JP5119146B2 - 双方向阻止能力を有する高電圧炭化珪素デバイス及びその作製方法 - Google Patents
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Description
Claims (45)
- 高電圧炭化珪素(SiC)デバイスであって、
第2の伝導型を有する電圧阻止SiC基板の第1の表面上の第1の伝導型を有する第1のSiC層と、
前記第1のSiC層の上にあり前記第2の伝導型を有するSiCの第1の領域と、
前記第1のSiC層の中にあり、前記第1の伝導型を有し、前記SiCの第1の領域に近接し、かつ該第1の領域から間隔を空けて配置されたSiCの第2の領域と、
前記電圧阻止SiC基板の第2の表面上の前記第1の伝導型を有する第2のSiC層と、
前記第2のSiC層の上にあり前記第2の伝導型を有するSiCの第3の領域と、
前記第2のSiC層の中にあり、前記第1の伝導型を有し、前記SiCの第3の領域に近接し、かつ該3の領域から間隔を空けて配置されたSiCの第4の領域と、
前記SiCの第1の領域および前記SiCの第3の領域の上にそれぞれある第1のコンタクトおよび第2のコンタクトと
を備えることを特徴とする高電圧炭化珪素(SiC)デバイス。 - 前記SiCの第2の領域および前記SiCの第4の領域の上にそれぞれある第3のコンタクトおよび第4のコンタクトと、
前記第1のコンタクトおよび前記第3のコンタクトの上にあり、前記第1のコンタクトおよび前記第3のコンタクトを電気的に接続する第1の金属被覆層と、
前記第2のコンタクトおよび前記第4のコンタクトの上にあり、前記第2のコンタクトおよび前記第4のコンタクトを電気的に接続する第2の金属被覆層と
をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載のデバイス。 - 前記第1の被覆層および前記第2の被覆層は、光が前記デバイスに入ることができるようにパターン形成され、前記デバイスが前記光に応答してオンになることを特徴とする請求項2に記載のデバイス。
- 前記電圧阻止基板は、双方向電圧阻止層であり、斜縁終端構造を有することを特徴とする請求項1に記載のデバイス。
- 前記電圧阻止基板は、ボウル成長基板であることを特徴とする請求項4に記載のデバイス。
- 前記斜縁終端構造は、
前記電圧阻止基板の前記第1の表面と前記第1のSiC層との間に第1の阻止接合を備え、
前記電圧阻止基板の前記第2の表面と前記第2のSiC層との間に第2の阻止接合を備えることを特徴とする請求項4に記載のデバイス。 - 前記デバイスは、前記第1の阻止接合において約2.7Vの電圧降下を有することを特徴とする請求項6に記載のデバイス。
- 前記SiCの第1の領域の下の前記第1のSiC層の抵抗は、前記第1のSiC層中の無視できるほどの横方向電流Ilのみによって、前記第1の領域と前記第2の領域との間に2.7Vの電圧降下を生じることができるほどに大きいことを特徴とする請求項1に記載のデバイス。
- 前記電圧阻止基板は、約1.0×1015cm−3のキャリア濃度を有する4H−SiC高純度基板を備えることを特徴とする請求項1に記載のデバイス。
- 前記電圧阻止基板は、約100μmを超える厚さを有することを特徴とする請求項9に記載のデバイス。
- 前記第1の伝導型は、p型SiCを含み、前記第2の伝導型はn型SiCを含むことを特徴とする請求項1に記載のデバイス。
- 前記第1の伝導型は、n型SiCを含み、前記第2の伝導型はp型SiCを含むことを特徴とする請求項1に記載のデバイス。
- 前記第1のSiC層および第2のSiC層は、約1.0×1015cm−3から約1.0×1019cm−3のキャリア濃度を有し、
前記SiCの第1の領域および前記SiCの第3の領域は、約1.0×1016cm−3から約1.0×1021cm−3のキャリア濃度を有し、
前記SiCの第2の領域および前記SiCの第4の領域は、約1.0×1017cm−3から約1.0×1021cm−3のキャリア濃度を有することを特徴とする請求項1に記載のデバイス。 - 前記第1のSiC層および前記第2のSiC層は、約0.1μmから約20.0μmの厚さを有し、
前記SiCの第1の領域および前記SiCの第3の領域は、約0.1μmから約10.0μmの厚さを有し、
前記SiCの第2の領域および前記SiCの第4の領域は、前記第1のSiC層および前記第2のSiC層の中にそれぞれ約0.1μmから約2.0μm延在することを特徴とする請求項1に記載のデバイス。 - 前記SiCデバイスは、サイリスタを備え、前記SiCの第1の領域および前記SiCの第3の領域は、前記サイリスタの陽極領域を備え、前記SiCの第2の領域および前記SiCの第4の領域は、前記サイリスタのゲート領域を備えることを特徴とする請求項1に記載のデバイス。
- 前記高電圧炭化珪素(SiC)デバイスは、SiCサイリスタを備え、前記SiCの第1の領域は、第1のSiC陽極領域を備え、前記SiCの第2の領域は、第1のSiCゲート領域を備え、前記SiCの第3の領域は、第2のSiC陽極領域を備え、前記SiCの第4の領域は、第2のゲート領域を備え、前記第1のコンタクトおよび前記第2のコンタクトは、前記第1のSiCゲート領域および前記第2のSiCゲート領域の上にあり、さらに前記デバイスは、前記第1のSiC陽極領域および前記第2のSiC陽極領域の上に第3のコンタクトおよび第4のコンタクトをそれぞれ備えることを特徴とする請求項1に記載のデバイス。
- 前記第1のコンタクトおよび前記第3のコンタクトの上にあり、前記第1のコンタクトおよび前記第3のコンタクトを電気的に接続する第1の金属被覆層と、
前記第2のコンタクトおよび前記第4のコンタクトの上にあり、前記第2のコンタクトおよび前記第4のコンタクトを電気的に接続する第2の金属被覆層と
