JP6680695B2 - 検査デバイスを用いてプローブカードを測定および評価する方法 - Google Patents
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Description
[28]上記のことを考慮して、検査デバイス100が、後でより詳細に説明される対象焦点調節用フレキシャ200およびカム組立体300を有する。一般に、対象焦点調節用フレキシャ200が、適切に焦点を合わせることを目的として、往復運動するカム組立体300と併せて焦点調節動作を行うために対象を保持する。検査デバイス100の焦点面はしばしば固定されるが、焦点面の位置も修正され得る。フレキシャ焦点調節デバイス(flexure focusing device)は、プローブカードの検査以外にも多く使用される。焦点の調整が所望されるような任意の用途が本開示の利益を享受する可能性があり、これには、医療デバイス、カメラまたはビデオデバイス、ならびに、多様な他の製造デバイス、試験デバイスおよび品質管理デバイスが含まれる。
(項目1)
プローブカードの機能を評価する方法において、
プローブカードインターフェースを有しないプローブカードアナライザを提供するステップと、
プローブを有するプローブカードを前記プローブカードアナライザの支持プレートに着脱自在に結合するステップと、
前記プローブカードアナライザのセンサヘッドを前記プローブカードに位置合わせするステップと、
前記センサヘッドを用いて構成要素の特性を測定するステップと
を含む方法。
(項目2)
前記支持プレートにアダプタを設置するステップであって、前記アダプタが、種々のプローブカード構成を設置するのを受け入れるように構成された、ステップと、
前記アダプタを用いて前記プローブカードを支持プレートに着脱自在に結合するステップと、
をさらに含む、項目1に記載の方法。
(項目3)
前記プローブカードが前記支持プレートに直接に着脱自在に結合される、項目1に記載の方法。
(項目4)
前記プローブカードを上向きに位置決めするために前記支持プレートを回転させるステップ
をさらに含む、項目1に記載の方法。
(項目5)
前記センサヘッドを位置合わせするステップが、XY平面に沿わせて前記センサヘッドを再位置決めするステップを含む、項目1に記載の方法。
(項目6)
前記プローブの構成要素が第1のサービス間隔で評価される、項目1に記載の方法。
(項目7)
構成要素を測定するステップが、前記センサヘッドのチェックプレートに対して前記プローブカードの前記プローブの先端部を接触させるステップを含む、項目1に記載の方法。
(項目8)
前記センサヘッドのポストが、前記ポストと前記プローブとの間で作用される力を測定するように構成される、項目1に記載の方法。
(項目9)
前記センサヘッドのポストがz軸に沿って移動可能である、項目1に記載の方法。
(項目10)
プローブカードを評価する方法において、
支持プレートおよびセンサヘッドを有するプローブカードアナライザを提供するステップと、
アダプタを前記支持プレートに結合するステップと、
プローブを有するプローブカードを前記アダプタに結合するステップと、
前記支持プレートのアパーチャを通して前記センサヘッドによって前記プローブカードを向き指定するステップと、
前記プローブの機械的測定を実施するステップと
を含む、
方法。
(項目11)
機械的測定を実施するステップが
少なくとも1つのプローブの先端部の三次元位置を捕捉するステップ
を含む、
項目10に記載の方法。
(項目12)
前記先端部の位置を捕捉するステップが、自由懸吊位置を捕捉するステップを含む、項目11に記載の方法。
(項目13)
前記先端部の位置を捕捉するステップが、オーバートラベル位置を捕捉するステップを含む、項目12に記載の方法。
(項目14)
少なくとも1つのプローブの物理的変位を決定するステップを含む、項目11に記載の方法。
(項目15)
抵抗、静電容量、および、構成要素の機能の群のうちの少なくとも1つを測定するために、前記プローブカードを基準として電気伝導性プローブを手動で操作するステップをさらに含む、項目10に記載の方法。
(項目16)
第1のアースプローブが前記センサヘッドに接触するときに前記センサヘッドの位置を決定することにより、前記プローブカードの最も低く懸吊されたプローブを決定するステップを含む、項目10に記載の方法。
(項目17)
プローブカードを監視する方法において、
プローブカードのための第1のサービス間隔を確立するステップと、
前記プローブカードのための第2のサービス間隔を確立するステップと、
前記第1のサービス間隔の所定のポイントでプローブカードインターフェースにより前記プローブカードをプローブカードアナライザに着脱自在に結合し、前記プローブカードインターフェースを使用して少なくとも部分的に前記プローブカードを評価するステップと、
前記第2のサービス間隔に所定のポイントで、プローブカードインターフェースを有しないプローブカードアナライザに前記プローブカードを着脱自在に結合して前記プローブカードを評価するステップと
