JP5092930B2 - センサ装置 - Google Patents
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図2は圧力センサ、加速度センサなどの物理量を検出するセンサ装置1の全体構成の概略を示すもので、パッケージ2内に収容されたマウント部3にセンサ部および調整部を備えたセンサチップ4および検出回路や調整部を含んで構成された回路チップ5がマウントされている。センサチップ4および回路チップ5には複数のボンディングパッドが設けられ、ボンディングワイヤ6によりマウント部3のリード部7に電気的に接続されている。
圧力センサ以外に、加速度センサや振動ジャイロなどのセンサ装置に適用でき、また、これらに限らず、特性値の調整を必要とするセンサ装置全般に適用することができる。
Claims (1)
- センサ部およびそのセンサ部の特性値の調整をするための調整部を備えたセンサ装置において、
前記調整部は、前記特性値をレーザトリミング処理により調整するレーザトリミング部と、前記特性値を電気トリミング処理により調整する電気トリミング部とを備えた構成とされ、
前記レーザトリミング部は、前記レーザトリミング処理により切断可能な抵抗体を有する構成とされ、
前記電気トリミング部は、電気的に書き込み可能なEPROMから構成され、前記特性値のうち前記レーザトリミング部に対する前記レーザトリミング処理で調整できない特性値に対する調整値を記憶することを特徴とするセンサ装置。
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