をさらに備えることを特徴とする請求項16に記載のデバイス。 - 前記第1の被覆層および前記第2の被覆層は、光が前記デバイスに入ることができるようにパターン形成され、前記デバイスが前記光に応答してオンになることを特徴とする請求項17に記載のデバイス。
- 前記電圧阻止基板は、双方向電圧阻止層であり、斜縁終端構造を有することを特徴とする請求項16に記載のデバイス。
- 前記電圧阻止基板は、ボウル成長基板であることを特徴とする請求項19に記載のデバイス。
- 前記斜縁終端構造は、
前記電圧阻止基板の前記第1の表面と前記第1のSiC層との間に第1の阻止接合を備え、
前記電圧阻止基板の前記第2の表面と前記第2のSiC層との間に第2の阻止接合を備えることを特徴とする請求項19に記載のデバイス。 - 前記デバイスは、前記第1の阻止接合において約2.7Vの電圧降下を有することを特徴とする請求項21に記載のデバイス。
- 前記第1のSiC陽極領域の下の前記第1のSiC層の抵抗は、前記第1のSiC層中の無視できるほどの横方向電流Ilのみによって、前記第1の領域と前記第2の領域との間に2.7Vの電圧降下を生じることができるほどに大きいことを特徴とする請求項16に記載のデバイス。
- 高電圧炭化珪素(SiC)デバイスを形成する方法であって、
第2の伝導型を有する電圧阻止SiC基板の第1の表面上に第1の伝導型を有する第1のSiC層を形成するステップと、
前記第1のSiC層の上にあり前記第2の伝導型を有するSiCの第1の領域を形成するステップと、
前記第1のSiC層の中にあり、前記第1の伝導型を有し、前記SiCの第1の領域に近接し、かつ該第1の領域から間隔を空けて配置されたSiCの第2の領域を形成するステップと、
前記電圧阻止SiC基板の第2の表面上に前記第1の伝導型を有する第2のSiC層を形成するステップと、
前記第2のSiC層の上にあり前記第2の伝導型を有するSiCの第3の領域を形成するステップと、
前記第2のSiC層の中にあり、前記第1の伝導型を有し、前記SiCの第3の領域に近接し、かつ該第3の領域から間隔を空けて配置されたSiCの第4の領域を形成するステップと、
前記SiCの第1の領域および前記SiCの第3の領域の上に第1のコンタクトおよび第2のコンタクトをそれぞれ形成するステップと
を含むことを特徴とする方法。 - 前記SiCの第2の領域および前記SiCの第4の領域の上に第3のコンタクトおよび第4のコンタクトをそれぞれ形成するステップと、
前記第1のコンタクトおよび前記第3のコンタクトの上に、前記第1のコンタクトおよび前記第3のコンタクトを電気的に接続する第1の金属被覆層を形成するステップと、
前記第2のコンタクトおよび前記第4のコンタクトの上に、前記第2のコンタクトおよび前記第4のコンタクトを電気的に接続する第2の金属被覆層を形成するステップと
をさらに含むことを特徴とする請求項24に記載の方法。 - 前記デバイスが光に応答してオンになるように、前記光が前記デバイスに入ることができるように前記第1の被覆層および前記第2の被覆層をパターン形成するステップをさらに含むことを特徴とする請求項25に記載の方法。
- 前記SiCデバイスの側壁に対して斜縁終端プロセスを行うステップをさらに含むことを特徴とする請求項24に記載の方法。
- 前記斜縁終端プロセスは、プラズマエッチングおよび機械研削のうちの1つを含むことを特徴とする請求項27に記載の方法。
- 前記斜縁終端プロセスの後に、
犠牲酸化物層を前記デバイスの表面に形成するステップ、および、
前記斜縁終端プロセスによって生じたどんな損傷も除去するように前記犠牲酸化物層を除去するステップ
が続くことを特徴とする請求項28に記載の方法。 - 前記第1、第2、第3および第4のコンタクトを形成するステップは、
前記SiCの第1の領域および前記SiCの第3の領域の上に第1の金属を堆積させるステップと、
前記SiCの第2の領域および前記SiCの第4の領域の上に第2の金属を堆積させるステップと、
前記堆積された第1の金属および第2の金属を不活性雰囲気中で約500℃から約1200℃の温度でアニールするステップと
を含むことを特徴とする請求項25に記載の方法。 - 前記電圧阻止基板は、約1.0×1015cm−3のキャリア濃度を有する4H−SiC高純度基板を備えることを特徴とする請求項24に記載の方法。
- 前記電圧阻止基板は、約100μmを超える厚さを有することを特徴とする請求項31に記載の方法。
- 前記第1の伝導型は、p型SiCを含み、前記第2の伝導型はn型SiCを含むことを特徴とする請求項24に記載の方法。
- 前記第1の伝導型は、n型SiCを含み、前記第2の伝導型はp型SiCを含むことを特徴とする請求項24に記載の方法。
- 前記SiCの第1の領域を形成するステップは、
前記第1のSiC層の上にあり前記第2の伝導型を有する第3のSiC層を形成するステップと、
前記SiCの第1の領域を設けるように前記第3のSiC層をパターン形成するステップとを含み、
前記SiCの第3の領域を形成するステップは、
前記第2のSiC層の上にあり前記第2の伝導型を有する第4のSiC層を形成するステップと、
前記SiCの第3の領域を設けるように前記第4のSiC層をパターン形成するステップとを含むことを特徴とする請求項24に記載の方法。 - 前記第1のSiC層および前記第2のSiC層は、約1.0×1015cm−3から約1.0×1019cm−3のキャリア濃度を有し、
前記第3のSiC層および前記第4のSiC層は、約1.0×1016cm−3から約1.0×1021cm−3のキャリア濃度を有することを特徴とする請求項35に記載の方法。 - 前記第1のSiC層および前記第2のSiC層は、約0.1μmから約20.0μmの厚さを有し、
