JP5140608B2 - 真空処理装置及び真空処理方法 - Google Patents
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- 238000003672 processing method Methods 0.000 title claims description 20
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 141
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 141
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 141
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 125
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 66
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 45
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 claims description 24
- 229910017701 NHxFy Inorganic materials 0.000 claims description 17
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 claims description 12
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 4
- 239000000047 product Substances 0.000 claims description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 177
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 21
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 18
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 18
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 6
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 5
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 3
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 3
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 3
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000036962 time dependent Effects 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 238000000859 sublimation Methods 0.000 description 1
- 230000008022 sublimation Effects 0.000 description 1
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Landscapes
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
Description
また、バッチ処理により自然酸化膜の除去及び自然酸化膜が除去された基板の表層の除去を行うことができる。
また、第1処理ガスと第2処理ガスとシリコン基板(シリコンウエハ)表面の酸化膜とを反応させ反応生成物を生成し、シリコンウエハを所定温度に制御することにより、反応生成物を昇華させてシリコンウエハの表面の自然酸化膜を除去(エッチング)し、シリコンウエハの表面にFラジカルを作用させてシリコン層を所定の厚さ除去することができる。
また、枚葉式処理により自然酸化膜の除去及び自然酸化膜が除去された基板の表層の除去を行うことができる。
また、第1処理ガスと第2処理ガスとシリコン基板(シリコンウエハ)表面の酸化膜とを反応させ反応生成物を生成し、シリコンウエハを所定温度に制御することにより、反応生成物を昇華させてシリコンウエハの表面の自然酸化膜を除去(エッチング)し、シリコンウエハの表面にFラジカルを作用させてシリコン層を所定の厚さ除去することができる。
また、補助処理ガスとしてN 2 とNF 3 を導入してシリコン基板の表面にFラジカルを作用させることができる。
図1に示すように、真空処理装置(エッチング装置)1には真空排気系に接続される仕込取出槽2が備えられ、仕込取出槽2の上方には処理室としての真空処理槽3が備えられている。仕込取出槽2の内部には所定速度で回転可能なターンテーブル4が設けられ、ターンテーブル4には基板としてのシリコン基板5を保持するボート6が支持される。ボート6にはシリコン基板5が複数枚(例えば、50枚)収容され、複数枚のシリコン基板5は所定間隔で互いに平行に配されている。
図3に示すように、第1導入路13からNH3ガス及びN2ガスを導入し、プラズマ発生部でHラジカルH*を生成し、第1導入口11からHラジカルH*を真空処理槽3に導入する。同時に、シャワーノズル12からNF3ガスを真空処理槽3に導入し、HラジカルH*とNF3ガスを混合させて反応させてNHxFyを生成させる。
即ち、
H*+NF3→NHxFy(NH4FH、NH4FHF等)
即ち、
NHxFy+SiO2→(NH4)2SiF6+H2O↑
即ち、
(NH4)2SiF6→NH3↑+HF↑+SiF4↑
図6に示すように、第1導入路13からNH3ガス及びN2ガスを導入し、プラズマ発生部14でHラジカルH*及びNラジカルN*を生成し、第1導入口11からHラジカルH*及びNラジカルN*を真空処理槽3に導入する。同時に、シャワーノズル12からNF3ガスを真空処理槽3に導入し、HラジカルH*とNF3ガスを混合させて反応させて前駆体NHxFyを生成させると共に、NラジカルN*とNF3ガスを混合させて反応させてFラジカルF*を生成させる。