を含む、
方法。
(項目18)
アダプタにより前記プローブカードを前記プローブカードアナライザに着脱自在に結合するステップをさらに含む、項目17に記載の方法。
(項目19)
前記プローブカードインターフェースを使用して前記プローブカードのベースラインの性能を決定することにより前記第1のサービス間隔を確立するステップをさらに含む、項目17に記載の方法。
(項目20)
前記第1のサービス間隔が、前記プローブカードの動作に関連する第1のセットの基準に基づいて確立され、前記第2のサービス間隔が、前記プローブカードの動作に関連する第2のセットの基準に基づいて確立される、項目17に記載の方法。
(項目21)
前記第1のセットの基準が少なくとも部分的にプローブカードの性能に関連し、前記第2のセットの基準が少なくとも部分的に前記プローブカードの使用に関連する、項目20に記載の方法。
Claims (13)
- プローブカードの機能を評価する方法において、
プローブカードインターフェースを有しないプローブカードアナライザを提供するステップと、
プローブを有するプローブカードを前記プローブカードアナライザの支持プレートに着脱自在に結合するステップと、
前記プローブカードアナライザのセンサヘッドを前記プローブカードに位置合わせするステップと、
前記プローブカードのプローブに接触させるステップと、
前記接触させるステップに基づいて、前記センサヘッドを用いて構成要素の力に基づく平面特性を測定するステップと
を含む方法。 - 前記支持プレートにアダプタを設置するステップであって、前記アダプタが、種々のプローブカード構成を設置するのを受け入れるように構成された、ステップと、
前記アダプタを用いて前記プローブカードを支持プレートに着脱自在に結合するステップと、
をさらに含む、請求項1に記載の方法。 - 前記プローブカードを上向きに位置決めするために前記支持プレートを回転させるステップ
をさらに含む、請求項1に記載の方法。 - 前記センサヘッドを位置合わせするステップが、XY平面に沿わせて前記センサヘッドを再位置決めするステップを含む、請求項1に記載の方法。
- 構成要素を測定するステップが、前記センサヘッドのチェックプレートに対して前記プローブカードの前記プローブの先端部を接触させるステップを含む、請求項1に記載の方法。
- プローブカードを評価する方法において、
支持プレートおよびセンサヘッドを有するプローブカードアナライザを提供するステップと、
アダプタを前記支持プレートに結合するステップと、
プローブを有するプローブカードを前記アダプタに結合するステップと、
前記支持プレートのアパーチャを通して及び前記アダプタのアパーチャを通して前記センサヘッドによって前記プローブカードを物理的に向き指定するステップと、
前記プローブの機械的測定を実施するステップと
を含む、
方法。 - 機械的測定を実施するステップが
少なくとも1つのプローブの先端部の三次元位置を捕捉するステップ
を含む、
請求項6に記載の方法。 - 前記先端部の位置を捕捉するステップが、自由懸吊位置を捕捉するステップを含む、請求項7に記載の方法。
- 前記先端部の位置を捕捉するステップが、オーバートラベル位置を捕捉するステップを含む、請求項8に記載の方法。
- プローブカードを監視する方法において、
プローブカードのための第1のサービス間隔を確立するステップと、
前記プローブカードのための第2のサービス間隔を確立するステップと、
前記第1のサービス間隔の所定のポイントでプローブカードインターフェースにより前記プローブカードをプローブカードアナライザに着脱自在に結合し、前記プローブカードインターフェースを使用して少なくとも部分的に前記プローブカードを評価するステップと、
前記第2のサービス間隔の所定のポイントで、プローブカードインターフェースを有しないプローブカードアナライザに前記プローブカードを着脱自在に結合して、少なくとも部分的に、前記プローブカードのプローブとの物理的な接触に基づいて前記プローブカードの機能を評価するステップと
を含む、
方法。 - 前記第1のサービス間隔が、前記プローブカードの動作に関連する第1のセットの基準に基づいて確立され、前記第2のサービス間隔が、前記プローブカードの動作に関連する第2のセットの基準に基づいて確立される、請求項10に記載の方法。
- 前記第1のセットの基準が少なくとも部分的にプローブカードの性能に関連し、前記第2のセットの基準が少なくとも部分的に前記プローブカードの使用に関連する、請求項11に記載の方法。
- 前記センサヘッドは、チェックプレートを含み、さらに前記センサヘッドは、前記プローブの先端部によって公称上画定される平面に対して実質的に平行な少なくともXY平面内で前記支持プレートに対して独立して移動可能である、請求項1に記載の方法。
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