KR102455951B1

KR102455951B1 - 초임계 상태의 스노우젯 분사장치

Info

Publication number: KR102455951B1
Application number: KR1020220056529A
Authority: KR
Inventors: 최진흥
Original assignee: (주)빅텍스
Priority date: 2022-05-09
Filing date: 2022-05-09
Publication date: 2022-10-18

Abstract

본 발명은 초임계 상태의 스노우젯 분사장치에 관한 것으로서, CO2를 압축하여 초임계 상태로 토출시키는 스노우젯 분사장치에 있어서, 제1압축공간과 제1배압공간 사이에 디스크를 왕복시켜 압축력을 발생시키는 제1실린더; 압축력이 전달되어 제2압축공간으로 유입된 CO2가 압축되는 제2실린더; 및 제1실린더와 제2실린더가 연결되도록 중개하여 압축력이 전달되도록 하는 커넥팅부;를 포함하고, 제2실린더는 내부용적 중 압축공간을 제외한 제2배압공간과 제2실린더의 외측으로 연통되어 유체가 배기되는 배기부가 마련되는, 초임계 상태의 스노우젯 분사장치가 제공된다.

Description

초임계 상태의 스노우젯 분사장치{SUPERCRITICAL SNOWJET DISCHARGING APPARATUS}

본 발명은 초임계 상태의 스노우젯 분사장치에 관한 것이다.

본 발명은 초임계 상태의 스노우젯 분사장치에 관한 것으로서, 일반적으로 표면세정을 위해 다양한 방법이 사용되고 있다. 물리적인 수단, 화학적인 수단 등이 사용될 수 있는데, 최근 전자장비의 보다 광범위한 적용 등에 의해 반도체를 포함한 인쇄회로기판 등 물리적인 충격에 취약하고, 화학적으로 예민한 대상물을 세척해야 하는 경우가 있다. 드물게도 이러한 경우에는 드라이아이스 입자를 분사하여 대상물의 표면을 세척하기도 한다. 뿐만 아니라 드라이아이스 입자를 분사하는 방식은 기체의 표면 등 다양한 산업분야에 적용되어오고 있다.

여기서 드라이아이스를 분사하는 과정에서 액화시킨 이산화탄소를 상변화시켜 분사하는 것으로 보다 고압으로 분사하여야 하는데 이 과정에서 압축이 요구되고 실린더를 이용한 압축 중에 실린더의 윤활에 요구되는 윤활제가 섞여 스노우젯과 함께 분사되기도 한다. 이러한 경우 세척을 수행함으로써 세척 대상의 표면에 유분이 형성될 수 있어 정상적인 세척이 어렵게 된다.

대한민국 공개특허공보 제 10-2015-0115608 호 (2015. 10. 14)

본 발명의 일 실시예는 초임계 상태로 압축된 CO2를 통해 대상물의 세척시 실린더 윤활을 위해 주입되는 오일이 분사물과 혼유되는 것을 방지하는 것을 목적으로 한다.

그리고, 제2실린더는, 중공형의 제2바디, 제2바디의 내경과 마찰되며 왕복하는 헤드부; 헤드부와 일단이 연결되고 타단이 커넥팅부와 연결되는 제2가압로드를 포함하고, 제2가압로드와 제2바디 간 마찰면에는 윤활오일이 도포되고, 헤드부의 왕복에 의해 윤활오일이 제2압축공간으로 전달되지 않도록 배기부는 제2바디에서 마찰면 측으로 연통될 수 있다.

또한, 커넥팅부는 제1실린더 및 제2실린더 간을 이격지지하는 보강로드; 및 제1실린더로부터 압축력을 전달하는 제1가압로드와 제2실린더로 압축력을 전달하는 제2가압로드 간을 연결하는 커넥터;를 포함할 수 있다.

또한, 제2실린더는, 헤드부가 제2압축공간으로 이동하면, 제2배압공간에 공기를 제공할 수 있도록 제공부가 형성될 수 있다.

또한, 제공부를 통해 제2배압공간이 대기압 이상의 압력을 유지할 수 있도록 공기가 제공될 수 있다.

