JPH03259577A - 圧電ワイヤ - Google Patents
圧電ワイヤInfo
- Publication number
- JPH03259577A JPH03259577A JP2058354A JP5835490A JPH03259577A JP H03259577 A JPH03259577 A JP H03259577A JP 2058354 A JP2058354 A JP 2058354A JP 5835490 A JP5835490 A JP 5835490A JP H03259577 A JPH03259577 A JP H03259577A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- wire
- fine powder
- conductor
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 33
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims abstract description 30
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 29
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 27
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 12
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 11
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 11
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 claims description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 8
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 16
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 9
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 9
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 8
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 7
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 5
- 229920002981 polyvinylidene fluoride Polymers 0.000 description 5
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 4
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 3
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 3
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 2
- -1 polyethylene Polymers 0.000 description 2
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 description 2
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N Vinyl chloride Chemical compound ClC=C BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005253 cladding Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N dioxido(oxo)titanium;lead(2+) Chemical compound [Pb+2].[O-][Ti]([O-])=O NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 239000005060 rubber Substances 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
この発明は、荷重や長さ方向の張力を検出する圧力セン
サ、音圧や振動を検出する音圧センサなどとして使用さ
れる圧電ワイヤに係わり、高圧電定数が得られ、極細化
が可能なものに関する。
サ、音圧や振動を検出する音圧センサなどとして使用さ
れる圧電ワイヤに係わり、高圧電定数が得られ、極細化
が可能なものに関する。
「従来の技術」
従来、この種の圧電ワイヤとしては、銅線などの導体上
