JP5207793B2 - 圧電センサ - Google Patents
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Description
が正であり、かつ前記圧電磁器は、組成式Bi 4 Ti 3 O 12 ・xM1TiO 3 と表したとき、M1がSr、BaおよびCaのうち少なくとも1種であるとともに、0.30≦x≦0.95である成分100質量部に対して、CrをCr 2 O 3 換算で4〜20質量部含有することを特徴とする。
表したとき、M2がNb、YbおよびCoのうち少なくとも1種であるとともに、0.95≦a≦1.05、0.05≦b≦0.3、0.4≦c≦0.5、である成分100質量部に対して、MnをMnO 2 換算で3〜8質量部含有することを特徴とする。
表したとき、M2がNb、YbおよびCoのうち少なくとも1種であるとともに、0.95≦a≦1.05、0.05≦b≦0.3、0.4≦c≦0.5、である成分100質量部に対して、CrをCr 2 O 3 換算で4〜15質量部含有することを特徴とする。
d 33 (150℃)が25℃における圧電定数d 33 (25℃)より高く、荷重を50Hzの周波数で印加したときの出力電化を荷重の変化量で除した値である動的圧電定数d 33 の温度特性が正であり、かつ前記圧電磁器は、組成式Pb a M2 b Ti c Zr (1−b−c)
O 3 と表したとき、M2がNb、YbおよびCoのうち少なくとも1種であるとともに、0.95≦a≦1.05、0.05≦b≦0.3、0.4≦c≦0.5、である成分100質量部に対して、MnをMnO 2 換算で3〜8質量部含有することにより、10Hz以下の振動を検知する場合に、25℃における動的圧電定数d 33 と150℃における動的圧電定数d 33 の差が少なくなり、圧力測定の精度を高くできるとともに、より高温まで使用可能な圧電センサとなる。
O 3 と表したとき、M2がNb、YbおよびCoのうち少なくとも1種であるとともに、0.95≦a≦1.05、0.05≦b≦0.3、0.4≦c≦0.5、である成分100質量部に対して、CrをCr 2 O 3 換算で4〜15質量部含有することにより、10Hz以下の振動を検知する場合に、25℃における動的圧電定数d 33 と150℃における動的圧電定数d 33 の差が少なくなり、圧力測定の精度を高くできるとともに、より高温まで使用可能な圧電センサとなる。
2、3・・・集電電極
4・・・分極方向
5・・・圧電センサ
Claims (5)
- 圧電磁器からなる基体の対向する一対の表面に集電電極を備える圧電センサであって、前記圧電磁器は、150℃における体積固有抵抗R(150℃)が25℃における体積固有抵抗R(25℃)より低く、150℃における圧電定数d33(150℃)が25℃における圧電定数d33(25℃)より高く、荷重を50Hzの周波数で印加したときの出力電化を荷重の変化量で除した値である動的圧電定数d33の温度特性が正であり、かつ前記圧電磁器は、組成式Bi 4 Ti 3 O 12 ・xM1TiO 3 と表したとき、M1がSr、BaおよびCaのうち少なくとも1種であるとともに、0.30≦x≦0.95である成分100質量部に対して、MnをMnO 2 換算で3〜8質量部含有することを特徴とする圧電センサ。
- 圧電磁器からなる基体の対向する一対の表面に集電電極を備える圧電センサであって、前記圧電磁器は、150℃における体積固有抵抗R(150℃)が25℃における体積固有抵抗R(25℃)より低く、150℃における圧電定数d 33 (150℃)が25℃における圧電定数d 33 (25℃)より高く、荷重を50Hzの周波数で印加したときの出力電化を荷重の変化量で除した値である動的圧電定数d 33 の温度特性が正であり、かつ前記圧電磁器は、組成式Bi4Ti3O12・xM1TiO3と表したとき、M1がSr、BaおよびCaのうち少なくとも1種であるとともに、0.30≦x≦0.95である成分100質量部に対して、CrをCr2O3換算で4〜20質量部含有することを特徴とする圧電センサ。
- 圧電磁器からなる基体の対向する一対の表面に集電電極を備える圧電センサであって、前記圧電磁器は、150℃における体積固有抵抗R(150℃)が25℃における体積固有抵抗R(25℃)より低く、150℃における圧電定数d 33 (150℃)が25℃における圧電定数d 33 (25℃)より高く、荷重を50Hzの周波数で印加したときの出力電化を荷重の変化量で除した値である動的圧電定数d 33 の温度特性が正であり、かつ前記圧電磁器は、組成式Pb a M2 b Ti c Zr (1−b−c) O 3 と表したとき、M2がNb
、YbおよびCoのうち少なくとも1種であるとともに、0.95≦a≦1.05、0.05≦b≦0.3、0.4≦c≦0.5、である成分100質量部に対して、MnをMnO 2 換算で3〜8質量部含有することを特徴とする圧電センサ。 - 圧電磁器からなる基体の対向する一対の表面に集電電極を備える圧電センサであって、前記圧電磁器は、150℃における体積固有抵抗R(150℃)が25℃における体積固有抵抗R(25℃)より低く、150℃における圧電定数d 33 (150℃)が25℃にお
ける圧電定数d 33 (25℃)より高く、荷重を50Hzの周波数で印加したときの出力電化を荷重の変化量で除した値である動的圧電定数d 33 の温度特性が正であり、かつ前記圧電磁器が、組成式PbaM2bTicZr(1−b−c)O3と表したとき、M2がNb
、YbおよびCoのうち少なくとも1種であるとともに、0.95≦a≦1.05、0.05≦b≦0.3、0.4≦c≦0.5、である成分100質量部に対して、CrをCr2O3換算で4〜15質量部含有することを特徴とする圧電センサ。 - 前記圧電磁器は、25℃における体積固有抵抗R(25℃)に対する150℃における体積固有抵抗R(150℃)の比R(150℃)/R(25℃)が0.001〜0.4であるとともに、25℃における圧電定数d33(25℃)に対する150℃における圧電定数d33(150℃)の比d33(150℃)/d33(25℃)が1.1以上であることを特徴とする請求項1乃至4記載の圧電センサ。
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JP2008080826A JP5207793B2 (ja) | 2008-03-26 | 2008-03-26 | 圧電センサ |
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JP2008080826A JP5207793B2 (ja) | 2008-03-26 | 2008-03-26 | 圧電センサ |
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