JPH0932928A - 金属ガスケット及び金属ガスケットの製造方法 - Google Patents
金属ガスケット及び金属ガスケットの製造方法Info
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- JPH0932928A JPH0932928A JP18045895A JP18045895A JPH0932928A JP H0932928 A JPH0932928 A JP H0932928A JP 18045895 A JP18045895 A JP 18045895A JP 18045895 A JP18045895 A JP 18045895A JP H0932928 A JPH0932928 A JP H0932928A
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- metal
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 低い締め付け力では接面の気密性を維持でき
ず、装着部材の内部のクリーン度の低下を招いていた。 【解決手段】 横断形状がＣ字形である金属リング７
と、金属リング７の環状空間Ｔに装着したコイルバネ９
と、金属リング７の外表面に形成したコーティング層１
０とを有し、コーティング層１０の材質をポリイミド樹
脂とした。
ず、装着部材の内部のクリーン度の低下を招いていた。 【解決手段】 横断形状がＣ字形である金属リング７
と、金属リング７の環状空間Ｔに装着したコイルバネ９
と、金属リング７の外表面に形成したコーティング層１
０とを有し、コーティング層１０の材質をポリイミド樹
脂とした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は金属ガスケットに関
し、特に、半導体の製造設備等のような真空雰囲気中で
使用する金属ガスケット及び金属ガスケットの製造方法
に関する。
し、特に、半導体の製造設備等のような真空雰囲気中で
使用する金属ガスケット及び金属ガスケットの製造方法
に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、ガスケットにはゴムＯリングと
金属ガスケットとがあるが、真空雰囲気中に装着する場
合には、前処理としてガスケット内部や装置のガス等を
除去する焼成を行うため、耐熱性に優れた金属ガスケッ
トが使用される。しかし、金属ガスケットはゴムＯリン
グに比べて装着時の歪み量が少ないため、装着部材同士
を固定するボルトの締め付け力では接面の馴染み性が低
く、充分な気密性が得られないことがあった。
金属ガスケットとがあるが、真空雰囲気中に装着する場
合には、前処理としてガスケット内部や装置のガス等を
除去する焼成を行うため、耐熱性に優れた金属ガスケッ
トが使用される。しかし、金属ガスケットはゴムＯリン
グに比べて装着時の歪み量が少ないため、装着部材同士
を固定するボルトの締め付け力では接面の馴染み性が低
く、充分な気密性が得られないことがあった。
【０００３】このため、比較的低い締め付け力でも接面
の馴染みが良好、即ち、気密開始点の低い金属ガスケッ
トの開発が望まれており、金属ガスケットに装着され
ているコイルバネの線径を細くする、接面にグリース
を充填する、金属リングの外表面にＰＴＦＥのコーテ
ィング層を形成する、等の対策が検討されている。
の馴染みが良好、即ち、気密開始点の低い金属ガスケッ
トの開発が望まれており、金属ガスケットに装着され
ているコイルバネの線径を細くする、接面にグリース
を充填する、金属リングの外表面にＰＴＦＥのコーテ
ィング層を形成する、等の対策が検討されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記の対策によれば
締め付け完了点は低下するが、金属ガスケットの材質が
同じである以上、気密開始点が変化しないばかりか、装
