JP5089166B2 - プローブカードアナライザにおける部品のたわみの影響を軽減する方法 - Google Patents
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Description
本願は、2003年3月14日提出の発明の名称「MITIGATING THE EFFECTS OF PROBE CARD/FIXTURE AND METROLOGY BASE DEFLECTION IN A PROBE CARD ANALYZER」の米国仮特許出願第60/454,574号の利益を主張するものであり、これにより、この特許の開示は、その内容全体を参照によって本願明細書に引用したものとする。
本発明の態様は、全般的にはプローブカードアナライザの分野に関し、特にプローブカードアナライザシステムにおける部品のたわみの影響を軽減するシステムおよび方法に関する。
従来のプローブカードアナライザは、電気的手段によってプローブの平坦度を測定し、一般に光学的手段によってプローブのアライメントを測定する。通常、電気的平坦度測定は、導電性接触面をプローブカード上の複数のプローブに徐徐に接触させていくことによって行われる。その際、導電性接触面がプローブカードに向かって移動する。この導電面はプローブカードの表面からの延出が最も長いプローブ(「最低」プローブ)と最初に接触し、プローブカードの表面からの延出が最も短いプローブ(「最高」プローブ)と最後に接触する。本明細書では、「最低」および「最高」という用語は、必ずしも垂直方向を意味するものではない。導電性接触面と接触する最初のプローブには、最初の接触点からそれ以降荷重がかけられるので、当業界では、このように最初の接触点から最後の接触点を越えたところまで導電性接触面を移動させるプロセスは一般に「オーバトラベル」という。
本発明の態様は、従来技術の前述およびその他の欠点を克服するものであり、プローブカードアナライザシステムにおける部品のたわみの影響を軽減するシステムおよび方法を提供する。例示的なシステムおよび方法では、「効果的に荷重がかかる」平坦度測定を実現するために非バス型電気的平坦度測定と迅速な光学的平坦度測定が組み合わされる。
一般的な背景として示すまでもないが、当業界で周知の、また本明細書に一例として記述されている光学的平坦度測定値を得るための手法として、以下にさらに詳細に説明するように、例えば、ガラス、アクリル、石英、またはその他の適当な透明基準板などの略透明な基準基板を使用する比較三次元測定がある。例示的な比較三次元測定技術を以下に記述するが、周知の原理に従う別の光学的平坦度評価方法が既にあるかもしれないし、新たに開発されてもよい。以下の記述は、これに限定されるものではなく一例として提供されているに過ぎない。本発明の開示は光学的平坦度分析を実行する何らかの特定の方法に限定されるものではない。
上述のように電気的平坦度は従来から、プローブカード取り付け部131に付随する基準面135に対して別の基準面(プレート基準面121のような)を徐徐に移動させる「オーバトラベル」をすることによって測定されている。比較測定によって平坦度を光学的に測定するプローブカードアナライザ(図1に参照番号100で示されているような)の場合、適切な基準面は通常プレート基準面121である。プローブカード132の平坦度は、最低プローブ133が最初に基準板122と電気的に接触する地点におけるプレート基準面121に対するzステージ140の位置(z軸に沿う)として記録されてもよい。このステージの位置(z寸法における)は、通常、プローブカード取り付け部131の基準面135に対するプレート基準面121の位置を表すものとする。
プローブ133がオーバトラベルされると、その荷重を受けて、基準板122がたわんだり、湾曲したり、ゆがんだり、または他の形で変形したりすることがある。このようなたわみには特に、2つの主な要素がある。すなわち、基準板122の支持材におけるコンプライアンスによる該基準板の剛体のたわみおよび基準板122自体のコンプライアンスによる曲げたわみである。このようなたわみは結果として、プローブ配列上の1つ以上のプローブ133のオーバトラベルを減少させたり、場合によっては不均一にさせたりすることがある。これに関連し、図3のブロック図は、オーバトラベルによる接触荷重下の基準板のたわみを例示する。
個々のたわみは、プローブ133と接触している基準板122の領域上にマッピングされ、以下の式(2)に記述のように、n個の接触領域上のたわみを表す測定値の集合を作成することもできる。