に、PVDF樹脂などの圧電性高分子材料層を形成し、
この圧電性高分子材料層上に、外部電極となる金属層を
設けた構成のものが知られている。この圧電ワイヤは、
荷重、長さ方向の張力、音圧や振動が加えられると、導
体と金属層との間に電位差を生じるので、この電位差を
検出してワイヤに加えられる圧力や振動の有無を測定す
るセンサなどとして用いられる。
に、PVDF樹脂などの圧電性高分子材料層を形成し、
この圧電性高分子材料層上に、外部電極となる金属層を
設けた構成のものが知られている。この圧電ワイヤは、
荷重、長さ方向の張力、音圧や振動が加えられると、導
体と金属層との間に電位差を生じるので、この電位差を
検出してワイヤに加えられる圧力や振動の有無を測定す
るセンサなどとして用いられる。
このような従来の圧電ワイヤは、圧電性を有する高分子
を導体上に押出し成形により被覆する方法、圧電性を有
する高分子フィルムをワイヤに巻きつける方法などによ
って製造されている。
を導体上に押出し成形により被覆する方法、圧電性を有
する高分子フィルムをワイヤに巻きつける方法などによ
って製造されている。
「発明が解決しようとする課題」
しかしながら、圧電性を有する高分子を導体上に押出し
成形により被覆する場合には、圧電性高分子を高度な配
向状態とするための配向処理が困難であるために、圧電
定数の大きな圧電ワイヤが得られない問題があった。
成形により被覆する場合には、圧電性高分子を高度な配
向状態とするための配向処理が困難であるために、圧電
定数の大きな圧電ワイヤが得られない問題があった。
また導体上に圧電性を有する高分子フィルムを巻き付け
る場合には、製造が面倒であるとともに、圧電体部分が
太くなって細径のワイヤが得られないなどの問題があっ
た。
る場合には、製造が面倒であるとともに、圧電体部分が
太くなって細径のワイヤが得られないなどの問題があっ
た。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、高い圧電
定数が得られ、極細化が可能な圧電ワイヤの提供を目的
としている。
定数が得られ、極細化が可能な圧電ワイヤの提供を目的
としている。
「課題を解決するための手段」
かかる課題は、導体上に、粒径10μ自以下の圧電セラ
ミックス微粉末75〜95wt%と高分子材料5〜25
vt%を混合した圧電材料からなる圧電体層を形成し、
この圧電体層上に金属層を形成して圧電ワイヤを構成す
ることで解決される。
ミックス微粉末75〜95wt%と高分子材料5〜25
vt%を混合した圧電材料からなる圧電体層を形成し、
この圧電体層上に金属層を形成して圧電ワイヤを構成す
ることで解決される。
「作用 上
圧電セラミックス微粉末と高分子を混合した圧電材料を
用いたので、3011C/@”以上の高い圧電定数を有
するワイヤが得られる。
用いたので、3011C/@”以上の高い圧電定数を有
するワイヤが得られる。
また粒径が10μm以下の圧電セラミックス微粉末75
〜95wL%と高分子材料5〜25wt%を混合した圧
電材料を用いたので、可撓性の良好なワイヤが得られる
。
〜95wL%と高分子材料5〜25wt%を混合した圧
電材料を用いたので、可撓性の良好なワイヤが得られる
。
さらにこの圧電材料は、導体上に薄く成膜することがで
きるので、極細径のワイヤが得られる。
きるので、極細径のワイヤが得られる。
以下、この発明の詳細な説明する。
第1図は、この発明の圧電ワイヤを例示するものであっ
て、この図中符号lは圧電ワイヤである。
て、この図中符号lは圧電ワイヤである。
この圧電ワイヤlは、導体2上に、圧電セラミックス微
粉末と高分子材料を混合した圧電材料からなる圧電体層
3を形成し、この圧電体層3上に金属層4を形成して構
成されている。
粉末と高分子材料を混合した圧電材料からなる圧電体層
3を形成し、この圧電体層3上に金属層4を形成して構
成されている。
上記圧電材料は、粒径10μm以下の圧電セラミックス
微粉末75〜95智t%と高分子材料5〜25wt%と
を混合したものが用いられている。
微粉末75〜95智t%と高分子材料5〜25wt%と
を混合したものが用いられている。
この圧電セラミックスとしては、チタン酸ジルコン酸鉛
(PZT)、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、ニオブ酸
鉛などの高い圧電定数を有する圧電セラミックス材料が
使用され、特にPZTが好適である。
(PZT)、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、ニオブ酸
鉛などの高い圧電定数を有する圧電セラミックス材料が
使用され、特にPZTが好適である。
また圧電セラミックスに混合される高分子は、圧電セラ
ミックス微粉末の成形性の付与を目的として混合される
ものであって、高分子材料自体の圧電性は特に必要では
ないが、圧電セラミックス微粉末と混合した際に、得ら
れる圧電材料の可撓性が良好となるような材料を用いる
ことが望ましい。従って高分子材料としては、PVDP
樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン、塩化ビニル樹脂
、ポリエステル樹脂、ゴムなどの多くの材料が使用可能