着完了時の締め付け力、つまり、締め付け完了点と気密
開始点との差が小さくなって気密性能が不安定となり、
気密性が損なわれるという問題があった。
締め付け完了点は低下するが、金属ガスケットの材質が
同じである以上、気密開始点が変化しないばかりか、装
着完了時の締め付け力、つまり、締め付け完了点と気密
開始点との差が小さくなって気密性能が不安定となり、
気密性が損なわれるという問題があった。
【０００５】また、の対策によれば接面の馴染み性は
向上するが、高真空、超高真空といった状態では真空度
とは別にクリーン度が重要であるため、グリースは一般
に使用できない。
向上するが、高真空、超高真空といった状態では真空度
とは別にクリーン度が重要であるため、グリースは一般
に使用できない。
【０００６】更に、の対策によれば接面の馴染み性が
向上するが、ＰＴＦＥは金属リングに対する接着性に乏
しいため、金属ガスケットの製造自体が容易でなく製造
コスト高となるし、使用中の負圧によりコーティング層
の破れ、脱落による気密性の低下及びクリーン度の低下
を招く。このように、〜のいずれの対策も実用化さ
れなかった。
向上するが、ＰＴＦＥは金属リングに対する接着性に乏
しいため、金属ガスケットの製造自体が容易でなく製造
コスト高となるし、使用中の負圧によりコーティング層
の破れ、脱落による気密性の低下及びクリーン度の低下
を招く。このように、〜のいずれの対策も実用化さ
れなかった。
【０００７】
【発明の目的】上記課題を解決するため請求項１に係る
発明は、耐熱性を有することは勿論、低い締め付け力で
も接面の馴染み性を得られ、かつ、内部のクリーン度を
維持でき、更に、金属リングとの接着性が良いコーティ
ング層を備えた金属ガスケットを提供することを目的と
している。
発明は、耐熱性を有することは勿論、低い締め付け力で
も接面の馴染み性を得られ、かつ、内部のクリーン度を
維持でき、更に、金属リングとの接着性が良いコーティ
ング層を備えた金属ガスケットを提供することを目的と
している。
【０００８】また、請求項２に係る発明は、請求項１と
同様の目的の他、装着完了時における締め付け力を低減
できる金属ガスケットを提供することを目的としてい
る。更に請求項３に係る発明は、耐熱性を有することは
勿論、低い締め付け力でも接面の馴染み性を得られ、か
つ、内部のクリーン度を維持でき、更に、金属リングと
の接着性が良いコーティング層を備えた金属ガスケット
の製造方法を提供することを目的としている。
同様の目的の他、装着完了時における締め付け力を低減
できる金属ガスケットを提供することを目的としてい
る。更に請求項３に係る発明は、耐熱性を有することは
勿論、低い締め付け力でも接面の馴染み性を得られ、か
つ、内部のクリーン度を維持でき、更に、金属リングと
の接着性が良いコーティング層を備えた金属ガスケット
の製造方法を提供することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】請求項１に係る金属ガス
ケットは、横断面が屈曲形状の金属リングと、この金属
リングの外表面に設けたコーティング層とを有し、この
コーティング層の材質が、ポリイミド樹脂及び／または
ポリアミドイミド樹脂であることを特徴とする。
ケットは、横断面が屈曲形状の金属リングと、この金属
リングの外表面に設けたコーティング層とを有し、この
コーティング層の材質が、ポリイミド樹脂及び／または
ポリアミドイミド樹脂であることを特徴とする。
【００１０】請求項２に係る金属ガスケットは、請求項
１に記載した金属リングが外周側に切れ目を有し、この
金属リング内方の環状空間に、当該金属リングの内周面
に当接する環状のコイルバネを設けたものである。
１に記載した金属リングが外周側に切れ目を有し、この
金属リング内方の環状空間に、当該金属リングの内周面
に当接する環状のコイルバネを設けたものである。
【００１１】請求項３に係る金属ガスケットの製造方法
