JP5135798B2 - スイッチング素子、スイッチング素子の駆動方法、書き換え可能な論理集積回路、およびメモリ素子 - Google Patents
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Description
1 第1の電極
2 第2の電極
3 第3の電極
4 イオン伝導層
5 導入路
本実施形態の金属原子移動スイッチング素子は、従来の2端子型金属原子移動スイッチング素子に対して、第1の電極と第2の電極を電気的に接続するための導入路の位置を設計段階であらかじめ決め、その位置に製造段階で第2の電極を構成する金属を用いて導入路を形成したものである。このように、導入路を設計段階および製造段階であらかじめ所定の位置に設けることで、導入路の経路に依存する金属配線の経路が設計段階および製造段階で決定されることになる。そして、かかる所定の位置を同一ウエハ内の全スイッチング素子で共通にすることにより、金属配線の経路が全スイッチング素子で共通になり、同一ウエハ内のスイッチング素子間のオン抵抗のばらつきを小さくできる。また、設計段階および製造段階であらかじめ形成する導入路を十分太くしておく。金属配線の太さは導入路の太さに依存するので、これにより、エレクトロマイグレーション耐性を高めることができる。
本実施形態の金属原子移動スイッチング素子では、第1の実施形態とは異なる方法で、第1の電極と第2の電極を電気的に接続するための導入路をあらかじめ所定の位置に形成するものである。このように、導入路を設計段階および製造段階であらかじめ所定の位置に形成することで、導入路の経路に依存する金属配線の経路が設計段階および製造段階で決定される。これにより、同一ウエハ内のスイッチング素子間のオン抵抗のばらつきを小さくできる。また、設計段階および製造段階であらかじめ形成する導入路を十分太くしておく。金属配線の太さは導入路の太さに依存するので、これにより、エレクトロマイグレーション耐性を高めることができる。
第2の実施形態の金属原子移動スイッチング素子では、第1の電極1と第2の電極2の間の所定の位置に、設計段階および製造段階であらかじめ導入路5を形成することで、設計段階および製造段階で金属配線の経路を決定し、同一ウエハ内のスイッチング素子間のオン抵抗のばらつきを小さくしていた。第2の実施形態の金属原子移動スイッチング素子のような3端子型金属原子移動スイッチング素子では、オン抵抗のばらつき以外に、析出物からなる金属配線が、第1の電極と第2の電極の間にではなく、第1の電極と第3の電極の間にも形成され、スイッチング素子が誤動作することが懸念される。
第1から第3の実施形態の金属原子移動スイッチング素子では、第1の電極1と第2の電極2を電気的に接続する導入路をあらかじめ形成した。本実施形態の金属原子移動スイッチング素子では、このような導入路をあらかじめ形成することなく、スイッチング素子の構造により、第1の電極と第2の電極を電気的に接続する金属配線を構成する析出物が形成される箇所を固定する。これにより、金属配線の経路が固定されるので、同一ウエハ内のスイッチング素子間のオン抵抗のばらつきを小さくできる。また、第2または第3の実施形態の金属原子移動スイッチング素子と同様に、第3の電極を有するので、エレクトロマイグレーション耐性を高めることができる。さらに、金属配線は第1の電極と第2の電極の間に確実に形成されるので、金属配線が第1の電極と第3の電極の間に形成されることに起因する、スイッチング素子の誤動作を防止できる。
本実施形態の金属原子移動スイッチング素子でも、第4の実施形態の金属原子移動スイッチング素子と同様に、導入路をあらかじめ形成することなく、スイッチング素子の構造により、第1の電極と第2の電極を電気的に接続する金属配線を構成する析出物が形成される箇所を固定する。これにより、金属配線の経路が固定されるので、同一ウエハ内のスイッチング素子間のオン抵抗のばらつきを小さくできる。
本実施形態の金属原子移動スイッチング素子でも、第4の実施形態の金属原子移動スイッチング素子と同様に、導入路をあらかじめ形成することなく、スイッチング素子の構造により、第1の電極と第2の電極を電気的に接続する金属配線を構成する析出物が形成される箇所を固定する。これにより、金属配線の経路が固定されるので、同一ウエハ内のスイッチング素子間のオン抵抗のばらつきを小さくできる。
