JP5144069B2 - 超臨界流体による処理装置 - Google Patents
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Description
水や二酸化炭素を超臨界状態にするには加圧とともに加熱が必要であり、また、処理後には減圧とともに降温が必要である。そして、加熱のためには予熱器が必要であり、降温のためには冷却器が必要であり、システムが複雑になった。
請求項1に係る発明は、シリンダ内を摺動するピストンによって該シリンダ内に形成された圧縮室の流体を加減圧可能な処理器と、前記ピストンを駆動するアクチュエータと、前記圧縮室に供給される流体を所定の圧力で貯留する蓄圧器と、前記蓄圧器と前記圧縮室との間で前記流体の流通を可能にする流体通路と、前記流体通路における流体の流通を制御する流体制御手段と、を備え、前記蓄圧器に貯蔵された流体を前記流体通路を介して前記圧縮室に導入し、前記アクチュエータで前記ピストンを駆動し前記圧縮室内の流体を圧縮して該流体を超臨界状態とし、この超臨界状態の流体によって前記圧縮室内の固体の処理対象物に対し所定の処理を行い、この処理後に前記圧縮室の流体を該圧縮室の圧力により前記流体通路を介して前記蓄圧器に返送する超臨界流体による処理装置であって、前記ピストンは、該ピストンの前端に前記固体の処理対象物を着脱可能にする対象物着脱手段を備え、前記処理器は複数備えられ、単一の前記アクチュエータによって前記複数の処理器の各ピストンを駆動することを特徴とする超臨界流体による処理装置である。
このように構成することにより、ピストンを駆動し圧縮室内の流体を圧縮することによって流体を加温するので、予熱器が不要であり、システム構成が簡単になる。
処理後に、圧縮室の流体を該圧縮室の圧力さらにはピストン移動によりにより蓄圧器に返送するので、返送のための加圧手段(ポンプなど)が不要であり、減圧によって流体の温度を下げるためシステム構成が簡単になる。また、加熱器や冷却器を省略し、さらにピストンを移動させてから対象物を取出すことにより、処理器内のデッドボリュームが最小化されるので、超臨界流体を容易に再利用することが可能になり、廃棄される流体を減らすことができる。
そして、1つのアクチュエータで複数の処理器を作動することが可能になる。
このように構成することにより、2つの処理器を連動して操作することが可能になる。
このように構成することにより、開口を介して処理対象物をピストンに容易に着脱する
ことができる。
このように構成することにより、バルブを介して処理対象物をシリンダに容易に出し入
れすることができる。
に再利用することができ、流体の廃棄量を減らすことができる。そして、1つのアクチュエータで複数の処理器を作動することが可能になるので、処理効率を高めることができる。
請求項4に係る発明によれば、バルブを介して処理対象物をシリンダに容易に出し入れすることができる。
初めに、処理装置の構成を説明する。図1に示すように、この実施例における処理装置1は、2つの処理器10A,10B(以下、区別する必要がないときは処理器10と記す)と、処理器10A,10Bを駆動する油圧アクチュエータ30、超臨界流体にされる流体としての二酸化炭素(CO2)を高圧液体で貯蔵するボンベ60と、ガス化された二酸化炭素を所定の圧力に保持し貯蔵する蓄圧器40と、を主要構成として備えている。
処理器10A,10Bの各ピストン12は油圧アクチュエータ30の作動軸32に連結されている。
また、流体通路17は絞り弁21よりも蓄圧器40に近い部位において供給路22と帰還路23に分岐され、それぞれ蓄圧器40に接続されている。供給路22にはフィルター24と逆止弁25aが設けられており、帰還路23にはフィルター24と逆止弁25bが設けられている。
供給路22に設けられた逆止弁25aは、流体が蓄圧器40からシリンダ11へ向かって流通するのを許可し、シリンダ11から蓄圧器40へ向かって流通するのを阻止する。これに対し、帰還路23に設けられた逆止弁25bは、流体がシリンダ11から蓄圧器40へ向かって流通するのを許可し、蓄圧器40からシリンダ11へ向かって流通するのを阻止する。この実施例において、吸排気弁20と逆止弁25a,25bは、流体通路17における流体の流通を制御する流体制御手段を構成する。
蓄圧器40には、蓄圧器40内の二酸化炭素を管理する管理器41が取り付けられている。二酸化炭素の管理とは、具体的にはCO2濃度、粒子数もしくは有機物濃度を測定・監視することである。
