JPH09162661A - 増幅回路 - Google Patents
増幅回路Info
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- JPH09162661A JPH09162661A JP7318306A JP31830695A JPH09162661A JP H09162661 A JPH09162661 A JP H09162661A JP 7318306 A JP7318306 A JP 7318306A JP 31830695 A JP31830695 A JP 31830695A JP H09162661 A JPH09162661 A JP H09162661A
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- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03G—CONTROL OF AMPLIFICATION
- H03G1/00—Details of arrangements for controlling amplification
- H03G1/0005—Circuits characterised by the type of controlling devices operated by a controlling current or voltage signal
- H03G1/0088—Circuits characterised by the type of controlling devices operated by a controlling current or voltage signal using discontinuously variable devices, e.g. switch-operated
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- Testing Or Calibration Of Command Recording Devices (AREA)
- Air Bags (AREA)
- Control Of Amplification And Gain Control (AREA)
- Indication And Recording Devices For Special Purposes And Tariff Metering Devices (AREA)
Abstract
率を調整する。 【解決手段】 増幅回路22は、演算増幅器221と、
入力抵抗222と、帰還抵抗223から構成されてい
る。入力抵抗222を構成する入力抵抗群222a〜2
22fは直列に接続されており、それぞれの接続点には
調整用パッドa〜dが設けられている。同様に、帰還抵
抗223を構成する帰還抵抗群223a〜223fも直
列に接続されており、それぞれの接続点には調整用パッ
ドA〜Dが設けられている。そして、調整用パッドa〜
d、A〜Dと、接地電圧に固定された共通パッド30と
を、それぞれワイヤ40を用いて選択的にボンディング
することにより、入力抵抗および帰還抵抗の抵抗値を調
整し、増幅回路22の増幅率を調整することができる。
Description
特に抵抗値調整にて増幅率を調整するようにしたもの、
およびそのような増幅回路を含んで構成されるセンサ装
置に関する。
て調整する場合、レーザにより厚膜又は薄膜抵抗をトリ
ミングし抵抗値を調整するもの、あるいはEPROM等
のメモリへの書き込みに値により電気的に抵抗値を調整
するものとがある。
レーザを用いた調整の場合には、そのための設備が必要
となり、後者の電気的な調整を用いた場合には、専用メ
モリが必要となるため、いずれのものでもコスト的に問
題がある。本発明は上記問題に鑑みたもので、新規な抵
抗値調整により増幅回路の増幅率を調整することを目的
とする。
め、本発明においては、入力電圧を増幅する増幅回路の
増幅率の設定に関係する抵抗の抵抗値をワイヤボンディ
ングを用いて調整するようにしたことを特徴としてい
る。従って、ワイヤボンディングを用いることにより容
易に抵抗値調整を行うことができ、またワイヤボンディ
ングの場合、接続抵抗が極めて小さいため、高精度にそ
の調整を行うことができる。
と帰還抵抗群を有し、それぞれの接続点に設けられた調
整用パッドと、基準電圧に設定された共通パッドとを、
ワイヤにより選択的にボンディングすることによりそれ
ぞれの抵抗値を調整することができる。この場合、演算
増幅器と入力抵抗と帰還抵抗とをICとして構成し、こ
のICに入力抵抗群および帰還抵抗群の調整用パッドを
一列に配置形成し、共通パッドをそれと対向配置するこ
とにより、ボンディングを容易に行うことができる。
列接続したものとすれば、ワイヤボンディングにより抵
抗値を抵抗分割により設定することができるため、その
調整を容易に行うことができる。上記したような増幅回
路は、センサ装置に用いることができる。この場合、セ
ンサ手段からの検出電圧に対し所望の出力電圧を得るよ
うに増幅回路の増幅率を調整することができる。
率の設定方法としては、センサ手段の検出作動時のセン
