨手段を配置しているものの、接触長さ（研磨長さ）Ｌが０．１％のため、冷却ロールの円周面を健全な状態に維持することができず、冷却ロールの接触端部（薄帯端部）の損傷が大きくなり、結果として、薄帯端部の鉄損が劣化している。

比較例１０〜１１では、研磨特性が同じ研磨手段を用いているため、接触長さ（研磨長さ）Ｌを、０．１％から０．２％と大きくしても、研磨の効率が悪いため、冷却ロールの接触端部（薄帯端部）の損傷を防止できず、薄帯端部の鉄損が劣化している。

また、比較例１２では、研磨手段１のみのため、接触長さ（研磨長さ）Ｌを０．３％としても、冷却ロールの接触端部（薄帯端部）の損傷を防止できず、薄帯端部の鉄損が劣化している。

表１に示す結果から、本発明によれば、長時間にわたり、磁気特性に優れたＦｅ系非晶質合金薄帯を、安定して量産することができることが解る。

前述したように、本発明によれば、非晶質合金薄帯の製造中、冷却ロールの幅方向で損傷の程度が異なる冷却ロールの円周面を、オンラインで研磨し、長時間にわたり、冷却ロールの幅方向において健全な状態に維持することができ、その結果、磁気特性に優れた非晶質合金薄帯を安定して量産することができる。したがって、本発明は、非晶質合金薄帯製造産業において利用可能性が大きいものである。

冷却ロールの円周面を研磨せずに非晶質合金薄帯を、２０分間継続して製造した場合の冷却ロール幅方向の粗度の変化（中央部の粗度を１とした場合の粗度比率）を示す図である。 冷却ロールの円周面を研磨なしに非晶質合金薄帯を製造した場合の冷却ロール中央部と接触端部（薄帯端部）の製造時間に対する粗度変化（製造前の冷却ロール粗度を1とした場合の粗度比率）を示す図である。 本発明例による非晶質合金薄帯を製造する単ロール装置の一態様を示す図である。 本発明例による非晶質合金薄帯を製造する単ロール装置の一態様を示す図である。 本発明例による非晶質合金薄帯を製造する単ロール装置の一態様を示す図である。 研磨手段と冷却ロールの円周面の接触長さ（研磨長さ）Ｌを変化させた場合の、冷却ロール中央部と接触端部（薄帯端部）の製造時間に対する粗度変化（製造前の冷却ロール粗度を1とした場合の粗度比率）を示す図である。

符号の説明

１ タンディッシュ
２ 溶融合金
３ 噴出ノズル
４ ストッパー
５ 冷却ロール
６ 非晶質合金薄帯
７ａ、７ｂ 巻取りロール
８ カローゼルリール
９ａ、９ｂ、９ｃ 研磨手段
１０ 清浄化装置

Claims (11)

1. 溶融合金を、高速回転中の冷却ロールの円周面に噴射し、急冷凝固させて非晶質合金薄帯を製造する方法において、薄帯の製造中、非晶質合金薄帯を剥離した後の冷却ロールの円周面を、冷却ロールの幅方向にわたり研磨する際、
   （ｉ）研磨特性が異なる、少なくとも二つの研磨手段を、冷却ロールの回転方向に配置し、
   （ii）上記研磨手段を、冷却ロールの円周の０．２％以上の長さで、冷却ロールの円周面に接触させて研磨する、
   ことを特徴とする非晶質合金薄帯の製造方法。
2. 前記研磨手段のうち、最終段の研磨手段が、研磨機能とともに、研磨後の冷却ロールの円周面を清浄化する機能を備えていることを特徴とする請求項１記載の非晶質合金薄帯の製造方法。
3. 研磨後の冷却ロールの円周面を清浄化する清浄化手段を、研磨手段、清浄化手段の順序で、冷却ロールの回転方向に配置する、
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載の非晶質合金薄帯の製造方法。
4. 前記研磨特性を、研磨手段の材質、形状、研磨粗さ、硬度、接触面積、押圧力の一つ又は二つ以上を調整して設定することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の非晶質合金薄帯の製造方法。
5. 前記研磨手段の全部又は一部を、連続的又は間欠的に、冷却ロールの円周面に接触させることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の非晶質合金薄帯の製造方法。
6. 溶融合金を、高速回転中の冷却ロールの円周面に噴射し、急冷凝固させて非晶質合金薄帯を製造する装置において、薄帯の製造中、冷却ロールの円周面上の、非晶質合金薄帯を剥離した位置から溶融合金噴射までの間の位置に、冷却ロールの幅方向にわたり、
   （ｉ）研磨特性が異なる、少なくとも二つの研磨手段を、冷却ロールの回転方向に配置し、
   （ii）上記研磨手段を、冷却ロールの円周の０．２％以上の長さで、冷却ロールの円周面に接触させる、
   ことを特徴とする非晶質合金薄帯の製造装置。
7. 研磨後の冷却ロールの円周面を清浄化する清浄化手段を、研磨手段、清浄化手段の順序で、冷却ロールの回転方向に配置する、
   ことを特徴とする請求項６に記載の非晶質合金薄帯の製造装置。
8. 前記研磨手段の全部又は一部を、冷却ロールの円周面に接触させることを特徴とする請求項６または７のいずれか１項に記載の非晶質合金薄帯の製造装置。
9. 前記研磨手段の一つが、研磨材を備えることを特徴とする請求項６〜８のいずれか１項に記載の非晶質合金薄帯の製造装置。
10. 前記研磨手段の一つが、ブラシロールであることを特徴とする請求項６〜８のいずれか１項に記載の非晶質合金薄帯の製造装置。
11. 前記研磨特性を、研磨手段の材質、形状、研磨粗さ、硬度、接触面積、押圧力の一つ又は二つ以上を調整して設定する機能を有することを特徴とする請求項６〜１０のいずれか１項に記載の非晶質合金薄帯の製造装置。

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