以下、図4〜図14を参照して、処理器10A,10Bの工程について順番に説明する。なお、各工程の内容は処理器10A,10Bとも同じであるので、各工程の内容は処理器10Aにおいて説明し、処理器10Bについては同時期にどの工程を行っているかを記するに留める。なお、図4〜図14において、ブロー弁19と吸排気弁20は白抜き表示が開状態を示し、黒塗り表示が閉状態を示している。また、対象物設置工程では、実際には前述したように処理器10A,10Bのシリンダヘッド11bはシリンダ本体11aから離脱して行うのであるが、図ではこれを省略している。また、蓄圧器40には常に、減圧弁43により所定圧力(例えば0.9MPa)に調整された二酸化炭素ガスが充填されているものとする。
次に、ステップ4に進む。ステップ4ではA系についてはCO2圧入工程を継続し、B系は対象物設置工程に移行する(図6参照)。
また、圧縮室13内を所定時間の間、前記所定の超臨界状態に保持するときにも、温度調節器15,16を制御することにより圧縮室13内の超臨界流体の温度を所定温度に保持することができる。
二酸化炭素ガスは圧縮室13から蓄圧器40に戻される際にフィルター24を通過するので、シリコンウエハーMを洗浄したときなどに二酸化炭素ガスに混入した異物等をフィルター24で捕捉することができ、蓄圧器40に異物等が流入するのを防止することができる。したがって、蓄圧器40内の二酸化炭素ガスの純度低下を防止することができる。
このときB系はCO2圧入工程を継続する。
次に、ステップ10に進む。ステップ10では、図11に示すように、A系はCO2パージ工程に移行し、B系はCO2圧入工程を継続する。
次に、ステップ11に進む。ステップ11では、図12に示すように、A系はCO2圧入工程に移行し、B系は加圧工程に移行する。
次に、ステップ12に進む。ステップ12では、図13に示すように、A系はCO2圧入工程を継続し、B系はCO2返送工程に移行する。
次に、ステップ13に進む。ステップ13では、図14に示すように、A系はCO2圧入工程を継続し、B系はCO2ブロー工程に移行する。
このあと、再びステップ4に戻り(図6参照)、ステップ4〜13の工程を繰り返す。
また、シリコンウエハーMの洗浄後に、圧縮室13の二酸化炭素ガスをそのガス圧力により蓄圧器40に返送するので、返送のための加圧手段(ポンプなど)が不要であり、システム構成が簡単になる。また、超臨界流体の素である二酸化炭素ガスを容易に再利用することが可能になり、二酸化炭素ガスの廃棄量を低減することができ、経済的である。
また、この実施例では、流体を二酸化炭素としているので、臨界温度、臨界圧力が比較的に低く、そのため操作温度、操作圧力を比較的に低くでき、設計温度、設計圧力を比較的に低く設定することができるので、経済的な装置設計が可能である。
また、1つの油圧アクチュエータ30で2つの処理器10A,10Bを連動して操作することができるので、処理効率が極めて高い。
前述した実施例では、処理対象物Mを出し入れするためにシリンダヘッド11bをシリンダ本体11aから離反することができるようにしたが、シリンダ11に対する処理対象物Mの出し入れ方法はこれに限るものではない。
例えば、シリンダヘッド11bとシリンダ本体11aとを分離不能とし、シリンダ本体11aに処理対象物Mを出し入れするための開口を設けてもよい。
あるいは、図15に示すように、シリンダ11において圧縮室13に面して径方向に対向する位置に投入通路71Aと排出通路71Bを設け、投入通路71Aに投入弁72Aを設け、排出通路71Bに排出弁72Bを設け、例えば、投入弁72Aを開き,投入弁72Aを介して、処理対象物Mが挿入された試料ホルダ73を圧縮室13内に挿入し、挿入後に投入弁72Aと排出弁72Bを閉じて前述実施例と同様に所定の処理(洗浄等)を行った後、投入弁72Aと排出弁72Bを開き、排出弁72Bを介して圧縮室13内の試料ホルダ73を取り出すとともに、投入弁72Aを介して、新たな処理対象物Mが挿入された試料ホルダ73を圧縮室13内に挿入するようにしてもよい。
また、処理器10A,10Bの圧縮室13に通じるドレン弁を設けておくと、圧縮室13内の残留物を排出することができて便利である。
また、実施例ではピストンを駆動するアクチュエータを油圧アクチュエータとしているが、電動式アクチュエータなど他の駆動方式のアクチュエータであってもよい。
また、複数の処理器を連動させる手段として、内燃機関のようにクランクシャフトに連結された複数のピストンロッドの先に処理器のピストンを設けるように構成してもよい。