前記第3のSiC層および前記第4のSiC層は、約0.1μmから約10.0μmの厚さを有することを特徴とする請求項35に記載の方法。 - 前記SiCデバイスは、サイリスタを備え、前記SiCの第1の領域および前記SiCの第3の領域は、前記サイリスタの陽極領域を備え、前記SiCの第2の領域および前記SiCの第4の領域は、前記サイリスタのゲート領域を備えることを特徴とする請求項24に記載の方法。
- 前記SiCの第2の領域を形成するステップは、
前記SiCの第1の層の中に約0.1μmから約2.0μm延在する前記第2のSiC領域を設けるように前記SiCの第1の層にイオンを注入するステップであって、前記イオンは、約1.0×1017cm−3から約1.0×1021cm−3のキャリア濃度を有するステップを含み、
前記SiCの第4の領域を形成するステップは、
前記SiCの第2の層の中に約0.1μmから約2.0μm延在する前記第4のSiC領域を設けるように前記SiCの第2の層にイオンを注入するステップであって、前記イオンは、約1.0×1017cm−3から約1.0×1021cm−3のキャリア濃度を有するステップを含むことを特徴とする請求項24に記載の方法。 - 前記電圧阻止SiC基板は、第2の伝導型を有する電圧阻止SiCエピ層を備えることを特徴とする請求項1に記載のデバイス。
- 前記電圧阻止SiC基板は、第2の伝導型を有する電圧阻止SiCエピ層を備えることを特徴とする請求項16に記載のサイリスタ。
- 前記電圧阻止SiC基板は、第2の伝導型を有する電圧阻止SiCエピ層を備えることを特徴とする請求項24に記載の方法。
- 前記第1の領域の側壁は前記第1のSiC層によって覆われず、
前記第3の領域の側壁は前記第2のSiC層によって覆われないことを特徴とする請求項1に記載のデバイス。 - 前記第1のコンタクトは前記第2の領域と接さず、前記第3のコンタクトは前記第1の領域と接さず、
前記第2のコンタクトは前記第4の領域と接さず、前記第4のコンタクトは前記第3の領域と接しないことを特徴とする請求項2に記載のデバイス。 - 前記第1の領域の側壁は前記第1のSiC層によって覆われず、
前記第3の領域の側壁は前記第2のSiC層によって覆われないことを特徴とする請求項24に記載の方法。
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---|---|---|---|---|
US7989841B1 (en) * | 2007-07-31 | 2011-08-02 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Fast injection optical switch |
US8536617B2 (en) | 2011-12-16 | 2013-09-17 | General Electric Company | Optically triggered semiconductor device and method for making the same |
US9401708B2 (en) | 2014-05-20 | 2016-07-26 | General Electric Company | Gate drive unit and method for controlling a gate drive unit |
WO2016112395A1 (en) * | 2015-01-09 | 2016-07-14 | Ideal Power Inc. | Thin-substrate double-base high-voltage bipolar transistors |
Family Cites Families (107)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
BE639633A (ja) * | 1962-11-07 | |||
FR1483998A (ja) * | 1965-05-14 | 1967-09-13 | ||
US3629011A (en) * | 1967-09-11 | 1971-12-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Method for diffusing an impurity substance into silicon carbide |
CA927014A (en) * | 1970-05-07 | 1973-05-22 | Westinghouse Electric Corporation | Symmetrical switch having a single gate for controlling firing in both directions |
DE2351783C3 (de) * | 1973-10-16 | 1982-02-11 | Brown, Boveri & Cie Ag, 6800 Mannheim | Zweiweg-Halbleiterschalter (Triac) |
US3988760A (en) * | 1973-10-30 | 1976-10-26 | General Electric Company | Deep diode bilateral semiconductor switch |
JPS5625029B2 (ja) * | 1975-01-31 | 1981-06-10 | ||
US4032364A (en) * | 1975-02-28 | 1977-06-28 | General Electric Company | Deep diode silicon controlled rectifier |
