JP5205910B2 - トリクロロシラン製造装置 - Google Patents
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Description
4SiHCl3 → Si+3SiCl4+2H2 ・・・(2)
SiCl4+H2 → SiHCl3+HCl ・・・(3)
このトリクロロシランを製造する装置として、例えば特許文献1には、発熱体に囲まれた反応室が、同心配置の2つの管によって形成された外室と内室をもった二重室設計とされ、この反応室の下部に設けられた熱交換器を介して反応室に下方から水素とテトラクロロシランとの供給ガスを供給すると共に反応室の下方から反応生成ガスを排出する反応器が提案されている。この反応器では、上記熱交換器において、反応室に供給される供給ガスが、反応室から排出される反応生成ガスから熱を伝達されて予熱されると共に、排出される反応生成ガスの冷却が行われるようになっている。
Claims (7)
- テトラクロロシランと水素とを含む供給ガスが内部に供給されてトリクロロシランと塩化水素とを含む反応生成ガスが生成される反応容器と、
前記反応容器の内部を加熱する加熱機構と、
前記反応容器及び前記加熱機構を収納する収納容器と、
前記反応容器内に前記供給ガスを供給するガス供給内筒と、
前記ガス供給内筒の外側にほぼ同軸で配され前記ガス供給内筒の外周面と自己の内周面との間に前記反応生成ガスの排気流路が形成されたガス排気外筒と、
前記ガス排気外筒を内側で支持し内部に冷媒を流通させる冷媒路が形成された冷却筒とを備えていることを特徴とするトリクロロシラン製造装置。 - 請求項1に記載のトリクロロシラン製造装置において、
前記収納容器内にアルゴンを供給するアルゴン供給機構を備えていることを特徴とするトリクロロシラン製造装置。 - 請求項1又は2に記載のトリクロロシラン製造装置において、
前記反応容器の内部には、ほぼ同心配置された内径の異なる複数の反応筒壁によって仕切られた複数の小空間を、これら反応筒壁の下部と上部とに交互に形成した流通用貫通部によって内側から順に連通状態としてなる反応流路が形成され、
該反応流路に前記ガス供給内筒及びガス排気外筒が接続されていることを特徴とするトリクロロシラン製造装置。 - 請求項3に記載のトリクロロシラン製造装置において、
前記複数の小空間のうち最も内側の小空間に前記ガス供給内筒が連通されていると共に、最も外側の小空間に前記排気流路が接続されていることを特徴とするトリクロロシラン製造装置。 - 請求項1から4のいずれか一項に記載のトリクロロシラン製造装置において、
前記ガス供給内筒及び前記ガス排気外筒は、前記反応容器の上方に配置されるとともに、
前記反応容器の底板の中央部が、前記収納容器内に上向きに突出する支持柱部材によって下方から支持されていることを特徴とするトリクロロシラン製造装置。 - 請求項1から5のいずれか一項に記載のトリクロロシラン製造装置において、
前記反応容器を構成する部材が、カーボンで形成されていることを特徴とするトリクロロシラン製造装置。 - 請求項6に記載のトリクロロシラン製造装置において、
前記カーボンの表面が、炭化珪素でコーティングされていることを特徴とするトリクロロシラン製造装置。
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