サ装置の出力信号を検出し、予め定めた出力信号とボン
ディング位置との関係により、検出した出力信号からボ
ンディング位置を決定して、ボンディングを行うように
することができる。このように、予め定めた出力信号と
ボンディング位置との関係を用いることにより、出力信
号からボンディング位置を決定して、ボンディング操作
を容易に行うことができる。また、センサ手段の実際の
作動に基づいて、増幅率調整が行われるため、センサ手
段を含めた装置全体としての適正なる増幅率の設定を行
うことができる。
装置の加速度センサに適用した実施形態について説明す
る。図1に、その回路構成を示す。加速度センサは、加
速度検出を行うセンサチップ10と、このセンサチップ
10からの検出信号を信号処理する信号処理部20から
構成されている。
値が変化する4つの歪ゲージ11〜14を有しており、
これらは加速度を受けると、図の矢印に示すように抵抗
値が増減変化する。歪ゲージ11〜14はブリッジ回路
を構成しているため、その抵抗値の増減変化によりブリ
ッジ回路の中点に電圧差が生じ、その電圧差を示す検出
電圧が出力される。
の検出電圧を増幅する初段増幅回路21と、増幅率調整
用の増幅回路22と、ハイパスフィルタ(HPF)23
と、後段増幅回路24とから構成されており、後段増幅
回路24から出力電圧GO を出力する。増幅率調整用の
増幅回路22は、初段増幅回路21からの電圧VINを非
反転増幅する回路であり、演算増幅器221と、入力抵
抗222と、帰還抵抗223から構成されている。入力
抵抗222は入力抵抗群222a〜222fを有し、ま
た帰還抵抗223は帰還抵抗群223a〜223fを有
している。
直列接続され、それぞれの接続点には調整用パッドa〜
dが設けられている。帰還抵抗群223a〜223eも
同様に、直列接続され、それぞれの接続点に調整用パッ
ドA〜Dが設けられている。増幅回路の増幅率は、入力
抵抗と帰還抵抗の抵抗値により設定されるため、調整用
パッドa〜d、A〜Dと、接地電圧に固定された共通パ
ッド30とを選択的にワイヤボンディングすることによ
り、入力抵抗および帰還抵抗の抵抗値を調整し、増幅回
路22の増幅率(入力電圧VIN/出力電圧VOUT )を調
整することができる。
抵抗値をRa 、Rb 、Rc 、Rd 、Re 、Rf とし、帰
還抵抗群223a〜223fの抵抗値をRA 、RB 、R
C 、RD 、RE 、RF とすると、例えば、調整用パッド
Aとdをワイヤ40にて共通パッド30にボンディング
した場合には、増幅率(VIN/VOUT )は、数1のよう
になる。
整用パッドa〜d、A〜Dをオープンとした場合には、
増幅率(VIN/VOUT )は、数2のようになる。
しくはいずれか1つを選択してワイヤボンディングし、
また調整用パッドA〜Dをオープンもしくはいずれか1
つを選択してワイヤボンディングすることにより、その
組み合わせで、増幅回路22の増幅率を変化させ、その
増幅率を調整することができる。図1の場合には、5×
5=25通りに増幅率を変化させることができる。
されており、抵抗群222a〜222f、223a〜2
23fは同一種類の抵抗で、例えばCrSiの薄膜抵抗
あるいは拡散抵抗として形成されている。このように、
IC内に同じ種類の抵抗を形成することにより、増幅率
の設定を精度よく行うことできる。また、ワイヤボンデ
ィングの場合、接続抵抗が極めて小さいため、オン抵抗
が小さく温度特性を良好として高精度に増幅率を調整す
ることができる。
ックパッケージに収納した状態を示す。信号処理部20
はICチップとしてパッケージ50内に収納されてお
り、そのICチップ20において調整用パッドa〜d、
A〜Dが一辺に一列に配置形成されている。また、その
調整用パッドa〜d、A〜Dと対向した位置には、共通
パッド30が形成されている。このように調整用パッド
a〜d、A〜Dと共通パッド30を対向配置することに
より、ボンディングを行い易くすることができる。な
お、図1では共通パッド30が2つに分離して図示され
ているが、図2に示すようにそれらを1つのパッドとす
ることにより、パッドの形成面積を小さくすることがで
きる。
子、接地端子、出力端子等からなる接続端子51が設け
られており、この接続端子51を介してセンサチップ1
0、ICチップ20等と外部とが電気的に接続される。
なお、共通パッド30は接地端子に接続されている。な
お、図中の25aはコンデンサであり、図1に示すHP
F23を構成するために設けられている。
加速度センサの状態を示しており、後述する増幅率調整
を行った後に、パッケージ50がガラス封止される。ま
た、パッケージ50の上面周囲に金メッキを施し、キャ
ップをはんだ付けするようにしてもよい。次に、上記し
た増幅回路22の増幅率調整について説明する。この場
合の調整手順を図3に示す。
定の加速度でsin波加振する。この加振により、信号
処理部20から交流の出力電圧GO が出力されるため、
この出力電圧GO のP−P値を測定する(ステップ10
1)。次に、出力電圧GO のP−P値から図4に示すマ
ップを用いて、ボンディング位置を決定する(ステップ
102)。そして、そのボンディング位置にワイヤボン
