JP5170074B2 - 炭化珪素半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Description
本発明の第1実施形態について説明する。図1は、本実施形態にかかるSiC半導体装置を示した図であり、図1(a)は、平面パターン図、図1(b)は、図1(a)のA−A’断面図、図1(b)は、図1(a)のB−B’断面図、図1(d)は、図1(a)のC−C’断面図である。
本発明の第2実施形態について説明する。本実施形態では、第1実施形態と異なる手法によって、トレンチ6の先端部にJFET構造が構成されなくなるようにするものであり、SiC半導体装置の基本的な構造は第1実施形態と同様であるため、第1実施形態と異なる部分についてのみ説明する。
本発明の第3実施形態について説明する。本実施形態では、第1実施形態と異なる手法によって、トレンチ6の先端部にJFET構造が構成されなくなるようにするものであり、SiC半導体装置の基本的な構造は第1実施形態と同様であるため、第1実施形態と異なる部分についてのみ説明する。
上記各実施形態では、JFETを備えたSiC半導体装置について説明したが、第2ゲート領域8の代わりに、n-型チャネル層7の表面にゲート絶縁膜を形成すると共にゲート絶縁膜の表面にゲート電極を配置したMOSFETを備えるSiC半導体装置についても、上記各実施形態と同様の構造を採用することができる。MOSFETを備えた半導体において上記各実施形態の構造を採用すれば、トレンチ6の先端部においてMOSFET構造が構成されないようにできることから、上記各実施形態と同様の効果を得ることができる。
2 n-型ドリフト層
3 第1ゲート領域(ベース層)
4 n+型ソース領域
5 半導体基板
6 トレンチ
7 n-型チャネル層
8 第2ゲート領域
9 ゲート電極
10 層間絶縁膜
11 ソース電極
12 ドレイン電極
20 p+型領域
Claims (5)
- 炭化珪素からなる第1導電型基板(1)と、前記第1導電型基板(1)上にエピタキシャル成長によって形成された第1導電型のドリフト層(2)と、前記ドリフト層(2)上にエピタキシャル成長によって形成された第2導電型の第1ゲート領域(3)と、前記第1ゲート領域(3)上にエピタキシャル成長もしくはイオン注入により形成された第1導電型のソース領域(4)とを有する半導体基板(5)と、
前記ソース領域(4)および第1ゲート領域(3)を貫通して前記ドリフト層(2)まで達し、一方向を長手方向とした短冊状のトレンチ(6)と、
前記トレンチ(6)の内壁上にエピタキシャル成長によって形成された第1導電型のチャネル層(7)と、
前記チャネル層(7)の上に形成された第2導電型の第2ゲート領域(8)とを有したJFETを備え、
前記トレンチ(6)の両先端部において前記ソース領域(4)の厚みよりも深い凹形状とされることで、該トレンチ(6)の両先端部において、少なくともソース領域(4)が除去されており、前記トレンチ(6)の先端部において前記ソース領域(4)が形成されておらず、前記チャネル層(7)のうち前記トレンチ(6)の長辺部に形成された部分よりも膜厚が厚くなっている部分に全く前記ソース領域(4)が接していないことを特徴とする炭化珪素半導体装置。 - 前記トレンチ(6)の先端部において、前記チャネル層(7)のうち前記トレンチ(6)の長辺部に形成される部分よりも厚くなっている厚膜領域および前記厚膜領域から前記トレンチ(6)の長辺部の内側方向へ前記第1ゲート領域(3)の厚さよりも長い領域が除去された凹形状とされていることを特徴とする請求項1に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記トレンチ(6)は複数本が平行に並べられたストライプ状とされており、複数本の前記トレンチ(6)の先端部の領域が前記凹形状にて連続的に除去されていることを特徴とする請求項1または2に記載の炭化珪素半導体装置。
- 炭化珪素からなる第1導電型基板(1)と、前記第1導電型基板(1)上にエピタキシャル成長によって形成された第1導電型のドリフト層(2)と、前記ドリフト層(2)上にエピタキシャル成長によって形成された第2導電型の第1ゲート領域(3)と、前記第1ゲート領域(3)上にエピタキシャル成長もしくはイオン注入により形成された第1導電型のソース領域(4)とを有する半導体基板(5)を用意する工程と、
前記ソース領域(4)および第1ゲート領域(3)を貫通して前記ドリフト層(2)まで達し、一方向を長手方向とした短冊状のトレンチ(6)を形成する工程と、
前記トレンチ(6)の内壁上にエピタキシャル成長によって第1導電型のチャネル層(7)を形成する工程と、
前記チャネル層(7)の上に形成された第2導電型の第2ゲート領域(8)を形成する工程と、
前記チャネル層(7)および前記第2ゲート領域(8)を前記ソース領域(4)が露出するまで平坦化する工程と、
前記平坦化の後に、選択エッチングを行うことで少なくとも前記トレンチ(6)の先端部の前記ソース領域(4)と前記チャネル層(7)および前記第2ゲート領域(8)を除去し、前記トレンチ(6)の先端部を前記ソース領域(4)の厚みよりも深い凹形状とする工程と、を含み、
前記凹形状とする工程は、前記トレンチ(6)の両先端部において、前記チャネル層(7)のうち前記トレンチ(6)の長辺部に形成される部分よりも厚くなっている領域を除去することで、前記チャネル層(7)のうち前記トレンチ(6)の長辺部に形成された部分よりも膜厚が厚くなっている部分に全く前記ソース領域(4)が接していない状態にする工程であることを特徴とするJFETを備える炭化珪素半導体装置の製造方法。 - 前記トレンチ(6)を形成する工程では、前記トレンチ(6)を複数本が平行に並べられたストライプ状とし、
前記凹形状とする工程では、複数本の前記トレンチ(6)の先端部の領域を連続的に除去することで前記凹形状とすることを特徴とする請求項4に記載のJFETを備える炭化珪素半導体装置の製造方法。
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