JP5183098B2 - 像ぶれ補正装置およびそれを有する光学機器、撮像装置 - Google Patents

Description

本発明は、画像振れを補正する像ぶれ補正装置および該像ぶれ補正装置を有する光学機器、撮像装置に関するものである。

現在のカメラは露出決定やピント合わせ等の撮影にとって重要な作業は全て自動化され、カメラ操作に未熟な人でも撮影失敗を起こす可能性は非常に少なくなっている。また、最近では、カメラに加わる手振れ等の振れによる画像振れを防ぐ振れ補正装置も多くの製品に搭載されてきており、撮影者の撮影ミスを誘発する要因は殆ど無くなってきている。

ここで、振れ補正装置について簡単に説明する。撮影時のカメラの例えば手振れは、周波数として通常１Ｈｚないし１０Ｈｚの振動である。撮影時点において上記のような手振れを起こしていても画像振れの無い写真を撮影可能とする為には、手振れによるカメラの振動を検出し、その検出値に応じて振れを相殺する方向にレンズを変位させることである。その為、第１に、手振れを正確に検出し、第２に、手振れによる光軸変化を補正することが必要となる。

手振れ等の振れの検出は、原理的にいえば、加速度、角加速度、角速度、角変位等を検出し、振れ補正の為にその出力を適宜演算処理する手段をカメラに搭載することによって行う。そして、この検出情報に基づき撮影光軸を偏心させる補正光学系を駆動（光軸と直交する平面内で移動）させて像振れ抑制が行われる。

振れ補正装置としては、特許文献１に開示されたように、ジャイロ信号を基に手振れの検出を行い、光学系の一部を作動させることによって補正を行う構成のものが多く用いられている。

振れ補正装置を構成する機構の望ましい特性としては、
１）摩擦が小さく、目標への追従が良いこと
２）周波数特性を設計者が操作しやすいこと
などが挙げられる。これらを実現する機構として、様々な機構が提案されている。

特許文献２に開示された機構の特徴は、振れ補正装置と、可動部の変位を規制する弾性手段および粘性手段を設けたことにある。前記のような構成とすることで、いわゆるオープン制御可能で周波数特性を改善した機構を得ることができる。

ここで、一般的に防振材として用いられる紫外線硬化型のシリコーンゲルには、紫外線の積算光量［Ｊ／ｍ２］と硬化厚み［ｍ］の間に、紫外線照射装置の光量［Ｗ／ｍ２］にもよるが、図３６のような関係がある。したがって、シリコーンゲルの深度によって硬化する時間が異なる。また、シリコーンゲルの深部は硬化しないこともある。

特許文献３に開示の機構の特徴は、レンズ保持部材を支持する支持部材を固定する固定部材が透明樹脂で構成されるとともに、固定部材内に設けられた充填部の底部付近の外側壁の肉厚が、底部付近以外の外側壁の肉厚より底部に向けて薄く構成したことである。前記のように構成することで、充填部に注入されたシリコーン化合物の制振材を、上部から底部まで均一にゲル状に硬化させることができ、レンズ駆動装置の制振特性を安定化することができる。

特許文献４に開示された機構の特徴は、ベース部材に対してレンズ保持部材を変位可能に支持する板バネを押圧して接着される固定ピンの頭部及び先端部で開口する光通過穴を形成したことである。前記のように構成することで、固定ピンの光通過穴内を通過して紫外線硬化性接着剤に照射され、紫外線硬化性接着剤の硬化を促進し、短時間で板バネをレンズ保持部材に高強度に固定することである。
特開昭６０−１４３３３０号公報 特開平８−１８４８７０号公報 特開平５−１６６２０８号公報 特開平７−１５３０９８号公報

特許文献２によると、機械的または電気的な方法で粘性抵抗を得ることができる。しかしながら、機械的方法によると構造が複雑になりやすい、摩擦が増加するなどの問題があり、電気的方法によると、制御対象のばらつきの影響を受けやすい、制御系が複雑になるなどの問題がある。

特許文献３によると、固定部材を透明部材で構成することで、制振材を上部から底部まで均一にゲル状に硬化させることができる。しかしながら、撮像光学系においては、可動部材や固定部材を透明部材で構成すると、写真にゴーストやフレアを生じさせる恐れがあるという問題がある。

特許文献４によると、固定ピンの頭部及び先端部で開口する光通過穴を形成することで、紫外線硬化性接着剤の硬化を促進し、短時間で板バネをレンズ保持部材に高強度に固定することができるとある。しかしながら、実際には紫外線硬化性接着剤が光通過穴の中に入り込んでくるので、接着剤の高さは高くなり、紫外線が充分に底まで届かない恐れがあり、問題がある。

（発明の目的）
本発明の目的は、簡単な構成により、減衰手段の硬化を確実なものにし、安定した防振効果を得ることができる像ぶれ補正装置及びそれを有する光学機器、撮像装置を提供しようとするものである。

上記目的を達成するために、本発明は、像振れを補正する補正手段を一体に保持する可動部材と、前記可動部材を移動可能に支持する固定部材と、前記可動部材を介して前記補正手段を撮像光学系の光軸と直交する方向に移動させ、振れによる画像振れを補正する駆動手段と、前記可動部材の前記固定部材に対する相対移動に際して粘性抵抗を与える紫外線硬化性の減衰手段と、紫外線透過材で構成され、前記可動部材と前記固定部材の一方に一端が固定され、他端が突出形状部に形成された棒状部材とを有し、前記可動部材と前記固定部材の他方には、円筒形の有底穴であって、前記棒状部材の前記突出形状部が開口部から挿入される減衰手段形成用穴部が設けられ、前記棒状部材の前記突出形状部が前記減衰手段形成用穴部に挿入された状態で、前記突出形状部と前記減衰手段形成用穴部の間に前記減衰手段が設けられ、前記棒状部材の前記突出形状部の側面に、入射される紫外線を前記減衰手段に対して射出する反射部または屈折部が設けられ、前記棒状部材の前記突出形状部の側面から射出された紫外線が通過する前記減衰手段内の距離は、前記減衰手段形成用穴部に配設された前記減衰手段の高さよりも短いことを特徴とする像ぶれ補正装置とするものである。

同じく上記目的を達成するために、本発明は、本発明の上記像ぶれ補正装置を有する光学機器、撮像装置とするものである。

本発明によれば、簡単な構成により、減衰手段の硬化を確実なものにし、安定した防振効果を得ることができる像ぶれ補正装置またはそれを有する光学機器、撮像装置を提供できるものである。

本発明を実施するための最良の形態は、以下の実施例１ないし実施例５に示す通りである。

図１ないし図１１は、本発明の実施例１に係る振れ補正機能を有する撮像装置を示す図である。図１は、後述の振れ補正ユニットを備えた撮像装置の光学配置図である。図１において、１は撮像装置、２は撮像レンズ、３はレンズ駆動制御部、４は撮像光学系である撮像レンズ２の撮像光軸（以下、光軸）、５はレンズ鏡筒である。６は撮像素子、７はメモリ、８は手振れ等の振れを検出する振れセンサ、９は後述の補正光学系を具備する振れ補正ユニットである。１０は電源、１１はレリーズ釦、１２は撮像レンズ２に含まれる補正手段であるところの補正光学系、１３はいわゆるクイックリターンミラー、１４はファインダ光学系である。

撮像装置１は、撮像レンズ２と不図示のピント調節部を用いて、被写体像を撮像素子６近傍に結像させる。さらに、ユーザーによるレリーズ釦１１の操作に同期させて撮像素子６より被写体の情報を得てメモリ７へ記録を行う。

次に、補正光学系１２を用いた手振れ等による画像振れ補正について説明する。露光中などに例えば手振れが作用したときは、振れセンサ８の信号に基づいてレンズ駆動制御部３を介して、手振れを抑制する方向に振れ補正ユニット９を駆動する。詳しくは、振れ補正ユニット９に具備される補正光学系１２を光軸４と直交する平面内で移動させる。これにより、撮像素子６上での画像の振れが軽減されて、手振れによる画像の劣化を防止できる。

図２は、撮像装置１の電気的構成を示すブロック図である。撮像装置１は、撮像系、画像処理系、記録再生系、制御系を有する。撮像系は、撮像レンズ２、撮像素子６を含み、画像処理系は、Ａ／Ｄ変換器２０、画像処理部２１を含む。また、記録再生系は、記録処理部２３、メモリ２４を含み、制御系は、カメラシステム制御部２５、ＡＦセンサ２６、ＡＥセンサ２７、振れセンサ８、操作検出部２９、およびレンズシステム制御部３０を含む。

撮像系は、物体からの光を撮像レンズ２を介して撮像素子６の撮像面に結像する光学処理系であり、ＡＥセンサ２７の信号をもとに図示しない絞りなどを用いて適切な光量の被写体光を撮像素子６に露光する。画像処理系に含まれる画像処理部２１は、Ａ／Ｄ変換器２０を介して撮像素子６からの画像信号を処理するものであり、ホワイトバランス回路、ガンマ補正回路、補間演算による高解像度化を行う補間演算回路等を有する。記録再生系に含まれる記録処理部２３は、メモリ２４への画像信号の出力を行うとともに、表示部２２に出力する像を生成、保存する。また、記録処理部２３は、予め定められた方法を用いて画像や動画の圧縮を行う。

制御系は、レリーズ釦１１等の操作を検出する操作検出部２９からの検出信号に応動して撮像系、画像処理系、記録再生系をそれぞれ制御する。この制御系に含まれるカメラシステム制御部２５は撮影の際のタイミング信号などを生成して出力する。ＡＦセンサ２６は撮像装置１のピント状態を検出する。ＡＥセンサ２７は被写体の輝度を検出する。振れセンサ８は手振れ等の振れを検出する。レンズシステム制御部３０は上記カメラシステム制御部２５の信号に応じて適切にレンズなどを制御する。

制御系は、上記のように外部操作に応動して撮像系、画像処理系、記録再生系をそれぞれ制御する。例えば、レリーズ釦１１の押下を検出して、撮像素子６の駆動、画像処理部２１の動作、記録処理部２３の圧縮処理などを制御する。さらに表示部２２によって光学ファインダ、液晶モニター等に情報表示を行う情報表示装置の各セグメントの状態を制御する。

カメラシステム制御部２５はＡＦセンサ２６とＡＥセンサ２７に接続されており、これらからの信号を基にレンズ、絞り等を適切に制御する。さらにカメラシステム制御部２５は振れセンサ８に接続されており、画像の振れ補正を行うモードにおいては、振れセンサ８の信号を基に振れ補正ユニット９を駆動する。

図３ないし図１２を用いて、撮像装置１に具備される振れ補正ユニット９について説明する。

図３は振れ補正ユニット９の斜視図であり、図４は振れ補正ユニット９の被写体側から見た分解斜視図である。図３および図４において、３１は固定部材であるところのベース板、３８は後述の補正光学系４０を移動可能に保持する可動部材であるところの可動鏡筒あり、これらは遮光部材で構成されている。３２ａ，３２ｂ，３２ｃはベース板３１と可動鏡筒３８に狭持された球である。４０は撮影時に画像振れを補正するための補正光学系（図１の補正光学系２に相当）であり、可動鏡筒３８に保持される。３３ａ，３３ｂはコイル、３４ａ，３４ｂは磁石、３５はヨーク（磁石吸着板）である。３６ａ，３６ｂはヨーク固定ネジ、３７ａ，３７ｂ，３７ｃは弾性体、４４ａ，４４ｂはダンパー抵抗棒である。なお、図３ないし後述の図８までにおいては、振れ補正ユニット９の主要部分だけを示し、保持部材やリード線等は示していない。

次に、図３および図４を用いて、ベース板３１と可動鏡筒３８の相対運動について説明する。

撮影時に画像振れを補正するための補正光学系４０は、ベース板３１に対し、光軸４と直交する平面内においてＸ方向およびＹ方向に移動可能な可動鏡筒３８に保持されている。ベース板３１と可動鏡筒３８は球３２ａ，３２ｂ，３２ｃを狭持しており、球３２ａ〜３２ｃを介して相対運動を行う。このため、転がり摩擦という非常に小さな摩擦の影響しか受けずに相対運動を行うことができる。摩擦が小さいために非常に小さな入力に対しても適切に応答することができる。また、球３２ａ〜３２ｃによる案内面を適切な精度で製作することにより、ベース板３１と可動鏡筒３８が相対運動を行った場合でも、可動鏡筒３８の傾きや光軸方向への不要な移動が発生することが無い。