は、横断面が屈曲形状の金属リングを製造する工程と、
ポリイミド樹脂前駆体及び／またはポリアミドイミド樹
脂前駆体を溶剤により溶解して溶液を作成する工程と、
前記金属リングの外表面に前記溶液を塗布して塗膜を形
成する工程と、前記塗膜を焼成処理してコーティング層
を形成する工程と、を有することを特徴とする。
は、横断面が屈曲形状の金属リングを製造する工程と、
ポリイミド樹脂前駆体及び／またはポリアミドイミド樹
脂前駆体を溶剤により溶解して溶液を作成する工程と、
前記金属リングの外表面に前記溶液を塗布して塗膜を形
成する工程と、前記塗膜を焼成処理してコーティング層
を形成する工程と、を有することを特徴とする。
【００１２】上記構成中、金属リングの具体的な横断面
形状としては、Ｃ字形、Ｖ字形、コ字形、真円形、楕円
形等を例示できる。また、切れ目を有する金属リングの
具体的な横断面形状としては、Ｃ字形、Ｖ字形、コ字形
を例示できる。
形状としては、Ｃ字形、Ｖ字形、コ字形、真円形、楕円
形等を例示できる。また、切れ目を有する金属リングの
具体的な横断面形状としては、Ｃ字形、Ｖ字形、コ字形
を例示できる。
【００１３】
【発明の作用】請求項１に係る金属ガスケットは、コー
ティング層が耐熱性に優れており、装着時の歪み量が金
属に比べて多く、かつ、ＰＴＦＥに比べて金属リングに
対する接着力が強い。
ティング層が耐熱性に優れており、装着時の歪み量が金
属に比べて多く、かつ、ＰＴＦＥに比べて金属リングに
対する接着力が強い。
【００１４】請求項２に係る金属ガスケットは、請求項
１と同様の作用がある他、コイルバネの線径を細くすれ
ば、金属リングに加わる荷重に対する反発力が減少す
る。請求項３に係る金属ガスケットの製造方法は、形成
されたコーティング層が耐熱性に優れており、装着時の
歪み量が金属に比べて多く、かつ、ＰＴＦＥに比べて金
属リングに対する接着力が強い。
１と同様の作用がある他、コイルバネの線径を細くすれ
ば、金属リングに加わる荷重に対する反発力が減少す
る。請求項３に係る金属ガスケットの製造方法は、形成
されたコーティング層が耐熱性に優れており、装着時の
歪み量が金属に比べて多く、かつ、ＰＴＦＥに比べて金
属リングに対する接着力が強い。
【００１５】
【実施例】図１は本発明の実施例に係る金属ガスケット
Ｆを半導体製造設備等に適用した状態の断面図である。
図において、１，２はステンレス等の金属で構成した中
空の装着部材で、装着部材１，２の対向面には、略同一
外径に設定した環状の溝３，４をそれぞれ設けてある。
この装着部材１，２は、フランジ５，６に取り付けられ
るボルト（図示せず）により締め付け固定される。
Ｆを半導体製造設備等に適用した状態の断面図である。
図において、１，２はステンレス等の金属で構成した中
空の装着部材で、装着部材１，２の対向面には、略同一
外径に設定した環状の溝３，４をそれぞれ設けてある。
この装着部材１，２は、フランジ５，６に取り付けられ
るボルト（図示せず）により締め付け固定される。
【００１６】溝３，４の間に装着した金属ガスケットＦ
は、横断面が屈曲形状の金属リング７を有する。本実施
例における金属リング７は、その外周側に全周に亘って
切れ目８を設けて横断面形状をＣ字形にしてある。この
金属リング７の材質としては、アルミニウム、銀等の軟
質金属やニッケル鋼、ステンレス鋼等を例示できる。金
属リング７の内方の環状空間Ｔには全周に亘ってコイル
バネ９を配置してある。コイルバネ９の材質としてはス
テンレス、インコネル等を例示できる。
は、横断面が屈曲形状の金属リング７を有する。本実施
例における金属リング７は、その外周側に全周に亘って
切れ目８を設けて横断面形状をＣ字形にしてある。この
金属リング７の材質としては、アルミニウム、銀等の軟
質金属やニッケル鋼、ステンレス鋼等を例示できる。金
属リング７の内方の環状空間Ｔには全周に亘ってコイル
バネ９を配置してある。コイルバネ９の材質としてはス