である。
ミックス微粉末の成形性の付与を目的として混合される
ものであって、高分子材料自体の圧電性は特に必要では
ないが、圧電セラミックス微粉末と混合した際に、得ら
れる圧電材料の可撓性が良好となるような材料を用いる
ことが望ましい。従って高分子材料としては、PVDP
樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン、塩化ビニル樹脂
、ポリエステル樹脂、ゴムなどの多くの材料が使用可能
である。
圧電セラミックス微粉末と高分子との混合比率は、圧電
セラミックス微粉末が75〜95wt%、高分子が5〜
25vL%とされる。圧電セラミックス微粉末の量が7
5wt%未満であると、得られる圧電材料の圧電性が良
好に得られなくなる。また圧電セラミックス微粉末の量
が95wt%以上であると材料が脆くなり、得られる圧
電ワイヤの可撓性が損なわれることになる。
セラミックス微粉末が75〜95wt%、高分子が5〜
25vL%とされる。圧電セラミックス微粉末の量が7
5wt%未満であると、得られる圧電材料の圧電性が良
好に得られなくなる。また圧電セラミックス微粉末の量
が95wt%以上であると材料が脆くなり、得られる圧
電ワイヤの可撓性が損なわれることになる。
また圧電セラミックスは粒径がlOμ餉以下の微粉末が
用いられる。粒径が10μ園以上であると高分子と混合
した場合の分散性が悪くなり、圧電材料の可撓性や成形
性か悪化してしまう。
用いられる。粒径が10μ園以上であると高分子と混合
した場合の分散性が悪くなり、圧電材料の可撓性や成形
性か悪化してしまう。
導体2上に形成する圧電体層3の厚さは特に限定されず
、導体2が1〜数問φの導線であれば、通常は10μm
l〜200μm程度の厚さに形成するのが望ましい。
、導体2が1〜数問φの導線であれば、通常は10μm
l〜200μm程度の厚さに形成するのが望ましい。
上記導体2としては、断面円形の銅線の他、テープ状導
体、断面角状導体などの各種の導体が使用可能である。
体、断面角状導体などの各種の導体が使用可能である。
圧電体層3上に形成される金属層4は、無電解めっき法
、蒸着法、クラッド法などの各種の方法によって形成す
ることが可能であり、無電解めっき法ではニッケルや銅
などが用いられ、蒸着法では銀やアルミニウムなどが用
いられる。
、蒸着法、クラッド法などの各種の方法によって形成す
ることが可能であり、無電解めっき法ではニッケルや銅
などが用いられ、蒸着法では銀やアルミニウムなどが用
いられる。
この圧電ワイヤlを製造するには、まず、粒径lOμ調
以下の圧電セラミックス微粉末と高分子とを所定の比率
で混合し、これらを溶媒中に分散させておく。次にこの
中に導体2を浸漬し、加熱して溶媒を揮発させ、導体2
表面に圧電材料(圧電セラミックス微粉末と高分子との
混合物)を付着させて圧電体H3を形成する。次に無電
解めっき法や蒸着法などを用いて圧電体層3上に金属層
4を形成し、圧電ワイヤlを得る。
以下の圧電セラミックス微粉末と高分子とを所定の比率
で混合し、これらを溶媒中に分散させておく。次にこの
中に導体2を浸漬し、加熱して溶媒を揮発させ、導体2
表面に圧電材料(圧電セラミックス微粉末と高分子との
混合物)を付着させて圧電体H3を形成する。次に無電
解めっき法や蒸着法などを用いて圧電体層3上に金属層
4を形成し、圧電ワイヤlを得る。
なお、この圧電ワイヤIは、金属層4を露出させたまま
の状態で使用される他、金属層4の外側に合成樹脂の被
覆を形成して使用することも可能である。
の状態で使用される他、金属層4の外側に合成樹脂の被
覆を形成して使用することも可能である。
この圧電ワイヤは、高い圧電定数を有する圧電セラミッ
クス微粉末と高分子を混合した圧電材料を用いたので、
圧電定数の高いワイヤが得られる。
クス微粉末と高分子を混合した圧電材料を用いたので、
圧電定数の高いワイヤが得られる。
また粒径10μm以下の圧電セラミックス微粉末75〜
95vt%と高分子材料5〜25vt%を混合した可撓
性に富む圧電材料を用いたので、可撓性の良好なワイヤ
が得られる。
95vt%と高分子材料5〜25vt%を混合した可撓
性に富む圧電材料を用いたので、可撓性の良好なワイヤ
が得られる。
さらにこの圧電体層3は、導体上に薄く形成することが
可能なので、極細径のワイヤを製造することができる。
可能なので、極細径のワイヤを製造することができる。
また圧電セラミックス微粉末と高分子を混合した圧電材
料を用いたので、圧電セラミックス微粉末と高分子を溶
媒に分散させ、この中に導体を浸漬して溶媒を揮発させ
ることによって導体上に圧電体層を形成でき、製造が容
易である。
料を用いたので、圧電セラミックス微粉末と高分子を溶
媒に分散させ、この中に導体を浸漬して溶媒を揮発させ
ることによって導体上に圧電体層を形成でき、製造が容
易である。
以下、実施例によって本発明の効果を明確化する。
(実施例り
平均粒径5μ鳳のPZT微粉末とPVDF樹脂を重量比
80:20になるように溶媒(D M F )中に分散
させ、この中に1.0LIIIlφの銅線を浸漬し、こ
の後1000程度でDMFを揮発させて銅線の表面に圧
電体層を形成し、1 、1 ll1mφのワイヤを得た
