DE3024320A1 - Vorrichtung zur hochtemperaturbehandlung von gasen - Google Patents
Vorrichtung zur hochtemperaturbehandlung von gasenInfo
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Description
O U L H O L U
WACKER-CHEMITRONIC . „2,- München, den 4.12.1981
,-·,·. ^ *4. *·· ~ LC-PAT/Dr.F/we
Gesellschaft fur ' '
Elektronik-Grundstoffe mbH
Wa-Ch 8002
' Vorrichtung zur Hochtemperaturbehandlung von Gasen
Bei der klassischen Herstellung von Trichlorsilan aus Rohsilicium und Chlorwasserstoff fällt in großen Mengen Siliciuratetrachlorid
mit an, welches für die Herstellung hochreinen Siliciums durch Reduktion mit Wasserstoff wenig geeignet ist. Wird für diese Reduktion
- wie allgemein üblich - Trichlorsilan eingesetzt, so verläuft auch hier die Reaktion keineswegs quantitativ, vielmehr wird ein
großer Teil des Trichlorsilans zu Sxliciumtetrachlorid umgesetzt,
etwa gemäß folgendem Pormelschema: 3 SiHCl + H ^. Si + SiHCl +
3 2 3
SiCl, + 2 HCl + H . Demnach wird etwa ein Drittel des eingesetzten
Trichlorsilans zu Sxliciumtetrachlorid umgewandelt (vgl. US-Patentschrift 3 933 985). Nach einer Reihe von Verfahren wird mit unterschiedlichem
Erfolg das anfallende Siliciuratetrachlorid bei Temperaturen oberhalb 900
chlorsilan umgesetzt.
chlorsilan umgesetzt.
raturen oberhalb 900 C mit Wasserstoff unter der Bildung von Tri-
Der Erfindung lag die Aufgabe zugrunde, eine optimale Vorrichtung
für derartige bei hohen Temperaturen ablaufende Gasumsetzungen bereitzustellen.
Gelöst wird diese Aufgabe durch eine Vorrichtung, bestehend aus einem wärmeisolierten Gehäuse mit Gaseinlaß- und Gasauslaßöffnungen
sowie zwischen diesen Öffnungen angeordneten durch direkten Stromdurchgang beheizten inerten Widerstandsheizern.
Diese Widerstandsheizer begrenzen oder besetzen mit ihren durch elektrischen Stromdurchgang auf Temperatur gebrachten Flächen Räume,
welche von den aufzuheizenden Gasen durchströmt werden. Durch die geometrische Anordnung dieser beispielsweise rohr-, stab-, blockodor
lamellenförmig ausgebildeten Widerstandsheizer im Gehäuse
ORIGINAL INSPECTED
wird gewährleistet, daß die Gesamtgasraenge im Gehäuse die gewünschte
Temperatur erreicht bevor sie ggjf. nach einer Reaktion und nach
dem Passieren einer vorzugsweise ebenfalls im Gehäuse eingepaßten Wärmeaustauschereinheit beim Gasabiaß wieder aus dem wärraeisolierten
Gehäuse austritt.
Bei der Erhitzung oder Umsetzung von Gasen oder Gasgemischen, die nicht mit Kohlenstoff reagieren, eignet sich dieses Material, insbesondere
Graphit, besonders gut für die Herstellung der Widerstandsheizer..
Handelt es sich dabei nicht um Stäbe oder Blöcke, so lassen sie sich besonders leicht aus Graphitfolien herstellen, die
nach Auskunft der Hersteller beispielsweise aus reinem, gut geordnetem Graphit gefertigt werden können., wobei durch chemische und
thermische Behandlung die Abstände eier Schichtebenen, im Kristallgitter
des Graphits auf ein Vielfaches des normalen Wertes von 3,35 A aufgeweitet werden. Das resultierende leichte Schüttgewicht
aus wurmförmigen Einzelteilen wird anschließend auf Kalandern oder
Pressen zum Endprodukt verdichtet, wobei die Schichten des Graphitgitters und die Einzelteilchen des Schüttgutes allein durch Anwendung
mechanischen Druckes wieder fes"fc miteinander verbunden werden.
Derartige Graphitfolien, die in unterschiedlichsten Wandstärken erhältlich sind, lassen sich außerordentlich leicht verarbeiten und
sind zudem billig. Sie können mit einfachen Haushaltsscheren geschnitten,
durch Zusammenbiegen in die gewünschte Form gebracht und mit handelsüblichen Kohleklebern verklebt werden. Als Kohlekleber
werden dabei bevorzugt Klebstoffe eiegesetzt, bei welchen bei den hohen Anwendungstemperaturen lediglich Kohlenstoff als fester Rückstand
verbleibt.
