JP2009146626A - 除電装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 除電装置7は搬送方向と直交する方向を長手方向としたスリット状の開口を有するノズル8をガラス基板Wの上方と下方に配置して構成され、スリット状の開口を分離板9で2つに分け、一方を帯電した微細な水滴mの噴出口10とし、他方を除電を行った後の水滴mの吸引口11とし、噴出口10の上流側には粒径10μm以下の水滴を生成する超音波振動装置と、この超音波振動装置によって生成された微細な水滴を帯電させるための電極が配置されている。
【選択図】 図5
Description
Claims (5)
- 電荷を帯びた微細な水滴をノズルから帯電した対象物に向けて噴出し、対象物に接触させて除電する除電装置において、前記ノズルの一部またはノズルの近傍に、前記ノズルから噴出され除電を行った水滴を吸引する吸引手段が設けられていることを特徴とする除電装置。
- 請求項1に記載の除電装置において、前記微細な水滴の噴出及び吸引は同一の配管を介して行うことを特徴とする除電装置。
- 請求項1に記載の除電装置において、前記ノズルはスリットノズルであることを特徴とする除電装置。
- 請求項1に記載の除電装置において、前記ノズルは移動可能とされていることを特徴とする除電装置。
- 請求項1に記載の除電装置において、前記ノズル及び前記吸引手段が搬送される対象物の上下にそれぞれ対をなして配置されていることを特徴とする除電装置。
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JPH02203976A (ja) * | 1989-01-31 | 1990-08-13 | Takashi Yonehara | 水を用いた除電クリーニング法及びその装置 |
JPH07878A (ja) * | 1993-03-09 | 1995-01-06 | Takashi Yonehara | エアロゾル噴霧法及びその装置 |
JPH0817591A (ja) * | 1994-06-28 | 1996-01-19 | San Road:Kk | 帯電塵などの除去装置 |
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