JP5115854B2 - 磁気ディスクの製造方法 - Google Patents
磁気ディスクの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5115854B2 JP5115854B2 JP2008136787A JP2008136787A JP5115854B2 JP 5115854 B2 JP5115854 B2 JP 5115854B2 JP 2008136787 A JP2008136787 A JP 2008136787A JP 2008136787 A JP2008136787 A JP 2008136787A JP 5115854 B2 JP5115854 B2 JP 5115854B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- magnetic disk
- magnetic
- lubricating layer
- temperature
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Description
(A)少なくとも非磁性基板および磁性層を含む磁気ディスク基板を提供する工程と、
(B)前記磁気ディスク基板の前記磁性層側の面上にパーフルオロポリエーテル系化合物を含む潤滑剤溶液を塗布することにより潤滑層を配設する工程と、
(C)前記潤滑層が配設された前記磁気ディスク基板を、温度50℃以上かつ相対湿度60%以上の条件で高温高湿処理することにより、前記潤滑層の表面を平坦化する工程と
を含むことを特徴とする磁気ディスクの製造方法を提供する。
(A)少なくとも非磁性基板および磁性層を含む磁気ディスク基板を提供する工程と、
(B)前記磁気ディスク基板の前記磁性層側の面上にパーフルオロポリエーテル系化合物を含む潤滑剤溶液を塗布することにより潤滑層を配設する工程と、
(C)前記潤滑層が配設された前記磁気ディスク基板を、温度50℃以上かつ相対湿度60%以上の条件で高温高湿処理することにより、前記潤滑層の表面を平坦化する工程と
を含む方法によって、磁気ディスクを製造する。以下に、各工程を説明する。
まず、本発明の方法を適用するための磁気ディスク基板を提供する。本発明の磁気ディスク基板には、非磁性基板上に少なくとも磁性層を積層してなるハードディスク等の磁気ディスクの形態を有するものを使用することができる。磁気ディスク基板は、任意選択的に、非磁性基板と磁性層との間にこれら以外の層、たとえば、非磁性下地層、軟磁性層、シード層、中間層などをさらに有していてもよい。また、任意選択的に、磁性層上に保護層を有していてもよい。以下に、本発明の磁気ディスク基板の各構成要素について説明する。
非磁性基板は、磁気ディスクに従来から用いられているものであれば特に限定されない。たとえば、アモルファスガラス、強化ガラス、結晶化ガラスまたはセラミックスなどの材料、またはこれらの複合材料からなる基板を用いることができる。また。従来から汎用的に使用されている、アルミ合金などの基板上に無電解メッキによりNi−Pなどの非磁性金属層(メッキ層)を形成したものであってもよい。
任意選択的に有していてもよい非磁性下地層は、たとえば、Ta、Ti、またはCrTi合金のようなCrを含む非磁性材料を用いて形成される。通常の場合、非磁性下地層は、0.5nm以上20.0nm以下の膜厚を有することが望ましい。
任意選択的に有していてもよい軟磁性層は、たとえば、FeTaC、センダスト(FeSiAl)合金などの結晶性材料;FeTaC、CoFeNi、CoNiPなどの微結晶性材料;またはCoZrNd、CoZrNb、CoTaZrなどのCo合金を含む非晶質材料を用いて形成される。軟磁性層は、磁気ディスク表面に垂直な方向の磁化を記録する場合(垂直磁気記録を行う場合)に、磁性層に垂直方向磁界を集中させるための層である。軟磁性層の膜厚は、記録に使用する磁気ヘッドの構造および特性によって最適値が変化するが、生産性との兼ね合いから、おおむね10nm以上500nm以下であることが望ましい。
任意選択的に有していてもよいシード層は、たとえば、面心立方格子構造を有する金属または合金、TaあるいはTa合金を用いて形成される。面心立方格子構造を有する金属または合金としては、Cu、Pd、Pt、Niまたはこれらのうち1つ以上を含む合金;NiFe、NiFeNb、NiFeCr、NiFeSi、NiFeBなどのようなパーマロイ系材料;CoNiFe、CoNiFeNb、CoNiFeCr、CoNiFeSi、CoNiFeBなどのようなパーマロイ系材料にCoを更に添加した材料;Co;あるいはCoB、CoSi、CoNi、CoFeのようなCo基合金等を用いることができる。シード層は、磁性層の結晶構造を制御するのに充分な膜厚を有することが望ましく、通常の場合、3nm以上50nm以下の膜厚を有することが望ましい。
任意選択的に有していても良い中間層は、たとえば、Ru、Ruを主成分とする合金、Co、またはCoを主成分とする合金を用いて形成される。また、これらの金属または合金を積層したものであってもよい。中間層は、通常0.1nm以上30nm以下の膜厚を有する。このような範囲内の膜厚とすることによって、磁性層の磁気特性や電磁変換特性を劣化させることなしに、高密度記録に必要な特性を磁性層に付与することが可能となる。
