JP5144336B2 - プローブカード用配線基板およびこれを用いたプローブカード - Google Patents
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Description
が0.0007以上であることが好ましい。
それらの結果を表2に示す。
11:絶縁基体
12:内部配線層
13:表面配線層
14:貫通導体
2:プローブカード
21:測定端子
7:半導体ウェハ(半導体素子)
Claims (3)
- Al2O3を主結晶とするアルミナ質焼結体からなる絶縁基体と、該絶縁基体の内部に形成されたCu、AuおよびAgの群から選ばれる少なくとも1種の低抵抗金属ならびにWおよびMoの少なくとも1種の高融点金属を含む内部配線層とを備えたプローブカード用配線基板であって、前記アルミナ質焼結体が前記主結晶であるAl 2 O 3 を90〜95質量%含み、粒界に結晶としてMn2Al4Si5O18を含みMnSiO3を実質的に含んでいないことを特徴とするプローブカード用配線基板。
- 前記アルミナ質焼結体のX線回折におけるAl2O3のメインピーク強度(Ia)に対するMn2Al4Si5O18のメインピーク強度(Im)の比(Im/Ia)が0.0
007以上であることを特徴とする請求項1に記載のプローブカード用配線基板。 - 請求項1または請求項2に記載のプローブカード用配線基板の一方の表面に表面配線層が形成され、該表面配線層に半導体素子の電気特性を測定するための測定端子が接続されてなることを特徴とするプローブカード。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008080821A JP5144336B2 (ja) | 2008-03-26 | 2008-03-26 | プローブカード用配線基板およびこれを用いたプローブカード |
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JP (1) | JP5144336B2 (ja) |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH05254863A (ja) * | 1992-03-13 | 1993-10-05 | Unitika Ltd | セラミックス基板、セラミックス回路配線板及びその製造法 |
JP2003163425A (ja) * | 2001-11-29 | 2003-06-06 | Kyocera Corp | 配線基板 |
JP4012861B2 (ja) * | 2003-07-29 | 2007-11-21 | 京セラ株式会社 | セラミックパッケージ |
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Publication number | Publication date |
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JP2009236576A (ja) | 2009-10-15 |
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