図５（ａ）〜（ｄ）は、振れ補正ユニット９を示す構成図である。詳しくは、図５（ａ）は光軸方向からみた正面図、図５（ｂ）は図５（ａ）におけるＡ−Ａ断面での断面図、図５（ｃ）は図５（ａ）におけるＢ−Ｂ断面での断面図、図５（ｄ）は図５（ａ）におけるＣ−Ｃ断面での断面図である。

図５（ａ）に示したように、可動鏡筒３８はベース板３１に対して複数の弾性体３７ａ〜３７ｃで弾性支持されている。本実施例１では、弾性体３７ａ〜３７ｃが光軸４から放射状に１２０度の間隔で３本配置されている。このように対称な配置とすることで、モーメントの発生による不要共振の励起を抑制することが可能となる。さらに、電源ＯＦＦ時の補正光学系４０の垂れ下がりを防止することが可能となり、高価なロック機構等が不要となり、コストダウンを図ることができる。また、複数の弾性体３７ａ〜３７ｃにより弾性支持されることで、補正光学系４０のレンズ中心を常に光軸中心に位置させることが可能となり、高価なレンズ位置検出器を使ったフィードバック制御が不要となり、コストダウンを図ることができる。弾性体３７ａ〜３７ｃの弾性係数の決定方法については後述する。

図５（ｂ）に示したように、弾性体３７ａ〜３７ｃは光軸４の方向に適宜傾けて取り付けられており、ベース板３１と可動鏡筒３８の間に設けられた球３２ａ〜３２ｃを把持している。

図５（ｃ）に示したように、ベース板３１にはコイル３３ａ，３３ｂが固定されており、可動鏡筒３８には磁石３４ａ，３４ｂおよびヨーク３５が固定されている。これらにより、いわゆるムービングマグネット型のアクチュエータ、つまり振れ補正ユニット９の駆動手段を構成している。

図５（ａ）において、可動鏡筒３８の紙面右上側には、ベース板３１に取り付けられたコイル３３ａ、可動鏡筒３８に取り付けられた磁石３４ａおよびヨーク３５により構成される第１の電磁アクチュエータが配置されている。さらに、可動鏡筒３８の紙面左上側には、ベース板３１に取り付けられたコイル３３ｂ、可動鏡筒３８に取り付けられた磁石３４ｂおよびヨーク３５により構成される第２の電磁アクチュエータが配置されている。これら駆動手段を成す第１の電磁アクチュエータ、第２の電磁アクチュエータおよび振れ補正ユニット９が振れ補正装置の主な構成要素である。

次に、可動鏡筒３８とベース板３１の間に介在し、適切な粘性抵抗を得るための減衰手段の取り付けについて説明する。

図５（ｄ）において、４４ａ，４４ｂは紫外線を透過する部材より成る円柱状のダンパー抵抗棒である。４５ａ，４５ｂは後述するようにダンパー抵抗棒４４ａ，４４ｂの先端側に形成された突起形状部が挿入される減衰手段形成用穴部、４６ａ，４６ｂは適切な粘性抵抗を得るためのゲルより成る減衰手段である。ダンパー抵抗棒４４ａ，４４ｂの後端は可動鏡筒３８に設けられた円柱状の貫通穴３８ａ（図４も参照）に差し込まれ、接着等で固定される。ベース板３１に設けられた円形の穴部である減衰手段形成用穴部４５ａ，４５ｂに対して、ダンパー抵抗棒４４ａ，４４ｂの先端側の突起形状部がほぼ同心円状になるように配置される。そして、その隙間にドーナツ状に減衰手段４６ａ，４６ｂが充填されている。減衰手段４６ａ，４６ｂは様々な粘弾性体を用いることが可能であるが、本実施例１では、組付け性や耐環境性に優れた紫外線硬化型シリコーンゲルを用いている。減衰手段４６ａ，４６ｂとして用いる粘弾性体の望ましい特性については後述する。

図５（ｄ）に示すように、可動鏡筒３８上に後端が固定されるダンパー抵抗棒４４ａ，４４ｂの先端側の突起形状部は、ベース板３１に設けられた減衰手段形成用穴部４５ａ，４５ｂ内に、ベース板３１と光軸４の方向にオーバーラップするように挿入されている。

減衰手段４６ａ，４６ｂは光軸対称に複数設けられることが望ましい。本実施例１では、図５（ｄ）に示すように、光軸４に対して対称な位置に２つ設けられている。光軸４に対称に設けることで、ベース板３１と可動鏡筒３８が相対運動を行ったときに、減衰手段４６ａ，４６ｂから受ける力によって可動鏡筒３８にモーメントが発生することが無い。

ここで、本実施例１では、ベース板３１上に設けられた減衰手段形成用穴部４５ａ，４５ｂと、可動鏡筒３８上に後端が固定されたダンパー抵抗棒４４ａ，４４ｂとの間に、減衰手段４６ａ，４６ｂを介在させている。しかし、可動鏡筒３８上に減衰手段形成用穴部を設け、ベース板３１上にダンパー抵抗棒の後端を固定する構造とし、これらの間に減衰手段４６ａ，４６ｂを介在させても構わない。

次に、本実施例１における減衰手段４６ａ，４６ｂの硬化に関して説明する。

図６は減衰手段形成用穴部４５ａ，４５ｂ近傍の拡大図であり、図７は図６のＡ部の詳細図である。なお、ダンパー抵抗棒４４ａ，４４ｂ、減衰手段形成用穴部４５ａ，４５ｂ、減衰手段４６ａ，４６ｂは、それぞれ同一部材であるので、以下、ダンパー抵抗棒４４、減衰手段形成用穴部４５、減衰手段４６とも記す。本実施例１では、減衰手段４６は防振材として紫外線硬化型のシリコーンゲルを用いている。４７は紫外線照射装置であり、光線トレース図を同時に示している。ダンパー抵抗棒４４は紫外線透過性の材料で出来ている。紫外線透過性の材料としては、例えば住友化学製のスミペック０１０がある。

図７に示したように、ダンパー抵抗棒４４の先端部周囲には全反射面（段差が形成されている部分）が形成されている。紫外線照射装置４７から射出された紫外線は、ダンパー抵抗棒４４の後端面である入射面から入射した後、ダンパー抵抗棒４４の先端部周囲から中心に向かってそれぞれ全反射面で反射される。そして、進行方向を変化させ、ダンパー抵抗棒４４の側面から射出される。ダンパー抵抗棒４４の先端部（突起形状部）には射出平面が形成されていて、入射面から入射した光線はそのまま射出平面（入射される光線に垂直な端面）から射出される。

図７に示した光線トレースは、ダンパー抵抗棒４４、減衰手段４６の屈折率がそれぞれ１．５，１．４のときのものである。

このようにして、紫外線照射装置４７から射出された紫外線は、紫外線透過性の材料で構成されたダンパー抵抗棒４４を通り、突起形状部にて逐次反射屈折され、減衰手段４６を成すシリコーンゲルに照射される。このとき、シリコーンゲル内を通る光線の距離は、シリコーンゲル表面４６ｃから減衰手段形成用穴部４５の底面４５ｃまでの距離、すなわちシリコーンゲルの高さよりも短くなるように設定してある。したがって、シリコーンゲルの表面４６ｃから紫外線を照射するのに比べて、本実施例１の方がシリコーンゲルの深部まで硬化させることが可能である。

ここで、シリコーンゲルの硬化に利用したダンパー抵抗棒４４は、そのまま振れ補正ユニット９の減衰機構の一部として利用される。ダンパー抵抗棒４４は、光軸４とは離れた位置に存在するので、撮影画像に影響することはないと思われるが、不要光の発生を抑えるために減衰手段４６の硬化後にダンパー抵抗棒４４の入射面には遮光板を貼ってもよい。

次に、図８を用いて、振れ補正ユニット９の上記した駆動手段について説明する。図８は駆動手段の模式図であり、図８（ａ）は磁石とコイルのみを光軸方向から見た図、図８（ｂ）は磁石を中心付近で切断した時の断面図を示している。

図８（ａ），（ｂ）において、４３は着磁境界を示している。また、図８（ｂ）において、４２ａ，４２ｂ，４２ｃは磁石３４ａ、コイル３３ａ近傍の代表的な磁力線を模式的に表している。

図８（ａ）に示したように、着磁境界４３を挟んで磁石３４ａは２つの領域３４ａ１，３４ａ２に分けて着磁されている。このとき、着磁境界４３は駆動手段で発生する力の方向と直交する方向であり、図８（ａ）の上下方向に着磁境界が存在し、左右方向に駆動される。コイル３３ａは光軸方向から見たときに小判型をしており、二つの長手部分３３ａ１，３３ａ２が磁石の２つの領域３４ａ１，３４ａ２と対向するように配置されている。

また、図８（ｂ）に示したように、磁石３４ａのコイル３３ａと反対側の面には、ヨーク３５ａがある。ヨーク３５ａは望ましくは軟磁性体であり、多くの磁束を透過させ，磁気回路のパーミアンスを下げている。その結果、４２ａ，４２ｂのように磁石３４ａからコイル３３ａに向かって比較的直線的に磁力線が生じている。

磁石吸着板として機能するヨーク３５ａ，３５ｂは本実施例１では可動鏡筒３８に固定されるので、厚みを増すと可動部の重量も増加してしまう。そこで、ヨーク３５ａ，３５ｂの外形、飽和磁束密度および磁石の形状、表面磁束密度などを考慮して、ヨーク３５ａ，３５ｂが飽和磁束近傍となるように決めるのが好ましい。この状態でコイル３３ａに通電すると、図８（ｂ）の紙面垂直方向で二つの長手部分３３ａ１と３３ａ２に反対方向に電流が流れる。したがって、フレミング左手の法則によって駆動力が発生する。図５（ａ）で説明したように可動鏡筒３８は弾性支持されているので、弾性体３７ａ，３７ｂ，３７ｃの合力と駆動力がつりあう位置までベース板３１と可動鏡筒３８の間に相対運動が生じる。

図９を用いて、本実施例１において減衰手段４６として用いる好適な粘弾性体の特性について説明する。

粘弾性体は一般的に図９に示したように、入力周波数によってその特性が変化する。よく知られているように、粘弾性体においては、周波数の増加は温度の低下と同様の物性を示す。つまり、図９に示したように転移領域５１ｂを挟んで、低い周波数の領域５１ａでゴム物性を示し（以下、ゴム領域）、高い周波数の領域５１ｃでガラス物性を示す（以下、ガラス領域）。ゴム領域では柔らかく、ガラス領域ではゴム領域に比べて１００〜１０００倍程度のヤング率になる。一般的に、ゴム領域とガラス領域の中間にある転移領域５１ｂで複素弾性係数における実数部と虚数部の比であるｔａｎδが大きくなる。ｔａｎδは粘弾性体の応力歪み線図のヒステリシスを示しており、大きな値の方が効率よく、運動エネルギーを熱エネルギーに変換できる。

そこで、本実施例１では、手振れに適用することを考慮して、制御周波数帯域を０．３Ｈｚ−１００Ｈｚ程度に設定する。制御周波数帯域の好適な設定方法に関しては後述する。この制御周波数帯域が転移領域５１ｂに含まれ、ｔａｎδが大きい材料が好ましい。近年上記のような材料も多く開発されており、一般的なブチルゴムに加え、シリコーンを主成分とするゲル、エラストマーなどの様々な商品が提供されている。一例としては、内外ゴム製ハネナイト、宮坂ゴム製ミヤフリーク、スリーボンド製ＴＢ３１６８等が好適な粘弾性材料と言える。

次に、駆動手段の設計について、図１０を用いて説明する。

図１０は、本実施例１における補正光学系４０の駆動手段の１軸方向の運動をモデル化した図である。図１０（ａ）は減衰手段が無い場合のモデルを示しており、図１０（ｂ）は減衰手段を介在させた場合のモデルを示している。図１１は解析モデルの周波数応答線図である。

本実施例１の振れ補正ユニット９は、複数の弾性体３７ａ，３７ｂ，３７ｃを有しているが、特定の移動方向を考えた場合、複数の弾性体の合力を仮想的な一つのバネ、ダッシュポッドとして考えることができる。図１０（ａ）に示したように１自由度のバネ質点系として表現できる。このときの力Ｆに対する変位ｘは、以下の数（１）で表される。

このとき、小さい摩擦しか受けない構成となっているため、一般的に粘性抵抗は小さく、ｃの値は小さな値になる。その結果、図１０（ａ）では共振が強く見られる機構になる。つまり、小さな振幅の入力に対して適切に応答できるものの、外乱などの影響を受けやすい機構といえる。ここで、減衰比ζを次の数（２）で定義する。