。この圧電体層上に無電解めっき法によりニッケル層を
形成した。得られたワイヤの銅線と外部のニッケル層の
間に高電圧を印加してPZTの分極方向を揃え、圧電ワ
イヤを得た。
80:20になるように溶媒(D M F )中に分散
させ、この中に1.0LIIIlφの銅線を浸漬し、こ
の後1000程度でDMFを揮発させて銅線の表面に圧
電体層を形成し、1 、1 ll1mφのワイヤを得た
。この圧電体層上に無電解めっき法によりニッケル層を
形成した。得られたワイヤの銅線と外部のニッケル層の
間に高電圧を印加してPZTの分極方向を揃え、圧電ワ
イヤを得た。
(実施例2)
PZT微粉末とpVDF樹脂の重量比を90=lOとし
た以外は実施例1と同様にして圧電ワイヤを作製した。
た以外は実施例1と同様にして圧電ワイヤを作製した。
(比較例1)
PZT微粉末とPVDF’樹脂の重量比を70:30と
した以外は実施例1と同様にして圧電ワイヤを作製した
。
した以外は実施例1と同様にして圧電ワイヤを作製した
。
(比較例2)
PZT微粉末とPVDP樹脂の重量比を98:2とした
以外は実施例1と同様にして圧電ワイヤを作製した。
以外は実施例1と同様にして圧電ワイヤを作製した。
(比較例3)
1、Ossφの銅線上に押出し成形によりPVDF樹脂
を被覆して1.5mmφのワイヤを得た。この被覆上に
無電解めっき法によりニッケル層を形成した。得られた
ワイヤの銅線とニッケル層の間に高電圧を印加してPV
DP樹脂の分極方向を揃え、圧電ワイヤを得た。
を被覆して1.5mmφのワイヤを得た。この被覆上に
無電解めっき法によりニッケル層を形成した。得られた
ワイヤの銅線とニッケル層の間に高電圧を印加してPV
DP樹脂の分極方向を揃え、圧電ワイヤを得た。
以上の実施例1.2および比較例1〜3の圧電ワイヤに
ついて、圧電定数eおよび可撓性の評価を行った。
ついて、圧電定数eおよび可撓性の評価を行った。
圧電定数e (mc/ m”)の測定は、第2図に示す
ように、各圧電ワイヤの一方の端部Aを固定し、他端側
にllOHzの振動(圧電ワイヤの長さ方向の振動)を
加え、銅線(導体2)とニッケル層(金属層3)間の電
荷を測定する系で行ない、この発生電荷量を π(a+
b/2 )” Qで除したものを、圧電定数g(mc/
−″)とした。(ただし、2a:導体径、2b、圧電層
外径、Q;試料長である)また可撓性は、仕上り径の3
倍径の棒に、各圧電ワイヤを参き付けたときの割れ発生
などの不良発生個数を調べた。
ように、各圧電ワイヤの一方の端部Aを固定し、他端側
にllOHzの振動(圧電ワイヤの長さ方向の振動)を
加え、銅線(導体2)とニッケル層(金属層3)間の電
荷を測定する系で行ない、この発生電荷量を π(a+
b/2 )” Qで除したものを、圧電定数g(mc/
−″)とした。(ただし、2a:導体径、2b、圧電層
外径、Q;試料長である)また可撓性は、仕上り径の3
倍径の棒に、各圧電ワイヤを参き付けたときの割れ発生
などの不良発生個数を調べた。
この結果を表1に示した。
表 l
「発明の効果」
以上説明したように、この発明の圧電ワイヤは次のよう
な効果を奏する。
な効果を奏する。
高い圧電定数を有する圧電セラミックス微粉末と高分子
を混合した圧電材料を用いたので、圧電定数の高いワイ
ヤが得られる。
を混合した圧電材料を用いたので、圧電定数の高いワイ
ヤが得られる。
また粒径10μm以下の圧電セラミックス微粉末75〜
95wt%と高分子材料5〜25wt%を混合した可撓
性に富む圧電材料を用いたので、可撓性の良好なワイヤ
が得られる。
95wt%と高分子材料5〜25wt%を混合した可撓
性に富む圧電材料を用いたので、可撓性の良好なワイヤ
が得られる。
さらにこの圧電体層は、導体上に薄く形成することが可
能なので、極細径のワイヤを製造することができる。
能なので、極細径のワイヤを製造することができる。
また圧電セラミックス微粉末と高分子を混合した圧電材
料を用いたので、圧電セラミックス微粉末と高分子を溶
媒に分散させ、この中に導体を浸漬して溶媒を揮発させ
ることによって導体上に圧電体層を形成でき、製造が容
易である。
料を用いたので、圧電セラミックス微粉末と高分子を溶
媒に分散させ、この中に導体を浸漬して溶媒を揮発させ
ることによって導体上に圧電体層を形成でき、製造が容
易である。
第1図はこの発明の圧電ワイヤの1例を示す断面図、
第2図はこの発明の詳細な説明するためのものであって
、圧電ワイヤによる圧力検出系を示す概略構成図である
。
第2図はこの発明の詳細な説明するためのものであって
、圧電ワイヤによる圧力検出系を示す概略構成図である
。
Claims (1)
- 導体上に、粒径10μm以下の圧電セラミックス微粉
末75〜95wt%と高分子材料5〜25wt%を混合
した圧電材料からなる圧電体層が形成され、該圧電体層
上に金属層が形成されてなり、30mC/m^2以上の
圧電定数を有する圧電ワイヤ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2058354A JPH03259577A (ja) | 1990-03-09 | 1990-03-09 | 圧電ワイヤ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2058354A JPH03259577A (ja) | 1990-03-09 | 1990-03-09 | 圧電ワイヤ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03259577A true JPH03259577A (ja) | 1991-11-19 |