또한, 제1압축공간, 제2압축공간, 제1배압공간 및 제2배압공간 중 하나 이상에 공기의 출입을 제어하는 제어부를 더 포함하고, 제어부는 적어도 제2배압공간과 연통된 제공부 및 배기부의 개폐여부를 결정할 수 있다.

본 발명의 일 실시예는 초임계 상태로 압축된 CO2를 통해 대상물의 세척시 실린더 윤활을 위해 주입되는 오일이 분사물과 혼유되는 것을 방지하는 초임계 상태의 스노우젯 분사장치를 제공할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 분사장치를 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 제1실린더, 제2실린더 및 커넥팅부를 포함하는 부스터를 나타낸 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 부스터의 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 제2실린더의 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 배기부 측의 단면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 제1실린더의 단면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 커넥팅부의 단면도이다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시형태를 설명하기로 한다. 그러나 이는 예시에 불과하며 본 발명은 이에 제한되지 않는다.

본 발명을 설명함에 있어서, 본 발명과 관련된 공지기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략하기로 한다. 그리고, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.

본 발명의 기술적 사상은 청구범위에 의해 결정되며, 이하의 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 효율적으로 설명하기 위한 일 수단일 뿐이다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 분사장치(1)를 나타낸 도면이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 제1실린더(100), 제2실린더(300) 및 커넥팅부(200)를 포함하는 부스터를 나타낸 사시도이다.

도 1 및 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시에에 따른 스노우젯 분사장치(1)는 제1실린더(100), 제2실린더(300) 및 커넥팅부(200)를 포함한다. 스노우젯 분사장치(1)는 CO2를 압축하여 초임계 상태로 상변화시켜 토출시키는 것으로 초임계 상태의 CO2는 세척대상물 등에 도달하여도 펠릿 상태의 CO2와 직접 충돌함으로써 발생하는 손상을 방지할 수 있다.

구체적으로, 분사장치(1)는 제1압축공간(111b)과 제1배압공간(111a) 사이에 디스크(111)를 왕복시켜 압축력을 발생시키는 제1실린더(100), 압축력이 전달되어 제2압축공간(311b)으로 유입된 CO2가 압축되는 제2실린더(300) 및 제1실린더(100)와 제2실린더(300)가 연결되도록 중개하여 압축력이 전달되도록 하는 커넥팅부(200)를 포함할 수 있다. 여기서, 제2실린더(300)는 내부용적 중 압축공간을 제외한 제2배압공간(311a)과 제2실린더(300)의 외측으로 연통되어 유체가 배기되는 배기부(320)가 마련될 수 있다.

한편, 제2실린더(300)에 압축력을 전달하는 제1실린더(100)의 구동과 선택적으로 제2실린더(300)의 압축력을 제공하기 위한 별도의 수단을 구동하기 위해 사용자로부터 조작될 수 있는 조작부(10)가 마련될 수 있다. 조작부(10)는 구동에 요구되는 출력을 입력하고, 상기 출력이 표시될 수 있으며, 압축된 초임계 상태의 CO2가 제2실린더(300)로부터 토출시 압력, 제2압축공간(311b)의 압력 등 구동관련 정보가 표시될 수 있다.

보다 구체적으로 제1실린더(100)는 제1마감블록(102) 상에 제1바디(101)의 일측이 결합되어 마련되고, 타측에는 제1연결블록(103)이 결합될 수 있다. 제1연결블록(103)에는 제1가압로드(110)가 왕복운동이 될 수 있도록 관통공이 마련될 수 있다. 관통공을 통해 제1바디(101) 내로부터 외측으로 인출된 제1가압로드(110)는 커넥터(210)와 연결될 수 있다.

상기 커넥터(210)는 커넥팅부(200)의 일 구성으로 일측이 제1가압로드(110)와 연결되고, 타측은 제2가압로드(310)와 연결될 수 있다. 본 예시와 같이 커넥터(210)는 제1가압로드(110)와 제2가압로드(310) 간을 동축상에서 연결시키는 기능을 수행하지만 이에 한정되지 않고, 운동방향을 변경하거나 운동의 종류를 변경(직선왕복운동을 회전운동 등으로의 전환)할 수 있다. 이를 통해 제1가압로드(110) 및 제2가압로드(310)가 비평행한 방향으로 연장되어 서로 왕복운동이 이루어지도록 할 수 있다.

