JP5117350B2 - 磁気ディスクの製造方法 - Google Patents
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Description
本発明の磁気ディスクの製造方法においては、保護層形成工程で、前記磁気記録層上に前記炭素系材料を成膜し、その後成膜した炭素系材料膜に対して、窒素よりもイオン化エネルギーの大きい希ガスを含む窒素ガスで窒化処理する。
(実施例1)
非磁性の基板として表面が平滑な化学強化ガラス基板を用い、これを洗浄した後、DCマグネトロンスパッタ装置内に導入し、厚さ10nmの密着層2(Cr45Ti)、厚さ46nmの軟磁性裏打ち層3(C92(60Co40Fe)−3Ta−5Zr)、厚さ9nmの下地層4(Ni5W)、厚さ21nmの非磁性中間層5(Ru)、厚さがそれぞれ2nm,9nm,7nmの磁気記録層6(それぞれ93(Co−20Cr−18Pt)−7Cr2O3,87(Co−10Cr−18Pt)−5SiO2−TiO2−3CoO,95(Co−18Cr−13Pt)−5B、厚さ5nmの炭素系保護層7を成膜した。続いて、窒素にヘリウムを36%添加した混合ガスを用いて、炭素系保護層7に対して窒化処理を行った。このあと、DCマグネトロンスパッタ装置から取り出し、洗浄後ディップ法により潤滑剤(PFPE)を塗布し、ベークして潤滑層8形成した。このようにして実施例1の磁気ディスクを作製した。
窒素ガスにネオンガスを36%添加した混合ガスを用いて窒化処理を行うこと以外実施例1と同様にして実施例2の磁気ディスクを作製した。
窒素ガスにアルゴンガスを36%添加した混合ガスを用いて窒化処理を行うこと以外実施例1と同様にして比較例1の磁気ディスクを作製した。
窒素のみを用いて窒化処理を行うこと以外実施例1と同様にして比較例2の磁気ディスクを作製した。
2 密着層
3 軟磁性裏打ち層
4 下地層
5 非磁性中間層
6 磁気記録層
7 炭素系保護層
8 潤滑層
Claims (3)
- ディスク基体上に少なくとも磁気記録層を形成する磁気記録層形成工程と、前記磁気記録層上に炭素系保護層を形成する保護層形成工程と、を具備する磁気ディスクの製造方法であって、前記保護層形成工程は、前記磁気記録層上に前記炭素系材料を成膜する工程と、前記成膜した炭素系材料膜に対して、窒素よりもイオン化エネルギーの大きい希ガスを含む窒素ガスで窒化処理する工程と、を含むことを特徴とする磁気ディスクの製造方法。
- 前記希ガスがヘリウムガス又はネオンガスであることを特徴とする請求項1記載の磁気ディスクの製造方法。
- 前記炭素系保護層は、プラズマCVD法により形成されたことを特徴とする請求項1又は請求項2記載の磁気ディスクの製造方法。
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