即ち、
H*+NF3→NHxFy(NH4FH、NH4FHF等)
N*+NF3→N2+F2+F*(3F*等)
即ち、
Si+4F*→SiF4↑
即ち、
N*+NF3→N2+F2+F*(3F*等)
即ち、
Si+4F*→SiF4↑
2 仕込取出槽
3 真空処理槽
4 ターンテーブル
5 シリコン基板
6 ボート
7 送りねじ
8 連通口
9 シャッタ手段
10 排出部
11 第1導入口
12 シャワーノズル
13 第1導入路
14 プラズマ発生部
15、16 流量調整手段
21 コンタクトホール
Claims (10)
- 基板が配置されると共に内部が所定の真空状態にされる処理室と、
ラジカル状態の第1処理ガスまたは補助処理ガスを前記処理室内に導入する第1処理ガス導入手段と、
前記第1処理ガスまたは補助処理ガスと反応する第2処理ガスを前記処理室内に導入する第2処理ガス導入手段と、
前記処理室内を所定の温度に制御することで、前記第1処理ガスと前記第2処理ガスと前記基板表面の自然酸化膜とを反応させ生成した反応生成物を除去する温度制御手段と、
前記第1処理ガス導入手段から導入される前記補助処理ガスと前記第2処理ガス導入手段から導入される第2処理ガスの導入状況を制御し、前記自然酸化膜が除去された前記基板の表層を、前記補助処理ガスと前記第2処理ガスにより所定の厚さ除去する制御手段とを備え、
前記処理室の内部には複数枚の前記基板が収容され、
前記複数枚の前記基板は、所定間隔で互いに平行に配され、
前記第1処理ガスがHラジカルを生成させるガスであり、
前記第2処理ガスがNHxFy及びFラジカルを生成させるガスであり、
前記基板がシリコン基板であり、
前記第1処理ガスがNH3またはH2の少なくともいずれか一方とN2であり、
前記第2処理ガスがNF3であり、
前記温度制御手段は、前記第1処理ガスと前記第2処理ガスと自然酸化膜とを反応させることで生成した反応生成物が形成された前記シリコン基板の温度を所定温度に制御し、前記反応生成物を昇華させることにより前記シリコン基板の表面から自然酸化膜を除去し、
前記制御手段は、自然酸化膜が除去された前記シリコン基板の表面に前記補助処理ガスと第2処理ガスによりFラジカルを作用させることで前記シリコン基板のシリコン層を所定の厚さ除去する
ことを特徴とする真空処理装置。 - 基板が配置されると共に内部が所定の真空状態にされる処理室と、
ラジカル状態の第1処理ガスまたは補助処理ガスを前記処理室内に導入する第1処理ガス導入手段と、
前記第1処理ガスまたは補助処理ガスと反応する第2処理ガスを前記処理室内に導入する第2処理ガス導入手段と、
前記処理室内を所定の温度に制御することで、前記第1処理ガスと前記第2処理ガスと前記基板表面の自然酸化膜とを反応させ生成した反応生成物を除去する温度制御手段と、
前記第1処理ガス導入手段から導入される前記補助処理ガスと前記第2処理ガス導入手段から導入される第2処理ガスの導入状況を制御し、前記自然酸化膜が除去された前記基板の表層を、前記補助処理ガスと前記第2処理ガスにより所定の厚さ除去する制御手段とを備え、
前記処理室の内部には一枚の前記基板が収容され、
前記第1処理ガスがHラジカルを生成させるガスであり、
前記第2処理ガスがNHxFy及びFラジカルを生成させるガスであり、
前記基板がシリコン基板であり、
前記第1処理ガスがNH3またはH2の少なくともいずれか一方とN2であり、
前記第2処理ガスがNF3であり、
前記温度制御手段は、前記第1処理ガスと前記第2処理ガスと自然酸化膜とを反応させることで生成した反応生成物が形成された前記シリコン基板の温度を所定温度に制御し、前記反応生成物を昇華させることにより前記シリコン基板の表面から自然酸化膜を除去し、
前記制御手段は、自然酸化膜が除去された前記シリコン基板の表面に前記補助処理ガスと第2処理ガスによりFラジカルを作用させることで前記シリコン基板のシリコン層を所定の厚さ除去する
ことを特徴とする真空処理装置。 - 請求項1もしくは請求項2に記載の真空処理装置において、
前記補助処理ガスがNH3またはH2の少なくともいずれか一方とN2である
ことを特徴とする真空処理装置。 - 請求項3に記載の真空処理装置において、
前記制御手段には、前記Fラジカルを作用させる際に、前記補助処理ガスのNH3またはH2の一方もしくは双方を停止し、N2のみを導入させる停止手段が備えられている
ことを特徴とする真空処理装置。 - 基板が配置されると共に内部が所定の真空状態にされる処理室と、
ラジカル状態の第1処理ガスと補助処理ガスを前記処理室内に導入する第1処理ガス導入手段と、
前記第1処理ガスと反応する第2処理ガスを前記処理室内に導入する第2処理ガス導入手段と、
前記処理室内を所定の温度に制御することで、前記第1処理ガスと前記第2処理ガスと前記基板表面の自然酸化膜とを反応させ生成した反応生成物を除去する温度制御手段と、
前記第1処理ガス導入手段から導入される前記補助処理ガスの導入状況を制御し、前記自然酸化膜が除去された前記基板の表層を、前記補助処理ガスにより所定の厚さ除去する
制御手段とを備えた
ことを特徴とする真空処理装置。 - 請求項5に記載の真空処理装置において、
前記補助処理ガスがNH3またはH2の少なくともいずれか一方とN2とNF3である
ことを特徴とする真空処理装置。 - 請求項6に記載の真空処理装置において、
前記制御手段には、前記Fラジカルを作用させる際に、前記補助処理ガスのNH3またはH2の一方もしくは双方を停止し、N2とNF3を導入させる停止手段が備えられている
ことを特徴とする真空処理装置。 - 処理ガスを導入し、所定の真空状態の雰囲気に配置されたシリコン基板の酸化表面と反応させ、反応生成物を生成し、シリコン基板を所定温度に制御することにより前記反応生成物を昇華させてシリコン基板の表面の酸化膜を除去し、酸化膜が除去された前記シリコン基板の配置を維持した状態で、補助処理ガスを導入して前記シリコン基板の表面にFラジカルを作用させ所定厚のシリコン層を除去する真空処理方法であり、
前記処理ガスはNH3またはH2の少なくともいずれか一方とN2及びNF3であり、
前記反応生成物を100℃〜200℃の雰囲気で昇華させ、
前記補助処理ガスとしてN 2 とNF 3 を導入して前記シリコン基板の表面にFラジカルを作用させる