Die Widerstandsheizer lassen sich beispielsweise vorteilhaft als miteinander verbundene zwangsdurchströnte Rohre oder Zylinder ausführen,
die in einem elektrisch leitenden Sammeltopf mit Übergang zum Gasauslaß enden oder auch aus Stäben oder nichtzwangsdurchströmten
Rohren, welche über einen ßraphitring miteinander verbunden und innerhalb und/oder außerhalb eines oder mehrerer Graphitzylinder
angeordnet sind, durch welche die Energieübertragung auf-
ORIGINAL INSPECTED
Ururid von Wärmestrahlung optimal genutzt wird. Die Ableitung der
Gase erfolgt bei letzterer Ausführungsform beispielsweise über ein im Zentrum angeordnetes Graphitrohr, welches am oberen Ende trichterförmig
aufgeweitet die gesamte Aufheizanordnung abdeckt und am unteren Ende der Gaszufuhr ins Rohrinnere zugänglich ist.
Die Aufheizung der elektrisch leitenden Widerstandskörper erfolgt vorzugsweise durch Sternschaltung in einem symmetrischen Mehrphasenwechsel
stromsystem, wobei bei den voranbeschriebenen beispielshaften Ausführungsformen der Sammeltopf oder der die Heizelemente verbindende
Ring den Mittelpunkt dieser Sternschaltung bildet. Aufgrund dieser bevorzugten Schaltung entfallen im Inneren der Anlage elektrische
Isolierteile, worin ein besonderer Vorteil zu sehen ist, da Isolatoren bei derartig hohen Temperaturen schwer zu finden sind,
Insbesondere solche, die nicht zu einer Verunreinigung der im Rezipienten
zu behandelnden Gase führen.
Ein weiterer Vorteil dieser Schaltung ist darin zu sehen, daß sich
beliebig .viele Widerstandsheizer bei der erstgenannten Ausführungsform in einem Sammeltopf enden lassen, da sich bekanntlich für verschiedene
in Stern geschaltete Mehrphasensysteme der selbe Mittelpunkt verwenden läßt. Die vorteilhaft Folge ist, daß sich einzelne
Heizergruppen unterschiedlich zueinander regeln lassen, also unterschiedlich durch elektrischen Stromdurchgang beheizen lassen. Dies
ist deshalb von Vorteil, da allgemein die an der Peripherie im Rezipienten angeordneten elektrisch leitenden Widerstandskörper
naturgemäß mehr Energie abstrahlen als die im Zentrum angeordneten, die von umstehend angeordneten Widerstandsheizern selbst angestrahlt
werden.
Aber auch bei der zweiten, beispielhaft beschriebenen Ausführungsart wird auf die Sternschaltung der als Rohre oder Stäbe angeordnete
Widerstandsheizer nicht verzichtet, da eine etwaige Berührung durch Versatz oder ähnliches zwischen Heizerende und Gehäusewand
keinen Kurzschluß zur Folge hätte. Grundsätzlich .sind allerdings auch beispielsweise paarweise verknüpfte elektrisch- beheizte Widerstandsheizer
einsetzbar, welche mit Einphasen-Wechselstrom oder Gleichstrom betrieben werden, da ein direkter Kontakt der elektrisch
. ORIGINAL INSPECTED
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beaufschlagten Teile rait anderen Vorrichtungsbestandteilen im Inneren
dor Anlage nicht gegeben ist.
Die Außenwand des Gehäuses wird im Regelfall zweckmäßig aus einem
druckfesten Metallmantel aus beispielsweise Edelstahl gefertigt, wobei es je nach beabsichtigter Anwendung günstig sein kann, für
eine Kühlung, beispielsweise durch doppelwandig kühlmitteldurchflossene Ausführung, zu sorgen.
Der Recipient wird im Inneren zweckmäßig mit einer geeigneten Wärmeisolierung versehen, um Energieverluste möglichst zu minimieren. Als
Material eignen sich hierzu gegenüber den zu behandelnden Gasen inerte hitzbeständige Stoffe, wie beispielsweise Aluminiumoxidwolle
oder Graphitfilz. Diese Isolierung wird vorteilhaft nach innen mit einem Strahlungsblech oder Graphitfolie abgedeckt, wodurch sich aufgrund
des Strahlungsaustausches mit den Widerstandsheizern Energieverluste weitgehend ausschalten lassen und somit eine gleichmäßige
Temperaturführung der einzelnen Widerstandsheizer gewährleistet wird.