テンレス、インコネル等を例示できる。
【００１７】そして、金属リング７の外表面にはコーテ
ィング層１０を形成してある。コーティング層１０の材
質としては耐熱性に優れ、かつ、荷重に対する歪み量が
金属よりも多いポリイミド樹脂を例示できる。上記構成
の金属ガスケットＦは、ポリイミド樹脂の前駆体をＮ−
メチル−２−ピロリドン、ＤＦＭ、１，４−ジオキサン
等の溶剤により溶解して溶液を作成する工程と、この溶
液を刷毛塗り、ディッピング、スプレー等の塗布方法に
より金属リング７の外表面に付着させて塗膜を形成する
工程と、この塗膜を所定温度で所定時間焼成処理してコ
ーティング層１０を形成する工程と、により製造したも
のである。
ィング層１０を形成してある。コーティング層１０の材
質としては耐熱性に優れ、かつ、荷重に対する歪み量が
金属よりも多いポリイミド樹脂を例示できる。上記構成
の金属ガスケットＦは、ポリイミド樹脂の前駆体をＮ−
メチル−２−ピロリドン、ＤＦＭ、１，４−ジオキサン
等の溶剤により溶解して溶液を作成する工程と、この溶
液を刷毛塗り、ディッピング、スプレー等の塗布方法に
より金属リング７の外表面に付着させて塗膜を形成する
工程と、この塗膜を所定温度で所定時間焼成処理してコ
ーティング層１０を形成する工程と、により製造したも
のである。
【００１８】このようにして製造した金属ガスケットＦ
は、非装着状態において金属リング７の内周面とコイル
バネ９の外周面とが当接している。そして、図１のよう
に金属ガスケットＦを装着し、ボルトの締め付けにより
軸心Ｇ方向と平行な圧縮荷重、即ち、締め付け力が加わ
って弾性変形し、コーティング層１０と相手部材３，４
との接面同士が所定の圧力で当接して内部Ｈの気密性を
維持する。
は、非装着状態において金属リング７の内周面とコイル
バネ９の外周面とが当接している。そして、図１のよう
に金属ガスケットＦを装着し、ボルトの締め付けにより
軸心Ｇ方向と平行な圧縮荷重、即ち、締め付け力が加わ
って弾性変形し、コーティング層１０と相手部材３，４
との接面同士が所定の圧力で当接して内部Ｈの気密性を
維持する。
【００１９】ここで、金属ガスケットＦの効果を確認す
るため、本実施例の金属ガスケットＦと比較例に係る金
属ガスケット（コーティング層無し）とを下記の条件で
製造し、各々ステンレス製の装着部材同士の間に装着
し、装着部材から加わる締め付け力（圧縮力）と歪み量
との関係を測定したところ図２の結果が得られた。な
お、装着部材において金属ガスケットＦとの当接面は、
旋盤により表面粗さＲmax＝３．２μｍに仕上げた。
るため、本実施例の金属ガスケットＦと比較例に係る金
属ガスケット（コーティング層無し）とを下記の条件で
製造し、各々ステンレス製の装着部材同士の間に装着
し、装着部材から加わる締め付け力（圧縮力）と歪み量
との関係を測定したところ図２の結果が得られた。な
お、装着部材において金属ガスケットＦとの当接面は、
旋盤により表面粗さＲmax＝３．２μｍに仕上げた。
【００２０】 本実施例に係る金属ガスケット 金属リングの材質 アルミニウム 金属リングの内径 １０１mm 金属リングの横断面における外径 ３．８mm コイルバネの巻径 ３．０mm コイルバネの線径 ３．５mm 溶液の塗布方法 ディッピング方式 塗膜の厚さ 約３μｍ 塗膜焼成温度 ２５０℃ コーティング層の焼成時間 ６０分 比較例に係る金属ガスケット 金属リングの材質 アルミニウム 金属リングの内径 １０１mm 金属リングの横断面における外径 ３．８mm コイルバネの巻径 ３．０mm コイルバネの線径 ４．０mm 図２において、Ｊは比較例に係る金属ガスケットの圧縮
復元曲線を示し、Ｋは本実施例に係る金属ガスケットの
圧縮復元曲線を示す。図中Ｐは本実施例の気密開始点、
Ｑは締め付け完了点、Ｒは気密限界点を示す。また、図
中Ｌは比較例の気密開始点、Ｍは締め付け完了点、Ｎは
気密限界点を示す。
復元曲線を示し、Ｋは本実施例に係る金属ガスケットの
