JP2008135605A - 半導体装置および電気光学装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】薄型トランジスタ10は、多結晶シリコン膜1aを能動層としており、高濃度N型領域1c、低濃度N型領域1d、第1のチャネル領域1e、低濃度N型領域1fおよび高濃度N型領域1gを備えた第1の薄膜トランジスタ部10aと、高濃度N型領域1g、低濃度N型領域1h、第2のチャネル領域1i、低濃度N型領域1jおよび高濃度N型領域1kを備えた第2の薄膜トランジスタ部10bとが直列接続されたマルチゲート構造を有している。ドレイン側の第1の薄膜トランジスタ部10aのしきい値電圧は、ソース側の第2の薄膜トランジスタ部10bのしきい値電圧よりも低い。
【選択図】図3
Description
L.Mariucci et al、AM-LCD'03 pp57-60 Woo-Jin Nam et al、IDW'04 pp307-310
(発光装置の全体構成)
図1(a)、(b)は、本発明が適用される有機EL装置の電気的構成を示すブロック図、および電流制御用の薄膜トランジスタの等価回路図である。図1(a)に示す発光装置100は、駆動電流が流れることによって発光する有機EL素子40を薄膜トランジスタで駆動制御する装置であり、このタイプの発光装置100では、有機EL素子40が自己発光するため、バックライトを必要とせず、また、視野角依存性が少ないなどの利点がある。
図2は、有機EL素子を備えた素子基板の断面図である。図2に示すように、素子基板13において、有機EL素子40は、例えば、陽極として機能する画素電極44と、この画素電極44からの正孔を注入/輸送する正孔輸送層46と、有機EL物質からなる発光層47(有機機能層)と、電子を注入/輸送する電子注入層48と、陰極49とがこの順に積層された構造になっている。発光装置100が、発光層47で発光した光を画素電極44側から出射するボトムエミッション方式の場合には、素子基板13の基体側から発光光を取り出す。このため、素子基板13の基体としては、ガラス、石英、樹脂(プラスチック板、プラスチックフィルム)などの透明基板15が用いられ、透明基板15としては、ガラス基板が好適である。
図3(a)、(b)は、本形態の発光装置に用いた電流制御用の薄膜トランジスタの平面図および断面図である。図4は、本発明を適用した薄膜トランジスタを構成する2つの薄膜トランジスタ部の電圧電流特性を示すグラフである。
|Vth-d| < |Vth-s|
を有する。なお、第1の薄膜トランジスタ部10aおよび第2の薄膜トランジスタ部10bはいずれもNチャネル型であるため、しきい値電圧Vth-d、Vth-sの絶対値は以下の関係
Vth-d < Vth-s
と表わすことができる。
次に、本形態の薄膜トランジスタの製造方法を説明する。まず、図5(a)に示すように、超音波洗浄等により清浄化したガラス製等の透明基板15を準備した後、必要に応じて、基板温度が150〜450℃の温度条件下で、プラズマCVD法などの方法により、透明基板15の全面にシリコン酸化膜からなる下地保護膜(図示せず)を形成する。
図6は、本発明の実施の形態2に係る発光装置に用いた電流制御用の薄膜トランジスタの構造およびその製造方法を示す説明図である。なお、以下に説明する実施の形態2に係る電流制御用の薄膜トランジスタ10の基本的な構成は、実施の形態1の構成と共通するので、共通する部分には同一の符号を付してそれらの詳細な説明を省略する。
図6(e)に示す電流制御用の薄膜トランジスタ10も、実施の形態1と同様、図10(a)、(b)、(c)を参照して説明したマルチゲート構造(構造D)を有しており、透明基板15に形成された島状の多結晶シリコン膜1aにおいて、ドレイン側位置には第1のチャネル領域1eを備えたNチャネル型の第1の薄膜トランジスタ部10aが形成されている。第1の薄膜トランジスタ部10aに対してソース側で隣接する位置には、多結晶シリコン膜1aにおいて第1のチャネル領域1eに対して不純物導入領域1zを介してソース側で隣接する位置に第2のチャネル領域1iを備えたNチャネル型の第2の薄膜トランジスタ部10bが形成されている。さらに、第2の薄膜トランジスタ部10bに対してソース側で隣接する位置には、多結晶シリコン膜1aにおいて第2のチャネル領域1iに対して不純物導入領域1yを介してソース側で隣接する位置に第3のチャネル領域1mを備えたNチャネル型の第3の薄膜トランジスタ部10cが形成されており、これらの薄膜トランジスタ部10a、10b、10cが直列接続されて、Nチャネル型の薄膜トランジスタ10が構成されている。ここで、第3の薄膜トランジスタ部10cは、第2の薄膜トランジスタ部10bに対して第1の薄膜トランジスタ部10aと対称に形成されている。また、第1の薄膜トランジスタ部10a、第2の薄膜トランジスタ部10b、および第3の薄膜トランジスタ部10cは、各々がゲート絶縁層2の上層にゲート電極3a、3b、3cを備えているが、ゲート電極3a、3b、3c同士は、多結晶シリコン膜1aの側方位置で互いに繋がって電気的に接続されている。
|Vth-d| < |Vth-s|
Vth-d < Vth-s
を満たしている。
次に、本形態の薄膜トランジスタの製造方法を説明する。まず、実施の形態1と同様、図6(a)に示すように、島状の多結晶シリコン膜1aを形成した後、ゲート絶縁層2を形成する。
上記形態では、Nチャネル型の薄膜トランジスタ10において、第1のチャネル領域1eに対してリンイオンのチャネルドープを行ってしきい値電圧Vth-d、Vth-sの高低を調整したが、第1のチャネル領域1eに対してチャネルドープを行わずに、第2のチャネル領域1iに対してP型の不純物イオン(例えば、ボロンイオン)のチャネルドープを行い、そのしきい値電圧Vth-sの絶対値を高めることにより、しきい値電圧Vth-d、Vth-sの高低を調整してもよい。さらに、第1のチャネル領域1eおよび第2のチャネル領域1iの双方に所定の不純物イオンをチャネルドープしてもよい。
|Vth-d| < |Vth-s|
Vth-d > Vth-s
と表わされる。
Claims (7)
- 基板上に形成された多結晶シリコン膜を能動層として備えた薄膜トランジスタを有する半導体装置において、