Family
ID=13081987
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2058354A Pending JPH03259577A (ja) | 1990-03-09 | 1990-03-09 | 圧電ワイヤ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03259577A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009236577A (ja) * | 2008-03-26 | 2009-10-15 | Kyocera Corp | 圧電センサ |
-
1990
- 1990-03-09 JP JP2058354A patent/JPH03259577A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009236577A (ja) * | 2008-03-26 | 2009-10-15 | Kyocera Corp | 圧電センサ |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8877085B2 (en) | Piezoelectric and/or pyroelectric composite solid material, method for obtaining same and use of such a material | |
KR101694579B1 (ko) | 고분자 복합 압전체 및 그 제조 방법 | |
US5951908A (en) | Piezoelectrics and related devices from ceramics dispersed in polymers | |
US9390857B2 (en) | Film capacitor | |
US7989530B2 (en) | Nonlinear polymer composites and methods of making the same | |
JP6018108B2 (ja) | 高分子複合圧電体 | |
US20130026411A1 (en) | Piezoelectric polymer film element, in particular polymer foil, and process for the production thereof | |
KR101285415B1 (ko) | 압전 복합 소재 | |
US20090309259A1 (en) | High temperature polymer composites comprising antiferroelectric particles and methods of making the same | |
JP2019530988A (ja) | 圧電性高分子領域を含むフィルム | |
JP2777976B2 (ja) | 圧電セラミックス−高分子複合材料及びその製造方法 | |
Tolvanen et al. | Piezoelectric flexible LCP–PZT composites for sensor applications at elevated temperatures | |
US20040219351A1 (en) | Component having vibration-damping properties, mixture for manufacturing the component, and method of manufacturing such a component | |
JPH03259577A (ja) | 圧電ワイヤ | |
JP2009103484A (ja) | 圧電組成物感圧体を用いた圧電素子 | |
US20020130589A1 (en) | Piezoelectric vibrator, piezoelectric vibration apparatus for using the same and manufacturing method therefor | |
JPH0750437A (ja) | 複合圧電体 | |
JPS648476B2 (ja) | ||
WO2018181261A1 (ja) | 圧電素子 | |
JPH03254011A (ja) | 高分子複合誘電体 | |
TWI830926B (zh) | 石墨烯-聚偏二氟乙烯之電響應結構及其製作方法 | |
JP2001099723A5 (ja) | ||
JPH01112786A (ja) | 複合圧電体膜の製造方法 | |
JPH0342488B2 (ja) | ||
JP2001085757A (ja) | 可撓性圧電素子およびその製造方法 |