この減衰比ζを用いてバネ質点系の共振峰の状態や過渡応答を把握することができる。

図１０（ｂ）は減衰手段を介在させた系であり、上記の弾性体３７ａ，３７ｂ，３７ｃと同様に、減衰手段４６の合力を仮想的な一つのバネ、ダッシュポッドとみなしたモデル図である。ｋ１，ｃ１は弾性体によるバネ、ダッシュポッドを、ｋ２，ｃ２は減衰手段４６によるバネ、ダッシュポッドを示している。図１０（ｂ）の力Ｆに対する変位ｘは、以下の数（３）で表される。

図９で説明したような好適な粘弾性体を減衰手段４６として用いている場合、ｋ２とｃ２の比であるｔａｎδは制御周波数帯域で比較的大きな値を示している。好適な材料の中では０．５程度得られるものもある。このように大きなｔａｎδが得られるので、ｋ２が小さな値であっても十分な減衰を得ることができる。つまり、アクチュエータの感度を低下させずに減衰を適切に付与できる。このときの減衰比は明らかに次の数（４）で表される。

次に、図１２を用いて、本実施例１に示す振れ補正ユニット９の好適な制御について説明する。図１２はカメラシステム制御部２５に含まれ、振れ補正ユニット９の制御信号を生成する制御用信号処理回路のブロック図である。

図１２において、６１は振れセンサ８の一例である角速度センサ、６２は低域通過フィルタ（以下、ＬＰＦ）、６３はＣＰＵ、６４はＡ／Ｄ変換器、６５は積分器である。６６は高域通過フィルタ（以下、ＨＰＦ）、６７は撮像装置１のズーム情報等の各種の情報を記録したメモリ、６８は補正光学系１２の位置を計算する補正光学系位置変換器、６９は補正光学系位置制御器、７０は駆動手段、９は振れ補正ユニットである。

図１２に示すように、手振れ等の振れを検出する振れセンサ８としては、角速度センサが多くの場合用いられている。本実施例１においても角速度センサ６１を用いた場合を例として、以下の説明を行う。

角速度センサ６１は手振れ等の振れによる角速度を検出し、角速度に比例した信号を出力する。ＬＰＦ６２はノイズカットのために設けられており、角速度センサ６１の高域ノイズをカットする。ＣＰＵ６３は振れ補正に必要な制御のための演算を行うものであり、内部にＡ／Ｄ変換器６４、積分器６５、ＨＰＦ６６、メモリ６７、補正光学系位置変換器６８、補正光学系位置制御器６９を備えている。以下に、各部の働きについて説明する。

Ａ／Ｄ変換器６４は、ＬＰＦ６２を通過した信号を適切なサンプリング周期でデジタル変換する。サンプリング周期は制御周波数帯域の１００倍程度あることが望ましい。例えば５０Ｈｚまでの制御を行う振れ補正ユニット９においては、５０００Ｈｚ程度のサンプリング周期であればサンプリングの影響を無視できて好適である。積分器６５は、角速度信号を積分し、手振れによる角度を求める。ＨＰＦ６６は、角速度センサ６１の低周波ゆらぎを除去するフィルタである。フィルタ時定数は前記低周波ゆらぎと制御周波数帯域を考慮して適切に設定される。

また、ＨＰＦ６６はメモリ６７からズーム情報などの撮影条件の情報を取得し、適切にフィルタの時定数を変更することも出来る。補正光学系位置変換器６８は、メモリ６７から得たズーム、フォーカスなどの情報から、入力された振れに対する振れ補正ユニット９に具備される補正光学系１２の移動量を計算する。補正光学系位置制御器６９は振れ補正ユニット９の周波数特性などを考慮して適切な位相補償などを行う。また、補正光学系位置制御器６９はその結果を駆動手段７０に出力し、振れ補正ユニット９の駆動制御を行う。

ここで、任意の位置センサによって補正光学系の位置検出を行い、いわゆるフィードバック制御を行うことでも任意の位置に移動可能である。

図１３及び図１４は、本発明の実施例１に係わる、上記減衰手段４６の硬化に関する変形例を説明するための図である。

図１３は減衰手段形成用穴部４５近傍の拡大図であり、図１４は図１３のＡ部の詳細図である。４４−１はダンパー抵抗棒、４５は減衰手段形成用穴部、４６は減衰手段である。この例では、減衰手段４６は紫外線硬化型のシリコーンゲルを用いている。４７は紫外線照射装置であり、光線トレース図を同時に示している。ダンパー抵抗棒４４−１は紫外線透過性の材料でできている。紫外線透過性の材料としては、例えば住友化学製のスミペック０１０がある。

図１４に示したように、ダンパー抵抗棒４４−１の先端部周囲には屈折面（段差が形成されている部分）が形成されている。紫外線照射装置４７から射出された紫外線は、ダンパー抵抗棒４４−１の入射面から入射した後、ダンパー抵抗棒４４−１の先端部周囲から外側に向かってそれぞれ屈折面で屈折され、進行方向を変化させられ、ダンパー抵抗棒４４−１から射出される。ダンパー抵抗棒４４−１の先端部（突起形状部）には射出平面が形成されていて（入射される光線に垂直な端面）、上記のように入射面から入射した光線はそのまま射出平面から射出される。

図１４に示した光線トレースは、ダンパー抵抗棒４４−１、減衰手段４６の屈折率がそれぞれ１．５，１．４のときのものである。

このようにして、紫外線照射装置４７から射出された紫外線は、紫外線透過性の材料で構成されたダンパー抵抗棒４４−１を通り、逐次屈折されてシリコーンゲルに照射される。このとき、シリコーンゲル内を通る光線の距離は、シリコーンゲルの表面４６ｃから減衰手段形成用穴部４５の底面４５ｃまでの距離、すなわちシリコーンゲルの高さより短くなるように設定してある。したがって、シリコーンゲルの表面４６ｃから紫外線を照射するのに比べて、この例の方がシリコーンゲルの深部まで硬化させることが可能である。

ここで、シリコーンゲルの硬化に利用したダンパー抵抗棒４４−１は、そのまま振れ補正ユニット９の減衰機構の一部として利用される。ダンパー抵抗棒４４−１は、光軸４とは離れた位置に存在するので、撮影画像に影響することはないと思われるが、不要光の発生を抑えるために減衰手段４６の硬化後にダンパー抵抗棒４４−１の入射面には遮光板を貼ってもよい。

上記の実施例１によれば、可動鏡筒３８に後端が固定され、先端が突出形状部をしたダンパー抵抗棒４４，４４−１と、ベース板３１に設けられ、ダンパー抵抗棒４４，４４−１の突出形状部が挿入される減衰手段形成用穴部４５とを有する。さらに、ダンパー抵抗棒４４，４４−１の突出形状部が減衰手段形成用穴部４５に挿入された状態で、これらの間に介在し、可動鏡筒３８のベース板３１に対する相対移動に際して粘性抵抗を与える、ゲルより成る減衰手段４６を有する。また、上記ダンパー抵抗棒４４，４４−１は、紫外線を透過させる部材で構成されるとともに、その突出形状部の側面に、上端側から入射される紫外線を減衰手段４６に射出する反射面（図７参照）または屈折部である屈折面（図１４参照）が設けられている。なお、減衰手段４６は、光軸４に対して線対称または点対称に複数設けられる。

よって、減衰手段４６を成すシリコーンゲルの深部まで硬化させることができ、振れ補正ユニットの周波数特性を手振れに適したものにすることである。また、減衰手段４６を、電気的、複雑な機械的なものにより構成するのではなく、ゲルにより構成しているので、構成が簡単なものになる。また、振れ補正ユニットの減衰機構の一部を成すダンパー抵抗棒４４，４４−１を減衰手段４６の硬化のための導光部材として利用することで、粘性抵抗を均一な状態にするができ、安定した防振性能を維持することが可能となる。また、上記のようにダンパー抵抗棒４４，４４−１を減衰手段４６の硬化のための導光部材として利用しているので、従来のように可動鏡筒３８やベース板３１を透明部材にする必要がなく、ゴーストやフレアを生じる心配もない。

つまり、簡単な構成により、ゲル材より成る減衰手段の硬化を確実なものにし、安定した防振効果を得ることができる振れ補正装置や、該振れ補正装置を具備する撮像装置を提供することが可能となる。

図１５から図１９は、本発明の実施例２に係る撮像装置に具備される振れ補正ユニット９を示す図である。本実施例２における振れ補正ユニット９と実施例１の振れ補正ユニット９との違いは、減衰手段取付部の構成と、補正光学系の駆動手段としていわゆるムービングコイル式を用いたところである。

本実施例２に係る振れ補正ユニット９が組み込まれる撮像装置やその電気的構成は実施例１と同様であるので、ここでは割愛する。

図１５は、振れ補正ユニット９を示す斜視図、図１６は振れ補正ユニット９の被写体側から見た分解斜視図である。図１５および図１６において、１３１は固定部材であるところのベース板、１３８は可動部材であるところの可動鏡筒であり、これらは遮光部材で構成されている。１３２ａ，１３２ｂ，１３２ｃはベース板１３１と可動鏡筒１３８に狭持された球である。１４０は可動鏡筒１３８に固定され、撮影時に像振れを補正するための補正光学系である。１３３ａ，１３３ｂはコイル、１３４ａ，１３４ｂは磁石、１３５ａ，１３５ｂはヨーク、１３７ａ，１３７ｂ，１３７ｃは弾性体、１４４ａ，１４４ｂは紫外線を透過する材料より成るダンパー抵抗棒である。なお、図１５から後述の図１９においては、振れ補正ユニットの主要部分だけを示し、保持部材やリード線等は示していない。

図１５および図１６を用いて、ベース板１３１と可動鏡筒１３８の相対運動について説明する。

撮影時に像振れを補正するための補正光学系１４０は、ベース板１３１に対し、Ｘ方向およびＹ方向に移動可能な可動鏡筒１３８に固定されている。ベース板１３１と可動鏡筒１３８は球１３２ａ〜１３２ｃを狭持しており、球１３２ａ〜１３２ｃを介して相対運動を行う。このため、転がり摩擦という非常に小さな摩擦の影響しか受けずに相対運動を行うことができる。摩擦が小さいために非常に小さな入力に対しても適切に応答することが出来る。また、球１３２ａ〜１３２ｃによる案内面を適切な精度で製作することにより、ベース板１３１と可動鏡筒１３８が相対運動を行った場合でも、可動鏡筒１３８の傾きや光軸方向への不要な移動が発生することが無い。

図１７（ａ）〜（ｄ）は振れ補正ユニット９を示す構成図である。詳しくは、図１７（ａ）は光軸４の方向からみた正面図、図１７（ｂ）は図１７（ａ）におけるＡ−Ａ断面での断面図、図１７（ｃ）は図１７（ａ）におけるＢ−Ｂ断面での断面図、図１７（ｄ）は図１７（ａ）におけるＣ−Ｃ断面での断面図である。

図１７（ａ）に示したように、可動部材の支持方法は実施例１と同じ方法を取っている。つまり、可動鏡筒１３８はベース板１３１に対して複数の弾性体１３７ａ，１３７ｂ，１３７ｃで弾性支持されている。本実施例２では、弾性体１３７ａ〜１３７ｃが光軸４から放射状に１２０度の間隔で３本配置されている。このような対称な配置とすることで、モーメントの発生による不要共振の励起を抑制することが可能となる。さらに、電源ＯＦＦ時の補正光学系１４０の垂れ下がりを防止することが可能となり、高価なロック機構等が不要となり、コストダウンを図ることができる。また、複数の弾性体１３７ａ〜１３７ｃにより弾性支持されることで、レンズ中心を常に光軸中心に位置させることが可能となり、高価なレンズ位置検出器を使ったフィードバック制御が不要となり、コストダウンを図ることができる。

図１７（ｂ）に示したように、弾性体１３７ａ〜１３７ｃは光軸４の方向に適宜傾けて取り付けられており、ベース板１３１と可動鏡筒１３８の間に設けられた球１３２ａ〜１３２ｃを把持している。

図１７（ｃ）に示したように、可動鏡筒１３８には、コイル１３３ａ，１３３ｂが固定されており、ベース板１３１には磁石１３４ａ，１３４ｂおよびヨーク１３５ａ，１３５ｂが固定されている。そして、いわゆるムービングコイル型のアクチュエータ、つまり振れ補正ユニット９の駆動手段を構成している。

図１７（ａ）において、可動鏡筒１３８の紙面右上側には、可動鏡筒１３８に取り付けられたコイル１３３ａ、ベース板１３１に取り付けられた磁石１３４ａおよびヨーク１３５ａにより構成される第１の電磁アクチュエータが配置されている。さらに、可動鏡筒１３８の紙面左上側には、可動鏡筒１３８に取り付けられた第２のコイル１３３ｂ、ベース板１３１に取り付けられた磁石１３４ｂおよびヨーク１３５ｂにより構成される第２の電磁アクチュエータが配置されている。これら第１の電磁アクチュエータおよび第２の電磁アクチュエータが、振れ補正ユニット９の駆動手段を構成する。