ここでxiおよびyiは、たわみ測定値のx位置およびy位置であり、δg1iは基準板122において測定されたたわみ(z方向の)である。留意すべきは、x軸は図4の平面に対して垂直であることである。
θ1cmd=−θg1 (4)
Φ1cmd=−Φg1 (5)
ここでは、基準板122の中心の周りで軸回転する。
これらの測定値p2iも、線形最小二乗法またはその他の適当な統計的手段などを用いて最適平面にフィットさせ、基準板122の中心のたわみおよび回転(δg2center、θg2、およびΦg2)を特定してもよい。この2次並進および回転のたわみ率は、式(7〜9)で算定されることもできる。
fθ=(θg2−θg1)/θg1 (8)
fθ=(Φg2−Φg1)/Φg1 (9)
オーバトラベルの公称位置(すなわち、たわみ補正なしの位置)に対する追加のインクリメンタル・オーバトラベル・コマンドは、今度は以下の式(10〜12)のように表すこともできる。
θ1cmd=−θg1[1/(1−fθ)] (11)
Φ1cmd=−Φg1[1/(1−fΦ)] (12)
このように、プローブ133の配列上の基準板122における曲げのばらつきによる誤差を除く、第2インクリメンタル移動の補正によって、所望のオーバトラベルのすべてが達成されてもよい。
いくつかの実施形態によれば、プローブカード132、取り付け部131、またはその両方のたわみまたはその他の変形によって生じるたわみの影響を考慮することもできる。2つの前述の部品に関連するコンプライアンスについて事前のの知見がないとすれば、それぞれのコンプライアンスの影響を一緒に組み合わせてもよく、これによって、カード/取り付け部の複合的なたわみ測定値が得られてもよい。
数量peinbおよびpoinbは、非バス型プローブinbにおける電気的平坦度および光学的平坦度をそれぞれ表す。残りの3つの項、δginb、δcfinb、およびδsinbは、非バス型プローブinbの最初の電気的接触時の該プローブにおける基準板122のたわみ、プローブカード/取り付け部の複合的なたわみ、およびzステージ140のたわみをそれぞれ表す。図2を具体的に参照して前述したように、例えば適切な位置からの妥当なzセンサのデータを使用して効果的に項δsinbをゼロとすることもできる。
式(14)で唯一分からない項は、最初の電気的接触時における基準板122のたわみδginbである。本発明の開示では、この最初の接触時のプレートのたわみδginbを測定または概算するいくつかの仕組みを考察する。
式(14)から、各非バス型プローブinbにおけるカード/取り付け部の複合的なたわみが算定されることもできる。二次元補間によってその他の位置における取り付け部のたわみを、容易に決定、定量化することができる。
式(13)では、電気的平坦度と光学的平坦度との関係が記述されている。この式によって、荷重下の平坦度を算出することができる。所与のプローブに対する光学的平坦度の測定値をとり、該プローブにおける最初の接触時のカード/取り付け部のたわみを加算することによって、同等の荷重下の平坦度が、式(18)に示されるように表されることができる。
式(18)の項δcf(xi,yi)は、数値を求めるためには二次元補間を必要とする。プローブiの位置における特性をモデル化するこの補間は、点(xi,yi)で求められるデータの順序付けられた3つ組(xinb,yinb,δcfinb)に対して行なわれてもよい。
Claims (18)
- プローブカード分析システムにおいて複数のプローブの平坦度測定値を取得する方法であって、前記プローブカード分析システムは、前記複数のプローブが接続されたプローブカードと、前記プローブカードを支持するプローブカード取り付け部と、前記複数のプローブに接触する透明な導電性の基準板とを含み、
前記方法は、
非バス型プローブ位置にある各非バス型プローブに対して前記基準板のたわみを算定することであって、前記たわみは、各非バス型プローブの最初の電気的接触時における、前記各非バス型プローブの最初の電気的接触の位置と、前記複数のプローブによって前記基準板に力が加えられていない場合に前記基準板があるはずの位置との間の距離である、ことと、
前記基準板のたわみと、光学的平坦度および電気的平坦度の測定値とから、前記各非バス型プローブに対してプローブカードおよびプローブカード取り付け部の複合的なたわみを算定することであって、前記複合的なたわみは、前記各非バス型プローブの最初の電気的接触時における、前記各非バス型プローブの最初の電気的接触の位置と、前記基準板によって前記複数のプローブに力が加えられていない場合に前記各非バス型プローブがあるはずの位置との間の距離である、ことと、
