JP5086877B2 - 固体撮像素子およびその製造方法、電子情報機器 - Google Patents
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Description
図8は、特許文献2に開示されている従来のCCD固体撮像素子の1画素分の要部構成例を模式的に示す縦断面図である。
まず、図9(a)に示すように、まず、不純物拡散層形成工程として、半導体基板21内に所定の不純物イオン注入を行って、光電変換部22、読み出しゲート部23、CCD転送チャネル(転送部)24およびチャネルストッパ25をそれぞれ形成する。
図1は、本発明の実施形態1における固体撮像素子の集光シミュレーション結果を模式的に示す1画素分の要部縦断面図である。
まず、半導体基板1上に、光電変換部2(受光部)、読み出しゲート部3、CCD転送チャネル4およびチャネルストッパ5などの不純物拡散層を形成する。半導体基板1としては、通常、半導体装置を形成するための基板として使用される基板であれば特に限定されるものではなく、例えば、シリコンやゲルマニウムなどの半導体、SiC、GaAs、AlGaAsなどの化合物半導体などからなる基板を使用することができる。特に、シリコン基板を用いることが好ましい。この半導体基板1は、通常n型またはp型の不純物がドーピングされているが、さらに、n型またはp型のウェル領域を1以上有していてもよい。また、半導体基板1の表面には、光電変換部2(受光部)、読み出しゲート部3、電荷転送領域(CCD転送チャネル4)、チャネルストッパ領域(チャネルストッパ5)の他に、素子分離領域やコンタクト領域などとして、高濃度のn型またはp型の不純物を含有する不純物拡散領域が形成される。さらに、これに他の半導体素子や回路などが組み合わされていてもよい。
上記実施形態1では、光電変換部2と転送電極7および遮光膜9との間の凹状段差を用いて下に凸の層内レンズ11Aを形成する場合について説明したが、本実施形態2では、上に凸の層内レンズを転写により形成する場合について説明する。
図3は、本発明の実施形態2の固体撮像素子の1画素分の要部構成例を模式的に示す縦断面図である。
さらに、図4(d)に示すように、従来技術と同様に、ポジ型フォトレジストを上記第2透明膜16上に塗布し、所望のパターンにパターニングを行なった後、摂氏160度でリフローし、レンズ形状を転写するためのレジストパターン17を形成する。
さらに、図4(e)に示すように、異方性の強い条件下でドライエッチングを行い、レジスト17のレンズ形状を上記複数層の第2透明膜16に転写して、上に凸の層内レンズ11Bを形成する。本実施形態2では、ドライエッチングによって、光電変換部2の上部以外は下地層の第1平坦化膜10Aが表面に露出されるまでエッチングを行っているが、例えばドライエッチングを途中で止めて、図4(f)に示すように、第1平坦化膜10A上の最下層膜に平坦部18aが残るような形状に層内レンズ18を形成してもよい。
図7は、本発明の実施形態3として、本発明の実施形態1、2の固体撮像素子を含む固体撮像装置を撮像部に用いた電子情報機器の概略構成例を示すブロック図である。
2 光電変換部
3 読み出しゲート部
4 CCD転送チャネル
5 チャネルストッパ
6 絶縁膜
7 転送電極
8 層間絶縁膜
9 遮光膜
10 第1透明膜
10A 第1平坦化膜
11A、11B 層内レンズ
12 第2平坦化膜(第3透明膜)
13 カラーフィルタ
14 保護膜
15 マイクロレンズ
16 第2透明膜
16a レンズ形状部
17 レジストパターン
18 層内レンズ
18a 層内レンズの平坦部
19、19a 層内レンズ
20A,20B,20C,20D 固体撮像素子
90 電子情報機器
91 固体撮像装置
92 メモリ部
93 表示手段
94 通信手段
95 画像出力手段
Claims (16)
- 半導体基板または基板に設けられた半導体領域上に形成された光電変換部と、該光電変換部上に設けられた第1透明膜と、該光電変換部に対応した該第1透明膜上の位置に設けられたレンズとを有する固体撮像素子において、