次に、可動鏡筒１３８とベース板１３１の間に介在し、適切な粘性抵抗を得るための減衰手段の取り付けについて説明する。

図１７（ｄ）において、１４４ａ，１４４ｂは紫外線透過材より成るダンパー抵抗棒である。１４５ａ，４１５ｂは後述するようにダンパー抵抗棒１４４ａ，１４４ｂの先端側に形成された突起形状部が挿入される減衰手段形成用穴部、１４６ａ，１４６ｂは適切な粘性抵抗を得るためのゲルより成る減衰手段である。ダンパー抵抗棒１４４ａ，１４４ｂの後端は可動鏡筒１３８に設けられた円柱状の貫通穴１３８ａに差し込まれ、接着等で固定される。ベース板１３１に設けられた円形の穴部である減衰手段形成用穴部１４５ａ，１４５ｂに対して、ダンパー抵抗棒１４４ａ，１４４ｂの先端側の突起形状部がほぼ同心円状になるように配置される。そして、その隙間にドーナツ状に減衰手段１４６ａ，１４６ｂが充填されている。減衰手段１４６ａ，１４６ｂは様々な粘弾性体を用いることが可能であるが、本実施例２においても、組付け性や耐環境性に優れた紫外線硬化型シリコーンゲルを用いている。減衰手段１４６ａ，１４６ｂとして用いる粘弾性体の望ましい特性については上記実施例１と同様である。

図１７（ｄ）に示すように、可動鏡筒１３８上に後端が固定されるダンパー抵抗棒１４４ａ，１４４ｂの先端側の突起形状部は、減衰手段形成用穴部１４５ａ，１４５ｂ内に、ベース板１３１と光軸４の方向にオーバーラップするように挿入されている。

また、減衰手段１４６ａ，１４６ｂは光軸対称に複数設けられることが望ましい。本実施例２では、図１７（ｄ）に示すように、光軸４に対して対称な位置に２つ設けられている。光軸４に対称に設けることで、ベース板１３１と可動鏡筒１３８が相対運動を行ったときに、減衰手段１４６ａ，１４６ｂから受ける力によって可動鏡筒１３８にモーメントが発生することが無い。

ここで、本実施例２では、ベース板１３１上に設けられた減衰手段形成用穴部１４５ａ，１４５ｂと、可動鏡筒１３８上に後端が固定されたダンパー抵抗棒１４４ａ，１４４ｂとの間に、減衰手段１４６ａ，１４６ｂを介在させている。しかし、可動鏡筒１３８上に減衰手段形成用穴部を設け、ベース板１３１上にダンパー抵抗棒の後端を固定する構造とし、これらの間に減衰手段１４６ａ，１４６ｂを介在させても構わない。

次に、本実施例２における減衰手段１４６ａ，１４６ｂの硬化に関して説明する。

図１８は、減衰手段形成用穴部１４５ａ，１４５ｂ近傍の拡大図である。なお、以下、ダンパー抵抗棒１４４ａ，１４４ｂ、減衰手段形成用穴部１４５ａ，１４５ｂ、減衰手段１４６ａ，１４６ｂは、それぞれ同一部材であるので、上記のように、ダンパー抵抗棒１４４、減衰手段形成用穴部１４５、減衰手段１４６と記す。

本実施例２においても、減衰手段１４６は紫外線硬化型のシリコーンゲルを用いている。１４７は紫外線照射装置であり、光線トレース図を同時に示している。ダンパー抵抗棒１４４は紫外線透過性の材料で出来ている。ダンパー抵抗棒１４４はＴ字形の断面を回転してできた段付き円柱形状をしており、周辺部からも紫外線を透過させる構造になっている。紫外線透過性の材料としては、例えば住友化学製のスミペック０１０がある。

図１８に示したように、紫外線照射装置１４７から射出された紫外線は、ダンパー抵抗棒１４４の後端面である入射面から入射する。その後、減衰手段１４６を成すシリコーンゲルの表面から入射する光線と、ダンパー抵抗棒１４４の先端部（突起形状部）から射出して、シリコーンゲルに入射する光線に分かれる。シリコーンゲルの表面から入射した光線は、そのままシリコーンゲルの深部に向う。また、ダンパー抵抗棒１４４の先端部から射出される光線は、シリコーンゲルに照射される。ここで、ダンパー抵抗棒１４４の先端は鏡面でも拡散面（拡散部）でも構わない。本実施例２では拡散面になっており、紫外線は拡散光となり、シリコーンゲル内を広がりを持って進む。

図１８に示した光線トレースは、ダンパー抵抗棒１４４、減衰手段１４６の屈折率がそれぞれ１．５、１．４のときのものである。

このようにして、紫外線照射装置１４７から射出された紫外線は、紫外線透過性の材料で構成されたダンパー抵抗棒１４４の外周部と中央部を通り、それぞれシリコーンゲルに照射される。このとき、ダンパー抵抗棒１４４の外周部を通った光線はシリコーンゲルの表面から深部近くを硬化させる。また、ダンパー抵抗棒１４４の中央部を通った光線は、ダンパー抵抗棒１４４の先端部で拡散光となり、シリコーンゲルの深部を硬化させる。したがって、減衰手段１４６であるシリコーンゲルを満遍なく硬化させることが可能である。

ここで、シリコーンゲルの硬化に利用したダンパー抵抗棒１４４は、そのまま振れ補正ユニットの減衰機構の一部として利用される。ダンパー抵抗棒１４４は、撮影光軸とは離れた位置に存在するので、撮影画像に影響することはないと思われるが、不要光の発生を抑えるために減衰手段１４６の硬化後にダンパー抵抗棒１４４の入射面には遮光板を貼ってもよい。

図１９を用いて、振れ補正ユニット９の駆動手段について説明する。

図１９は駆動手段の模式図であり、図１９（ａ）は磁石１３４ａ（１３４ｂ）とコイル１３３ａ（１３３ｂ）のみを光軸４の方向から見た図、図１９（ｂ）は磁石１３４ａ（１３４ｂ）を中心付近で切断した時の断面図を示している。図１９において、１４３は着磁境界を示している。

図１９（ｂ）において、１４２ａ，１４２ｂ，１４２ｃは、磁石１３４ａ（１３４ｂ）、コイル１３３ａ（１３３ｂ）近傍の代表的な磁力線を模式的に表している。図１９に示したように、着磁境界１４３を挟んで磁石１３４ａは２つの領域１３４ａ１，１３４ａ２に分けて着磁されている。このとき、着磁境界１４３は駆動手段で発生する力の方向と直交する方向であり、図１９（ａ）の上下方向に着磁境界が存在し、左右方向に駆動される。コイル１３３ａは光軸方向から見たときに小判型をしており、２つの長手部分１３３ａ１，１３３ａ２が２つの磁石１３４ａ１，１３４ａ２と対向するように配置されている。

また、図１９（ｂ）に示したように、磁石１３４ａのコイル１３３ａと反対側の面には、固定ヨーク１３５ａがある。固定ヨーク１３５ａは望ましくは軟磁性体であり、図１９（ｂ）のように多くの磁束を透過させ磁気回路のパーミアンスを下げている。その結果、１４２ａ，１４２ｂの様に磁石１３４ａからコイル１３３ａに向かって比較的直線的に磁力線が生じている。固定ヨーク１３５ａはベース板１３１に固定されるので、重量を気にすることなく磁束が飽和しないように適切な厚みとすることができる。この状態でコイル１３３ａに通電すると、図１９（ｂ）の紙面垂直方向で１３３ａ１，１３３ａ２に反対方向に電流が流れる。フレミング左手の法則によって駆動力が発生する。図１７（ａ）で説明したように可動鏡筒１３８は弾性支持されているので、弾性体１３７ａ〜１３７ｃの合力と前記駆動力がつりあう位置までベース板１３１と可動鏡筒１３８の間に相対運動が生じる。

ここで、本実施例２に好適な粘弾性体（減衰手段１４６）は、上記実施例１と同様のものである。また、本実施例２に示す振れ補正ユニット９の制御方法についても、上記実施例１と同様なので割愛する。

また、任意のレンズ位置センサによって位置検出を行いいわゆるフィードバック制御を行うことでも任意の位置に移動可能である。

図２０は、本発明の実施例２に係る減衰手段１４６の硬化に関しての変形例１を説明するための図である。

図２０は減衰手段形成用穴部近傍の拡大図であり、１４４−１はダンパー抵抗棒、１４５は減衰手段形成用穴部、１４６は減衰手段である。

この例においても、減衰手段１４６は紫外線硬化型のシリコーンゲルを用いている。１４７は紫外線照射装置であり、光線トレース図を同時に示している。ダンパー抵抗棒１４４−１は紫外線透過性の材料で出来ている。ダンパー抵抗棒１４４−１はＴ字形の断面を回転してできた段付き円柱形状をしており、ダンパー抵抗棒１４４の周辺部からも紫外線が透過する構造になっている。紫外線透過性の材料としては、例えば住友化学製のスミペック０１０がある。

図２０に示したように、紫外線照射装置１４７から射出された紫外線は、ダンパー抵抗棒１４４−１の後端面である入射面から入射する。その後、減衰手段１４６であるシリコーンゲルの表面から入射する光線と、ダンパー抵抗棒１４４−１の先端部から射出されて、シリコーンゲルに入射する光線に分かれる。シリコーンゲルの表面から入射した光線は、そのままシリコーンゲルの深部に向う。また、ダンパー抵抗棒１４４−１の先端部から射出される光線は、ダンパー抵抗棒１４４−１の先端部の凹部斜面に全反射面が構成してあるので、全反射面で反射されて進行方向を変化させられ、シリコーンゲルに照射される。

図２０に示した光線トレースは、ダンパー抵抗棒１４４−１、減衰手段１４６の屈折率がそれぞれ１．５，１．４のときのものである。

このようにして、紫外線照射装置１４７から射出された紫外線は、紫外線透過性の材料で構成されたダンパー抵抗棒１４４−１の外周部と中央部を通り、それぞれシリコーンゲルに照射される。このとき、ダンパー抵抗棒１４４−１の外周部を通った光線はシリコーンゲルの表面から深部近くを硬化させる。また、ダンパー抵抗棒１４４−１の中央部を通った光線は、ダンパー抵抗棒１４４−１の先端部で進行方向を変化させられ、シリコーンゲルの深部を硬化させる。したがって、減衰手段１４６であるシリコーンゲルを満遍なく硬化させることが可能である。

ここで、シリコーンゲルの硬化に利用したダンパー抵抗棒１４４−１は、そのまま振れ補正ユニット１９０の減衰機構の一部として利用される。ダンパー抵抗棒１４４−１は、撮影光軸とは離れた位置に存在するので、撮影画像に影響することはないと思われるが、不要光の発生を抑えるために減衰手段１４６の硬化後にダンパー抵抗棒１４４−１の入射面には遮光板を貼ってもよい。

図２１は、本発明の実施例２に係る減衰手段１４６の硬化に関しての変形例２を説明するための図である。

図２１は減衰手段形成用穴部近傍の拡大図であり、１４４−２はダンパー抵抗棒、１４５は減衰手段形成用穴部、１４６は減衰手段である。

この例においても、減衰手段１４６は紫外線硬化型のシリコーンゲルを用いている。１４７は紫外線照射装置であり、光線トレース図を同時に示している。ダンパー抵抗棒１４４−２は紫外線透過性の材料でできている。ダンパー抵抗棒１４４−２はＴ字形の断面を回転してできた段付き円錐形状をしており、ダンパー抵抗棒１４４−２の周辺部からも紫外線が透過する構造になっている。紫外線透過性の材料としては、例えば住友化学製のスミペック０１０がある。

図２１に示したように、紫外線照射装置１４７から射出された紫外線は、ダンパー抵抗棒１４４−２の後端面である入射面から入射する。その後、シリコーンゲルの表面から入射される光線と、ダンパー抵抗棒１４４−２の側面から射出されて、シリコーンゲルに入射する光線に分かれる。シリコーンゲルの表面から入射した光線は、そのままシリコーンゲルの深部に向う。ダンパー抵抗棒１４４−２の先端部（突起形状部）が先細り形状（テーパー状）となっている。このように先細り形状にすると、ダンパー抵抗棒１４４−２の後端面である入射面から入射される光線は、この先端部のテーパー面に浅い角度で入射することになる。よって、ダンパー抵抗棒１４４−２の周辺から順番に全反射され、進行方向を変化させられ、側面から射出されて、シリコーンゲルに照射される。

