JP5088661B2 - 半導体装置および電気光学装置 - Google Patents
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Description
L.Mariucci et al、AM-LCD'03 pp57-60 Woo-Jin Nam et al、IDW'04 pp307-310
(発光装置の全体構成)
図1(a)、(b)は、本発明が適用される有機EL装置の電気的構成を示すブロック図、および電流制御用の薄膜トランジスタの等価回路図である。図1(a)に示す発光装置100は、駆動電流が流れることによって発光する有機EL素子40を薄膜トランジスタで駆動制御する装置であり、このタイプの発光装置100では、有機EL素子40が自己発光するため、バックライトを必要とせず、また、視野角依存性が少ないなどの利点がある。
図2は、有機EL素子を備えた素子基板の断面図である。図2に示すように、素子基板13において、有機EL素子40は、例えば、陽極として機能する画素電極44と、この画素電極44からの正孔を注入/輸送する正孔輸送層46と、有機EL物質からなる発光層47(有機機能層)と、電子を注入/輸送する電子注入層48と、陰極49とがこの順に積層された構造になっている。発光装置100が、発光層47で発光した光を画素電極44側から出射するボトムエミッション方式の場合には、素子基板13の基体側から発光光を取り出す。このため、素子基板13の基体としては、ガラス、石英、樹脂(プラスチック板、プラスチックフィルム)などの透明基板15が用いられ、透明基板15としては、ガラス基板が好適である。
図3(a)、(b)は、本形態の発光装置に用いた電流制御用の薄膜トランジスタの平面図および断面図であり、ここに示す例は、基板上にバックゲート電極、下層側ゲート絶縁層(第2のゲート絶縁層)、多結晶シリコン膜、上層側ゲート絶縁層(第1のゲート絶縁層)、およびフロントゲート電極がこの順に積層された例である。なお、図3(a)において、多結晶シリコン膜については短い点線で示し、フロントゲート電極については実線で示し、ソース・ドレイン電極については一点鎖線で示し、バックゲート電極については長い点線で示し、多結晶シリコン膜の各領域の境界は二点鎖線で示してある。
図4、図5および図6を参照して、本発明を適用した薄膜トランジスタの効果を説明する。図4は、本発明を適用した薄膜トランジスタの効果を説明するための電圧電流特性図であり、図4(a)、(b)、(c)は各々、本発明を適用した薄膜トランジスタを構成する薄膜トランジスタ部の各電圧電流特性を示すグラフである。図5は、本発明を適用した薄膜トランジスタの飽和特性を従来例および参考例と比較して示す説明図である。図6(a)、(b)は、本発明および従来の薄膜トランジスタにおいてゲート電圧を変化させた場合の電圧電流特性を示すグラフである。
Ids=A(1+λ・Vds)
としてλとして定義した。従って、λが小さいほど優れた飽和特性といえる。
次に、図7および図8を参照して、本形態の薄膜トランジスタの製造方法の一例を説明する。図7および図8は、本形態の薄膜トランジスタの製造方法を示す工程断面図である。まず、図7(a)に示すように、超音波洗浄等により清浄化したガラス製等の透明基板15を準備した後、必要に応じて、基板温度が150〜450℃の温度条件下で、プラズマCVD法などの方法により、透明基板15の全面にシリコン酸化膜からなる下地保護膜(図示せず)を形成する。
上記形態では、ドレイン側バックゲート電極8aを第1のチャネル領域1eの全体に重なる位置に形成し、ソース側バックゲート電極8bを第2のチャネル領域1gの全体に重なる領域に形成したが、図9(a)、(b)に示すように、ソース側バックゲート電極8bは、第2のチャネル領域1gにおけるソース側端部からドレイン側端部に向かう途中位置まで形成されていることが好ましい。すなわち、ソース側バックゲート電極8bについては、寸法d2分だけ、第2のチャネル領域1gのドレイン側端部と重なる領域を避けるように形成されていることが好ましい。このように構成すると、第2のチャネル領域1gのドレイン端においてソース側バックゲート電極8bからの縦電界の影響を排除することができる。
上記実施の形態では、ドレイン側バックゲート電極8aおよびソース側バックゲート電極8bの双方を形成したが、ソース側バックゲート電極8bのみを形成した構成を採用してもよい。
図10(a)、(b)は、本形態の発光装置に用いた電流制御用の薄膜トランジスタの平面図および断面図であり、ここに示す例は、基板上にフロントゲート電極、下層側ゲート絶縁層(第1のゲート絶縁層)、多結晶シリコン膜、上層側ゲート絶縁層(第2のゲート絶縁層)およびバックゲート電極がこの順に積層された例である。なお、図10(a)において、多結晶シリコン膜については短い点線で示し、フロントゲート電極については実線で示し、ソース・ドレイン電極およびバックゲート電極については一点鎖線で示し、多結晶シリコン膜の各領域の境界は二点鎖線で示してある。また、本形態は、層の積層順が異なる以外、基本的な構成が実施の形態1の構成と共通するので、共通する部分には同一の符号を付してそれらの詳細な説明を省略する。