該レンズは、屈折率を連続的または段階的に変えて成膜された第2透明膜を用いて形成されており、該第2透明膜の上面は、該光電変換部の上方の領域に上に凸の形状に形成されており、該第2透明膜の下面は、下に凸の形状に形成されており、該レンズは、複数の層で連続的に形成されており、
該複数の層のうちの最上層は、該上に凸の形状を有する上面を含み、該複数の層のうちの最上層は、該最上層の下にある全面に形成された層の全面には延在せず、該最上層の下にある該全面に形成された層は、該複数の層のうちの1つの層であり、かつ、該最上層に隣接している固体撮像素子。 - 前記第2透明膜は、金属化合物および珪素化合物の少なくともいずれである請求項1に記載の固体撮像素子。
- 前記第2透明膜は、酸化珪素、酸化窒化珪素および窒化珪素のようにその化学組成が制御されて膜内の屈折率を連続的または段階的に変えて形成されている請求項1に記載の固体撮像素子。
- 前記第2透明膜は、前記光電変換部側の下面から上面に向かって前記屈折率が連続的または段階的に増加するかまたは減少するように形成されている請求項1に記載の固体撮像素子。
- 前記第2透明膜の屈折率が1.4から2.2の範囲内で変えられている請求項1〜4のいずれかに記載の固体撮像素子。
- 前記第1透明膜は、前記光電変換部の上方の凹部に起因する凹部を上面に有し、前記レンズとして、該上面の凹部内に前記第2透明膜が埋め込まれて該第2透明膜の下面が下に凸に形成されている請求項1に記載の固体撮像素子。
- 前記光電変換部が形成された半導体基板または基板に設けられた半導体領域上に、該光電変換部からの信号電荷を転送するためのゲート電極が設けられ、該ゲート電極と該光電変換部との段差に起因して、前記第1透明膜には、該光電変換部の上方に凹部が形成されており、前記レンズとして、該第1透明膜の凹部内に前記第2透明膜が埋め込まれて該第2透明膜の下面が下に凸に形成されている請求項1に記載の固体撮像素子。
- 前記第2透明膜は、凸部と共に屈折率が膜内で連続的または段階的に変えられて成膜されて、該光電変換部に対応する該第1透明膜上の位置に上に凸のレンズが形成されている請求項1に記載の固体撮像素子。
- 前記第2透明膜上に、該第2透明膜よりも屈折率が低い第3透明膜が形成されている請求項1に記載の固体撮像素子。
- 前記第2透明膜は、前記第1透明膜よりも屈折率が高く設定されている請求項1に記載の固体撮像素子。
- 前記第3透明膜の上方に、前記光電変換部に対応するように前記レンズとは別のレンズが形成されている請求項9に記載の固体撮像素子。
- 前記第3透明膜と前記別のレンズとの間にカラーフィルタおよび保護膜が形成されている請求項11に記載の固体撮像素子。
- 前記レンズは層内レンズである請求項1に記載の固体撮像素子。
- CCD固体撮像素子またはCMOS固体撮像素子である請求項1に記載の固体撮像素子。
- 被写体からの画像光を光電変換する光電変換部が形成された半導体基板または基板に設けられた半導体領域上に、該光電変換部からの信号電荷を転送するためのゲート電極を形成するゲート電極形成工程と、該光電変換部および該ゲート電極上に第1透明膜を成膜する第1透明膜成膜工程と、該第1透明膜上に、該第1透明膜と屈折率が異なる第2透明膜を、屈折率が膜内で連続的または段階的に変えて成膜して、該光電変換部に対応する該第1透明膜上の位置にレンズを形成するレンズ形成工程であって、該第2透明膜の上面は、該光電変換部の上方の領域に上に凸の形状に形成されており、該第2透明膜の下面は、下に凸の形状に形成されており、該レンズは、複数の層で連続的に形成されており、該複数の層のうちの最上層は、該上に凸の形状を有する上面を含み、該複数の層のうちの最上層は、該最上層の下にある全面に形成された層の全面には延在せず、該最上層の下にある該全面に形成された層は、該複数の層のうちの1つの層であり、かつ、該最上層に隣接しているレンズ形成工程とを有する固体撮像素子の製造方法。
- 請求項1〜14のいずれかに記載の固体撮像素子を画像入力デバイスとして撮像部に用いた電子情報機器。
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