US4466172A (en) * | 1979-01-08 | 1984-08-21 | American Microsystems, Inc. | Method for fabricating MOS device with self-aligned contacts |
JPS6098686A (ja) * | 1983-11-02 | 1985-06-01 | Toshiba Corp | プレ−ナ−型半導体受光装置 |
US4779126A (en) * | 1983-11-25 | 1988-10-18 | International Rectifier Corporation | Optically triggered lateral thyristor with auxiliary region |
US4811065A (en) * | 1987-06-11 | 1989-03-07 | Siliconix Incorporated | Power DMOS transistor with high speed body diode |
JPH01117363A (ja) | 1987-10-30 | 1989-05-10 | Nec Corp | 縦型絶縁ゲート電界効果トランジスタ |
US5111253A (en) * | 1989-05-09 | 1992-05-05 | General Electric Company | Multicellular FET having a Schottky diode merged therewith |
JPH0766971B2 (ja) * | 1989-06-07 | 1995-07-19 | シャープ株式会社 | 炭化珪素半導体装置 |
JPH0334466A (ja) | 1989-06-30 | 1991-02-14 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 縦形二重拡散mosfet |
JPH03157974A (ja) | 1989-11-15 | 1991-07-05 | Nec Corp | 縦型電界効果トランジスタ |
JP2542448B2 (ja) * | 1990-05-24 | 1996-10-09 | シャープ株式会社 | 電界効果トランジスタおよびその製造方法 |
JP3321185B2 (ja) * | 1990-09-28 | 2002-09-03 | 株式会社東芝 | 高耐圧半導体装置 |
US5270554A (en) * | 1991-06-14 | 1993-12-14 | Cree Research, Inc. | High power high frequency metal-semiconductor field-effect transistor formed in silicon carbide |
US5242841A (en) * | 1992-03-25 | 1993-09-07 | Texas Instruments Incorporated | Method of making LDMOS transistor with self-aligned source/backgate and photo-aligned gate |
US5629531A (en) * | 1992-06-05 | 1997-05-13 | Cree Research, Inc. | Method of obtaining high quality silicon dioxide passivation on silicon carbide and resulting passivated structures |
US5459107A (en) | 1992-06-05 | 1995-10-17 | Cree Research, Inc. | Method of obtaining high quality silicon dioxide passivation on silicon carbide and resulting passivated structures |
US6344663B1 (en) * | 1992-06-05 | 2002-02-05 | Cree, Inc. | Silicon carbide CMOS devices |
US5726463A (en) * | 1992-08-07 | 1998-03-10 | General Electric Company | Silicon carbide MOSFET having self-aligned gate structure |
JP3146694B2 (ja) * | 1992-11-12 | 2001-03-19 | 富士電機株式会社 | 炭化けい素mosfetおよび炭化けい素mosfetの製造方法 |
US5506421A (en) * | 1992-11-24 | 1996-04-09 | Cree Research, Inc. | Power MOSFET in silicon carbide |
JPH0799312A (ja) * | 1993-02-22 | 1995-04-11 | Texas Instr Inc <Ti> | 半導体装置とその製法 |
US5416342A (en) * | 1993-06-23 | 1995-05-16 | Cree Research, Inc. | Blue light-emitting diode with high external quantum efficiency |
US5539217A (en) * | 1993-08-09 | 1996-07-23 | Cree Research, Inc. | Silicon carbide thyristor |
US6162665A (en) * | 1993-10-15 | 2000-12-19 | Ixys Corporation | High voltage transistors and thyristors |