ディングを行う(ステップ103)。例えば、出力電圧
GO のP−P値がV2とV3 の間にある時は、調整用パ
ッドa、Dをボンディングする。
まくいかなかった場合には、再度ワイヤボンディングを
行えばよいため、調整の手なおしをすることができる。
また、このようなワイヤボンディングはICの製造工程
で必ず用いるものであり、ワイヤボンダーを利用して増
幅率の調整を行うことができるため、調整を容易に行う
ことができる。
図5に示す。図1では増幅回路を非反転増幅回路で構成
するものを示したが、図5に示すものでは増幅回路を反
転増幅回路にて構成している。図に示すように、反転増
幅回路の入力抵抗222は入力抵抗群222g〜222
iで構成され、帰還抵抗223は帰還抵抗群223g〜
223kで構成されている。この場合、入力抵抗222
と帰還抵抗223の接続点Xの電圧が基準電圧となるた
め、その接続点のパッドxは必ず共通パッド30にワイ
ヤボンディングされる。
ッド30は、図1に示すものと同様に、所望の増幅率を
得るために選択的にワイヤボンディングされる。例え
ば、調整用パッドcとHが共通パッド30にワイヤボン
ディングされた場合には、抵抗222gの抵抗値を
Rg 、抵抗223kの抵抗値をRK とすると、増幅率
(VIN/VOUT )は、数3のようになる。
bが2つ、調整用パッドA〜Dが4つあるため、調整用
パッドをオープンにする状態を含め、3×5=15通り
の増幅率の調整を行うことができる。なお、上記した実
施形態では、加速度に応じて抵抗値が変化する方式のも
のを示したが、加速度に応じて容量が変化する方式の加
速度センサに適用してもよい。
両方について抵抗値調整を行うものを示したが、片方の
抵抗に対して抵抗値調整を行うようにしてもよい。さら
に、調整用の抵抗を直列に接続するものを示したが、並
列接続の関係で抵抗を配置するようにしてもよい。さら
に、本発明は加速度センサのみならず、圧力センサ、光
センサ等の感度調整にも用いることができる。
に適用した実施形態を示す回路図である。
ジに収納した状態を示す平面図である。
トである。
決定するためのマップを示す図である。
号処理部、22…増幅回路、221…演算増幅器、22
2…入力抵抗、223…帰還抵抗、a〜d、A〜D…調
整用パッド、30…共通パッド、40…ワイヤ。
Claims (9)
- 【請求項1】 演算増幅器(221)と、この演算増幅
器の増幅率を設定する入力抵抗(222)と帰還抵抗
(223)とを備えて、入力電圧を増幅する増幅回路に
おいて、 前記入力抵抗および前記帰還抵抗は、入力抵抗群(22
2a〜222e)と帰還抵抗群(223a〜223e)
をそれぞれ有して構成されており、 前記入力抵抗群の各接続点および前記帰還抵抗群の各接
続点には、調整用パッド(a〜d、A〜D)がそれぞれ
設けられ、 基準電圧に設定された共通パッド(30)と前記入力抵
抗群の調整用パッド(a〜d)、および前記共通パッド
と前記帰還抵抗群の調整用パッド(A〜D)とが、それ
ぞれワイヤ(40)により選択的にボンディングされ
て、前記入力抵抗および前記帰還抵抗の抵抗値が設定さ
れていることを特徴とする増幅回路。 - 【請求項2】 演算増幅器(221)と入力抵抗(22
2)と帰還抵抗(223)がICとして構成されてパッ
ケージ(50)内に収納されており、 前記入力抵抗および前記帰還抵抗は、入力抵抗群(22
2a〜222e)と帰還抵抗群(223a〜222e)
をそれぞれ有して構成され、前記入力抵抗群の各接続点
および前記帰還抵抗群の各接続点に接続された調整用パ
ッド(a〜d、A〜D)が前記ICに一列に配置形成さ
れており、 前記パッケージ内において前記一列に配置された調整用
パッドと対向する位置に、基準電圧に設定された共通パ
ッド(30)が設けられ、 この共通パッドと前記入力抵抗群の調整用パッド(a〜
d)、および前記共通パッドと前記帰還抵抗群の調整用
パッド(A〜D)とが、それぞれワイヤ(40)により
選択的にボンディングされて、前記入力抵抗および前記
帰還抵抗の抵抗値が設定されていることを特徴とする増
幅回路。 - 【請求項3】 前記共通パッド(30)は接地電圧に固
定されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の
増幅回路。 - 【請求項4】 演算増幅器(221)と、この演算増幅
器の増幅率の設定に関係する抵抗(222、223)と
を備えて、入力電圧を増幅する増幅回路において、 前記抵抗は直列接続された抵抗群(222a〜222
e、223a〜222e)を有して構成されており、前
記抵抗群の各接続点には調整用パッド(a〜d、A〜
D)が設けられ、 基準電圧に設定された共通パッド(30)と前記抵抗群
の調整用パッドとがワイヤ(40)により選択的にボン
ディングされて、前記抵抗の抵抗値が設定されているこ
とを特徴とする増幅回路。 - 【請求項5】 物理量を検出して検出電圧を出力するセ
ンサ手段(10)と、このセンサ手段からの検出電圧を
信号処理する信号処理回路(20)を備えたセンサ装置
であって、 前記信号処置回路は、前記検出電圧を増幅する増幅回路
(22)を含み、 前記増幅回路は、演算増幅器(221)と、この演算増