In Fällen, in denen Gase bei hohen Temperaturen zur Reaktion gebracht
werden sollen und die Reaktionsprodukte ebenfalls wieder gasförmig sind, die Reaktion also in der erfindungsgemäßen Vorrichtung selbst
ablaufen kann, wie im Falle der einleitend beschriebenen Tetrakonvertierung, empfiehlt es sich, die zur Reaktion und somit auf Temperatur
zu bringenden Gase oder Gasgemische durch die noch heißen Reaktionsgase in einem Wärmeaustauscher vorzuwärmen.
Nach einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird diese Wärmeaustaüschereinheit in die erfindungsgemäße Vorrichtung
integriert und vorteilhaft zwischen der Anordnung durch direkten Stromdurchgang beheizter, inerter Widerstandsheizer und der Gasablaßöffnung
eingepaßt.
Diese Wärmeaustauschereinheit kann beispielsweise aus einem Satz unbeheizter Graphitrohre, die als Gasableitung dienen, welche außen
im Gegenstromprinzip von Frischgas umströmt werden, bestehen oder auch aus einem oder mehreren Kreuzstrom-Wärmeaustauscherblöcken,
welche über ein Unzahl von Bohrungen für die abzuleitenden und frisch zuzuführenden Gase verfügen.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung ist natürlich nicht auf den Einsatz
bei der einleitend beschriebenen Tetrakonvertierung beschränkt, sondern prinzipiell für die Durchführung .von Hochtemperaturreaktionen
oa.s.förmifler Reaktanten geeignet oder kann auch lediglich zur Aufhetzung
von Gasen eingesetzt werden.
Ira nachfolgenden wird die Erfindung anhand schematischer Darstellungen
beispielhaft erläutert:
Figur 1 zeigt eine Vorrichtung mit zwangsdurchströmten rohrförmigen
Widerstandsheizern im Längsschnitt mit einem Schaltdiagramm
Figur 2 zeigt die Vorrichtung nach Figur 1 im Querschnitt (nach Linie A-A der Figur l)
Figur 3 zeigt die Vorrichtung nach der Figur 1 und 2 mit zusatzlieh
integrierter Wärmeaustauschereinheit
Kigur 4-zeigt eine Vorrichtung mit nicht zwangsdurchströmten Wider-.
standsheizern, die um ein zentrales Tauchrohr angeordnet ·
sind mit einer zusätzlich integrierten Wärmeaustauschereinheit
Figur 5 zeigt die Vorrichtung gemäß Figur 4 im Querschnitt (nach
Linie V-V der Figur 4).
In einem Gehäuse 1 aus beispielsweise Edelstahl, welches mit einer
Schicht 2 aus wärmeisolierendem Material wie beispielsweise Graphitfilz mit einer Innenabdeckung aus 'Graphitfolie 3 ausgekleidet ist,
befinden sich eine Anzahl von Graphitrohren 4, welche in einem Sammellopf
5 aus ebenfalls Graphit enden. Die Graphitrohre 4 sind nn ihrem
unteren Ende mit Einlaßöffnungen 6 versehen, während der Sammel~
topf 5 direkt in die Ablaßöffnung 7 übergeht. Hierdurch wird eine
Zwangsdurchströmung durch die bei der Einlaßöffnung 8 dem Reaktor
zugeführten Gase oder Gasgemische realisiert. Die Heizrohre 4 sind
am unteren Ende mit elektrischen Zuleitungen 9, welche durch gegenüber dem Gehäuse 1 isolierte Öffnungen 10 aus dem, Gehäuse 1 herausgeführt
virerden, versehen und in einem symmetrischen Mehrphasenwechselstrorasystem,
in diesem Fall in einem Dreiphasenwechselstromsystem
ORIRIWAI
* -V I· ft t·
(U, V, W) in Stern geschaltet, wobei der Sammeltopf 5 als Mittelpunkt
fungiert. Ein Rohr ist als Mittelpunkts- oder Nulleiter (MP) geschaltet, obwohl dies nicht zwingend erforderlich ist. Letzteres
bedingt keinen großen Aufwand und hat den Vorteil, daß selbst für den unwahrscheinlichen Fall, daß beispielsweise ein Rohr platzt oder
anderweitig defekt würde und somit die Symmetrie der Schaltung wegfallen würde, die Spannung trotzdem nicht am Sammeltopf anläge. Die
symmetrische Anordnung.der Heizrohre 4 der drei Phasen U, V und W
sowie die Mittelpunktserdung MP ist in der Figur 2, welche einen Querschnitt durch die Vorrichtung gemäß Figur 1, an der durch
die Hinweiszeichen A bezeichneten Stelle wiedergibt, besonders deutlich erkennbar.