前記薄膜トランジスタは、前記多結晶シリコン膜のドレイン側位置に第1のチャネル領域を備えた第1の薄膜トランジスタ部と、前記多結晶シリコン膜において前記第1のチャネル領域に対して不純物導入領域を介してソース側で隣接する第2のチャネル領域を備えた第2の薄膜トランジスタ部とを備え、
前記第1の薄膜トランジスタ部と前記第2の薄膜トランジスタ部とは導電型が同一であって、前記第1の薄膜トランジスタ部のゲート電極と、前記第2の薄膜トランジスタ部のゲート電極とは電気的に接続され、
前記第1の薄膜トランジスタ部のしきい値電圧の絶対値が前記第2の薄膜トランジスタ部のしきい値電圧の絶対値よりも小さいことを特徴とする半導体装置。 - 前記第1のチャネル領域および前記第2のチャネル領域のうちの少なくとも一方は、前記第1の薄膜トランジスタ部のしきい値電圧の絶対値が前記第2の薄膜トランジスタ部のしきい値電圧の絶対値よりも小さくなるようにチャネルドープされていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記不純物導入領域は、不純物濃度が0.1×1020cm-3以上の高濃度不純物導入領域を備えていることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体装置。
- 前記第1の薄膜トランジスタ部においてチャネル幅をチャネル長で割ったときの値が、前記第2の薄膜トランジスタ部においてチャネル幅をチャネル長で割ったときの値の4倍以上であることを特徴とする請求項1乃至3の何れか一項に記載の半導体装置。
- 前記第1の薄膜トランジスタ部および前記第2の薄膜トランジスタ部のうちの少なくとも一方は、チャネル領域に対してドレイン側で隣接する領域に低濃度ドレイン領域を備えていることを特徴とする請求項1乃至4の何れか一項に記載の半導体装置。
- 前記第2の薄膜トランジスタ部に対してソース側には、前記第1の薄膜トランジスタ部と対称に第3の薄膜トランジスタ部が形成されていることを特徴とする請求項1乃至5の何れか一項に記載の半導体装置。
- 請求項1乃至6の何れか一項に記載の半導体装置を備えた電気光学装置であって、
前記半導体装置は、複数の画素が形成された素子基板であることを特徴とする電気光学装置。
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JP2006321274A JP2008135605A (ja) | 2006-11-29 | 2006-11-29 | 半導体装置および電気光学装置 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20140061874A (ko) * | 2012-11-14 | 2014-05-22 | 삼성디스플레이 주식회사 | 박막트랜지스터 및 이를 포함하는 유기발광 화소 |
CN109003892A (zh) * | 2018-07-24 | 2018-12-14 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 一种薄膜晶体管的制作方法及薄膜晶体管 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08146400A (ja) * | 1994-11-16 | 1996-06-07 | Seiko Epson Corp | 液晶表示装置及び液晶表示装置の製造方法 |
JPH10154816A (ja) * | 1996-11-21 | 1998-06-09 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置 |
JPH10209456A (ja) * | 1997-01-20 | 1998-08-07 | Sharp Corp | Soi・mos電界効果トランジスタ |
JP2003197919A (ja) * | 2002-12-09 | 2003-07-11 | Sharp Corp | Soi構造の半導体装置 |
JP2007287945A (ja) * | 2006-04-18 | 2007-11-01 | Mitsubishi Electric Corp | 薄膜トランジスタ |
-
2006
- 2006-11-29 JP JP2006321274A patent/JP2008135605A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08146400A (ja) * | 1994-11-16 | 1996-06-07 | Seiko Epson Corp | 液晶表示装置及び液晶表示装置の製造方法 |
JPH10154816A (ja) * | 1996-11-21 | 1998-06-09 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置 |
JPH10209456A (ja) * | 1997-01-20 | 1998-08-07 | Sharp Corp | Soi・mos電界効果トランジスタ |
JP2003197919A (ja) * | 2002-12-09 | 2003-07-11 | Sharp Corp | Soi構造の半導体装置 |
JP2007287945A (ja) * | 2006-04-18 | 2007-11-01 | Mitsubishi Electric Corp | 薄膜トランジスタ |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20140061874A (ko) * | 2012-11-14 | 2014-05-22 | 삼성디스플레이 주식회사 | 박막트랜지스터 및 이를 포함하는 유기발광 화소 |
KR102022051B1 (ko) | 2012-11-14 | 2019-09-18 | 삼성디스플레이 주식회사 | 박막트랜지스터 및 이를 포함하는 유기발광 화소 |
CN109003892A (zh) * | 2018-07-24 | 2018-12-14 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 一种薄膜晶体管的制作方法及薄膜晶体管 |
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