本発明に必須である磁性層は、好適には、少なくともCoとPtを含む合金の強磁性材料を用いて形成することができる。垂直磁気記録を行うためには、磁性層の材料の磁化容易軸(六方最密充填(hcp)構造のc軸)が、記録媒体表面(すなわち磁気ディスク基板の主表面)に垂直方向に配向していることが必要である。磁性層は、たとえばCoPt、CoCrPt、CoCrPtB、CoCrPtTaなどの合金材料を用いて形成することができる。磁性層の膜厚は、特に限定されるものではない。しかしながら、生産性および記録密度向上の観点から、磁性層は、好ましくは30nm以下、より好ましくは15nm以下の膜厚を有する。
任意選択的に有していても良い保護層は、その下にある磁性層以下の各構成層を保護するための層である。保護層は、カーボン(ダイヤモンドカーボン、アモルファスカーボンなど)、あるいは磁気記録媒体保護層用の材料として知られている種々の薄層材料を用いて形成することができる。耐摩耗性の観点からは、力学的強度の高いダイヤモンドライクカーボンおよびアモルファスカーボンを用いることが好ましい。保護層は、一般的に、スパッタ法(DCマグネトロンスパッタ法、RFマグネトロンスパッタ法などを含む)、真空蒸着法、CVD法などを用いて形成することができる。通常の場合、保護層は、0.5nm以上5.0nm以下の膜厚を有することが望ましい。
本発明において必須である潤滑層は、記録/読み出し用ヘッドが磁気記録媒体に接触している際の潤滑を付与するための層である。磁気ディスク基板の磁性層上(または存在する場合は保護層上)に潤滑剤溶液を塗布することにより潤滑層を配設する。本明細書中において「潤滑層」とは、塗布された潤滑剤溶液から溶媒が揮発および/または乾燥して形成される溶媒を含まない層を総称するものとする。
本発明で用いることのできる潤滑剤は、フッ素系潤滑剤であり、極性末端基を有するフッ素系潤滑剤であることが好ましい。フッ素系潤滑剤の例は、パーフルオロポリエーテル系化合物を含む。極性末端基の例は、ヒドロキシル末端基、カルボキシル末端基、エステル等の極性末端基を含む。本発明においては、磁気ディスク用の潤滑剤として一般に用いられる極性末端基を有するパーフルオロポリエーテル系化合物を用いることが望ましく、極性末端基はヒドロキシル末端基であることが望ましい。たとえば、ソルベイ・ソレクシス株式会社(Solvay Solexis K.K.)製Fomblin Z−tetraol、Fomblin Z−dol、および株式会社松村石油研究所(Matsumura Oil Research Corp.)製のMoresco Phosparol A20Hなどのフォンブリン系、あるいはダイキン工業社製Demnum−SA(商標登録)などのデムナム系のような潤滑剤を使用することができる。
本発明で用いることのできる溶媒は、本発明の潤滑剤を溶解させてディップコート法に使用することのできるものであればよく、特に限定されない。たとえば、HFE−7200(住友3M社製)、Vertrel XF(三井デュポンフロロケミカル社製)などを用いることができる。
工程(B)により潤滑層が配設された磁気ディスク基板を、温度50℃以上かつ相対湿度60%以上の条件で高温高湿処理する。本明細書中において「高温高湿処理」とは、温度50℃以上かつ相対湿度60%以上の温湿度環境下に磁気ディスク基板を置くことを言う。高温高湿処理により、潤滑層が流動して、潤滑層の表面が平坦化される。
以下の工程に従い、磁気ディスクを製造した。
(1)磁気ディスク基板の提供
非磁性基板(材料Al合金からなる直径95mmの磁気ディスク用基板)を準備した。前記非磁性基板上に、スパッタ法を用いて、膜厚2nmのCrTiからなる下地層、膜厚50nmのCoZrNbからなる軟磁性層、膜厚5nmのCoNiFeSiからなるシード層、膜厚10nmのRuからなる中間層、および膜厚15nmのCoCrPt−SiO2とCoCrPrBとからなる磁性層を順次形成した。続いて、プラズマCVD法を用いて、膜厚4.0nmの非晶質カーボン保護層を形成して、磁気ディスク基板を得た。
潤滑剤としてのFomblin Z−tetraol(ソルベイ・ソレクシス株式会社製)を、溶媒としてのVertrel XF(三井デュポンフロロケミカル社製)に溶解させて、潤滑剤溶液(濃度150ppm)を調製した。上記(1)で得られた磁気ディスク基板に対して、潤滑剤溶液に浸漬(480秒間)させる工程、および次いで2.0mm/secの速度で引上げる工程を含むディップコート法で潤滑剤溶液を塗布することにより、膜厚1.2nmの潤滑層が配設された磁気ディスクを得た。
上述の工程(2)で得られた磁気ディスクを、VENA社製VC−10チャンバー内において70℃、80%r.h.の条件下で処理して、磁気ディスクの潤滑層の表面を平坦化させた。処理時間を、10,30,60および120分間の範囲で変動させた。
上述の工程(3)における処理条件について、温度を10,25,40,50および70℃の範囲、および湿度を40,60および80%r.h.の範囲で変動させ、および処理時間を60分間に限定した以外は実施例1と同様にして、実施例2の磁気ディスクを得た。なお、温度70℃かつ湿度80%r.h.の条件は、実施例1に相当する。
上記工程に従って作製した磁気ディスクについて、以下の項目を評価した。
SRA(Surface Reflectance Analyzer:HDI社(HDI Instrumentation, Inc.)製走査型エリプソメータ)により、各温湿度処理前後における磁気ディスク基板上の潤滑層の分布を測定した。実施例1についての結果を図1(処理前)および図2(処理後)に示す。