圧縮復元曲線を示す。図中Ｐは本実施例の気密開始点、
Ｑは締め付け完了点、Ｒは気密限界点を示す。また、図
中Ｌは比較例の気密開始点、Ｍは締め付け完了点、Ｎは
気密限界点を示す。
【００２１】このように、本実施例に係る金属ガスケッ
トＦは、金属に比べて歪み量の多いポリイミド樹脂のコ
ーティング層を有するから、その気密開始点Ｐ（４９ｋ
Ｎ／ｍ）、気密限界点Ｒ（２０ｋＮ／ｍ）は、比較例の
気密開始点Ｌ（９８ｋＮ／ｍ）、気密限界点Ｎ（４９ｋ
Ｎ／ｍ）に比べて低く、低い締め付け力で気密性を得ら
れることが判明した。この締め付け力は通常８０〜１２
０ｋＮ／ｍ程度となり、ゴムＯリングの気密性を発生す
る際の締め付け力に近い。
トＦは、金属に比べて歪み量の多いポリイミド樹脂のコ
ーティング層を有するから、その気密開始点Ｐ（４９ｋ
Ｎ／ｍ）、気密限界点Ｒ（２０ｋＮ／ｍ）は、比較例の
気密開始点Ｌ（９８ｋＮ／ｍ）、気密限界点Ｎ（４９ｋ
Ｎ／ｍ）に比べて低く、低い締め付け力で気密性を得ら
れることが判明した。この締め付け力は通常８０〜１２
０ｋＮ／ｍ程度となり、ゴムＯリングの気密性を発生す
る際の締め付け力に近い。
【００２２】また、本実施例に係る金属ガスケットＦで
はコイルバネ９の線径を細くすることにより、その締め
付け完了点Ｑ（１１９ｋＮ／ｍ）が比較例の締め付け完
了点Ｍ（１９６ｋＮ／ｍ）よりも低減している。つま
り、気密開始点Ｐ及び締め付け完了点Ｑの両方が低くな
るから、気密性を維持できる締め付け力の領域が広く、
締め付け力の設定及び管理が容易である。
はコイルバネ９の線径を細くすることにより、その締め
付け完了点Ｑ（１１９ｋＮ／ｍ）が比較例の締め付け完
了点Ｍ（１９６ｋＮ／ｍ）よりも低減している。つま
り、気密開始点Ｐ及び締め付け完了点Ｑの両方が低くな
るから、気密性を維持できる締め付け力の領域が広く、
締め付け力の設定及び管理が容易である。
【００２３】更に、ポリイミド樹脂はＰＴＦＥに近い耐
熱性を有するため、ガス抜きのための焼成処理を行って
も形状変化が起きない。また、溶剤による溶解及び塗布
が可能であるから、金属ガスケットＦ自体の製造も容易
であるし、ＰＴＦＥに比べて金属リング７に対する接着
力も強い。従って、使用中の負圧により破れや剥がれが
発生することもなく、接面の気密性及び装着部材１，２
の内部Ｈのクリーン度を維持できる。
熱性を有するため、ガス抜きのための焼成処理を行って
も形状変化が起きない。また、溶剤による溶解及び塗布
が可能であるから、金属ガスケットＦ自体の製造も容易
であるし、ＰＴＦＥに比べて金属リング７に対する接着
力も強い。従って、使用中の負圧により破れや剥がれが
発生することもなく、接面の気密性及び装着部材１，２
の内部Ｈのクリーン度を維持できる。
【００２４】因みに、金属リング７に対するコーティン
グ層１０の接着力を確認するため、以下の要領で試験を
行った。金属リング７の内径を１０１mmに設定し、金属
リング７の横断面における外径を３．８mmに設定し、金
属リング７の外表面に厚さ０．１〜５０μｍ、望ましく
は０．５〜１０μｍのコーティング層１０を有する金属
ガスケットＦを製造した。ここで、コーティング層１０
の生成条件は温度２００〜２７０℃、望ましくは２４０
〜２６０℃、焼成時間３０〜１２０分、望ましくは４５
〜９０分とする。
グ層１０の接着力を確認するため、以下の要領で試験を
行った。金属リング７の内径を１０１mmに設定し、金属
リング７の横断面における外径を３．８mmに設定し、金
属リング７の外表面に厚さ０．１〜５０μｍ、望ましく
は０．５〜１０μｍのコーティング層１０を有する金属
ガスケットＦを製造した。ここで、コーティング層１０
の生成条件は温度２００〜２７０℃、望ましくは２４０
〜２６０℃、焼成時間３０〜１２０分、望ましくは４５
〜９０分とする。
【００２５】ここで、コーティング層１０の厚さが上記
範囲よりも厚いと浸透漏れが増大する（浸透漏れ量は厚
さに比例する）し、コーティング層１０の厚さが上記範