US5510630A (en) * | 1993-10-18 | 1996-04-23 | Westinghouse Electric Corporation | Non-volatile random access memory cell constructed of silicon carbide |
US5396085A (en) * | 1993-12-28 | 1995-03-07 | North Carolina State University | Silicon carbide switching device with rectifying-gate |
US5385855A (en) * | 1994-02-24 | 1995-01-31 | General Electric Company | Fabrication of silicon carbide integrated circuits |
JPH08213607A (ja) * | 1995-02-08 | 1996-08-20 | Ngk Insulators Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
US5510281A (en) * | 1995-03-20 | 1996-04-23 | General Electric Company | Method of fabricating a self-aligned DMOS transistor device using SiC and spacers |
JP3521246B2 (ja) | 1995-03-27 | 2004-04-19 | 沖電気工業株式会社 | 電界効果トランジスタおよびその製造方法 |
SE9501310D0 (sv) * | 1995-04-10 | 1995-04-10 | Abb Research Ltd | A method for introduction of an impurity dopant in SiC, a semiconductor device formed by the mehtod and a use of a highly doped amorphous layer as a source for dopant diffusion into SiC |
US5734180A (en) * | 1995-06-02 | 1998-03-31 | Texas Instruments Incorporated | High-performance high-voltage device structures |
US6573534B1 (en) * | 1995-09-06 | 2003-06-03 | Denso Corporation | Silicon carbide semiconductor device |
FR2738394B1 (fr) * | 1995-09-06 | 1998-06-26 | Nippon Denso Co | Dispositif a semi-conducteur en carbure de silicium, et son procede de fabrication |
JPH11261061A (ja) | 1998-03-11 | 1999-09-24 | Denso Corp | 炭化珪素半導体装置及びその製造方法 |
US5972801A (en) * | 1995-11-08 | 1999-10-26 | Cree Research, Inc. | Process for reducing defects in oxide layers on silicon carbide |
US6133587A (en) * | 1996-01-23 | 2000-10-17 | Denso Corporation | Silicon carbide semiconductor device and process for manufacturing same |
JPH09205202A (ja) | 1996-01-26 | 1997-08-05 | Matsushita Electric Works Ltd | 半導体装置 |
JPH09270483A (ja) * | 1996-01-30 | 1997-10-14 | Hitachi Ltd | 半導体装置とその製造方法及び電力変換装置 |
US5663580A (en) * | 1996-03-15 | 1997-09-02 | Abb Research Ltd. | Optically triggered semiconductor device |
SE9601174D0 (sv) * | 1996-03-27 | 1996-03-27 | Abb Research Ltd | A method for producing a semiconductor device having a semiconductor layer of SiC and such a device |
US5763905A (en) * | 1996-07-09 | 1998-06-09 | Abb Research Ltd. | Semiconductor device having a passivation layer |
SE9602745D0 (sv) * | 1996-07-11 | 1996-07-11 | Abb Research Ltd | A method for producing a channel region layer in a SiC-layer for a voltage controlled semiconductor device |
