JP5084617B2 - 低締付金属ガスケット - Google Patents
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Description
(1)金属ガスケットのシール面に加工を施して応力集中が起こり易くし、荷重(締付力)としては低くても高い応力を発生させてなじみを得るようにする方法。
このように、上記(1)では応力集中させるとしても金属を変形させるには、やはりある程度大きな力が必要となる。
例えば、特開平9−32928号公報(特許文献3)には、メタルガスケットにポリイミド樹脂コートを設けることが記載されている。
高分子材料を含んで成るコート膜を少なくともシール面に設けた低締付金属ガスケットであって、
前記低締付金属ガスケットが、
メタルCリングもしくはバネ入りメタルCリングであり、前記メタルCリングもしくはバネ入りメタルCリングの基材外表面に下記(1)〜(3)の条件を満たすコート膜が設けられていることを特徴とする低締付金属ガスケット:
(1)25℃における酸素ガス透過係数が、10×10-12〜0.1×10-12(m2/s)であるフッ素ゴムまたはフッ素樹脂であり、前記フッ素ゴムまたはフッ素樹脂は、四フッ化エチレンから誘導される成分単位を主構造単位とし、パーフルオロアルキル基(アルキル基の炭素数C2〜16)を有する構造である。
(2)圧縮変形において、200℃における貯蔵弾性率(E')が1.0×107〜1.0×102Paの範囲にある。
(3)コート膜の膜厚が1〜40μmである。
上記コート膜は、フッ素ゴム製またはフッ素樹脂製であることが耐熱性および耐薬品性、耐プラズマ性の点で望ましい。
図1は、本発明の低締付金属ガスケットの好適な一態様を示す。
本発明では、このコート膜30は、メタルCリング基材40の開口部60や、バネ(断面リング状バネ)10の表面10A(図1のバネ10の左側10A)にも設けられていてもよい(図示せず)。
本発明に係るこの低締付金属ガスケット50は、メタルCリングもしくはバネ入りメタルCリングであり、前記メタルCリングもしくはバネ入りメタルCリングの基材外表面に下記(1)〜(3)に記載した物性(すなわち、コート膜の酸素透過性、弾性率)のコート膜を有している。
(1)25℃における酸素ガス透過係数が、10×10-12〜0.1×10-12(m2/s)であるフッ素ゴムまたはフッ素樹脂であり、前記フッ素ゴムまたはフッ素樹脂は、四フッ化エチレンから誘導される成分単位を主構造単位とし、パーフルオロアルキル基(アルキル基の炭素数C2〜16)を有する構造である。
(2)圧縮変形において、200℃における貯蔵弾性率(E')が1.0×107〜1.0×102Paの範囲にある。
(3)コート膜の膜厚が1〜40μm、好ましくは、1〜20μmである。
により所望の膜変形(膜厚)を得られず、コート膜と相手シール面とのなじみが十分に得られない。一方で、貯蔵弾性率が1.0×102Pa(1E+02Pa)より小さいと、
所定の荷重によりコート膜の緩和が大きく、フロー・破壊が生じ、被膜の役を成さない。従って、いずれの場合も十分な締付を行った場合でも十分なシール性を得られなくなる傾向がある。
このような本発明の低締付金属ガスケットは、上記(1)〜(3)に示すコート膜物性を有しているため、低い締付応力で高いシール性を確保することができる。
[金属ガスケットの製法]
このような低締付金属ガスケットの製法は、好適には以下の通り。
<フッ素コートメタルCリングの製造>
メタルCリングあるいはバネ入りメタルCリングについては市販品の使用が可能であり、例えば「No.3645トライパック」日本バルカー工業(株)製がある。製法として例えば特公平7−103932に記載されているような従来技術およびその他の技術が利用できる。
<フッ素樹脂コート膜の製造>
また、低締付金属ガスケットのうちで、フッ素樹脂コートメタルCリングを製造するには、以下のようにすればよい。
公報に記載の(メタ)アクリル酸のパーフロオロアルキル−アルキルエステル{CH2=
CR1−COO−(CH2)n−Rf、式中、R1:HまたはCH3を示し、nは0〜6の整数を示し、Rfは炭素数Cが2〜16のパーフルオロアルキル基を示す。}の(共)重合体
であって、その重量平均分子量Mw(測定法:溶媒としてのテトラヒドロフランにてGPCを用いて測定し、ポリスチレン換算したもの。)が3千(3000)〜40万(400,000)のポリマーが挙げられる。
酢酸エチル、酢酸ブチル等のエステル系;ジエチルエーテル、ジオキサン等のエーテル系;
ヘプタン、ヘキサン等のアルカン系;エタノール、IPA等のアルコール系;
が挙げられる。
フッ素系溶剤はフッ素系ポリマーとの相溶性に優れ、しかも不燃であり、コーティングの際に特殊な排気・防爆設備が不要である。
<フッ素ゴムコート膜の製造>