囲よりも薄いと装着時における装着部材１，２の接面
（シート面）への馴染みが悪くなり充分な気密性が得ら
れない。
範囲よりも厚いと浸透漏れが増大する（浸透漏れ量は厚
さに比例する）し、コーティング層１０の厚さが上記範
囲よりも薄いと装着時における装着部材１，２の接面
（シート面）への馴染みが悪くなり充分な気密性が得ら
れない。
【００２６】また、焼成温度が上記範囲よりも低いか、
或いは焼成時間が上記範囲よりも短い場合は、焼成不足
となる。焼成不足の金属ガスケットＦを使用すると、装
置等のガス除去焼成時に、装着部材１，２の接面（シー
ト面）へコーティング層１０が固着するため、金属ガス
ケットＦの交換後における接面が粗くなり、気密性が著
しく低下することがある。
或いは焼成時間が上記範囲よりも短い場合は、焼成不足
となる。焼成不足の金属ガスケットＦを使用すると、装
置等のガス除去焼成時に、装着部材１，２の接面（シー
ト面）へコーティング層１０が固着するため、金属ガス
ケットＦの交換後における接面が粗くなり、気密性が著
しく低下することがある。
【００２７】更に、焼成温度が上記範囲よりも高いか、
或いは焼成時間が上記時間よりも長い場合は、過焼成と
なり、コーティング層１０を構成する樹脂の分解が始ま
り、コーティング層１０に亀裂や剥離を生じることがあ
り、気密性が著しく低下することがある。
或いは焼成時間が上記時間よりも長い場合は、過焼成と
なり、コーティング層１０を構成する樹脂の分解が始ま
り、コーティング層１０に亀裂や剥離を生じることがあ
り、気密性が著しく低下することがある。
【００２８】そして、コーティング層１０に対してＪＩ
Ｓ Ｋ ５４００ 鉛筆引っかき試験（手かき法）を行
った結果、鉛筆濃度４Ｈまでコーティング層１０の破れ
は発生しなかった。また、金属リング７に対するコーテ
ィング層１０の付着性を確認するため、ＪＩＳ Ｋ ５
４００碁盤目法、碁盤目テープ法、Ｘカットテープ法に
よる試験を行った結果、コーティング層の剥がれは発生
しなかった。
Ｓ Ｋ ５４００ 鉛筆引っかき試験（手かき法）を行
った結果、鉛筆濃度４Ｈまでコーティング層１０の破れ
は発生しなかった。また、金属リング７に対するコーテ
ィング層１０の付着性を確認するため、ＪＩＳ Ｋ ５
４００碁盤目法、碁盤目テープ法、Ｘカットテープ法に
よる試験を行った結果、コーティング層の剥がれは発生
しなかった。
【００２９】また、上記試験と同様の金属ガスケットＦ
を装着部材１，２に装着し、装着後４００分が経過する
までの間、コーティング層１０の浸透漏れ量を測定した
結果を図３に示す。このように、コーティング層１０の
浸透漏れも真空雰囲気を阻害しない程度の微量なもので
あることが判明した。
を装着部材１，２に装着し、装着後４００分が経過する
までの間、コーティング層１０の浸透漏れ量を測定した
結果を図３に示す。このように、コーティング層１０の
浸透漏れも真空雰囲気を阻害しない程度の微量なもので
あることが判明した。
【００３０】上記実施例において、コーティング層１０
の材質としてはポリアミドイミド樹脂単独で構成しても
よいし、ポリイミド樹脂前駆体とポリアミドイミド樹脂
前駆体とを適宜の溶剤により溶解して溶液を作成し、そ
の溶液を金属リング７に塗布及び焼成処理してコーティ
ング層１０を形成してもよい。
の材質としてはポリアミドイミド樹脂単独で構成しても
よいし、ポリイミド樹脂前駆体とポリアミドイミド樹脂
前駆体とを適宜の溶剤により溶解して溶液を作成し、そ
の溶液を金属リング７に塗布及び焼成処理してコーティ
ング層１０を形成してもよい。
【００３１】また、金属リング７とコイルバネ９との間
にステンレス等の硬質金属からなる補助リング（図示せ
ず）を設け、コイルバネ９が金属リング７に食い込むこ
とを防止してもよい。また、金属リングの横断面形状は
コ字形、Ｖ字形でもよい。更に、コイルバネを装着しな
い金属ガスケットを構成してもよい。さらに、金属リン