前記複合的なたわみに基づいて、前記複数のプローブの各プローブに対して荷重平坦度を算出することであって、前記荷重平坦度は、前記各非バス型プローブの最初の電気的接触時における、前記各プローブの先端と所定の位置との間の垂直距離である、ことと
を含む、方法。 - 前記方法は、前記各非バス型プローブに対してステージのたわみを計算することをさらに含み、前記ステージが前記基準板を支持し、前記ステージのたわみは、前記各非バス型プローブの最初の電気的接触時における、前記ステージの位置と、前記基準板によって前記ステージに力が加えられていない場合に前記ステージがあるはずの位置との間の距離であり、前記算出することは、前記計算することに基づいている、請求項1に記載の方法。
- 前記計算することは、前記ステージのたわみに近接する距離センサを利用することを含む、請求項2に記載の方法。
- 前記基準板のたわみを算定することは、光学的測定技術を利用することを含む、請求項1に記載の方法。
- 光学的測定技術を利用することは、
前記基準板上の基準の画像データを取得することと、
前記取得された画像データに基づいて、前記基準板のたわみを表すたわみデータ値を特定することと、
前記特定されたたわみデータ値に基づいて、前記たわみの1次補正を可能にする補正データ値を提供することと
を含む、請求項4に記載の方法。 - 光学的測定技術を利用することは、
前記基準板のたわみに加えて第2のたわみを表す比率データ値をさらに特定することであって、前記第2のたわみは、前記複数のプローブと前記基準板とを、1次補正を可能にする前記補正データが提供された位置から互いに向かってさらに移動させることによって引き起こされる、ことと、
前記さらに特定することに基づいて、前記第2のたわみの2次補正を可能にする追加の補正データ値を提供することと
をさらに含む、請求項5に記載の方法。 - プローブカード分析システムにおいてプローブカードおよびプローブカード取り付け部のたわみの複合的なたわみ測定値を取得する方法であって、前記プローブカード分析システムは、複数のプローブが接続されたプローブカードと、前記プローブカードを支持するプローブカード取り付け部と、前記複数のプローブに接触する透明な導電性の基準板とを含み、
前記方法は、
すべての非バス型プローブの光学的平坦度測定値および電気的平坦度測定値を取得することと、
すべての非バス型プローブ位置において最初の電気的接触時に基準板のたわみを特定することであって、前記たわみは、各非バス型プローブの最初の電気的接触の位置と、前記複数のプローブによって前記基準板に力が加えられていない場合に前記基準板があるはずの位置との間の距離である、ことと、
前記取得することおよび前記特定することに基づいて、前記各非バス型プローブに対して前記プローブカードのたわみおよび前記プローブカード取り付け部のたわみに起因する複合的なたわみを算定することであって、前記複合的なたわみは、前記各非バス型プローブの最初の電気的接触時における、前記各非バス型プローブの最初の電気的接触の位置と、前記基準板によって前記複数のプローブに力が加えられていない場合に前記各非バス型プローブがあるはずの位置との間の距離である、ことと
を含む、方法。 - 前記方法は、近接センサの位置でステージのたわみ測定値を取得することをさらに含み、前記ステージが前記基準板を支持し、前記ステージのたわみは、前記各非バス型プローブの最初の電気的接触時における、前記ステージの位置と、前記基準板によって前記ステージに力が加えられていない場合に前記ステージがあるはずの位置との間の距離であり、前記算定することは、前記取得することにさらに基づいている、請求項7に記載の方法。
- 前記ステージのたわみ測定値がゼロと仮定される、請求項8に記載の方法。
- 前記基準板のたわみを特定することは、
選択された非バス型プローブ位置で光学データを取得するように、イメージング装置を選択的に配置することと、
前記選択された非バス型プローブ位置で非バス型プローブが前記基準板に接触するときに、前記光学データを取得することと、
前記取得することに基づいて、前記選択された非バス型プローブ位置で前記基準板のたわみを測定することと