또한, 커넥팅부(200)는 제1실린더(100) 및 제2실린더(300)가 서로 이격될 수 있도록 제1실린더(100) 및 제2실린더(300) 사이에 개재되어 위치될 수 있으며, 기능적으로 또는 물리적으로 제1실린더(100)와 제2실린더(300) 사이에 위치되어 서로 이격시키는 형태를 갖춤으로써 제1실린더(100)의 구동에 요구되는 윤활오일이 제2실린더(300)측으로 전달되지 않도록 할 수 있다. 초임계 상태의 CO2가 토출되는 과정에서 윤활오일의 일부가 제2압축공간(311b)으로 혼유되면 세척을 목적으로 CO2의 토출을 시킨 경우 세척대상에 오일이 점착될 수 있기 때문이다. 따라서, 윤활오일의 전달을 방지하기 위해 커넥팅부(200)는 압축력을 발생시키는 제1실린더(100)와 제2실린더(300)를 이격시키는 배열로 구성될 수 있다.

한편, 커넥팅부(200)는 제2연결블록(303)을 포함한다. 제2연결블록(303)은 제1연결블록(103)에 일측이 연결되는 보강로드(201)의 타측이 제2연결블록(303)에 결합될 수 있다. 그리고, 제2연결블록(303)과 일측이 결합되는 제2실린더(300) 및 제2실린더(300)의 타측에 결합되는 제2마감블록(304)을 포함할 수 있다. 여기서 제2마감블록(304)에는 CO2가 유입되는 유입부(300a) 및 유출되는 유출부(300b)가 마련되어 CO2가 제2압축공간(311b)에서 압축될 수 있도록 한다. 유입과 유출은 밸브(미도시)의 개폐여부에 따라 결정될 수 있고 이는 도시하지 않은 제어부에 의해 결정될 수 있다. 특히, 유출부(300b) 측의 밸브는 기 설정된 임계압력에 도달하면 개방되도록 제어될 수 있다.

전술한 바와 같이 제1가압로드(110)는 커넥터(210)를 통해 제2가압로드(310)와 연결될 수 있다. 제2가압로드(310)는 제1가압로드(110)에 의해 가압방향으로 이동되어 제2압축공간(311b)을 보다 더 높은 압력으로 압축할 수 있다. 또한, 제1연결블록(103)에는 배기부(320) 및 제공부(321)가 마련되어 제2배압공간(311a)의 유체가 배기되고 흡기될 수 있도록 한다. 이와 관련하여 이하의 도 3 내지 도 7을 통해 구체적으로 설명하도록 한다.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 부스터의 단면도이다.

도 3을 참조하면, 초임계 상태의 스노우젯 분사장치(1)는 제1압축공간(111b)과 제1배압공간(111a) 사이에 디스크(111)를 왕복시켜 압축력을 발생시키는 제1실린더(100), 압축력이 전달되어 제2압축공간(311b)으로 유입된 CO2가 압축되는 제2실린더(300) 및 제1실린더(100)와 제2실린더(300)가 연결되도록 중개하여 압축력이 전달되도록 하는 커넥팅부(200)를 포함한다. 여기서 제2실린더(300)는 내부용적 중 압축공간을 제외한 제2배압공간(311a)과 제2실린더(300)의 외측으로 연통되어 유체가 배기되는 배기부(320)가 마련된다.

