JP5196662B2 - 静電容量型圧力センサ - Google Patents
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被測定媒体の圧力に応じた静電容量を検出する圧力センサチップを備えた静電容量型圧力センサにおいて、
前記圧力センサのセンサダイアフラムの一面は前記被測定媒体を導入する圧力導入室側をなし、他面はコンデンサ部を形成するコンデンサ室側をなし、
前記コンデンサ室側のダイアフラム固定部との境界をなす前記センサダイアフラムの周縁部は前記センサダイアフラムの中央部と異なる材料から成り、
前記中央部の材料は、前記周縁部の材料よりも剛性の低い材料であることを特徴としている。
被測定媒体の圧力に応じた静電容量を検出する圧力センサチップを備えた静電容量型圧力センサにおいて、
前記圧力センサのセンサダイアフラムの一面は前記被測定媒体を導入する圧力導入室側をなし、他面はコンデンサ部を形成するコンデンサ室側をなし、
前記コンデンサ室側のダイアフラム固定部との境界をなす前記センサダイアフラムの周縁部は同一材料で構成すると共に、前記センサダイアフラムの中央部は異なる材料から成る二層構造とし、当該センサダイアフラムの圧力導入室側は前記周縁部と同一材料からなり、かつ当該センサダイアフラムのコンデンサ室側は前記周縁部の材料よりも剛性の低い材料からなることを特徴としている。
前記剛性は、前記材料のヤング率とポアソン比とから定まることを特徴としている。
前記センサダイアフラムの前記周縁部の材料はサファイアであり、前記中央部の材料は石英ガラスであることを特徴としている。
前記センサダイアフラムは前記圧力導入室側の被測定媒体導入方向から見て、所定の窪みを有することを特徴としている。
11 台座プレート
12 ロア台座プレート
13 アッパー台座プレート
15 支持ダイアフラム
15a 圧力導入孔
16 スペーサ
16a 穴
16b 端面
17 センサ台座
17a 凹み部
17b 端面
20 圧力センサチップ
20A 容量室(リファレンス室)
21 感圧側固定電極
22 参照側固定電極
23 感圧側可動電極
24 参照側可動電極
25 感圧側固定電極取り出し用パッド
26 感圧側可動電極取り出し用パッド
27 参照側固定電極取り出し用パッド
28 参照側可動電極取り出し用パッド
30 被測定媒体中の堆積成分
114 センサダイアフラム
114a 表面(上面)
114b 面(下面)
114c 凹部(窪み)
114e 凹凸
114f 周縁部
114g 中央部
115 ガラス板
Claims (5)
- 被測定媒体の圧力に応じた静電容量を検出する圧力センサチップを備えた静電容量型圧力センサにおいて、
前記圧力センサのセンサダイアフラムの一面は前記被測定媒体を導入する圧力導入室側をなし、他面はコンデンサ部を形成するコンデンサ室側をなし、
前記コンデンサ室側のダイアフラム固定部との境界をなす前記センサダイアフラムの周縁部は前記センサダイアフラムの中央部と異なる材料から成り、
前記中央部の材料は、前記周縁部の材料よりも剛性の低い材料であることを特徴とする静電容量型圧力センサ。 - 被測定媒体の圧力に応じた静電容量を検出する圧力センサチップを備えた静電容量型圧力センサにおいて、
前記圧力センサのセンサダイアフラムの一面は前記被測定媒体を導入する圧導入室側をなし、他面はコンデンサ部を形成するコンデンサ室側をなし、
前記コンデンサ室側のダイアフラム固定部との境界をなす前記センサダイアフラムの周縁部は同一材料で構成すると共に、前記センサダイアフラムの中央部は異なる材料から成る二層構造とし、当該センサダイアフラムの圧力導入室側は前記周縁部と同一材料からなり、かつ当該センサダイアフラムのコンデンサ室側は前記周縁部の材料よりも剛性の低い材料からなることを特徴とする静電容量型圧力センサ。 - 前記剛性は、前記材料のヤング率とポアソン比とから定まることを特徴とする、請求項1又は請求項2に静電容量型圧力センサ。
- 前記センサダイアフラムの前記周縁部の材料はサファイアであり、前記中央部の材料は石英ガラスであることを特徴とする、請求項1乃至請求項3の何れかに記載の静電容量型圧力センサ。
- 前記センサダイアフラムは前記圧力導入室側の被測定媒体導入方向から見て、所定の窪みを有することを特徴とする、請求項1乃至請求項4の何れかに記載の静電容量型圧力センサ。
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