を含む、請求項7に記載の方法。 - 前記基準板のたわみを特定することは、異なる選択された非バス型プローブ位置に対して、前記選択的に配置することと、前記取得することと、前記測定することとを選択的に繰り返すことをさらに含む、請求項10に記載の方法。
- 前記基準板のたわみを特定することは、特定のプローブ位置における全オーバトラベルによる基準板のたわみおよび光学的平坦度の関数として、前記基準板のたわみを算定することを含む、請求項7に記載の方法。
- 前記複合的なたわみを算定することは、二次元補間計算を利用することを含む、請求項12に記載の方法。
- プローブカード分析システムに関する複数のプローブの平坦度測定値を取得するためのデータおよび命令が符号化されているコンピュータ読み取り可能な媒体であって、前記プローブカード分析システムは、前記複数のプローブが接続されたプローブカードと、前記プローブカードを支持するプローブカード取り付け部と、前記複数のプローブに接触する透明な導電性の基準板とを含み、前記データおよび前記命令は、
非バス型プローブ位置にある各非バス型プローブに対して前記基準板のたわみを算定することであって、前記たわみは、前記各非バス型プローブの最初の電気的接触時における、前記各非バス型プローブの最初の電気的接触の位置と、前記複数のプローブによって前記基準板に力が加えられていない場合に前記基準板があるはずの位置との間の距離である、ことと、
前記基準板のたわみと、光学的平坦度および電気的平坦度の測定値とから、前記各非バス型プローブに対してプローブカードおよびプローブカード取り付け部の複合的なたわみを算定することであって、前記複合的なたわみは、前記各非バス型プローブの最初の電気的接触時における、前記各非バス型プローブの最初の電気的接触の位置と、前記基準板によって前記複数のプローブに力が加えられていない場合に前記各非バス型プローブがあるはずの位置との間の距離である、ことと、
前記複合的なたわみに基づいて、前記複数のプローブの各プローブに対して荷重平坦度を算出することであって、前記荷重平坦度は、前記各非バス型プローブの最初の電気的接触時における、前記各プローブの先端と所定の位置との間の垂直距離である、ことと
を前記命令を実行する装置に行わせる、コンピュータ読み取り可能な媒体。 - 前記コンピュータ読み取り可能な媒体にはさらにデータおよび命令が符号化されており、前記データおよび前記命令は、前記各非バス型プローブに対してステージのたわみを計算することを前記命令を実行する装置にさらに行わせ、前記ステージが前記基準板を支持し、前記ステージのたわみは、前記各非バス型プローブの最初の電気的接触時における、前記ステージの位置と、前記基準板によって前記ステージに力が加えられていない場合に前記ステージがあるはずの位置との間の距離である、請求項14に記載のコンピュータ読み取り可能な媒体。
- 前記コンピュータ読み取り可能な媒体にはさらにデータおよび命令が符号化されており、前記データおよび前記命令は、光学的測定データ処理技術を利用して前記基準板のたわみを算定することを前記命令を実行する装置にさらに行わせる、請求項14に記載のコンピュータ読み取り可能な媒体。
- 前記コンピュータ読み取り可能な媒体にはさらにデータおよび命令が符号化されており、前記データおよび前記命令は、
前記基準板上の基準の画像データを取得することと、
前記取得することに基づいて、前記基準板のたわみを表すたわみデータ値を特定することと、
前記特定することに基づいて、前記たわみの1次補正を可能にする補正データ値を提供することと
を前記命令を実行する装置に行わせることによって、前記光学的測定データ処理技術をさらに実行する、請求項16に記載のコンピュータ読み取り可能な媒体。 - 前記コンピュータ読み取り可能な媒体にはさらにデータおよび命令が符号化されており、前記データおよび前記命令は、
前記基準板のたわみに加えて第2のたわみを表す比率データ値をさらに特定することであって、前記第2のたわみは、前記複数のプローブと前記基準板とを、1次補正を可能にする前記補正データが提供された位置から互いに向かってさらに移動させることによって引き起こされる、ことと、
前記さらに特定することに基づいて、前記第2のたわみの2次補正を可能にする追加の補正データ値を提供することと
を前記命令を実行する装置に行わせることによって、前記光学的測定データ処理技術をさらに実行する、請求項17に記載のコンピュータ読み取り可能な媒体。
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