図２１に示した光線トレースは、ダンパー抵抗棒１４４−２、減衰手段１４６の屈折率がそれぞれ１．５，１．４のときのものである。

このようにして、紫外線照射装置１４７から射出された紫外線は、紫外線透過性の材料で構成されたダンパー抵抗棒１４４−２の外周部と中央部を通り、それぞれシリコーンゲルに照射される。このとき、ダンパー抵抗棒１４４−２の外周部を通った光線はシリコーンゲルの表面から深部近くを硬化させる。また、ダンパー抵抗棒１４４−２の中央部を通った光線は、ダンパー抵抗棒１４４−２の側面で順次進行方向を変化させられ、シリコーンゲルの深部を硬化させる。したがって、減衰手段１４６であるシリコーンゲルを満遍なく硬化させることが可能である。

ここで、シリコーンゲルの硬化に利用したダンパー抵抗棒１４４−２は、そのまま振れ補正ユニット１９０の減衰機構の一部として利用される。ダンパー抵抗棒１４４−２は、撮影光軸とは離れた位置に存在するので、撮影画像に影響することはないと思われるが、不要光の発生を抑えるために減衰手段１４６の硬化後にダンパー抵抗棒１４４−２の入射面には遮光板を貼ってもよい。

図２２は、本発明の実施例２に係る減衰手段１４６の硬化に関しての変形例３を説明するための図である。

図２２は減衰手段形成用穴部近傍の拡大図であり、１４４−３はダンパー抵抗棒、１４５は減衰手段形成用穴部、１４６は減衰手段である。

この例においても、減衰手段１４６は紫外線硬化型のシリコーンゲルを用いている。１４７は紫外線照射装置であり、光線トレース図を同時に示している。ダンパー抵抗棒１４４−３は紫外線透過性の材料で出来ている。ダンパー抵抗棒１４４−３はＴ字形の断面を回転してできた段付き円柱形状をしており、ダンパー抵抗棒１４４−３の周辺からも紫外線が透過する構造になっている。また、ダンパー抵抗棒１４４−３の中央部には空気層１４４ａが形成されおり、その先端部には屈折面が形成されている。紫外線透過性の材料としては、例えば住友化学製のスミペック０１０がある。

図２２に示したように、紫外線照射装置１４７から射出された紫外線は、ダンパー抵抗棒１４４−３の後端面である入射面から入射する。その後、シリコーンゲルの表面から入射される光線と、ダンパー抵抗棒１４４−３の先端部（突起形状部）から射出されて、シリコーンゲルに入射する光線に分かれる。シリコーンゲルの表面から入射した光線は、そのままシリコーンゲルの深部に向う。また、ダンパー抵抗棒１４４−３の先端部から射出される光線は、ダンパー抵抗棒１４４−３の中央部にある空気層１４４ａを通り、先端部のテーパー面である屈折面で屈折されて進行方向を変化させられ、シリコーンゲルに照射される。

図２２に示した光線トレースは、ダンパー抵抗棒１４４−３、減衰手段１４６の屈折率がそれぞれ１．５，１．４のときのものである。

このようにして、紫外線照射装置１４７から射出された紫外線は、紫外線透過性の材料で構成されたダンパー抵抗棒１４４−３の外周部と中央部を通り、それぞれシリコーンゲルに照射される。このとき、ダンパー抵抗棒１４４−３の外周部を通った光線はシリコーンゲルの表面から深部近くを硬化させる。また、ダンパー抵抗棒１４４−３の中央部を通った光線は、ダンパー抵抗棒１４４の先端部で方向を変化させられ、シリコーンゲルの深部を硬化させる。したがって、減衰手段１４６であるシリコーンゲルを満遍なく硬化させることが可能である。

ここで、シリコーンゲルの硬化に利用したダンパー抵抗棒１４４−３は、そのまま振れ補正ユニット１９０の減衰機構の一部として利用される。ダンパー抵抗棒１４４−３は、撮影光軸とは離れた位置に存在するので、撮影画像に影響することはないと思われるが、不要光の発生を抑えるために減衰手段１４６の硬化後にダンパー抵抗棒１４４−３の入射面には遮光板を貼ってもよい。

上記の実施例２によれば、可動鏡筒１３８に後端が固定され、先端が突出形状部をしたダンパー抵抗棒１４４（１４４−１，１４４−２，１４４−３）を有する。さらに、ベース板１３１に設けられ、ダンパー抵抗棒１４４の突出形状部が挿入される減衰手段形成用穴部１４５を有する。さらに、ダンパー抵抗棒１４４の突出形状部が減衰手段形成用穴部１４５に挿入された状態で、これらの間に介在し、可動鏡筒１３８のベース板１３１に対する相対移動に際して粘性抵抗を与える、ゲルより成る減衰手段１４６を有する。また、上記ダンパー抵抗棒１４４は、紫外線を透過させる部材で構成されるとともに、その突出形状部の側面に、後端側から入射される紫外線を減衰手段１４６に射出する拡散面等が設けられている。

よって、減衰手段１４６を成すシリコーンゲルの深部まで硬化させることができ、振れ補正ユニットの周波数特性を手振れに適したものにすることである。また、減衰手段１４６を、電気的、複雑な機械的なものにより構成するのではなく、ゲルにより構成しているので、構成が簡単なものになる。また、振れ補正ユニットの減衰機構の一部を成すダンパー抵抗棒１４４を減衰手段１４６の硬化のための導光部材として利用することで、粘性抵抗を均一な状態にするができ、安定した防振性能を維持することが可能となる。また、上記のようにダンパー抵抗棒１４４を減衰手段１４６の硬化のための導光部材として利用しているので、従来のように可動鏡筒１３８やベース板１３１を透明部材にする必要がなく、ゴーストやフレアを生じる心配もない。

つまり、簡単な構成により、ゲル材より成る減衰手段の硬化を確実なものにし、安定した防振効果を得ることができる振れ補正装置や、該振れ補正装置を具備する撮像装置を提供することが可能となる。

図２３から図２８は本発明の実施例３に係る振れ補正機能を有する撮像装置に関する図である。上記実施例１の撮像装置との違いは、振れ補正ユニットの構成要素である減衰手段取付部の構成と、補正光学系の代わりに撮像素子を補正手段として画像の振れ補正を行う点である。

図２３は、振れ補正ユニットを具備するカメラの光学配置図である。図２３において、２０１は撮像装置、２０２は撮像レンズ、２０３はレンズ駆動制御部、２０４は撮像レンズ２０２の光軸、２０５はレンズ鏡筒である。２０６は撮像素子、２０７はメモリ、２０８は振れセンサ、２０９は撮像素子２０６を含む振れ補正ユニット２９０を光軸２０４と直交する平面内で移動させる駆動手段である。２１０は電源、２１１はレリーズ釦、２１３はいわゆるクイックリターンミラー、２１４はファインダ光学系である。

図２４は、撮像装置２０１の電気的構成を示す図である。撮像装置２０１は、撮像系、画像処理系、記録再生系、制御系を有する。撮像系は、撮像レンズ２０２、撮像素子２０６を含み、画像処理系は、Ａ／Ｄ変換器２２０、画像処理部２２１を含む。また、記録再生系は、表示部２２２、記録処理部２２３、メモリ２２４を含み、制御系は、カメラシステム制御部２２５、ＡＦセンサ２２６、ＡＥセンサ２２７、振れセンサ２０８、操作検出部２２９、およびレンズシステム制御部２３０を含む。

本実施例３に係る撮像装置やその電気的構成は上記実施例１とほぼ同様であるので、ここでは詳しい説明は省略する。

以下、図２５から図２８を用いて、本実施例３に係る振れ補正ユニット２９０の要部について説明する。

図２５は振れ補正ユニット２９０の斜視図、図２６は振れ補正ユニット２９０の被写体側から見た分解斜視図である。図２５および図２６において、２３１は固定部材であるところのベース板、２３８は可動部材であるところの可動枠であり、これらは遮光部材で構成されている。２３２ａ，２３２ｂ，２３２ｃはベース板２３１と可動枠２３８に狭持された球である。２４０は可動枠２３８に固定され、撮影時に画像振れを補正するための撮像素子である。２３３ａ，２３３ｂはコイル、２３４ａ，２３４ｂは磁石、２３５はヨーク（磁石吸着板）である。２３６ａ，２３６ｂはヨーク固定ネジを、２３７ａ，２３７ｂ，２３７ｃは弾性体、２４４ａ，２４４ｂはダンパー抵抗棒である。なお、図２５から後述の図２８までにおいては、振れ補正ユニット２９０の主要部分だけを示し、保持部材やリード線等は示していない。

図２５および図２６を用いてベース板２３１と可動枠２３８の相対運動について説明する。

撮影時に像振れを補正するための撮像素子２４０は、ベース板２３１に対し、Ｘ方向およびＹ方向に移動可能な可動枠２３８に固定されている。ベース板２３１と可動枠２３８は球２３２ａ〜２３２ｃを狭持しており、球２３２ａ〜２３２ｃを介して相対運動を行う。このため、転がり摩擦という非常に小さな摩擦の影響しか受けずに相対運動を行うことができる。摩擦が小さいために非常に小さな入力に対しても適切に応答することができる。また、球２３２ａ〜２３２ｃによる案内面を適切な精度で製作することにより、ベース板２３１と可動枠２３８が相対運動を行った場合でも可動枠２３８の傾きや光軸方向への不要な移動が発生することが無い。

図２７（ａ）〜（ｃ）は振れ補正ユニット２９０を示す構成図である。詳しくは、図２７（ａ）は光軸２０４の方向からみた正面図、図２７（ｂ）は図２７（ａ）におけるＡ−Ａ断面での断面図、図２７（ｃ）は図２６（ａ）におけるＢ−Ｂ断面、図２７（ｄ）は図２６（ａ）におけるＣ−Ｃ断面での断面図である。

図２７（ａ）に示したように、可動部材である可動枠２２８の支持方法は上記実施例１と同じ方法を取っている。つまり、可動枠２３８はベース板２３１に対して複数の弾性体２３７ａ，２３７ｂ，２３７ｃで弾性支持されている。本実施例３では、弾性体２３７ａ〜２３７ｃが光軸２０４から放射状に１２０度の間隔で３本配置されている。このような対称な配置とすることで、モーメントの発生による不要共振の励起を抑制することが可能となる。さらに、電源ＯＦＦ時の撮像素子２４０の垂れ下がりを防止することが可能となり、高価なロック機構等が不要となり、コストダウンを図ることができる。また、複数の弾性体２３７ａ〜２３７ｃにより弾性支持されることで、撮像素子２４０の中心を常に光軸中心に位置させることが可能となり、高価な撮像素子位置検出器を使ったフィードバック制御が不要となり、コストダウンを図ることができる。

図２７（ｂ）に示したように、弾性体２３７ａ〜２３７ｃは光軸２０４の方向に適宜傾けて取り付けられており、ベース板２３１と可動枠２３８の間に設けられた球２３２ａ（２３２ｂ，２３２ｃは不図示）を把持している。

図２７（ｃ）に示したように、ベース板２３１にはコイル２３３ａ，２３３ｂ（不図示）が固定されており、可動枠２３８には磁石２３４ａ（２３４ｂは不図示）およびヨーク２３５が固定されている。そして、いわゆるムービングマグネット型のアクチュエータ、つまり駆動手段を構成している。

図２７（ａ）において、可動枠２３８の紙面右上側には、ベース板２３１に取り付けられたコイル２３３ａ、可動枠２３８に取り付けられた磁石２３４ａおよびヨーク２３５により構成される第１の電磁アクチュエータが配置されている。さらに、可動枠２３８の紙面左上側には、ベース板２３１に取り付けられたコイル２３３ｂ、可動枠２３８に取り付けられた磁石２３４ｂおよびヨーク２３５により構成される第２の電磁アクチュエータが配置されている。これら第１の電磁アクチュエータおよび第２の電磁アクチュエータが、駆動手段を構成する。

次に、可動枠２３８とベース板２３１の間に介在し、適切な粘性抵抗を得るための減衰手段の取り付けについて説明する。

図２７（ｄ）において、ダンパー抵抗棒２４４ａ，２４４ｂの後端は可動枠２３８に設けられた円柱状の貫通穴２３８ａに差し込まれ、接着等で固定される。ベース板２３１に設けられた円形の穴部である減衰手段形成用穴部２４５ａ，２４５ｂに対して、ダンパー抵抗棒２４４ａ，２４４ｂの先端側の突起形状部がほぼ同心円状になるように配置される。そして、その隙間にドーナツ状に減衰手段２４６ａ，２４６ｂが充填されている。減衰手段２４６ａ，２４６ｂは様々な粘弾性体を用いることが可能であるが、本実施例３においても、組付け性や耐環境性に優れた紫外線硬化型シリコーンゲルを用いている。減衰手段２４６ａ，２４６ｂとして用いる粘弾性体の望ましい特性については上記実施例１と同様である。

図２７（ｄ）に示すように、可動枠２３８上に後端が固定されるダンパー抵抗棒２４４ａ，２４４ｂの先端側の突起形状部は、減衰手段形成用穴部２４５ａ，２４５ｂ内に、ベース板２３１と光軸２０４の方向にオーバーラップするように挿入されている。

また、減衰手段２４６ａ，２４６ｂは光軸対称に複数設けられることが望ましい。本実施例３では、図２７（ｄ）に示すように、光軸２０４に対して対称な位置に２つ設けられている。光軸２０４に対称に設けることで、ベース板２３１と可動枠２３８が相対運動を行ったときに、減衰手段２４６ａ，２４６ｂから受ける力によって可動枠２３８にモーメントが発生することが無い。

ここで、本実施例３では、ベース板２３１上に設けられた減衰手段形成用穴部２４５ａ，２４５ｂと、可動枠２３８上に後端が固定されたダンパー抵抗棒２４４ａ，２４４ｂとの間に、減衰手段２４６ａ，２４６ｂを介在させている。しかし、可動枠２３８上に減衰手段形成用穴部を設け、ベース板２３１上にダンパー抵抗棒の後端を固定する構造とし、これらの間に減衰手段２４６ａ，２４６ｂを介在させても構わない。

次に、本実施例３に係る減衰手段２４６ａ，２４６ｂの硬化に関して説明する。
図２８は減衰手段形成用穴部近傍の拡大図である。なお、以下、ダンパー抵抗棒２４４ａ，４４ｂ、減衰手段形成用穴部２４５ａ，４５ｂ、減衰手段２４６ａ，４６ｂは、それぞれ同一部材であるので、ダンパー抵抗棒２４４、減衰手段形成用穴部２４５、減衰手段２４６と記す。本実施例３においても、減衰手段２４６は紫外線硬化型のシリコーンゲルを用いている。２４７は紫外線照射装置であり、光線トレース図を同時に示している。ダンパー抵抗棒２４４は紫外線透過性の材料でできている。また、ダンパー抵抗棒２４４の中央部には空気層２４４ａが形成されている。紫外線透過性の材料としては、例えば住友化学製のスミペック０１０がある。受光窓２４８はＰＥＴフィルム等の紫外線を透過する薄い透明フィルムで構成されており、減衰手段形成用穴部２４５の底部を塞ぐ働きと紫外線照射装置２４７からの紫外線をシリコーンゲルに導く働きを持つ。

図２８に示したように、紫外線照射装置２４７から射出された紫外線は、受光窓２４８を通ってシリコーンゲルの深部に入射する。その後、紫外線はシリコーンゲルの中を進む光線と、ダンパー抵抗棒２４４の中央部の先端から入射し、ダンパー抵抗棒２４４の側面から射出され、シリコーンゲルに入射する光線とに分かれる。シリコーンゲルの中を進む光線は、そのままシリコーンゲルの表面に向う。また、ダンパー抵抗棒２４４の中央部には空気層２４４ａが形成されており、先端にテーパー面を設けることで全反射面が形成してある。したがって、ダンパー抵抗棒２４４の中央部を通った光線は、全反射面で反射され、進行方向を変化させられ、シリコーンゲルの表面近くに照射される。

図２８に示した光線トレースは、ダンパー抵抗棒２４４、減衰手段２４６の屈折率がそれぞれ１．５，１．４のときのものである。

このようにして、紫外線照射装置２４７から射出された紫外線は、受光窓２４８を通り、シリコーンゲルに照射される。このとき、ダンパー抵抗棒２４４に入射しなかった光線はシリコーンゲルの深部から表面近くを硬化させる。また、ダンパー抵抗棒２４４の中央部を通った光線は、ダンパー抵抗棒２４４の全反射面で方向を変化させられ、シリコーンゲルの表面近くを硬化させる。したがって、減衰手段２４６であるシリコーンゲルを満遍なく硬化させることが可能である。

ここで、シリコーンゲルの硬化に利用したダンパー抵抗棒２４４は、そのまま振れ補正ユニット２９０の減衰機構の一部として利用される。ダンパー抵抗棒２４４は、光軸２０４とは離れた位置に存在するので、撮影画像に影響することはないと思われるが、不要光の発生を抑えるために減衰手段２４６の硬化後にダンパー抵抗棒２４４の入射面には遮光板を貼ってもよい。

なお、振れ補正ユニット２９０の駆動手段２０９は、上記実施例１における駆動手段と同様なので、その説明を省略する。また、本実施例３に好適な減衰手段２４６を成す粘弾性体は、実施例１と同様のものである。また、本実施例３に示す振れ補正ユニット２９０の制御方法についても、実施例１と同様なので割愛する。また、任意の撮像素子位置センサによって位置検出を行い、いわゆるフィードバック制御を行うことでも任意の位置に移動可能である。

図２９は、本発明の実施例３に係る減衰手段２４６の硬化に関しての変形例１について説明するための図である。

図２９は減衰手段形成用穴部近傍の拡大図である。２４４−１はダンパー抵抗棒、２４５は減衰手段形成用穴部、２４６は減衰手段、２４８は受光窓である。この例においても、減衰手段２４４−１は紫外線硬化型のシリコーンゲルを用いている。２４７ａ，２４７ｂは紫外線照射装置であり、紙面上下方向から、減衰手段２４４−１を照射する。図２９には光線トレース図を同時に示している。ダンパー抵抗棒２４４−１は紫外線透過性の材料でできている。ダンパー抵抗棒２４４−１はＴ字形の断面を回転してできた段付き円柱形状をしており、ダンパー抵抗棒２４４−１の周辺からも紫外線が透過する構造になっている。紫外線透過性の材料としては、例えば住友化学製のスミペック０１０がある。受光窓２４８はＰＥＴフィルム等の紫外線を透過する薄い透明フィルムで構成される。

図２９に示したように、紫外線照射装置２４７ａから射出され、ダンパー抵抗棒２４４−１の後端面である入射面から入射した紫外線は、ダンパー抵抗棒２４４−１の周辺部から入射して、シリコーンゲル表面に照射される。シリコーンゲルの表面から入射した光線は、そのままシリコーンゲルの中を深部に向かって進む。また、紫外線照射装置２４７ｂから射出され、受光窓２４８を通った光線は、シリコーンゲルの深部に入射する。シリコーンゲルの深部に入射した光線は、そのままシリコーンゲルの中を表面に向かって進む。

図２９に示した光線トレースは、ダンパー抵抗棒２４４−１、減衰手段２４６の屈折率がそれぞれ１．５，１．４のときのものである。

このようにして、紫外線照射装置２４７ａから射出された紫外線は、ダンパー抵抗棒２４４−１の入射面から入射し、シリコーンゲルの表面から深部近くを硬化させる。また、紫外線照射装置２４７ｂから射出された紫外線は、受光窓２４８から入射し、シリコーンゲルの深部から表面近くを硬化させる。したがって、減衰手段２４６であるシリコーンゲルを満遍なく硬化させることが可能である。

ここで、シリコーンゲルの硬化に利用したダンパー抵抗棒２４４−１は、そのまま振れ補正ユニット２９０の減衰機構の一部として利用される。ダンパー抵抗棒２４４−１は、撮影光軸とは離れた位置に存在するので、撮影画像に影響することはないと思われるが、不要光の発生を抑えるために減衰手段２４６の硬化後にダンパー抵抗棒２４４−１の入射面には遮光板を貼ってもよい。

上記の実施例３によれば、可動枠２３８に後端が固定され、先端が突出形状部をしたダンパー抵抗棒２４４，２４４−１、ベース板２３１に設けられ、ダンパー抵抗棒２４４，２４４−１の突出形状部が挿入される減衰手段形成用穴部２４５を有する。さらに、ダンパー抵抗棒２４４，２４４−１の突出形状部が減衰手段形成用穴部２４５に挿入された状態で、これらの間に介在し、可動枠２３８のベース板２３１に対する相対移動に際して粘性抵抗を与える、ゲルより成る減衰手段２４６を有する。また、上記ダンパー抵抗棒２４４，２４４−１は、紫外線を透過させる部材で構成される。

よって、減衰手段２４６を成すシリコーンゲルの深部まで硬化させることができ、振れ補正ユニットの周波数特性を手振れに適したものにすることである。また、減衰手段２４６を、電気的、複雑な機械的なものにより構成するのではなく、ゲルにより構成しているので、構成が簡単なものになる。また、振れ補正ユニットの減衰機構の一部を成すダンパー抵抗棒２４４，２４４−１を減衰手段２４６の硬化のための導光部材として利用することで、粘性抵抗を均一な状態にするができ、安定した防振性能を維持することが可能となる。また、上記のようにダンパー抵抗棒２４４，２４４−１を減衰手段２４６の硬化のための導光部材として利用しているので、従来のように可動枠２３８やベース板２３１を透明部材にする必要がなく、ゴーストやフレアを生じる心配もない。

つまり、簡単な構成により、ゲル材より成る減衰手段の硬化を確実なものにし、安定した防振効果を得ることができる振れ補正装置や、該振れ補正装置を具備する撮像装置を提供することが可能となる。

図３０から図３３は本発明の実施例４に係る撮像装置に具備される振れ補正ユニットを示す図である。上記実施例１の撮像装置との違いは、振れ補正ユニットの構成要素である減衰手段取付部の構成である。撮像装置やその電気的構成は実施例１と同様であるので、ここでは割愛する。

図３０から図３３を用いて、本実施例４に係わる振れ補正ユニット３９０の要部について説明する。

図３０は振れ補正ユニット３９０の斜視図、図３１は振れ補正ユニット３９０の被写体側から見た分解斜視図である。図３０および図３１において、３３１は固定部材であるところのベース板、３３８は可動部材であるところの可動鏡筒であり、これらは遮光部材で構成されている。３３２ａ，３３２ｂ，３３２ｃはベース板３３１と可動鏡筒３３８に狭持された球である。３４０は可動鏡筒３３８に固定され、撮影時に画像振れを補正するための補正光学系である。３３３ａ，３３３ｂはコイル、３３４ａ，３３４ｂは磁石、３３５ａ，３３５ｂはヨーク、３３７ａ，３３７ｂ，３３７ｃは弾性体である。３４４ａ，３４４ｂはダンパー抵抗棒、３４５ａ，３４５ｂはダンパー保持缶である。なお、図３０から図３３では、振れ補正ユニット３９０の主要部分だけを示し、保持部材やリード線等は示していない。

図３０および図３１を用いて、ベース板３３１と可動鏡筒３３８の相対運動について説明する。

撮影時に像振れを補正するための補正光学系３４０は、ベース板３３１に対し、Ｘ方向およびＹ方向に移動可能な可動鏡筒３３８に固定されている。ベース板３３１と可動鏡筒３３８は球３３２ａ〜３３２ｃを狭持しており、球３３２ａ〜３３２ｃを介して相対運動を行う。このため、転がり摩擦という非常に小さな摩擦の影響しか受けずに相対運動を行うことができる。摩擦が小さいために非常に小さな入力に対しても適切に応答することが出来る。また、球３３２ａ〜３３２ｃによる案内面を適切な精度で製作することにより、ベース板３３１と可動鏡筒３３８が相対運動を行った場合でも、可動鏡筒３３８の傾きや光軸方向への不要な移動が発生することが無い。

図３２は振れ補正ユニット３９０を示す構成図である。詳しくは、図３２（ａ）は光軸４の方向からみた正面図、図３２（ｂ）は図３２（ａ）におけるＡ−Ａ断面での断面図、図３２（ｃ）は図３２（ａ）におけるＢ−Ｂ断面での断面図で、図３２（ｄ）は図３２（ａ）におけるＣ−Ｃ断面での断面図である。

図３２（ａ）に示したように、可動部材である可動鏡筒３３８の支持方法は、上記実施例１と同じ方法を取っている。つまり、可動鏡筒３３８はベース板３３１に対して複数の弾性体３３７ａ，３３７ｂ，３３７ｃで弾性支持されている。本実施例４では、弾性体３３７ａ〜３３７ｃが光軸３０４から放射状に１２０度の間隔で３本配置されている。このような対称な配置とすることで、モーメントの発生による不要共振の励起を抑制することが可能となる。さらに、電源ＯＦＦ時の補正光学系３４０の垂れ下がりを防止することが可能となり、高価なロック機構等が不要となり、コストダウンを図ることができる。また、複数の弾性体３３７ａ〜３３７ｃにより弾性支持されることで、補正光学系３４０のレンズ中心を常に光軸中心に位置させることが可能となり、高価なレンズ位置検出器を使ったフィードバック制御が不要となり、コストダウンを図ることができる。