幅器の増幅率の設定に関係する抵抗(222、223)
を備え、 さらに、前記増幅回路は、抵抗群(222a〜222
e、223a〜222e)を有し、この抵抗群の各接続
点には調整用パッド(a〜d、A〜D)が設けられてお
り、 基準電圧に設定された共通パッド(30)と前記抵抗群
の調整用パッド(a〜d、A〜D)とがワイヤ(40)
により選択的にボンディングされて、前記抵抗の抵抗値
が設定されていることを特徴とするセンサ装置。 - 【請求項6】 物理量を検出して検出電圧を出力するセ
ンサ手段(10)と、このセンサ手段からの検出電圧を
信号処理する信号処理回路(20)を備えたセンサ装置
であって、 前記信号処置回路は、前記検出電圧を増幅する増幅回路
(22)を含み、 前記増幅回路は、演算増幅器(221)と、この演算増
幅器の増幅率を設定する入力抵抗(222)と帰還抵抗
(223)を備え、 さらに、前記増幅回路は、直列接続された入力抵抗群
(222a〜222e)と、直列接続された帰還抵抗群
(223a〜222e)を有し、前記入力抵抗群の各接
続点および前記帰還抵抗群の各接続点には調整用パッド
(a〜d、A〜D)がそれぞれ設けられており、 基準電圧に設定された共通パッド(30)と前記入力抵
抗群の調整用パッド(a〜d)、および前記共通パッド
と前記帰還抵抗群の調整用パッド(A〜D)とが、それ
ぞれワイヤ(40)により選択的にボンディングされ
て、前記入力抵抗および前記帰還抵抗の抵抗値が設定さ
れていることを特徴とするセンサ装置。 - 【請求項7】 前記信号処理回路(20)はICとして
構成され、このICに前記入力抵抗群の調整用パッド
(a〜d)および前記帰還抵抗群の調整用パッド(A〜
D)が一列に配置形成されており、このIC、前記セン
サ手段(10)、および前記共通パッド(30)が、パ
ッケージ(50)内に収納されており、前記共通パッド
が前記一列に配置された調整用パッドと対向する位置に
設けられていることを特徴とする請求項6に記載のセン
サ装置。 - 【請求項8】 前記センサ手段(10)は、物理量に応
じて前記検出電圧が変化するようにブリッジ構成された
回路手段(11〜14)を有することを特徴とする請求
項5乃至7のいずれか1つに記載のセンサ装置。 - 【請求項9】 請求項5乃至8のいずれか1つに記載の
センサ装置における前記増幅回路(22)の増幅率を調
整する方法であって、 前記センサ手段(10)が所定の物理量を検出している
時の前記センサ装置の出力信号(GO )を検出し、 予め定めた、出力信号とボンディング位置との関係によ
り、前記検出した出力信号からボンディング位置を決定
して、前記ボンディングを行うことを特徴とするセンサ
装置の増幅率調整方法。
Priority Applications (2)
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---|---|---|---|
JP7318306A JPH09162661A (ja) | 1995-12-06 | 1995-12-06 | 増幅回路 |
US08/761,819 US5796310A (en) | 1995-12-06 | 1996-12-06 | Amplification circuit using wire-bonding for adjusting amplification factor |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP7318306A JPH09162661A (ja) | 1995-12-06 | 1995-12-06 | 増幅回路 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09162661A true JPH09162661A (ja) | 1997-06-20 |
Family
ID=18097735
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7318306A Pending JPH09162661A (ja) | 1995-12-06 | 1995-12-06 | 増幅回路 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5796310A (ja) |
JP (1) | JPH09162661A (ja) |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040413 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040611 |
|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20040617 |
|
A912 | Removal of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20040730 |
|
A521 | Written amendment |
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