ことを特徴とする真空処理方法。 - 請求項8に記載の真空処理方法において、
前記補助処理ガスを同一のガス導入手段から導入する
ことを特徴とする真空処理方法。 - 請求項8に記載の真空処理方法において、
前記補助処理ガスとして、さらに、NH 3 またはH 2 の少なくともいずれか一方を導入して前記シリコン基板の表面にFラジカルを作用させる
ことを特徴とする真空処理方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009008255A JP5140608B2 (ja) | 2009-01-16 | 2009-01-16 | 真空処理装置及び真空処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009008255A JP5140608B2 (ja) | 2009-01-16 | 2009-01-16 | 真空処理装置及び真空処理方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010165954A JP2010165954A (ja) | 2010-07-29 |
JP5140608B2 true JP5140608B2 (ja) | 2013-02-06 |
Family
ID=42581882
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009008255A Active JP5140608B2 (ja) | 2009-01-16 | 2009-01-16 | 真空処理装置及び真空処理方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5140608B2 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101494995B1 (ko) | 2011-02-08 | 2015-02-23 | 가부시키가이샤 알박 | 라디칼 에칭 장치 및 방법 |
KR101271248B1 (ko) * | 2011-08-02 | 2013-06-07 | 주식회사 유진테크 | 에피택셜 공정을 위한 반도체 제조설비 |
KR102452593B1 (ko) | 2015-04-15 | 2022-10-11 | 삼성전자주식회사 | 반도체 장치의 제조 방법 |
JP7114384B2 (ja) * | 2018-07-26 | 2022-08-08 | 株式会社アルバック | 酸化膜除去方法、および、酸化膜除去装置 |
JP7336873B2 (ja) * | 2018-11-30 | 2023-09-01 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法 |
JP6921799B2 (ja) | 2018-11-30 | 2021-08-18 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法および基板処理システム |
US11114304B2 (en) | 2018-11-30 | 2021-09-07 | Tokyo Electron Limited | Substrate processing method |
JP7169866B2 (ja) | 2018-12-14 | 2022-11-11 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法 |
US11171012B1 (en) | 2020-05-27 | 2021-11-09 | Tokyo Electron Limited | Method and apparatus for formation of protective sidewall layer for bow reduction |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5749234A (en) * | 1980-09-08 | 1982-03-23 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | Plasma etching method |
JP4124543B2 (ja) * | 1998-11-11 | 2008-07-23 | 東京エレクトロン株式会社 | 表面処理方法及びその装置 |
US20020124867A1 (en) * | 2001-01-08 | 2002-09-12 | Apl Co., Ltd. | Apparatus and method for surface cleaning using plasma |
JP3954833B2 (ja) * | 2001-10-19 | 2007-08-08 | 株式会社アルバック | バッチ式真空処理装置 |
JP2003282530A (ja) * | 2002-03-26 | 2003-10-03 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置、及び半導体装置の製造方法 |
JP2003303777A (ja) * | 2002-04-10 | 2003-10-24 | Ulvac Japan Ltd | プラズマ成膜装置及びクリーニング方法 |
JP2004014794A (ja) * | 2002-06-06 | 2004-01-15 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置、及び半導体装置の製造方法 |
JP4987219B2 (ja) * | 2004-01-13 | 2012-07-25 | 三星電子株式会社 | エッチング装置 |
JP4475136B2 (ja) * | 2005-02-18 | 2010-06-09 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理システム、前処理装置及び記憶媒体 |
-
2009
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010165954A (ja) | 2010-07-29 |
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