JP5217732B2 - 電子部品製造装置及び電子部品の製造方法 - Google Patents
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Description
2,3…セラミックグリーンシート
5,6…電極パターン
7…積層体
8…セラミック焼結体
9,10…内部電極
11,12…外部電極
13…積層セラミックコンデンサ
21…製造装置
22…搬送装置
23…支持フィルム
24,25…ロール
26…グラビアロール
27…圧接ロール
28…導電ペースト貯留槽
29…導電ペースト
30…スクレパー
31…温度測定装置
31a…センサー部
32…粘度測定装置
33…乾燥炉
34…膜厚センサ
35…制御装置
37…温度調整装置
41…温度調整装置
Claims (6)
- セラミックグリーンシートを所定の搬送方向に沿って搬送するための搬送手段と、
セラミックグリーンシート上に印刷される導電ペーストが貯留されている導電ペースト貯留槽と、
前記導電ペーストが供給され、かつ前記セラミックグリーンシート上に電極パターンを形成するための印刷部が表面に設けられた印刷版と、
前記搬送装置による搬送方向において前記印刷版よりも下流側に配置されており、前記セラミックグリーンシート上に印刷された導電ペーストを乾燥するための乾燥手段と、
前記導電ペーストからなる電極パターンの膜厚を測定する膜厚測定手段と、
前記導電ペースト貯留槽に備えられており、かつ前記導電ペースト貯留槽に貯留された導電ペーストの温度を調整するための温度調整手段と、
前記膜厚測定手段により得られた膜厚測定値が予め定められた所定の膜厚範囲外の場合に、所定の膜厚範囲内となるように、前記温度調整手段により前記導電ペーストの温度を調整する制御手段とを備え、前記印刷版が、グラビア印刷ロールであり、前記グラビア印刷ロールに、前記セラミックグリーンシートを挟持するように圧接される圧接ロールをさらに備える、電子部品製造装置。 - 前記導電ペースト貯留槽に導電ペーストの粘度を測定するための粘度測定手段が設けられており、前記粘度測定手段から与えられた粘度測定値と、前記膜厚測定装置から得られた膜厚測定値とに基づき、前記制御手段が、測定膜厚が前記所定の膜厚範囲内となるように、前記導電ペーストの温度を調整する、請求項1に記載の電子部品製造装置。
- 前記温度調整手段が前記グラビア印刷ロール上の導電ペーストの温度を調整するように設けられている、請求項1に記載の電子部品製造装置。
- 前記温度調整手段が前記圧接ロールに備えられている、請求項3に記載の電子部品製造装置。
- セラミックグリーンシートを所定の搬送方向に沿って搬送を開始する工程と、
前記セラミックグリーンシートに印刷される電極パターンに応じた印刷部が形成されている印刷版を用い、導電ペーストを前記セラミックグリーンシートの一方面に印刷する工程と、
前記導電ペーストが印刷されたセラミックグリーンシートを乾燥する工程と、
前記導電ペーストの乾燥後に、導電ペーストが乾燥することにより得られた電極パターンの膜厚を測定する工程と、
前記膜厚の測定値に基づき、該膜厚測定値が所定の膜厚範囲外にある場合、予め求められた導電ペーストの粘度と温度との関係に基づき、膜厚測定値が所定の膜厚範囲内となるように導電ペーストの温度を調整する工程とを備え、前記導電ペーストを前記セラミックグリーンシートに転写により印刷するに際し、印刷版としてグラビア印刷ロールを用い、前記導電ペースト貯留槽の温度を調整し、温度調整された前記導電ペーストをグラビア印刷ロールに付着させることを特徴とする、電子部品の製造方法。 - 前記導電ペーストの粘度を測定する工程をさらに備え、前記導電ペーストの粘度測定値及び前記導電ペーストが乾燥されて形成された電極パターンの測定膜厚の双方に基づき、前記導電ペーストの温度を調整する、請求項5に記載の電子部品の製造方法。
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