JP2005308503A - 半導体センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 集積化センサチップ20の電極パッド23d〜23g(特性調整用端子)と信号処理回路部22とを接続するアルミ配線24d〜24g(配線)のうち少なくとも一つ(24d)に、配線幅を縮小して形成したヒューズ25を設け、特性調整用端子を介してセンサ特性の調整を行った後、同端子(24d)から所定の切断信号を入力することによってヒューズ25を切断してなる半導体圧力センサを採用した。
【選択図】 図2
Description
すなわち、この発明(請求項1)では、作用する物理量に感応するセンシング部と、このセンシング部から前記物理量に応じて発せられる電気信号を処理し外部へ出力する信号処理回路部とを同一半導体基板に有する集積化センサチップを備えた半導体センサにおいて、集積化センサチップに、信号処理回路部にてセンサの特性調整を行うための特性調整用端子と、この特性調整用端子と信号処理回路部とを接続する配線と、この配線中に特性調整用端子から入力される所定の切断信号で切断可能なヒューズを形成するとともに、前記センサの特性調整を行った後、前記ヒューズを切断してなる半導体センサを採用した。
(1) 特性調整用端子である電極パッド23d〜23gを介してセンサ特性の調整を行った後、電極パッド23d(特性調整用端子)とパラメータ設定部22b1(信号処理回路部)との間がヒューズ25の切断によって非導通となるため、エアコンのインバータや電磁バルブから発せられる強力なノイズがリード線(リードフレーム52d、リード棒53d)に乗ったとしても、このノイズがパラメータ設定部22b1(信号処理回路部)に侵入することはない。これにより、ノイズ耐性の高い半導体圧力センサ1が得られる。
ものである。
20 集積化センサチップ
21 センシング部
211 センサダイヤフラム
22 信号処理回路部
22a 信号処理部
22b 特性調整部22b
22b1 パラメータ設定部
22b2 レジスタ
22b3 メモリ
23(23a〜23g) 電極パッド(23d〜23g 特性調整用端子)
24(24d〜24g) アルミ配線(配線)
25 ヒューズ
251 切り欠き
30 センサユニット
40 樹脂ケース
52(52a〜52g) リードフレーム
53(53a〜53g) リード棒
Claims (4)
- 作用する物理量に感応するセンシング部と、このセンシング部から前記物理量に応じて発せられる電気信号を処理し外部へ出力する信号処理回路部とを同一半導体基板に有する集積化センサチップを備えた半導体センサにおいて、
前記集積化センサチップに、信号処理回路部にてセンサの特性調整を行うための特性調整用端子と、この特性調整用端子と前記信号処理回路部とを接続する配線と、この配線中に前記特性調整用端子から入力される所定の切断信号で切断可能なヒューズを形成するとともに、前記センサの特性調整を行った後、前記ヒューズを切断してなることを特徴とする半導体センサ。 - 前記集積化センサチップが複数の特性調整用端子を有する場合、これら複数の特性調整用端子と前記信号処理回路部とを接続する複数の配線のうち、少なくとも一つに前記ヒューズを形成してなることを特徴とする請求項1に記載の半導体センサ。
- 前記ヒューズが、前記配線を幅方向両側から切り欠いた切り欠きにより配線幅を縮小して形成されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体センサ。
- 前記物理量が圧力であることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体センサ。
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2004
- 2004-04-20 JP JP2004124878A patent/JP2005308503A/ja active Pending
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