JP5192175B2 - ヘテロ接合電界効果トランジスタ - Google Patents
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アディヴァラハン(Adivarahan)ら著、「サブミクロンゲートSi3N4/AlGaN/GaN−金属−絶縁体−半導体ヘテロ構造電界効果トランジスタ(Submicron Gate Si3N4/AlGaN/GaN-Metal-Insulator-Semiconductor Heterostructure Field-Effect Transistors)」、アイ・イー・イー・イー、エレクトロン・デバイス・レターズ(IEEE Electron Device Letters)、Vol.24, No.9, pp.541-543, 2003
ヘテロ接合を含む半導体層上でこの半導体層の表面に沿って互いに離間した位置に、それぞれ金属電極を有するソース、第1ゲート、第2ゲート、ドレインをこの順に備え、
上記第1ゲートはMIS型でノーマリオフになっており、上記第2ゲートはショットキ型でノーマリオンになっており、
上記第2ゲートはエアブリッジ配線によって上記ソースに電気的に接続されていることを特徴とする。
上記ソースと第2ゲートとの間に上記第1ゲートを覆うポリイミド絶縁膜が設けられ、
上記第2ゲートは上記ポリイミド絶縁膜に支持された上記エアブリッジ配線によって上記ソースに接続されていることを特徴とする。
上記ソース、第1ゲート、第2ゲート、ドレインはそれぞれ上記半導体層上で一方向に細長く延びるパターンを有し、
上記エアブリッジ配線は、上記一方向に対して垂直な方向に細長く延び、かつ上記一方向に関して周期的に複数設けられていることを特徴とする。
103、203 Al0.3Ga0.7N層
104、204 2次元電子ガス
105、205 ソース
106、206 第1ゲート
107、207 第2ゲート
108、208 ドレイン
109、209 エアブリッジ配線
213 リセス溝
215 TiO2膜
Claims (4)
- ヘテロ接合を含む半導体層上でこの半導体層の表面に沿って互いに離間した位置に、それぞれ金属電極を有するソース、第1ゲート、第2ゲート、ドレインをこの順に備え、
上記第1ゲートはMIS型でノーマリオフになっており、上記第2ゲートはショットキ型でノーマリオンになっており、
上記第2ゲートはエアブリッジ配線によって上記ソースに電気的に接続されていることを特徴とするヘテロ接合電界効果トランジスタ。 - 請求項1に記載のヘテロ接合電界効果トランジスタにおいて、
上記ソースと第2ゲートとの間に上記第1ゲートを覆うポリイミド絶縁膜が設けられ、
上記第2ゲートは上記ポリイミド絶縁膜に支持された上記エアブリッジ配線によって上記ソースに接続されていることを特徴とするヘテロ接合電界効果トランジスタ。 - 請求項1または2に記載のヘテロ接合電界効果トランジスタにおいて、
上記ソース、第1ゲート、第2ゲート、ドレインはそれぞれ上記半導体層上で一方向に細長く延びるパターンを有し、
上記エアブリッジ配線は、上記一方向に対して垂直な方向に細長く延び、かつ上記一方向に関して周期的に複数設けられていることを特徴とするヘテロ接合電界効果トランジスタ。 - 請求項1から3までのいずれか一つに記載のヘテロ接合電界効果トランジスタにおいて、
上記第2ゲートとドレインとの間で上記半導体層の表面に、少なくとも上記第2ゲートに接するように半導体能動層の誘電率より高い誘電率の誘電膜が設けられていることを特徴とするヘテロ接合電界効果トランジスタ。
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