なお、以上の実施形態において、イオン伝導層4に金属イオンを供給しない電極(第1の電極と、一部の第2の電極)を構成する材料としては、Ti、Ta、Ptだけではなく、高融点金属のW、シリサイド(チタンシリサイド、コバルトシリサイド)などでもよい。また、イオン伝導層4に金属イオンを供給する電極(第3の電極と、一部の第2の電極)を構成する金属としては、Cuだけではなく、Ag、Pbなどでもよい。さらに、イオン伝導部4を構成するイオン伝導体としては、Cu2Sだけではなく、カルコゲン元素(O、S、Se、Te)と金属の化合物、シリコンを含む絶縁物(酸化シリコン、窒化シリコン、酸窒化シリコン)、ペロブスカイト型酸化物(ABO3、A:Mg、Ca、Sr、Ba、B:Ti)などでもよい。
Claims (7)
- 金属イオンがその内部を自由に移動できるイオン伝導体を含むイオン伝導部と、
前記イオン伝導部と接触している第1の電極と、
前記イオン伝導部と接触し、前記第1の電極とともに前記イオン伝導部を挟み込むように形成され、前記イオン伝導体に前記金属イオンを供給し、または、前記イオン伝導体から前記金属イオンを受け取って前記金属イオンに対応する金属を析出させる第2の電極とを有し、
前記イオン伝導部は、前記第1の電極および前記第2の電極に接触する、イオン移動度の異なる2つの領域を含み、
前記2つの領域は、前記金属イオンが伝導可能な前記イオン伝導体で構成され、所定のイオン移動度を有する第1の領域と、該第1の領域を囲み、該第1の領域よりもイオン移動度の小さい第2の領域とを有するスイッチング素子。 - 金属イオンがその内部を自由に移動できるイオン伝導体を含むイオン伝導部と、
前記イオン伝導部と接触している第1の電極と、
前記イオン伝導部と接触し、前記第1の電極とともに前記イオン伝導部を挟み込むように形成され、前記イオン伝導体に前記金属イオンを供給し、または、前記イオン伝導体から前記金属イオンを受け取って前記金属イオンに対応する金属を析出させる第2の電極と、
前記イオン伝導部と接触して形成され、前記イオン伝導体に前記金属イオンを供給し、または、前記イオン伝導体から前記金属イオンを受け取って前記金属イオンに対応する金属を析出させる第3の電極とを有し、
前記イオン伝導部は、前記第1の電極および前記第2の電極に接触する、イオン移動度の異なる2つの領域を含み、
前記2つの領域は、前記金属イオンが伝導可能な前記イオン伝導体で構成され、所定のイオン移動度を有する第1の領域と、該第1の領域を囲み、該第1の領域よりもイオン移動度の小さい第2の領域とを有するスイッチング素子。 - 前記金属はCu、AgおよびPbのうちいずれかである請求項1または2に記載のスイッチング素子。
- 前記イオン伝導体は、カルコゲン元素と金属の化合物、シリコンを含む絶縁物、およびペロブスカイト型酸化物のうちいずれかの物質である請求項1または2に記載のスイッチング素子。
- 金属イオンがその内部を自由に移動できるイオン伝導体を含むイオン伝導部と、前記イオン伝導部と接触している第1の電極と、前記イオン伝導部と接触し、前記第1の電極とともに前記イオン伝導部を挟み込むように形成され、前記イオン伝導体に前記金属イオンを供給し、または、前記イオン伝導体から前記金属イオンを受け取って前記金属イオンに対応する金属を析出させる第2の電極と、前記イオン伝導部と接触して形成され、前記イオン伝導体に前記金属イオンを供給し、または、前記イオン伝導体から前記金属イオンを受け取って前記金属イオンに対応する金属を析出させる第3の電極とを有し、前記イオン伝導部は、前記第1の電極および前記第2の電極に接触する、イオン移動度の異なる2つの領域を含み、該2つの領域は、前記金属イオンが伝導可能な前記イオン伝導体で構成され、所定のイオン移動度を有する第1の領域と、該第1の領域を囲み、該第1の領域よりもイオン移動度の小さい第2の領域とを有するスイッチング素子の駆動方法において、
前記第2の電極に対して前記第1の電極に負の電圧を印加し、前記金属からなる析出物を前記第1の領域に成長させた後、前記第3の電極に対して前記第1の電極に正または負の電圧を印加することによって電気的特性を切り替えることを特徴とするスイッチング素子の駆動方法。 - 請求項1から4のいずれか1項に記載のスイッチング素子をプログラム用素子として用いる書き換え可能な論理集積回路。
- 請求項1から4のいずれか1項に記載のスイッチング素子と、
前記スイッチング素子の前記電気的特性を読み出すトランジスタと、
を有するメモリ素子。
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