また、処理装置1により行われる処理対象物に対する処理は、洗浄に限るものではなく、抽出、反応等であってもよい。
流体は二酸化炭素に限るものではなく、アンモニアやプロパンなどを使うことも可能である。
10A,10B 処理器
11 シリンダ
12 ピストン
13 圧縮室
14 取付具(対象物着脱手段)
15,16 温度調節器(温度調節手段)
17 流体通路
19 ブロー弁(大気連通手段)
20 吸排気弁(流体制御手段)
24 フィルター(浄化手段)
25a,25b 逆止弁(流体制御手段)
30 油圧アクチュエータ(アクチュエータ)
32 作動軸
35 作動部
37 電動油圧ポンプ(ピストン制御手段)
40 蓄圧器
50 制御装置(ピストン制御手段)
51 温度センサ(温度検出手段)
52 圧力センサ(圧力検出手段)
72A 投入弁(バルブ)
72B 排出弁(バルブ)
M シリコンウエハー(処理対象物)
Claims (4)
- シリンダ内を摺動するピストンによって該シリンダ内に形成された圧縮室の流体を加減圧可能な処理器と、
前記ピストンを駆動するアクチュエータと、
前記圧縮室に供給される流体を所定の圧力で貯留する蓄圧器と、
前記蓄圧器と前記圧縮室との間で前記流体の流通を可能にする流体通路と、
前記流体通路における流体の流通を制御する流体制御手段と、
を備え、前記蓄圧器に貯蔵された流体を前記流体通路を介して前記圧縮室に導入し、前記アクチュエータで前記ピストンを駆動し前記圧縮室内の流体を圧縮して該流体を超臨界状態とし、この超臨界状態の流体によって前記圧縮室内の固体の処理対象物に対し所定の処理を行い、この処理後に前記圧縮室の流体を該圧縮室の圧力により前記流体通路を介して前記蓄圧器に返送する超臨界流体による処理装置であって、
前記ピストンは、該ピストンの前端に前記固体の処理対象物を着脱可能にする対象物着脱手段を備え、
前記処理器は複数備えられ、単一の前記アクチュエータによって前記複数の処理器の各ピストンを駆動することを特徴とする超臨界流体による処理装置。 - 前記アクチュエータは、両端に作動部を有し往復運動を行う作動軸を備え、前記作動軸の各作動部に前記処理器のピストンが連結されていることを特徴とする請求項1に記載の超臨界流体による処理装置。
- シリンダ内を摺動するピストンによって該シリンダ内に形成された圧縮室の流体を加減圧可能な処理器と、
前記ピストンを駆動するアクチュエータと、
前記圧縮室に供給される流体を所定の圧力で貯留する蓄圧器と、
前記蓄圧器と前記圧縮室との間で前記流体の流通を可能にする流体通路と、
前記流体通路における流体の流通を制御する流体制御手段と、
を備え、前記蓄圧器に貯蔵された流体を前記流体通路を介して前記圧縮室に導入し、前記アクチュエータで前記ピストンを駆動し前記圧縮室内の流体を圧縮して該流体を超臨界状態とし、この超臨界状態の流体によって前記圧縮室内の固体の処理対象物に対し所定の処理を行い、この処理後に前記圧縮室の流体を該圧縮室の圧力により前記流体通路を介して前記蓄圧器に返送する超臨界流体による処理装置であって、
前記ピストンは、該ピストンの前端に前記固体の処理対象物を着脱可能にする対象物着脱手段を備え、前記シリンダは開口が設けられたシリンダ本体と前記シリンダ本体の開口を閉塞するシリンダヘッドを含み、前記シリンダヘッドを前記シリンダ本体の開口から離反し、前記開口を介して前記固体の処理対象物を前記ピストンに対して着脱することを特徴とする超臨界流体による処理装置。 - シリンダ内を摺動するピストンによって該シリンダ内に形成された圧縮室の流体を加減圧可能な処理器と、
前記ピストンを駆動するアクチュエータと、
前記圧縮室に供給される流体を所定の圧力で貯留する蓄圧器と、
前記蓄圧器と前記圧縮室との間で前記流体の流通を可能にする流体通路と、
前記流体通路における流体の流通を制御する流体制御手段と、
を備え、前記蓄圧器に貯蔵された流体を前記流体通路を介して前記圧縮室に導入し、前記アクチュエータで前記ピストンを駆動し前記圧縮室内の流体を圧縮して該流体を超臨界状態とし、この超臨界状態の流体によって前記圧縮室内の固体の処理対象物に対し所定の処理を行い、この処理後に前記圧縮室の流体を該圧縮室の圧力により前記流体通路を介して前記蓄圧器に返送する超臨界流体による処理装置であって、
前記シリンダには、該シリンダに対して前記固体の処理対象物を出し入れするためのバルブが設けられていることを特徴とする超臨界流体による処理装置。
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