各環境下での処理前後の潤滑層の分布を定量的に比較するため、磁気ディスクの半径位置40mmにおける周方向(中心角55°の範囲)での潤滑層の膜厚変動量[nm]を、上記SRAにより測定した。また、中心角55°の範囲での膜厚変動量の最大幅、すなわち潤滑層の凹凸の最大高さとして、表面粗さRmaxを日本工業規格(JIS B0601−1982)に従って測定した。結果を、図3から図5および第1表に示す。
ハーフディップ法により、磁気ディスク基板上に配設された潤滑層の拡散係数を測定した。ハーフディップ法とは、ディップコート法により、ディスクの表面の半分のみ潤滑層の塗布を行い、塗布領域から非塗布領域への潤滑層の流動量から、潤滑層の拡散係数を計算する手法である。工程(3)における磁気ディスク基板の処理条件(温度および相対湿度)と、潤滑層の拡散係数との関係を、図6に示す。
2 ルブライン
Claims (2)
- (A)少なくとも非磁性基板および磁性層を含む磁気ディスク基板を提供する工程と、
(B)前記磁気ディスク基板の前記磁性層側の面上にパーフルオロポリエーテル系化合物を含む潤滑剤溶液を塗布することにより、0.5nm〜2nm(ただし、2nmを除く)の膜厚を有する潤滑層を配設する工程と、
(C)前記潤滑層が配設された前記磁気ディスク基板を、温度50℃以上、70℃以下、かつ相対湿度60%以上、80%以下の条件で高温高湿処理することにより、前記潤滑層の表面を平坦化する工程と
を含むことを特徴とする磁気ディスクの製造方法。 - 工程(A)において前記磁気ディスク基板が前記磁性層上に保護層をさらに含み、工程(B)において前記潤滑剤溶液を前記保護層上に塗布することを特徴とする請求項1に記載の方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008136787A JP5115854B2 (ja) | 2008-05-26 | 2008-05-26 | 磁気ディスクの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008136787A JP5115854B2 (ja) | 2008-05-26 | 2008-05-26 | 磁気ディスクの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009283106A JP2009283106A (ja) | 2009-12-03 |
JP5115854B2 true JP5115854B2 (ja) | 2013-01-09 |
Family
ID=41453388
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008136787A Expired - Fee Related JP5115854B2 (ja) | 2008-05-26 | 2008-05-26 | 磁気ディスクの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5115854B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5569213B2 (ja) * | 2010-07-26 | 2014-08-13 | 富士電機株式会社 | 垂直磁気記録媒体 |
JP7448869B2 (ja) | 2022-07-29 | 2024-03-13 | ダイキン工業株式会社 | 含フッ素ポリマーの分子量の測定方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6246434A (ja) * | 1985-08-22 | 1987-02-28 | Hitachi Maxell Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
JPH0380430A (ja) * | 1989-08-23 | 1991-04-05 | Fuji Electric Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
JPH04134724A (ja) * | 1990-09-26 | 1992-05-08 | Victor Co Of Japan Ltd | 磁気ディスク |
JPH08167146A (ja) * | 1994-12-09 | 1996-06-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
JP3939180B2 (ja) * | 2002-03-27 | 2007-07-04 | Hoya株式会社 | 磁気ディスクの製造方法 |
JP4457968B2 (ja) * | 2005-05-23 | 2010-04-28 | 富士電機デバイステクノロジー株式会社 | 磁気記録媒体、およびその潤滑層膜厚測定方法 |
WO2007020723A1 (ja) * | 2005-08-12 | 2007-02-22 | National University Corporation Nagoya University | 記録媒体、記録装置及び記録媒体製造方法 |
-
2008