US5917203A (en) * | 1996-07-29 | 1999-06-29 | Motorola, Inc. | Lateral gate vertical drift region transistor |
US5837572A (en) * | 1997-01-10 | 1998-11-17 | Advanced Micro Devices, Inc. | CMOS integrated circuit formed by using removable spacers to produce asymmetrical NMOS junctions before asymmetrical PMOS junctions for optimizing thermal diffusivity of dopants implanted therein |
US6180958B1 (en) * | 1997-02-07 | 2001-01-30 | James Albert Cooper, Jr. | Structure for increasing the maximum voltage of silicon carbide power transistors |
JP3206727B2 (ja) * | 1997-02-20 | 2001-09-10 | 富士電機株式会社 | 炭化けい素縦型mosfetおよびその製造方法 |
DE19809554B4 (de) | 1997-03-05 | 2008-04-03 | Denso Corp., Kariya | Siliziumkarbidhalbleitervorrichtung |
SE9702220D0 (sv) * | 1997-06-11 | 1997-06-11 | Abb Research Ltd | A semiconductor device with a junction termination and a method for production thereof |
US5877041A (en) * | 1997-06-30 | 1999-03-02 | Harris Corporation | Self-aligned power field effect transistor in silicon carbide |
DE19832329A1 (de) | 1997-07-31 | 1999-02-04 | Siemens Ag | Verfahren zur Strukturierung von Halbleitern mit hoher Präzision, guter Homogenität und Reproduzierbarkeit |
JP3180895B2 (ja) * | 1997-08-18 | 2001-06-25 | 富士電機株式会社 | 炭化けい素半導体装置の製造方法 |
CN1267397A (zh) * | 1997-08-20 | 2000-09-20 | 西门子公司 | 具有预定的α碳化硅区的半导体结构及此半导体结构的应用 |
US6239463B1 (en) * | 1997-08-28 | 2001-05-29 | Siliconix Incorporated | Low resistance power MOSFET or other device containing silicon-germanium layer |
SE9704150D0 (sv) * | 1997-11-13 | 1997-11-13 | Abb Research Ltd | Semiconductor device of SiC with insulating layer a refractory metal nitride layer |
JPH11191559A (ja) | 1997-12-26 | 1999-07-13 | Matsushita Electric Works Ltd | Mosfetの製造方法 |
JPH11251592A (ja) * | 1998-01-05 | 1999-09-07 | Denso Corp | 炭化珪素半導体装置 |
JP3216804B2 (ja) * | 1998-01-06 | 2001-10-09 | 富士電機株式会社 | 炭化けい素縦形fetの製造方法および炭化けい素縦形fet |
JPH11266017A (ja) | 1998-01-14 | 1999-09-28 | Denso Corp | 炭化珪素半導体装置及びその製造方法 |
JPH11238742A (ja) | 1998-02-23 | 1999-08-31 | Denso Corp | 炭化珪素半導体装置の製造方法 |
JP3893725B2 (ja) | 1998-03-25 | 2007-03-14 | 株式会社デンソー | 炭化珪素半導体装置の製造方法 |
US6100169A (en) * | 1998-06-08 | 2000-08-08 | Cree, Inc. | Methods of fabricating silicon carbide power devices by controlled annealing |
US6107142A (en) * | 1998-06-08 | 2000-08-22 | Cree Research, Inc. | Self-aligned methods of fabricating silicon carbide power devices by implantation and lateral diffusion |
JP4123636B2 (ja) | 1998-06-22 | 2008-07-23 | 株式会社デンソー | 炭化珪素半導体装置及びその製造方法 |