フッ素ゴムコート材としては、例えば、フッ素系生ゴム(例:商品名「ダイエルG900シリーズ:G901」、ダイキン工業(株))とゴム溶剤(例:メチルエチルケトン)と架
橋剤{例:商品名「TAIC」(トリアリルイソシアヌレート、日本化成(株))}と架橋開始剤(商品名「パーヘキサ25B」、日本油脂(株))などを含み、該フッ素ゴムコート材中に、生のフッ素ゴム(FKM,ポリマー)含量が5〜20wt%程度(例:10wt%)であり、該ポリマー100重量部に対して、架橋剤を2〜15重量部(例:6重量部)、架橋開始剤を0.1〜5重量部(例:2重量部)で含むものが挙げられる。
本バルカー工業(株))の表面にコート(塗布)するには、メタルCリング基材40の表面4
0A(20A)に加硫接着剤(例:「メタロックS10A」((株)東洋化学研究所))を塗布し、100〜200℃(例:150℃)×10〜60分間(例:30分)程度で焼付けて、予備処理されたメタルCリング基材を得る。
:8回)浸漬(ディッピング)を繰り返し、
次いで、風乾等の方法で乾燥(膜厚:1〜500μm程度)したのち、真空電気炉中で「150℃〜フッ素ゴムの分解温度未満(例:200℃)」×「10〜48時間(例:24時間)」加熱すれば、所定の膜弾性率を有するフッ素ゴムコートされたメタルCリング(低締付金属ガスケット)が得られる。
[実施例]
以下、本発明に係る低締付金属ガスケット、特に好適なフッ素樹脂コートメタルCリングと、フッ素ゴムコートメタルCリングについてさらに具体的に説明するが、本発明は係る実施例により何ら限定されない。
<<フッ素コートCリングの作製とシール試験>>
A.シール試験
(A−1) 使用したガスケット・フランジの仕様
・ガスケット基材40:
(A−2)コート方法
(A−2−1)フッ素樹脂系コート材
エヌアイマテリアル社製コート材、品番:INT332QAを使用した。
(A−2−2)フッ素樹脂系コート材のコート方法
図1に示すようなメタルガスケット基材(メタルCリング基材)40にフッ素樹脂コート(膜)30形成用のコート材を1〜10回程度刷毛塗りし、室温(25)℃にて風乾した。乾燥塗膜30の膜厚tを、渦電流方式により測定(商品名「イソスコープMP30」、(株)フィッシャー・インストルメンツ製)したところ、約1〜3μmであった。
(A−3) 試験内容
(A−3−1) ヘリウム漏洩試験
上記コート材にて被覆してなる本発明の「フッ素コート品」(フッ素樹脂コートメタルCリングガスケット)と、該被覆無しの現行品(:本発明との関係では「従来品」である。すなわち、フッ素樹脂コートされていないメタルCリング基材40(商品名:「トライ
パック」、日本バルカー工業(株)製。以下同様。)について気密性試験を常温(25℃)
下で行った。
なお、図4は、メタルCリング基材40の説明図である。
また、この試験では、次第に圧縮荷重を増加させ、H.L.D.の測定限度(1×10-11atm・cc/s)以下を「気密開始点」とし、また、除荷時に再びH.L.D.の
測定限度以上となった点を「気密限界点」とした。
全ての例における試験結果については後述、表4、図5に示した。
(A−3−2) 漏洩量の経時変化
本発明の「フッ素コート品」(フッ素樹脂コートメタルCリングガスケット)については、別の試料を用いて、気密開始点において荷重を一定に保持し、漏洩量の経時変化をH.L.D.にて測定した。
24時間保持:1.0E−09[Pa・m3/s]。
全例における試験結果については後述、表5、図6に示した。
(A).シール試験
(A−1) 使用したガスケット・フランジの仕様
上述、実施例1と同仕様品を用いた。
(A−2)コート方法
(A−2−1) フッ素ゴムコート材(生ゴム溶液)
生ゴム(商品名「ダイエルG900シリーズ」の「ダイエルG901」、ポリマーともい
う。ダイキン工業(株)製)を、MEK(メチルエチルケトン)中に、10wt%強程度(具体的には、12.5wt%)の量で溶解させて生ゴムの粘性溶液を調製した。
メタルガスケット基材(メタルCリング基材、商品名「トライバック」、日本バルカー工業(株)製。)40の表面に、加硫接着剤(「メタロックS10A」((株)東洋化学研究所製)を塗布し、150℃×30min.で焼付け処理した。
グ)を8回繰り返したのち、風乾した。
ディッピング後のトライパックを真空電気炉中で200℃×24h加熱、フッ素ゴムコ
ートメタルCリングを得た。
(A−3)試験内容
(A−3−1) ヘリウム漏洩試験
上記コート材にて被覆してなる本発明の「フッ素コート品」(フッ素ゴムコートメタルCリングガスケット)について気密性試験を常温(25℃)下で行った。
該コートメタルCリングの「気密開始点」は10[kN/m]、「気密限界点」は50[kN/m]となった。
(A−3−2) 漏洩量の経時変化