상술한 바와 같이 헤드부(311)는 제2실린더(300) 내부용적을 제2압축공간(311b) 및 제2배압공간(311a)으로 구획할 수 있다. CO2는 유입부(300a)를 통해 제2압축공간(311b)으로 유입되어 유출부(300b)를 통해 압축된 상태로 토출될 수 있다. 이러한 동작을 구현하기 위해, 우선 제1실린더(100)를 통해 전달받은 압축력은 커넥터(210)를 통해 제2가압로드(310)로 전달될 수 있다. 상기 압축력은 헤드부(311)가 제2실린더(300) 내부를 이동하며 제2압축공간(311b)을 압축시켜 발생될 수 있다. 압축시에는 유입부(300a) 및 유출부(300b)가 폐쇄되어 압축공간이 기밀상태가 됨으로써 압축에 의해 CO2는 초임계 상태로 상변화할 수 있다. 상기 CO2의 압축이 이루어지는 동안의 제2배압공간(311a)은 확장되는데 이때 음압이 발생하여 압축력을 상쇄시키지 않도록 제공부(321)를 통해 외기 또는 기 결정된 구성과 연결되어 공기가 제공될 수 있다.

상기 제공부(321)는 제2연결블록(303)에 형성될 수 있다. 제2연결블록(303)은 제2배압공간(311a)과 제공부(321)가 연통될 수 있도록 하며, 제2가압로드(310)와 마찰이 발생하는 마찰면이 형성된다. 여기서 마찰면에는 제2가압로드(310)와의 마찰을 완화하기 위해 윤활오일이 도포될 수 있다. 상기 윤활오일은 CO2의 압축과정에서 제2압축공간(311b)으로 전달되지 않도록 제2배압공간(311a)에 수용되는 공기는 배기부(320)로 배기될 수 있다. 이 과정에서 지속적으로 제공부(321)에 의해 공기가 제공될수도 있고, 헤드부(311)가 제2배압공간(311a)으로 이동할 때만 제공부(321)는 밸브에 의해 폐쇄되어 미연통되고, 배기부(320) 측으로 제2배압공간(311a)의 공기가 배기될 수도 있다.

한편, 전술한 압축력은 제2실린더(300)보다 직경이 크게 형성된 제1실린더(100)로부터 출력될 수 있다. 유압 또는 유공압을 통해 제1압축공간(111b) 및 제1배압공간(111a) 중 하나 이상에 압력이 제공되면서 실린더의 연장방향을 따라 디스크(111)가 전후진될 수 있다. 이때 디스크(111)와 연결된 제1가압로드(110)가 커넥터(210)를 통해 제2가압로드(310)로 압축력을 전달할 수 있다. 이때 제1가압로드(110)도 제1연결블록(103)과 마찰되는 마찰면이 형성되는데, 여기서 마찰면에는 제1가압로드(110)와의 마찰을 완화하기 위해 윤활오일이 도포될 수 있다. 상기 윤활오일은 CO2의 압축과정에서 제1가압로드(110), 커넥터(210), 제2가압로드(310), 제2압축공간(311b)으로 순차적인 전달이 되지 않도록 배기부(320)를 통해 제2배압공간(311a)에 수용되는 공기는 배기될 수 있다.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 제2실린더(300)의 단면도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 배기부(320) 측의 단면도이다.

도 4 및 도 5를 참조하면, 전술한 바와 같이 제2실린더(300)는 중공형의 제2바디(301), 제2바디(301)의 내경과 마찰되며 왕복하는 헤드부(311)를 포함한다. 그리고, 헤드부(311)와 일단이 연결되고 타단이 커넥팅부(200)와 연결되는 제2가압로드(310)를 포함한다. 또한, 제2가압로드(310)와 제2바디(301) 간 마찰면에는 윤활오일이 도포되고, 헤드부(311)의 왕복에 의해 윤활오일이 제2압축공간(311b)으로 전달되지 않도록 배기부(320)는 제2바디(301)에서 마찰면 측으로 연통될 수 있다.

반복적인 마찰은 온도 상승을 유발하고 상승된 온도는 오일 일부가 유증기가 되도록 할 수 있다. 유증기는 제2배압공간(311a)에 공기과 섞여 수용되다가 헤드부(311) 또는 제2실린더(300)의 내경에 점착될 수 있다. 점착된 유증기의 유분은 왕복운동하는 헤드부(311)에 의해 일부제1가압공간으로 유입될 수 있다. 이 경우 압축된 CO2와 함께 유출부(300b)를 통해 토출될 수 있다.