- 2008-05-26 JP JP2008136787A patent/JP5115854B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009283106A (ja) | 2009-12-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8623529B2 (en) | Method of producing a perpendicular magnetic recording medium and perpendicular magnetic recording medium | |
US20100233513A1 (en) | Magnetic recording medium | |
US8043734B2 (en) | Oxidized conformal capping layer | |
JP2003208710A (ja) | 磁気記録媒体 | |
US7744966B2 (en) | Production process of perpendicular magnetic recording medium | |
JP4968116B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
US8053096B2 (en) | Nickel based alloy layer for perpendicular recording media | |
US9758873B2 (en) | Manufacturing method for magnetic recording medium | |
US6238780B1 (en) | Magnetic recording medium comprising multilayered carbon-containing protective overcoats | |
JP5115854B2 (ja) | 磁気ディスクの製造方法 | |
US20100124672A1 (en) | Granular perpendicular media with corrosion-resistant cap layer for improved corrosion performance | |
JP2018073439A (ja) | 磁気記録媒体 | |
WO2011093232A1 (ja) | 磁気記録媒体の製造装置及び製造方法 | |
JP2006286115A (ja) | 磁気記録媒体およびその製造方法 | |
JP2014056622A (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
US9105292B2 (en) | Magnetic recording medium and method of manufacturing same | |
JP5315735B2 (ja) | 磁気記録媒体用潤滑剤および該潤滑剤を使用した磁気記録媒体 | |
JP5115853B2 (ja) | 磁気記録媒体およびその製造方法 | |
JP4150418B2 (ja) | 磁気ディスク及びその製造方法 | |
JP4113787B2 (ja) | 磁気ディスク | |
JP2003099917A (ja) | 磁気記録媒体 | |
JP5347732B2 (ja) | 磁気記録媒体の表面エネルギーの極性成分を解析する方法 | |
JP2007018625A (ja) | 磁気記録媒体 | |
JP2001056928A (ja) | 磁気記録媒体 | |
US20100021769A1 (en) | method to improve corrosion performance of exchange coupled granular perpendicular media |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A625 | Written request for application examination (by other person) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A625 Effective date: 20101015 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20110722 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20111028 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111118 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120113 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120921 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121004 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 5115854 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151026 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |