JP5183183B2 - 除電装置 - Google Patents
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- 電荷を帯びた微細な水滴をノズルから帯電した対象物に向けて噴出し、対象物に接触させて除電する除電装置において、この除電装置は電荷を帯びた微細な水滴を噴出するとともに除電を行った水滴を吸引する複数の吸引兼噴出ノズルを備え、これら吸引兼噴出ノズルは真空ポンプと帯電した微細な水滴の供給源とにつながり、また前記吸引兼噴出ノズルはバルブにより隣接する一方の吸引兼噴出ノズルが真空ポンプにつながり、隣接する他方の吸引兼噴出ノズルが帯電した微細な水滴の供給源につながることを特徴とする除電装置。
- 請求項1に記載の除電装置において、前記吸引兼噴出ノズルはクールプレートに設けられることを特徴とする除電装置。
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JP2007320290A JP5183183B2 (ja) | 2007-12-12 | 2007-12-12 | 除電装置 |
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