JP5094526B2 - 複合センサ及びこれを用いた炎センサ - Google Patents
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Description
11 SOI基板
12 UV受光部
13 UV増幅部
14 UVセンサ部
15 IR受光部
16 IR増幅部
17 IRセンサ部
18 複合センサ
19 判定部
21 半導体基板
22 埋め込み酸化膜
23 SOI層
24 スリット
25 N型拡散領域(N領域)
26 P型拡散領域(P+領域)
71 縮退半導体領域
72 シリサイド領域
73 P型拡散領域(P-領域)
74 高濃度拡散領域(N+領域)
75 追加高濃度拡散領域(N+領域)
Claims (6)
- 半導体基板上の埋め込み酸化膜上に積層されたSOI層内に設けられたPN接合領域を含むUVセンサ部と、
前記SOI層に設けられたN型の低濃度拡散領域と前記埋め込み酸化膜を介して前記低濃度拡散領域に対向して前記半導体基板内に設けられたN型の高濃度拡散領域とを含むIRセンサ部と、を有し、
前記IRセンサ部は、前記低濃度拡散領域に接続したシリサイド領域と、前記埋め込み酸化膜を介して前記シリサイド領域に対向して前記半導体基板内に設けられたN型の追加高濃度拡散領域と、を更に有することを特徴とする複合センサ。 - 前記PN接合領域を形成するP型拡散領域は、円柱状の拡散領域の複数が連なっている形状を有することを特徴とする請求項1記載の複合センサ。
- 前記PN接合領域を形成するP型拡散領域は、半円柱状の拡散領域の複数が交互に同一方向において連なっている形状を有することを特徴とする請求項1記載の複合センサ。
- 前記UVセンサ部は、前記SOI層上にスリットを更に有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1に記載の複合センサ。
- 半導体基板上の埋め込み酸化膜上に積層されたSOI層内に設けられたPN接合領域を含むUVセンサ部と、
前記SOI層に設けられたN型の低濃度拡散領域と前記埋め込み酸化膜を介して前記低濃度拡散領域に対向して前記半導体基板内に設けられたN型の高濃度拡散領域とを含むIRセンサ部と、
前記UVセンサ部及び前記IRセンサ部の各々から得られる受光信号に応じて炎の有無を判定する判定部と、を有し、
前記IRセンサ部は、前記低濃度拡散領域に接続したシリサイド領域と、前記埋め込み酸化膜を介して前記シリサイド領域に対向して前記半導体基板内に設けられたN型の追加高濃度拡散領域と、を更に有することを特徴とする炎センサ。 - 前記UVセンサ部及び前記IRセンサ部の各々は、前記受光信号を増幅する増幅部を更に含むことを特徴とする請求項5記載の炎センサ。
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