以上説明したように、本形態の薄膜トランジスタ10では、実施の形態1と同様、図16を参照して説明した構造Dを採用しており、第1の薄膜トランジスタ部10aは、図16(a)に示すTFTdに相当し、第2の薄膜トランジスタ部10bは、図16(a)に示すTFTsに相当する。このため、薄膜トランジスタ10の動作特性は、概ね、図16(c)に示すように表わされ、薄膜トランジスタ10の動作点はソース側の第2の薄膜トランジスタ10bのピンチオフ点近傍となる。それ故、第2の薄膜トランジスタ10bのキンク効果を回避できる。
次に、図11を参照して、本形態の薄膜トランジスタの製造方法の一例を説明する。図11は、本形態の薄膜トランジスタの製造方法を示す工程断面図である。まず、図11(a)に示すように、超音波洗浄等により清浄化したガラス製等の透明基板15を準備した後、必要に応じて、基板温度が150〜450℃の温度条件下で、プラズマCVD法などの方法により、透明基板15の全面にシリコン酸化膜からなる下地保護膜(図示せず)を形成する。
上記形態では、ドレイン側バックゲート電極8aを第1のチャネル領域1eの全体に重なる位置に形成し、ソース側バックゲート電極8bを第2のチャネル領域1gの全体に重なる領域に形成したが、図12(a)、(b)に示すように、ソース側バックゲート電極6fは、第2のチャネル領域1gにおけるソース側端部からドレイン側端部に向かう途中位置まで形成されていることが好ましい。すなわち、ソース側バックゲート電極6fについては、寸法d2分だけ、第2のチャネル領域1gのドレイン側端部と重なる領域を避けるように形成されていることが好ましい。このように構成すると、第2のチャネル領域1gのドレイン端においてソース側バックゲート電極6fからの縦電界の影響を排除することができる。
上記実施の形態2では、ドレイン側バックゲート電極6eおよびソース側バックゲート電極6fの双方を形成したが、ソース側バックゲート電極6fのみを形成した構成を採用してもよい。
上記形態では、薄膜トランジスタ10をN型に構成したが、P型の薄膜トランジスタ10を形成する場合には、上記構造および製造方法において、N型とP型とを入れ換えればよい。また、上記形態では、半導体装置として、有機EL素子40を用いた発光装置100の素子基板13を例に説明したが、液晶装置において素子基板上(半導体装置)の駆動回路には、図13に示すようなオペアンプなどに代表されるアナログ回路が構成される。従って、本発明を適用した薄膜トランジスタ10を用いて駆動トランジスタ、さらにはカレントミラー回路や出力回路を構成すれば、線形性がよくオフセットが小さな出力バッファを実現することができる。
Claims (6)
- 基板上に形成された多結晶シリコン膜を能動層として備えた薄膜トランジスタを有する半導体装置において、
前記多結晶シリコン膜は、第1のゲート絶縁層と第2のゲート絶縁層との層間に形成され、
前記薄膜トランジスタは、前記多結晶シリコン膜のドレイン側の位置する第1のチャネル領域、および該第1のチャネル領域に前記第1のゲート絶縁層を介して対向する第1のフロントゲート電極を備えた第1の薄膜トランジスタ部と、前記多結晶シリコン膜において前記第1のチャネル領域に対して不純物導入領域を介してソース側で隣接する第2のチャネル領域、および該第2のチャネル領域に前記第1のゲート絶縁層を介して対向する第2のフロントゲート電極を備えた第2の薄膜トランジスタ部とを有し、
前記第1の薄膜トランジスタ部と前記第2の薄膜トランジスタ部とは導電型が同一であって直列に接続されているとともに、前記第1のフロントゲート電極と前記第2のフロントゲート電極とは電気的に接続され、
前記第2のチャネル領域に対して前記第2のゲート絶縁層を介して対向する領域には、ソース電位が印加されるソース側バックゲート電極が形成されており、
前記第1のチャネル領域に対して前記第2のゲート絶縁層を介して対向する領域に、前記第1のフロントゲート電極に電気的に接続されたドレイン側バックゲート電極が形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 前記ソース側バックゲート電極は、前記第2のチャネル領域におけるソース側端部からドレイン側端部に向かう途中位置まで形成されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記ドレイン側バックゲート電極は、前記第1のチャネル領域におけるソース側端部からドレイン側端部に向かう途中位置まで形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体装置。
- 前記基板上には前記第2のゲート絶縁層、前記多結晶シリコン膜および前記第1のゲート絶縁層がこの順に積層されていることを特徴とする請求項1乃至3の何れか一項に記載の半導体装置。
- 前記基板上には前記第1のゲート絶縁層、前記多結晶シリコン膜および前記第2のゲート絶縁層がこの順に積層されていることを特徴とする請求項1乃至3の何れか一項に記載の半導体装置。
- 請求項1乃至5の何れか一項に記載の半導体装置を備えた電気光学装置であって、
前記半導体装置は、複数の画素が形成された素子基板であることを特徴とする電気光学装置。
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