図３２（ｂ）に示したように、弾性体３３７ａ〜３３７ｃは光軸方向に適宜傾けて取り付けられており、ベース板３３１と可動鏡筒３３８の間に設けられた球３３２ａ〜３３２ｃ３３２を把持している。

図３２（ｃ）に示したように、可動鏡筒３３８にはコイル３３３ａ，３３３ｂが固定されており、ベース板３３１には磁石３３４ａ，３３４ｂおよびヨーク３３５ａ，３３５ｂが固定されている。そして、いわゆるムービングコイル型のアクチュエータ、つまり振れ補正ユニット３９０の駆動手段を構成する。

図３２（ａ）において、可動鏡筒３３８の紙面右上側には、可動鏡筒３３８に取り付けられたコイル３３３ａ、ベース板３３１に取り付けられた磁石３３４ａおよびヨーク３３５ａにより構成される第１の電磁アクチュエータが配置されている。さらに、可動鏡筒３３８の紙面左上側には、可動鏡筒３３８に取り付けられたコイル３３３ｂ、ベース板３３１に取り付けられた磁石３３４ｂおよびヨーク３３５ｂにより構成される第２の電磁アクチュエータが配置されている。これら第１の電磁アクチュエータおよび第２の電磁アクチュエータが、振れ補正ユニット３９０の駆動手段を構成している。

次に、可動鏡筒３３８とベース板２３１の間に介在し、適切な粘性抵抗を得るための減衰手段の取り付けについて説明する。

図３２（ｄ）において、ダンパー抵抗棒３４４ａ，３４４ｂの後端は可動鏡筒３３８に設けられた円柱状の貫通穴２３８ａに差し込まれ、接着等で固定される。ベース板３３１に設けられた円形の穴部に接着される、減衰手段形成用開口容器に相当するダンパー保持缶３４５ａ，３４５ｂに対して、可動鏡筒３３８に設けられたダンパー抵抗棒３４４ａ，３４４ｂの先端側の突起形状部がほぼ同心円状になるように配置される。そして、その隙間にドーナツ状に減衰手段３４６ａ，３４６ｂが充填されている。減衰手段３４６ａ，３４６ｂは様々な粘弾性体を用いることが可能であるが、本実施例４においても、組付け性や耐環境性に優れた紫外線硬化型シリコーンゲルを用いている。減衰手段２４６ａ，２４６ｂとして用いる粘弾性体の望ましい特性については上記実施例１と同様である。

図３２（ｄ）に示すように、可動鏡筒３３８上に後端が固定されるダンパー抵抗棒３４４ａ，３４４ｂの先端側の突起形状部は、ダンパー保持缶３４５ａ，３４５ｂ内に、ベース板３３１と光軸３０４の方向にオーバーラップするように挿入されている。

また、減衰手段３４６ａ，３４６ｂは光軸対称に複数設けられることが望ましい。本実施例４では、図３２（ｄ）に示すように、光軸３０４に対して対称な位置に２つ設けられている。光軸に対称に設けることで、ベース板３３１と可動鏡筒３３８が相対運動を行ったときに、減衰手段３４６ａ，３４６ｂから受ける力によって可動鏡筒３３８にモーメントが発生することが無い。

ここで、本実施例４では、ベース板３３１上に設けられたダンパー保持缶３４５ａ，３４５ｂと、可動鏡筒３３８上に後端が固定されたダンパー抵抗棒３４４ａ，３４４ｂとの間に、減衰手段３４６ａ，３４６ｂを介在させている。しかし、可動鏡筒３３８上にダンパー保持缶を設け、ベース板３３１上にダンパー抵抗棒の後端を固定する構造とし、これらの間に減衰手段３４６ａ，３４６ｂを介在させても構わない。

次に、本実施例４における減衰手段３４６ａ，３４６ｂの硬化に関して説明する。

図３３は、ダンパー保持缶３４５ａ，３４５ｂ近傍の拡大図である。なお、以下、ダンパー抵抗棒３４４ａ，３４４ｂ、ダンパー保持缶３４５ａ，３４５ｂ、減衰手段３４６ａ，３４６ｂは、それぞれ同一部材であるので、ダンパー抵抗棒３４４、ダンパー保持缶３４５、減衰手段３４６と記す。本実施例４においても、減衰手段３４６は紫外線硬化型のシリコーンゲルを用いている。３４７は紫外線照射装置であり、光線トレース図を同時に示している。ダンパー抵抗棒３４４およびダンパー保持缶３４５は紫外線透過性の材料でできている。ダンパー抵抗棒３４４はＴ字形の断面を回転してできた段付き円柱形状をしており、ダンパー抵抗棒３４４の周辺部からも紫外線が透過する構造になっている。また、ダンパー保持缶３４５はＵ字形の断面を回転してできた形状をしており、ダンパー抵抗棒３４４を通った光線がダンパー保持缶３４５の側壁部分を透過する構造になっている。紫外線透過性の材料としては、例えば住友化学製のスミペック０１０がある。

図３３に示したように、紫外線照射装置３４７から射出された紫外線は、ダンパー抵抗棒３４４の後端面である入射面から入射する。その後、シリコーンゲルの表面から入射する光線と、ダンパー抵抗棒３４４の中央部の先端から射出されてシリコーンゲルに照射される光線に分かれる。さらには、ダンパー保持缶３４５の側壁部分に入射した後、ダンパー保持缶３４５の全反射面３４５ｃで反射して、シリコーンゲルに照射される光線に分かれる。シリコーンゲルの表面から入射した光線は、そのままシリコーンゲルの深部に向う。また、ダンパー抵抗棒３４４の中央部の先端から射出する光線は、ダンパー抵抗棒１４４の先端からシリコーンゲルの深部に照射される。また、ダンパー保持缶３４５の全反射面３４５ｃで反射した光線は、シリコーンゲルの深部に照射される。

図３３に示した光線トレースは、ダンパー抵抗棒３４４、減衰手段３４６の屈折率がそれぞれ１．５，１．４のときのものである。

このようにして、紫外線照射装置３４７から射出された紫外線は、紫外線透過性の材料で構成されたダンパー抵抗棒３４４の外周部と中央部を通り、それぞれシリコーンゲルに照射される。このとき、ダンパー抵抗棒３４４の外周部を通った光線のうち、シリコーンゲルの表面から入射した紫外線は、シリコーンゲルの表面から深部近くを硬化させる。また、ダンパー抵抗棒３３４の中央部を通った紫外線は、ダンパー抵抗棒３４４の中央部の先端から照射され、シリコーンゲルの深部を硬化させる。また、ダンパー抵抗棒３４４の外周部を通った光線のうち、ダンパー保持缶３４５の側壁部分に入射した紫外線は、ダンパー保持缶３４５に設けられた全反射面３４５ｃで反射し、進行方向を変化させられ、シリコーンゲルの深部を硬化させる。したがって、減衰手段３４６であるシリコーンゲルを満遍なく硬化させることが可能である。

ここで、シリコーンゲルの硬化に利用したダンパー抵抗棒３４４は、そのまま振れ補正ユニット３９０の減衰機構の一部として利用される。ダンパー抵抗棒３４４は、撮影光軸とは離れた位置に存在するので、撮影画像に影響することはないと思われるが、不要光の発生を抑えるために減衰手段３４６の硬化後にダンパー抵抗棒３４４の入射面には遮光板を貼ってもよい。

なお、振れ補正ユニット３９０の駆動手段については、上記実施例１と同様なので説明を省略する。また、本実施例４に好適な減衰手段３４６を成す粘弾性体は実施例１と同様のものである。また、本実施例４に示す振れ補正ユニット３９０の制御方法についても、実施例１と同様なので割愛する。また、任意の撮像素子位置センサによって位置検出を行い、いわゆるフィードバック制御を行うことでも任意の位置に移動可能である。

図３４は、本発明の実施例４に係る減衰手段３４６の硬化に関しての変形例について説明するための図である。

図３４は、減衰手段取付部近傍の拡大図である。３４４はダンパー抵抗棒、３４５−１は減衰手段形成用開口容器に相当するダンパー保持缶、３４６は減衰手段である。本実施例４では、減衰手段３４６は紫外線硬化型のシリコーンゲルを用いている。３４７は紫外線照射装置であり、光線トレース図を同時に示している。ダンパー保持缶３４５−１は紫外線透過性の材料でできている。ダンパー保持缶３４５−１はＵ字形の断面を回転してできた形状をしており、ダンパー保持缶３４５−１の底面から入射した光線が該ダンパー保持缶３４５−１を透過する構造になっている。紫外線透過性の材料としては、例えば住友化学製のスミペック０１０がある。ここで、ダンパー抵抗棒３４４は紫外線透過性の材料でできていなくて、可動鏡筒３３８と一体で構成されていても構わない。

図３４に示したように、紫外線照射装置３４７から射出された紫外線は、ダンパー保持缶３４５の底面（ダンパー抵抗棒３４４の先端側）から入射する。その後はシリコーンゲルの深部に入射する光線と、ダンパー保持缶３４５の側壁部分に設けられた全反射部３４５ｃで反射して、シリコーンゲルの表面部分に照射される光線に分かれる。シリコーンゲルの深部から入射した光線は、そのままシリコーンゲルの表面に向う。また、ダンパー保持缶３４５の側壁部分の全反射面３４５ｃで反射した光線は進行方向を変化させ、シリコーンゲルの表面部分に照射される。

図３４に示した光線トレースは、ダンパー保持缶３４５−１、減衰手段３４６の屈折率がそれぞれ１．５、１．４のときのものである。

このようにして、紫外線照射装置３４７から射出された紫外線は、紫外線透過性の材料で構成されたダンパー保持缶３４５−１を通り、それぞれシリコーンゲルに照射される。このとき、ダンパー保持缶３４５−１の側壁部分を通った光線はシリコーンゲルの表面を硬化させる。したがって、減衰手段３４６であるシリコーンゲルを満遍なく硬化させることが可能である。

ここで、シリコーンゲルの硬化に利用したダンパー抵抗棒３４４は、そのまま振れ補正ユニット３９０の減衰機構の一部として利用される。ダンパー抵抗棒３４４は、撮影光軸とは離れた位置に存在するので、撮影画像に影響することはないと思われるが、不要光の発生を抑えるために減衰手段３４６の硬化後にダンパー保持缶３４５−１の入射面には遮光板を貼ってもよい。

上記実施例４によれば、可動鏡筒３３８に後端が固定され、先端が突出形状部をしたダンパー抵抗棒３４４、ベース板３３１に設けられ、ダンパー抵抗棒３４４の突出形状部が挿入される減衰手段形成用開口容器であるダンパー保持缶３４５，３４５−１を有する。さらに、ダンパー抵抗棒３４４の突出形状部がダンパー保持缶３４５，３４５−１に挿入された状態で、これらの間に介在し、可動鏡筒３３８のベース板３３１に対する相対移動に際して粘性抵抗を与える、ゲルより成る減衰手段３４６を有する。また、上記ダンパー保持缶３４５，３４５−１は、紫外線を透過させる部材で構成される。

よって、減衰手段３４６を成すシリコーンゲルの深部まで硬化させることができ、振れ補正ユニットの周波数特性を手振れに適したものにすることである。また、減衰手段３４６を、電気的、複雑な機械的なものにより構成するのではなく、ゲルにより構成しているので、構成が簡単なものになる。また、振れ補正ユニットの減衰機構を一部を成すダンパー保持缶３４５，３４５−１を減衰手段３４６の硬化のための導光部材として利用することで、粘性抵抗を均一な状態にするができ、安定した防振性能を維持することが可能となる。また、上記のようにダンパー保持缶３４５，３４５−１を減衰手段３４６の硬化のための導光部材として利用しているので、従来のように可動鏡筒３３８やベース板３３１を透明部材にする必要がなく、ゴーストやフレアを生じる心配もない。

つまり、簡単な構成により、ゲル材より成る減衰手段の硬化を確実なものにし、安定した防振効果を得ることができる振れ補正装置や、該振れ補正装置を具備する撮像装置を提供することが可能となる。

図３５は、本発明の実施例５に係る撮像装置に具備される振れ補正ユニットを示す断面図である。本実施例５に係る撮像装置やその電気的構成は、上記実施例１と同様であるので、ここでは割愛する。