グの内周側に切れ目を設けた金属ガスケットにも適用で
きる。金属リングの横断面形状としては、切れ目の無い
楕円形や真円形であってもよい。
にステンレス等の硬質金属からなる補助リング（図示せ
ず）を設け、コイルバネ９が金属リング７に食い込むこ
とを防止してもよい。また、金属リングの横断面形状は
コ字形、Ｖ字形でもよい。更に、コイルバネを装着しな
い金属ガスケットを構成してもよい。さらに、金属リン
グの内周側に切れ目を設けた金属ガスケットにも適用で
きる。金属リングの横断面形状としては、切れ目の無い
楕円形や真円形であってもよい。
【００３２】
【発明の効果】以上のように請求項１に係る金属ガスケ
ットは、コーティング層が耐熱性に優れており焼成処理
を行っても形状を維持できるし、かつ、金属に比べて歪
み量が多いため低い締め付け力で接面の馴染み性が向上
し、気密開始点が低減されて優れた気密性を得られる効
果がある。
ットは、コーティング層が耐熱性に優れており焼成処理
を行っても形状を維持できるし、かつ、金属に比べて歪
み量が多いため低い締め付け力で接面の馴染み性が向上
し、気密開始点が低減されて優れた気密性を得られる効
果がある。
【００３３】また、コーティング層がＰＴＦＥに比べて
金属リングとの接着性が良いため金属ガスケット自体の
製造が容易となり、製造コストを抑制できるし、真空雰
囲気中での使用による負圧によってもコーティング層の
破れや脱落を防止でき、気密性及び装着部材内部のクリ
ーン度を維持できる効果がある。
金属リングとの接着性が良いため金属ガスケット自体の
製造が容易となり、製造コストを抑制できるし、真空雰
囲気中での使用による負圧によってもコーティング層の
破れや脱落を防止でき、気密性及び装着部材内部のクリ
ーン度を維持できる効果がある。
【００３４】請求項２に係る金属ガスケットは、請求項
１と同様の効果がある他、コイルバネの線径を細くする
ことにより、装着時における締め付け完了点を低減し、
気密開始点と締め付け完了点の差を維持できるから、気
密性を維持できる締め付け力の領域が広く、締め付け力
の設定及び管理が容易である。
１と同様の効果がある他、コイルバネの線径を細くする
ことにより、装着時における締め付け完了点を低減し、
気密開始点と締め付け完了点の差を維持できるから、気
密性を維持できる締め付け力の領域が広く、締め付け力
の設定及び管理が容易である。
【００３５】請求項３に係る金属ガスケットの製造方法
は、形成されるコーティング層が耐熱性に優れており焼
成処理を行っても形状を維持できるし、かつ、金属に比
べて歪み量が多いため低い締め付け力で接面の馴染み性
が向上し、気密開始点が低減されて優れた気密性を得ら
れる効果がある。
は、形成されるコーティング層が耐熱性に優れており焼
成処理を行っても形状を維持できるし、かつ、金属に比
べて歪み量が多いため低い締め付け力で接面の馴染み性
が向上し、気密開始点が低減されて優れた気密性を得ら
れる効果がある。
【００３６】更に、コーティング層がＰＴＦＥに比べて
金属リングとの接着性が良いため金属ガスケット自体の
製造が容易となり、製造コストを抑制できるし、真空雰
囲気中での使用による負圧によってもコーティング層の
破れや脱落を防止でき、気密性及び装着部材内部のクリ
ーン度を維持できる効果がある。
金属リングとの接着性が良いため金属ガスケット自体の
製造が容易となり、製造コストを抑制できるし、真空雰
囲気中での使用による負圧によってもコーティング層の
破れや脱落を防止でき、気密性及び装着部材内部のクリ
ーン度を維持できる効果がある。
【図１】本発明の実施例に係る金属ガスケットの装着状
態を示す断面図。
態を示す断面図。
【図２】本発明の実施例に係る金属ガスケット及び比較
例に係る金属ガスケットにおける締め付け力と歪み量と
の関係を示す圧縮復元曲線図。
例に係る金属ガスケットにおける締め付け力と歪み量と
の関係を示す圧縮復元曲線図。
【図３】本発明の実施例に係る金属ガスケットのコーテ
