JP5178451B2 - 磁気記憶媒体製造方法 - Google Patents
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Description
最初に、本実施例に係る磁気記憶媒体の構造を説明する。
次に、図1を用いて、合金の規則化にかかる熱処理温度と保磁力との依存関係を説明する。図1は、合金の規則化にかかる熱処理温度と保磁力との依存関係を説明するための図である。
次に、図2を用いて、Ti膜の厚さに対する保磁力の変化を説明する。図2は、300℃の熱処理におけるTi膜の厚さに対する保磁力の変化を説明するための図である。
次に、図3を用いて、磁気記憶媒体の製造方法を説明する。図3は、磁気記憶媒体の製造方法を説明するための図である。
例えば、図4−1に示すように、磁性積層膜(基板および媒体膜)に保護膜となるレジスト(光硬化樹脂)を塗布し、媒体Bitパターンに成型されたモールドを押しあてて、レジスト形状パターンを作製する。なお、図4−1は、レジスト形状パターン作製を説明するための図である。
RIE処理によって微細加工を実施する場合には、例えば、積層膜として、APS−SUL層上に、Taを3nm、MgOを2nm、CoPtBを10nm、Tiを5nmおよびTaを5nm積層させる。そして、IBE処理と同様に、磁性積層膜(基板および媒体膜)に保護膜となるレジスト(光硬化樹脂)を塗布し、媒体Bitパターンに成型されたモールドを押しあてて、レジスト形状パターンを作製する(図4−1参照)。
次に、図7を用いて、上記の磁気記憶媒体を有する情報記憶装置の構成について説明する。図7は、情報記憶装置の構成例を示す図である。
上述したように、磁気記憶媒体は、高温での熱処理が必要であり、高い磁気異方性を有する高磁気異方性材料に、当該高磁気異方性材料よりも低温の熱処理で拡散を開始する低温拡散材料が添加され、さらに、当該添加された低温拡散材料と強く結合して、当該低温拡散材料の移動を促進させる材料を有するので、合金の規則化にかかる熱処理温度を低減することが可能である。
10 磁気記憶媒体
11 スピンドルモータ
12 アーム
13 ヘッド
14 ボイスコイルモータ
15 軸
Claims (1)
- 基板上に、
高磁気異方性材料であるCoPtまたはFePtに、これよりも低温の熱処理で拡散を開始する低温拡散材料であるBが添加されたCoPtBまたはFePtBからなる磁性層を積層する磁性層積層工程と、
前記低温拡散材料の拡散を促進させる材料であるTiを有する、前記磁性層のキャップ層を積層するキャップ層積層工程と、
を含んだことを特徴とする磁気記憶媒体製造方法。
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