図３５は振れ補正ユニット４９０の光軸４０４を通る断面図である。４３１は固定部材であるところのベース板、４３８は可動部材であるところの可動鏡筒であり、これらは遮光部材で構成されている。４４０は可動鏡筒４３８に固定され、撮影時に画像振れを補正するための補正光学系である。４４４ａ，４４４ｂはダンパー抵抗棒、４４５ａ，４４５ｂは減衰手段形成用開口容器に相当するダンパー保持缶、４４６ａ，４４６ｂは減衰手段である。なお、図３５では、振れ補正ユニット４９０の主要部分だけを示し、保持部材やリード線等は示していない。また、以下、ダンパー抵抗棒４４４ａ，４４４ｂ、ダンパー保持缶４４５ａ，４４５ｂ、減衰手段４４６ａ，４４６ｂは、それぞれ同一部材であるので、ダンパー抵抗棒４４４、ダンパー保持缶４４５、減衰手段４４６と記す。

ここで、ベース板４３１に対する可動鏡筒４３８の保持方法および駆動方法については、上記実施例１と同様であるので、ここでは割愛する。

次に、本実施例５に係る減衰手段４４６の硬化に関して説明する。

本実施例５においても、減衰手段４４６は紫外線硬化型のシリコーンゲルを用いている。４４７は紫外線照射装置、４４８は光線反射装置であり、光線トレース図を同時に示している。ダンパー抵抗棒４４４、ダンパー保持缶４４５は紫外線透過性の材料でできている。ダンパー保持缶４４５はＵ字形の断面を回転してできた形状をしており、光線反射装置４４８で反射された光線が該ダンパー保持缶４４５を透過する構造になっている。紫外線透過性の材料としては、例えば住友化学製のスミペック０１０がある。ここで、ダンパー抵抗棒４４４は紫外線透過性の材料でできていなくて、可動鏡筒４３８と一体で構成されていても構わない。

図３５に示したように、紫外線照射装置４４７から発せられた光線は、補正光学系４４０を通過後、光線反射装置４４８で反射され、ダンパー保持缶４４５へ向かう。そして、ダンパー保持缶４４５は紫外線透過性の材料で出来ているので、ダンパー保持缶４４５が保持しているシリコーンゲルを照射する。

図３５に示した光線トレースは、ダンパー保持缶４４６、減衰手段４４６の屈折率がそれぞれ１．５，１．４のときのものである。

このようにして、紫外線照射装置４４７から射出された紫外線は、紫外線透過性の材料で構成されたダンパー保持缶４４５を通り、シリコーンゲルに照射される。このとき、ダンパー保持缶４４５の側面を通った光線はシリコーンゲルの表面から深部までを硬化させる。したがって、減衰手段４４６であるシリコーンゲルを満遍なく硬化させることが可能である。

ここで、シリコーンゲルの硬化に利用したダンパー抵抗棒４４４は、そのまま振れ補正ユニットの減衰機構の一部として利用される。ダンパー抵抗棒４４４は、撮影光軸とは離れた位置に存在するので、撮影画像に影響することはないと思われるが、不要光の発生を抑えるためにダンパー抵抗棒の入射面には遮光板を貼ってもよい。

上記の実施例５によれば、可動鏡筒４３８に後端が固定され、先端が突出形状部をしたダンパー抵抗棒４４４、ベース板４３１に設けられ、ダンパー抵抗棒４４４の突出形状部が挿入される減衰手段形成用開口容器であるダンパー保持缶４４５を有する。さらに、ダンパー抵抗棒４４４の突出形状部がダンパー保持缶４４５に挿入された状態で、これらの間に介在し、可動鏡筒４３８のベース板４３１に対する相対移動に際して粘性抵抗を与える、ゲルより成る減衰手段４４６を有する。また、上記ダンパー保持缶４４５は、紫外線を透過させる部材で構成される。

よって、減衰手段４４６を成すシリコーンゲルの深部まで硬化させることができ、振れ補正ユニットの周波数特性を手振れに適したものにすることである。また、減衰手段４４６を、電気的、複雑な機械的なものにより構成するのではなく、ゲルにより構成しているので、構成が簡単なものになる。また、振れ補正ユニットの減衰機構の一部を成すダンパー保持缶４４５を減衰手段４４６の硬化のための導光部材として利用することで、粘性抵抗を均一な状態にするができ、安定した防振性能を維持することが可能となる。また、上記のようにダンパー保持缶４４５を減衰手段４４６の硬化のための導光部材として利用しているので、従来のように可動鏡筒４３８やベース板４３１を透明部材にする必要がなく、ゴーストやフレアを生じる心配もない。

つまり、簡単な構成により、ゲル材より成る減衰手段の硬化を確実なものにし、安定した防振効果を得ることができる振れ補正装置や、該振れ補正装置を具備する撮像装置を提供することが可能となる。

（本発明と実施例の対応）
補正光学系１２，１４０，３４０，４４０又は撮像素子２０６が本発明の補正手段に、可動鏡筒３８，１３８，３３８，４３８又は可動枠２３８が、補正手段を一体に保持する可動部材に、それぞれ相当する。また、ベース板３１，１３１，２３１，３３１，４３１が、可動部材を移動可能に支持する固定部材に、駆動手段７０、２０９が、可動部材を介して補正手段を撮像光学系の光軸と直交する平面内で移動させる駆動手段に、それぞれ相当する。また、ダンパー抵抗棒４４，４４−１，４４−２，１４４，１４４−１，１４４−２，１４４―３，２４４，２４４−１，３４４，４４４が、可動部材と固定部材の一方に一端が固定され、他端が突出形状部に形成された棒状部材に相当する。

また、減衰手段形成用穴部４５，１４５，２４５が、可動部材と固定部材の他方に設けられ、棒状部材の突出形状部が挿入される減衰手段形成用穴部に相当する。また、ダンパー保持缶３４５，３４５−１が、可動部材と固定部材の他方に設けられ、棒状部材の突起形状部が挿入される減衰手段形成用開口容器に相当する。また、減衰手段４６，１４６，２４６，３４６，４４６が本発明の減衰手段に相当する。

本発明の実施例１に係わる撮像装置を示す構成図である。 本発明の実施例１に係わる撮像装置の電気的構成を示す図である。 本発明の実施例１に係わる振れ補正ユニットを示す斜視図である。 本発明の実施例１に係わる振れ補正ユニットの分解斜視図である。 本発明の実施例１に係わる振れ補正ユニットを示す平面図及び断面図である。 本発明の実施例１に係わる振れ補正ユニットの減衰手段形成用穴部近傍を示す図である。 図６のＡ部拡大図である。 本発明の実施例１に係わる振れ補正ユニットの駆動手段を示す模式図である。 本発明の実施例１に係わる粘弾性体の周波数特性を示す図である。 本発明の実施例１に係わる振れ補正ユニットの解析モデルを示す図である。 本発明の実施例１に係わる補正光学系駆動時の解析モデルの周波数応答線図である。 本発明の実施例１に係わる振れ補正ユニットの制御用信号処理回路のブロック図である。 本発明の実施例１に係わる振れ補正ユニットの減衰手段形成用穴部近傍の変形例を示す図である。 本発明の実施例１に係わる振れ補正ユニットの減衰手段形成用穴部近傍の変形例を示す詳細図である。 本発明の実施例２に係わる振れ補正ユニットを示す斜視図である。 本発明の実施例２に係わる振れ補正ユニットを示す分解斜視図である。 本発明の実施例２に係わる振れ補正ユニット平面図及び断面図である。 本発明の実施例２に係わる振れ補正ユニットの減衰手段形成用穴部近傍を示す図である。 本発明の実施例２に係わる振れ補正ユニットの駆動手段を示す模式図である。 本発明の実施例２に係わる振れ補正ユニットの減衰手段形成用穴部近傍の変形例１を示す図である。 本発明の実施例２に係わる振れ補正ユニットの減衰手段形成用穴部近傍の変形例２を示す図である。 本発明の実施例２に係わる振れ補正ユニットの減衰手段形成用穴部近傍の変形例３を示す図である。 本発明の実施例３に係わる撮像装置を示す構成図である。 本発明の実施例３に係わる撮像装置の電気的構成を示す図である。 本発明の実施例３に係わる振れ補正ユニットを示す斜視図である。 本発明の実施例３に係わる振れ補正ユニットの分解斜視図である。 本発明の実施例３に係わる振れ補正ユニットを示す平面図及び断面図である。 本発明の実施例３に係わる振れ補正ユニットの減衰手段形成用穴部近傍を示す図である。 本発明の実施例３に係わる振れ補正ユニットの減衰手段形成用穴部近傍の変形例１を示す拡大図である。 本発明の実施例４に係わる振れ補正ユニットを示す斜視図である。 本発明の実施例４に係わる振れ補正ユニットの分解斜視図である。 本発明の実施例４に係わる振れ補正ユニットを示す平面図及び断面図である。 本発明の実施例４に係わる振れ補正ユニットのダンパー保持缶近傍を示す図である。 本発明の実施例４に係わる振れ補正ユニットのダンパー保持缶近傍の変形例を示す図である。 本発明の実施例５に係わる振れ補正ユニットのダンパー保持缶近傍を示す図である。 シリコーンゲルの紫外線の積算光量と硬化厚みの関係を示す図である。

符号の説明

１ 撮像装置
２ 撮像レンズ
４ 光軸
８ 振れセンサ
９ 振れ補正ユニット
１２ 補正光学系
３１ ベース板
３８ 可動鏡筒
４４ ダンパー抵抗棒
４４−１ ダンパー抵抗棒
４４−２ ダンパー抵抗棒
４５ 減衰手段形成用穴部
４６ 減衰手段
４７ 紫外線照射装置
７０ 駆動手段
１４０ 補正光学系
１３１ ベース板
１３８ 可動鏡筒
１４４ ダンパー抵抗棒
１４４−１ ダンパー抵抗棒
１４４−２ ダンパー抵抗棒
１４４−３ ダンパー抵抗棒
１４５ 減衰手段形成用穴部
１４６ 減衰手段
１４７ 紫外線照射装置
２０６ 撮像素子
２０９ 駆動手段
２３１ ベース板
２３８ 可動枠
２４４ ダンパー抵抗棒
２４４−１ ダンパー抵抗棒
２４５ 減衰手段形成用穴部
２４６ 減衰手段
２４７ 紫外線照射装置
２４７ａ，２４７ｂ 紫外線照射装置
２４８ 受光窓
２９０ 振れ補正ユニット
３４０ 補正光学系
３３１ ベース板
３３８ 可動鏡筒
３４４ ダンパー抵抗棒
３４５ ダンパー保持缶
３４５−１ ダンパー保持缶
３４６ 減衰手段
３４７ 紫外線照射装置
３９０ 振れ補正ユニット
４４０ 補正光学系
４３１ ベース板
４３８ 可動鏡筒
４４４ ダンパー抵抗棒
４４５ ダンパー保持缶
４４６ 減衰手段
４４７ 紫外線照射装置
４９０ 振れ補正ユニット

Claims (6)

1. 像振れを補正する補正手段を一体に保持する可動部材と、
   前記可動部材を移動可能に支持する固定部材と、
   前記可動部材を介して前記補正手段を撮像光学系の光軸と直交する方向に移動させ、振れによる画像振れを補正する駆動手段と、
   前記可動部材の前記固定部材に対する相対移動に際して粘性抵抗を与える紫外線硬化性の減衰手段と、
   紫外線透過材で構成され、前記可動部材と前記固定部材の一方に一端が固定され、他端が突出形状部に形成された棒状部材とを有し、
   前記可動部材と前記固定部材の他方には、円筒形の有底穴であって、前記棒状部材の前記突出形状部が開口部から挿入される減衰手段形成用穴部が設けられ、
   前記棒状部材の前記突出形状部が前記減衰手段形成用穴部に挿入された状態で、前記突出形状部と前記減衰手段形成用穴部の間に前記減衰手段が設けられ、
   前記棒状部材の前記突出形状部の側面に、入射される紫外線を前記減衰手段に対して射出する反射部または屈折部が設けられ、
   前記棒状部材の前記突出形状部の側面から射出された紫外線が通過する前記減衰手段内の距離は、前記減衰手段形成用穴部に配設された前記減衰手段の高さよりも短いことを特徴とする像ぶれ補正装置。
2. 前記減衰手段は、紫外線硬化型シリコーンゲルであることを特徴とする請求項１に記載の像ぶれ補正装置。
3. 前記棒状部材は、減衰機構の一部となることを特徴とする請求項１または２に記載の像ぶれ補正装置。
4. 前記可動部材と前記固定部材の間に配設される３つの球部材と、
   一方が前記可動部材に配設され、他方が前記固定部材に配設され、前記可動部材と前記固定部材の間隔を狭める付勢部材とを有することを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の像ぶれ補正装置。
5. 請求項１ないし４のいずれか１項に記載の像ぶれ補正装置を有することを特徴とする光学機器。
6. 請求項１ないし４のいずれか１項に記載の像ぶれ補正装置を有することを特徴とする撮像装置。

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