이러한 오일의 상기 토출을 방지하고자 제2배압공간(311a)에서의 공기가 지속적으로 환기되도록 제2배압공간(311a)의 공기의 배기를 유도하는 배기부(320)를 마련할 수 있다. 배기부(320)는 제2실린더(300) 외부 및 제2배압공간(311a)과 연통되는 공간이며 제어부에 의해 개폐가 결정되어 선택적으로 개방 또는 폐쇄될 수 있다.

상기 제2배압공간(311a)으로부터 상기 배기부(320)로 빠져나가는 배압경로(F)를 통해 이동되는 공기는 제공부(321)를 통해 제공경로(S)로 제2배압공간(311a)에 유입될 수 있다. 제2배압공간(311a)으로 유입되는 공기는 헤드부(311)가 제2가압공간측으로 이동되면서 압력차에 의해 유입될수도 있고 압축기와 같이 외부의 별도 마련된 구성에 의해 제공될 수도 있다. 이때 별도 마련된 구성에 의해 제공되는 경우 헤드부(311)가 제2가압공간으로 이동되는 것을 도모하기 위해 대기압을 초과하는 압력으로 제공될 수 있다.

CO2의 토출이 완료되면 헤드부(311)가 복귀하는 과정에서 제공부(321)는 페쇄되고 배기부(320)만 개방되어 제2배압공간(311a) 내의 공기가 배기될 수도 있고, 제공부(321)에서 지속적으로 공기가 제공되어 배압경로(F)를 통해 배기되는 흐름을 보다 적극적으로 도모할 수도 있다. 나아가, 제1압축공간(111b), 제2압축공간(311b), 제1배압공간(111a) 및 제2배압공간(311a) 중 하나 이상에 공기의 출입을 제어하는 제어부를 더 포함하고, 제어부는 적어도 제2배압공간(311a)과 연통된 제공부(321) 및 배기부(320)의 개폐여부를 결정할 수 있다.

또한, 배기부(320)로부터 배기된 공기가 제공부(321)로 순환되도록 연결될 수도 있다. 이러한 경우에는 배기부(320)와 제공부(321) 간을 연결하는 경로 상에 여과부가 배치되어 공기 중에 포함되는 여과하여 제공부(321) 측으로 순환이동될 수 있다.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 제1실린더(100)의 단면도이다.

도 6을 참조하면, 제1실린더(100)의 직경은 제2실린더(300)의 직경보다 크게 형성될 수 있다. 상대적으로 큰 직경의 피스톤을 통해 가압하여 가압효율을 증가시키기 위해 본 예시에서는 제1실린더(100)의 디스크(111)는 제2실린더(300)의 헤드부(311)보다 직경이 크게 형성될 수 있다. 압축력의 생성은 디스크(111)의 왕복을 통해 구현할 수 있으며 디스크(111)를 이동시키는 에너지는 유공압의 제공 및 흡입에 의해 이루어질 수 있다.

즉, 압축을 위해서 제1배압공간(111a)으로 유공압이 제공되고, 제1압축공간(111b)으로는 앞서 수용중인 유체가 흡입될 수 있다. 이때 제1배압공간(111a)으로 출입되는 유체는 제1마감블록(102)을 통해서 이동하고, 제1압축공간(111b)으로 출입되는 유체는 제1연결브록을 통해서 이동된다. 반대로, 복귀를 위해서 제1배압공간(111a)으로 유공압이 흡입되고, 제1압축공간(111b)으로는 앞서 수용중인 유체가 제공될 수 있다.

도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 커넥팅부(200)의 단면도이다.

