JP5159085B2 - 回路較正情報を記憶する方法および装置 - Google Patents
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Description
21、22 ラッチ
23、24、26 比較器
25 電流源
27 補助電流源
28 マルチプレクサ
29 eFUSEモジュール
30 終端回路
Rp、Rq、Ry オンチップ抵抗
Rz オフチップ抵抗
Claims (12)
- 回路特性を変更し、その回路特性が集積回路内のデバイスの処理パラメータに影響されないようにする方法であって、
選択された数のチップにて前記プロセス・パラメータを測定することによりウェハのプロセス・パラメータの情報を求めるステップと、
処理パラメータ内の公称値からの偏差に関する情報がいったんeFUSEに記録されるとオンチップ・ユニットをブロードキャスト・モジュールとして動作させるステップであって、前記オンチップ・ユニットが、不揮発性記憶アレイから情報を読み取り、前記読み取られたデータを2進数のストリームへと再フォーマットし、前記再フォーマットされたデータを他の任意のオンチップ・ユニットへ伝送するステップと、
前記プロセス・パラメータの前記求められた情報を、前記ウェハ上の前記チップのうち1チップ内の記憶素子に記憶するステップであって、前記プロセス・パラメータの前記求められた情報を用いて、動作中に前記チップ内の機能要素の一定の動作特性を自動調整し、前記一定の動作特性は前記プロセス・パラメータと関連しているステップと
を含む方法。 - 前記方法が、前記ウェハ上の残りのチップの前記プロセス・パラメータを評価するステップをさらに含む、請求項1記載の方法。
- 前記評価するステップが二次元補間により実行される、請求項2記載の方法。
- 前記方法が、前記選択数のチップ内のカーフ構造体を測定するステップをさらに含む、請求項1記載の方法。
- 前記記憶するステップが、電子チップ識別情報を記憶するステップをさらに含む、請求項1記載の方法。
- 前記記憶素子が、電気的にプログラム可能な記憶素子である、請求項1記載の方法。
- オンチップ抵抗の抵抗値を変更する装置であって、
チップ上の第1の複数のオンチップ抵抗および前記チップに接続されたオフチップ抵抗と、
前記1対のオンチップ抵抗および前記オフチップ抵抗に実質同一の電流を流す1組の電流源と、
処理パラメータ内の公称値からの偏差に関する情報がいったんeFUSEに記録されるとブロードキャスト・モジュールとして動作するオンチップ・ユニットであって、前記オンチップ・ユニットが、不揮発性記憶アレイから情報を読み取り、前記読み取られたデータを2進数のストリームへと再フォーマットし、前記再フォーマットされたデータをその他の任意のオンチップ・ユニットへ伝送するオンチップ・ユニットと、
前記1対のオンチップ抵抗と前記オフチップ抵抗の両端の電圧降下を比較することにより、前記オンチップ抵抗の許容誤差を求める手段と、
動作中に前記チップ内の前記1対のオンチップ抵抗を自動調整するのに用いられる前記求められた許容差を記憶する前記チップ内の記憶素子と
を含む装置。 - 前記装置が、動作中に前記第1の複数のオンチップ抵抗の抵抗値を調整するために、前記求められた許容差を前記記憶素子から終端回路へ導くことが可能なマルチプレクサをさらに含む、請求項7記載の装置。
- 前記終端回路が複数の抵抗を含む、請求項8記載の装置。
- 前記装置が、前記求められた許容差を1組のデジタル値に変換する手段をさらに含む、請求項7記載の装置。
- 前記記憶素子が、電気的にプログラム可能な記憶素子である、請求項7記載の装置。
- 前記求める手段が1対の比較器である、請求項7記載の装置。
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