In der Figur 3 befindet sich zusätzlich in dem gegenüber Figur 1 gestreckten
Gehäuse 1 eine Wärmeaustauschereinheit, bestehend aus
zwischen dem Sammeltopf 5 und der Ablaßöffnung 7 angeordneten Gasableitungen
aus unbeheizten Graphitrohren 11, welche in einem zweiten Sammeltopf 12 enden und außen von durch die Gaseinlaßöffnung 8
zugeführtem Frischgas umströmt werden.
In Figur 4 ist eine modifizierte Vorrichtung dargestellt, in welcher
eine Wärmeaustauschereinheit aus Graphitblöcken 13 eingepaßt ist, durch welche in waagrechter Richtung durch entsprechende Bohrungen
das bei 8 eintretende Frischgas strömt, dessen Durchlauf durch sämtliche Wärmeaustauscherblöcke durch Graphitsperren 14 zwischen den
Blöcken und der als Innenabdeckung der Isolierung 2 dienenden Graphitfolie 3 erzwungen wird. Dieses vorgewärmte Frischgas strömt durch
zwei ineinandergestellte Graphitzylinder 15 und 16, welche im unteren Teil respektive oberen Teil entsprechende Gasdurchlaßöffnungen
17 und l8 aufweisen. Innerhalb des inneren Graphitzylinders 16 sind innen nicht gasdurchströmte Heizrohre oder -stäbe 19 aus Graphit angeordnet,
welche über einen Graphitring 20 elektrisch miteinander verbunden sind. Die elektrischen Zuleitungen 9 für die einzelnen
Phasen U, V und W sowie den Nulleiter MP werden durch entsprechend isolierte Öffnungen 10 aus dem Gehäuse herausgeführt. Die Schaltung
der einzelnen Stäbe erfolgt auch hier wieder in einem Mehrfachwech-•elstromsystem
in Stern, wobei der beschriebene Graphitring den
Mittelpunkt des Systems bildet. Die Gasableitung aus diesem Heizersystem
erfolgt über ein am Oberrand trichterförmig aufgeweitetes
zentrales Graphitrohr 21. Die aufgeheizten und eventuell abreagierten Gase oder Gasgemische verlassen durch dieses Tauchrohr 21 nach
Passieren der Wärmeaustauscherblöcke 13 durch die Gasablaßöffnung 7 die erfindungsgemäße Vorrichtung.
zentrales Graphitrohr 21. Die aufgeheizten und eventuell abreagierten Gase oder Gasgemische verlassen durch dieses Tauchrohr 21 nach
Passieren der Wärmeaustauscherblöcke 13 durch die Gasablaßöffnung 7 die erfindungsgemäße Vorrichtung.
ORIGINAL INSPECTED
"P IC 2 ti Zh--
Vorrichtung zur Hochtemperaturbehandlung von Gasen Zusammenfassung
Gegenstand der Erfindung ist eine Vorrichtung zur Hochtemperaturbehandlung
von Gasen oder Gasgemischen, wie beispielsweise zu der als Tetrakonvertierung bekannten Umsetzung von Siliciumtetrachlorid mit
Wasserstoff zu Trichlorsilan. Die Vorrichtung weist elektrisch direkt beheizte Widerstandsheizer auf, welche von den zu behandelnden Gasen
um- oder durchströmt werden. Diese Vorrichtung ist gemäß der bevorzugten
Ausführungsform noch mit einer zusätzlichen integrierten Wärmeaustauschereinheit bestückt.
Leerseite
Claims (4)
1. Vorrichtung 7iur Hochtemperaturbehandlung von Gasen, bentehend
aus einem wärmaisolierten Gehäuse mit GaselnlaiJ- und Gafiaualaiiöffnungen
sowie zwischen diesen Öffnungen angeordneten, durch direkten Stroradurchgang beheizten inerten Widerstandsheizern,
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß die elektrisch leitenden Widerstandsheizer in einem symmetrischen Mehrphasenwechselstromsystem in
Stern geschaltet sind.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet , daß die Widerstandsheizer aus
miteinander verbundenen zwangsdurchströmten Rohren bestehen, «lie in oinora elektrisch leitenden Sarameltopf mit Übergang zum
Gasauslaß enden.
4. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet
, daß in dem wärmeisolierten Gehäuse durch direkten Stromdurchgang beheizte elektrisch miteinander
verbundene Widerstandsheizer zwischen äußeren, ineinander gestellten konzentrischen und zwangsdurchströmten Graphitzylindern
und einem inneren, zentrischen der Gasableitung dienendem Tauchrohr angeordnet sind.
5· Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 4,
dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dor Anordnung durch direkten Stromdurchgang beheizter, inerter
Widerstandsheizer und der Gasauslaßöffnung im Gehäuse
eine Wärmeaustauschereinheit aus elektrisch unbeheizten Gasableitungen
eingepaßt ist.
BAD ORIGINAL
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