US6221700B1 (en) * | 1998-07-31 | 2001-04-24 | Denso Corporation | Method of manufacturing silicon carbide semiconductor device with high activation rate of impurities |
JP3959856B2 (ja) | 1998-07-31 | 2007-08-15 | 株式会社デンソー | 炭化珪素半導体装置及びその製造方法 |
JP2000106371A (ja) | 1998-07-31 | 2000-04-11 | Denso Corp | 炭化珪素半導体装置の製造方法 |
US6246076B1 (en) * | 1998-08-28 | 2001-06-12 | Cree, Inc. | Layered dielectric on silicon carbide semiconductor structures |
JP4186337B2 (ja) * | 1998-09-30 | 2008-11-26 | 株式会社デンソー | 炭化珪素半導体装置及びその製造方法 |
US6228720B1 (en) * | 1999-02-23 | 2001-05-08 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method for making insulated-gate semiconductor element |
US6448160B1 (en) * | 1999-04-01 | 2002-09-10 | Apd Semiconductor, Inc. | Method of fabricating power rectifier device to vary operating parameters and resulting device |
US6420225B1 (en) * | 1999-04-01 | 2002-07-16 | Apd Semiconductor, Inc. | Method of fabricating power rectifier device |
US6399996B1 (en) * | 1999-04-01 | 2002-06-04 | Apd Semiconductor, Inc. | Schottky diode having increased active surface area and method of fabrication |
US6238967B1 (en) * | 1999-04-12 | 2001-05-29 | Motorola, Inc. | Method of forming embedded DRAM structure |
US6137139A (en) | 1999-06-03 | 2000-10-24 | Intersil Corporation | Low voltage dual-well MOS device having high ruggedness, low on-resistance, and improved body diode reverse recovery |
JP4192353B2 (ja) * | 1999-09-21 | 2008-12-10 | 株式会社デンソー | 炭化珪素半導体装置及びその製造方法 |
US6824611B1 (en) * | 1999-10-08 | 2004-11-30 | Cree, Inc. | Method and apparatus for growing silicon carbide crystals |
US6303508B1 (en) * | 1999-12-16 | 2001-10-16 | Philips Electronics North America Corporation | Superior silicon carbide integrated circuits and method of fabricating |
US6429041B1 (en) * | 2000-07-13 | 2002-08-06 | Cree, Inc. | Methods of fabricating silicon carbide inversion channel devices without the need to utilize P-type implantation |
DE10036208B4 (de) | 2000-07-25 | 2007-04-19 | Siced Electronics Development Gmbh & Co. Kg | Halbleiteraufbau mit vergrabenem Inselgebiet und Konaktgebiet |
US7067176B2 (en) * | 2000-10-03 | 2006-06-27 | Cree, Inc. | Method of fabricating an oxide layer on a silicon carbide layer utilizing an anneal in a hydrogen environment |
US6767843B2 (en) * | 2000-10-03 | 2004-07-27 | Cree, Inc. | Method of N2O growth of an oxide layer on a silicon carbide layer |
US6610366B2 (en) * | 2000-10-03 | 2003-08-26 | Cree, Inc. | Method of N2O annealing an oxide layer on a silicon carbide layer |