도 7을 참조하면, 커넥팅부(200)는 제1실린더(100) 및 제2실린더(300) 간을 이격지지하는 보강로드(201) 및 제1실린더(100)로부터 압축력을 전달하는 제1가압로드(110)와 제2실린더(300)로 압축력을 전달하는 제2가압로드(310) 간을 연결하는 커넥터(210)를 포함할 수 있다. 본 예시의 커넥터(210)는 암나사가 형성되어 일측으로는 제1가압로드(110), 타측으로는 제2가압로드(310)가 나사결합되어 제1가압로드(110) 및 제2가압로드(310)를 연동시킬 수 있다. 바람직하게는 본 예시와 같이 제1가압로드(110) 및 제2가압로드(310)는 동축 상에 위치되어 연동될 수 있으나, 비평행한 방향으로 배치될 수 있고, 이러한 경우에는 커넥터(210)가 동적인 구조로 적용되어 가압로드의 직선왕복운동을 회전운동 등으로 전환하여 에저니를 전달하는 방식이 적용될 수도 있다.

이상에서 본 발명의 대표적인 실시예들을 상세하게 설명하였으나, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 상술한 실시예에 대하여 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 다양한 변형이 가능함을 이해할 것이다. 그러므로 본 발명의 권리범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 안 되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.

1 : 분사장치
10 : 조작부
100 : 제1실린더
101 : 제1바디
102 : 제1마감블록
103 : 제1연결블록
110 : 제1가압로드
111 : 디스크
111a : 제1배압공간
111b : 제1압축공간
200 : 커넥팅부
201 : 보강로드
210 : 커넥터
300 : 제2실린더
300a : 유입부
300b : 유출부
301 : 제2바디
301a : 지지로드
303 : 제2연결블록
304 : 제2마감블록
310 : 제2가압로드
311 : 헤드부
311a : 제2배압공간
311b : 제2압축공간
320 : 배기부
F : 배압경로

Claims

CO2를 압축하여 초임계 상태로 토출시키는 스노우젯 분사장치에 있어서,
제1압축공간과 제1배압공간 사이에 디스크를 왕복시켜 압축력을 발생시키는 제1실린더;
상기 압축력이 전달되어 제2압축공간으로 유입된 상기 CO2가 압축되는 제2실린더; 및
상기 제1실린더와 제2실린더가 연결되도록 중개하여 상기 압축력이 전달되도록 하는 커넥팅부;를 포함하고,
상기 제2실린더는 내부용적 중 압축되는 제2압축공간을 제외한 제2배압공간, 상기 제2배압공간으로부터 외측으로 연통되어 유체가 배기되는 배기부 및 외부의 유체가 제2배압공간으로 제공되도록 연통되는 제공부가 마련되는, 초임계 상태의 스노우젯 분사장치.
청구항 1에 있어서,
상기 제2실린더는,
중공형의 제2바디, 상기 제2바디의 내경과 마찰되며 왕복하는 헤드부; 상기 헤드부와 일단이 연결되고 타단이 커넥팅부와 연결되는 제2가압로드를 포함하고,
상기 제2가압로드와 상기 제2바디 간 마찰면에는 윤활오일이 도포되고, 상기 헤드부의 왕복에 의해 상기 윤활오일이 상기 제2압축공간으로 전달되지 않도록 상기 배기부는 상기 제2바디에서 상기 마찰면 측으로 연통되는, 초임계 상태의 스노우젯 분사장치.
청구항 1에 있어서,
상기 커넥팅부는 상기 제1실린더 및 상기 제2실린더 간을 이격지지하는 보강로드; 및
상기 제1실린더로부터 상기 압축력을 전달하는 제1가압로드와 상기 제2실린더로 상기 압축력을 전달하는 제2가압로드 간을 연결하는 커넥터;를 포함하는, 초임계 상태의 스노우젯 분사장치.
삭제
청구항 1에 있어서,
상기 제공부를 통해 상기 제2배압공간이 대기압 이상의 압력을 유지할 수 있도록 공기가 제공되는, 초임계 상태의 스노우젯 분사장치.
청구항 1에 있어서,
상기 제1압축공간, 상기 제2압축공간, 상기 제1배압공간 및 상기 제2배압공간 중 하나 이상에 공기의 출입을 제어하는 제어부를 더 포함하고,
상기 제어부는 적어도 상기 제2배압공간과 연통된 상기 제공부 및 상기 배기부의 개폐여부를 결정하는, 초임계 상태의 스노우젯 분사장치.