JP5151823B2 - 圧電振動片、圧電振動子及び発振器 - Google Patents

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Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5589167B2 (ja) 2010-11-19 2014-09-17 セイコーエプソン株式会社 圧電振動片および圧電振動子
JP5772081B2 (ja) * 2011-03-09 2015-09-02 セイコーエプソン株式会社 圧電振動素子、圧電振動子、圧電発振器及び電子デバイス
JP5772082B2 (ja) * 2011-03-09 2015-09-02 セイコーエプソン株式会社 圧電振動素子、圧電振動子、圧電発振器及び電子デバイス
CN202535316U (zh) 2011-03-09 2012-11-14 精工爱普生株式会社 振动元件、振子、振荡器以及电子设备
JP5708089B2 (ja) 2011-03-18 2015-04-30 セイコーエプソン株式会社 圧電振動素子、圧電振動子、圧電発振器及び電子デバイス
JP2013021667A (ja) 2011-03-23 2013-01-31 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 水晶デバイス
JP5982898B2 (ja) * 2012-03-14 2016-08-31 セイコーエプソン株式会社 振動素子、振動子、電子デバイス、発振器、及び電子機器
JP5943186B2 (ja) * 2012-03-19 2016-06-29 セイコーエプソン株式会社 振動片、振動子、電子デバイス、および電子機器
JP2013197801A (ja) * 2012-03-19 2013-09-30 Seiko Epson Corp 振動片、振動子、電子デバイス、および電子機器
JP6175743B2 (ja) * 2012-06-06 2017-08-09 セイコーエプソン株式会社 振動素子の製造方法
WO2014167980A1 (ja) * 2013-04-08 2014-10-16 株式会社村田製作所 水晶振動装置
JP5741876B2 (ja) * 2014-03-19 2015-07-01 セイコーエプソン株式会社 圧電振動片および圧電振動子
JP5871144B2 (ja) * 2014-03-19 2016-03-01 セイコーエプソン株式会社 圧電振動子
JP6390836B2 (ja) 2014-07-31 2018-09-19 セイコーエプソン株式会社 振動片、振動子、振動デバイス、発振器、電子機器、および移動体
US9503045B2 (en) 2015-01-19 2016-11-22 Seiko Epson Corporation Resonator element, resonator, oscillator, electronic apparatus, and moving object
WO2016199918A1 (ja) 2015-06-12 2016-12-15 株式会社村田製作所 水晶片及び水晶振動子
CN107636962B (zh) * 2015-06-12 2020-07-31 株式会社村田制作所 石英片以及石英振子
JPWO2017006941A1 (ja) * 2015-07-09 2018-04-19 株式会社村田製作所 水晶振動片及び水晶振動子
JP6176365B2 (ja) * 2016-06-14 2017-08-09 セイコーエプソン株式会社 振動片、発振器および電子機器
JP6238032B2 (ja) * 2016-06-30 2017-11-29 セイコーエプソン株式会社 振動素子、振動子、電子デバイス、および電子機器
JP6327307B2 (ja) * 2016-09-15 2018-05-23 セイコーエプソン株式会社 圧電振動片および圧電振動子

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS54151389A (en) * 1978-05-19 1979-11-28 Seiko Instr & Electronics Ltd Crystal oscillator of rectangular at cut
JPS5669918A (en) * 1979-11-13 1981-06-11 Seiko Instr & Electronics Ltd Rectangular at cut quartz oscillator
JPS5847316A (ja) * 1981-09-16 1983-03-19 Seikosha Co Ltd 厚みすべり圧電振動子およびその製法
JPH0213007A (ja) * 1988-06-29 1990-01-17 Murata Mfg Co Ltd LiTaO↓3厚みすべり振動子
JPH05243889A (ja) * 1992-02-27 1993-09-21 Kyocera Corp 厚みすべり圧電振動素子
JP2001230654A (ja) * 2000-02-16 2001-08-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd 圧電振動素子およびその製造方法
JP4665282B2 (ja) * 2000-02-18 2011-04-06 エプソントヨコム株式会社 Atカット水晶振動子
JP2003017978A (ja) * 2001-06-29 2003-01-17 Kinseki Ltd 圧電振動子
JP3894771B2 (ja) * 2001-10-29 2007-03-22 京セラ株式会社 圧電共振装置
JP4506135B2 (ja) * 2003-09-18 2010-07-21 エプソントヨコム株式会社 圧電振動子
JP4341583B2 (ja) * 2005-06-02 2009-10-07 エプソントヨコム株式会社 メサ型水晶振動子
JP4572807B2 (ja) * 2005-10-31 2010-11-04 エプソントヨコム株式会社 メサ型圧電振動片
JP2007189491A (ja) * 2006-01-13 2007-07-26 Epson Toyocom Corp 圧電基板の製造方法、圧電基板、圧電振動子、及び圧電発振器
JP4341671B2 (ja) * 2006-11-30 2009-10-07 エプソントヨコム株式会社 メサ型水晶振動子
JP2008187579A (ja) * 2007-01-31 2008-08-14 Epson Toyocom Corp 水晶発振器
JP2008263387A (ja) * 2007-04-11 2008-10-30 Epson Toyocom Corp メサ型圧電振動片

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