US6956238B2 (en) * | 2000-10-03 | 2005-10-18 | Cree, Inc. | Silicon carbide power metal-oxide semiconductor field effect transistors having a shorting channel and methods of fabricating silicon carbide metal-oxide semiconductor field effect transistors having a shorting channel |
US6593620B1 (en) * | 2000-10-06 | 2003-07-15 | General Semiconductor, Inc. | Trench DMOS transistor with embedded trench schottky rectifier |
US7126169B2 (en) | 2000-10-23 | 2006-10-24 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Semiconductor element |
JP3881840B2 (ja) * | 2000-11-14 | 2007-02-14 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 半導体装置 |
DE10214150B4 (de) * | 2001-03-30 | 2009-06-18 | Denso Corporation, Kariya | Siliziumkarbidhalbleitervorrichtung und Verfahren zur Herstellung derselben |
US6770911B2 (en) * | 2001-09-12 | 2004-08-03 | Cree, Inc. | Large area silicon carbide devices |
SE520968C2 (sv) * | 2001-10-29 | 2003-09-16 | Okmetic Oyj | Högresistiv monokristallin kiselkarbid och metod för dess framställning |
US6815304B2 (en) * | 2002-02-22 | 2004-11-09 | Semisouth Laboratories, Llc | Silicon carbide bipolar junction transistor with overgrown base region |
JP4153811B2 (ja) * | 2002-03-25 | 2008-09-24 | 株式会社東芝 | 高耐圧半導体装置及びその製造方法 |
SE525574C2 (sv) * | 2002-08-30 | 2005-03-15 | Okmetic Oyj | Lågdopat kiselkarbidsubstrat och användning därav i högspänningskomponenter |
US7221010B2 (en) * | 2002-12-20 | 2007-05-22 | Cree, Inc. | Vertical JFET limited silicon carbide power metal-oxide semiconductor field effect transistors |
JP4338701B2 (ja) * | 2003-04-09 | 2009-10-07 | 関西電力株式会社 | ゲートターンオフサイリスタ |
US6979863B2 (en) * | 2003-04-24 | 2005-12-27 | Cree, Inc. | Silicon carbide MOSFETs with integrated antiparallel junction barrier Schottky free wheeling diodes and methods of fabricating the same |
US7074643B2 (en) * | 2003-04-24 | 2006-07-11 | Cree, Inc. | Silicon carbide power devices with self-aligned source and well regions and methods of fabricating same |
EP1471168B2 (en) * | 2003-04-24 | 2011-08-10 | Norstel AB | Device and method for producing single crystals by vapour deposition |
US7247513B2 (en) * | 2003-05-08 | 2007-07-24 | Caracal, Inc. | Dissociation of silicon clusters in a gas phase during chemical vapor deposition homo-epitaxial growth of silicon carbide |
US6974720B2 (en) * | 2003-10-16 | 2005-12-13 | Cree, Inc. | Methods of forming power semiconductor devices using boule-grown silicon carbide drift layers and power semiconductor devices formed thereby |
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