本発明の「フッ素コート品」(フッ素ゴムコートメタルCリングガスケット)については、別の試料を用いて、気密開始点において荷重を一定に保持し、漏洩量の経時変化をH.L.D.にて測定した。
0時間保持:2.7E−10 [Pa・m3/s]、
24時間保持:2.1E−10 [Pa・m3/s]。
(B).弾性率測定
上述したフッ素ゴムコート材と同組成・同コート条件で、50×50×1mmのアルミニウム板(「No.3645トライパック」日本バルカー工業(株)製、外被20と同組成)に該フッ素ゴムコート材を被覆し、「DVEレオスペクトラーV4」(レオロジー社製)にて貯蔵弾性率を測定した。
<考察>
0〜50℃の範囲にtanδピークが確認された。
0℃においては0.8×107Paにて一定となった。
200℃における貯蔵弾性率(E’)は0.9×107Paであった。
[比較例1]
(メタルCリング)
(A).シール試験
(A−1)使用したガスケット・フランジの仕様
使用したガスケット・フランジは上述した実施例1と同仕様品である。
(A−2)試験内容(ヘリウム漏洩試験)
上述の現行品(従来品)について気密性試験を常温(25℃)下で行った。
該メタルCリングの「気密開始点」は70〜90[kN/m]、「気密限界点」は30〜50[kN/m]となった。
[比較例2]
(フッ素ゴムOリング)
(A).シール試験
(A−1)使用したガスケット・フランジの仕様
ガスケット:フッ素ゴム製Oリングを使用。
(A−2)試験内容(漏洩量の経時変化)
試験に際しては、上記と同様に気密開始点において荷重を保持した状態での漏洩量経時変化を測定した。
0時間保持:3.2E−08 [Pa・m3/s]、
24時間保持:5.1E−08 [Pa・m3/s]。
1−2 <シール試験結果まとめ>
(1−2−1) ヘリウム漏洩試験
実施例1、実施例2、比較例1、比較例2におけるヘリウム漏洩試験結果を示す(表4、図5)。
<考察>
本発明に係るフッ素コート品(フッ素樹脂コートメタルCリング、フッ素ゴムコートメタルCリング)は、現行品(:従来品)に比べ気密開始点が小さく、気密限界点も小さいことが分かる。
実施例1、実施例2、比較例1、比較例2におけるヘリウムガス漏洩量の経時変化について試験結果を示す(表5、図6)。
<考察>
本発明に係るフッ素コート品は、フッ素ゴムOリングに比べ、初期(0時間保持後)の
漏洩量も少なく、24時間経過後もその漏洩量に違いがない。
た場合の膜厚は、それぞれ20μmと5μmとなる。
ところで、本発明におけるシール性を表す指標である、透過漏洩量Qp(Pa・m3/
s)は、Qp=KA(P0−P1)/L(式1)で表される。
K:透過係数(m2/s)、
A:透過断面積(m2)、
L:透過長さ(m)、
P0,P1:ガスケット外・内径の圧力(Pa)、
である。
即ち(式1)は、Qp=2Kd(P0−P1)(式2)と表すことができる。
即ち、大気圧下P0は、1atm≒1.0×105Paであるから、Qp=2Kd・(
1.0×105)(式3)と表すことができる。
(式3)に測定値を代入すると、Heの透過係数が求められ、本発明におけるHe透過係数は7.0×10-11(m2/s)となる。
る。
K(O2)/K(He)≒0.09となる。
本発明のコート膜もふっ素系素材であることから、この係数比に従うといえる。
り、酸素ガス透過係数を求めることができる。
10A・・・・・バネの表面、
20・・・・・メタルCリング、
20A・・・・・メタルCリングの表面、
30・・・・・フッ素ゴムコート、
30A・・・・・フッ素ゴムコートの表面、
40・・・・・メタルCリング基材、
40A・・・・・メタルCリング基材の表面、
50・・・・・外表面がフッ素ゴムコートされているメタルCリングガスケット。
Claims (2)
- 高分子材料を含んで成るコート膜を少なくともシール面に設けた低締付金属ガスケットであって、
前記低締付金属ガスケットが、
メタルCリングもしくはバネ入りメタルCリングであり、前記メタルCリングもしくはバネ入りメタルCリングの基材外表面に下記(1)〜(3)の条件を満たすコート膜が設けられていることを特徴とする低締付金属ガスケット:
(1)25℃における酸素ガス透過係数が、10×10-12〜0.1×10-12(m2/s)であるフッ素ゴムまたはフッ素樹脂であり、前記フッ素ゴムまたはフッ素樹脂は、四フッ化エチレンから誘導される成分単位を主構造単位とし、パーフルオロアルキル基(アルキル基の炭素数C2〜16)を有する構造である。
(2)圧縮変形において、200℃における貯蔵弾性率(E')が1.0×107〜1.0×102Paの範囲にある。
(3)コート膜の膜厚が1〜40μmである。 - 前記低締付金属ガスケットは、そのシール面が癖付け加工されていることを特徴とする請求項1に記載の低締付金属ガスケット。
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