ィング層の浸透漏れ量を示すグラフ図。
ィング層の浸透漏れ量を示すグラフ図。
【符号の説明】 １，２ 装着部材 ３，４ 溝 ５，６ フランジ ７ 金属リング ８ 切れ目 ９ コイルバネ １０ コーティング層 Ｆ 金属ガスケット Ｇ 軸心 Ｈ 内部 Ｔ 環状空間
Claims (3)
- 【請求項１】 横断面が屈曲形状の金属リングと、この
金属リングの外表面に設けたコーティング層とを有し、
このコーティング層の材質が、ポリイミド樹脂及び／ま
たはポリアミドイミド樹脂であることを特徴とする金属
ガスケット。 - 【請求項２】 前記金属リングは外周側に切れ目を有
し、この金属リング内方の環状空間に、当該金属リング
の内周面に当接する環状のコイルバネを設けたものであ
る請求項１記載の金属ガスケット。 - 【請求項３】 横断面が屈曲形状の金属リングを製造す
る工程と、ポリイミド樹脂前駆体及び／またはポリアミ
ドイミド樹脂前駆体を溶剤により溶解して溶液を作成す
る工程と、前記金属リングの外表面に前記溶液を塗布し
て塗膜を形成する工程と、前記塗膜を焼成処理してコー
ティング層を形成する工程と、を有することを特徴とす
る金属ガスケットの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18045895A JPH0932928A (ja) | 1995-07-17 | 1995-07-17 | 金属ガスケット及び金属ガスケットの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18045895A JPH0932928A (ja) | 1995-07-17 | 1995-07-17 | 金属ガスケット及び金属ガスケットの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0932928A true JPH0932928A (ja) | 1997-02-07 |
Family
ID=16083584
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18045895A Withdrawn JPH0932928A (ja) | 1995-07-17 | 1995-07-17 | 金属ガスケット及び金属ガスケットの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0932928A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004097287A2 (en) * | 2003-04-30 | 2004-11-11 | Showa Denko K.K. | Apparatus and method for feeding high-purity ammonia gas |
| JP2009019764A (ja) * | 2007-06-15 | 2009-01-29 | Tohoku Univ | 低締付金属ガスケット |
| GB2494045A (en) * | 2011-08-25 | 2013-02-27 | Hamilton Sundstrand Corp | An apparatus and corresponding method to provide sealing contact between first and second fueldraulic components |
| KR101489615B1 (ko) * | 2011-01-24 | 2015-02-04 | 고쿠리츠다이가쿠호진 도호쿠다이가쿠 | 메탈 개스킷 |
| TWI621799B (zh) * | 2014-12-22 | 2018-04-21 | Japan Pionics Co Ltd | 金屬法蘭的接合方法 |
| KR20190127392A (ko) * | 2018-05-04 | 2019-11-13 | 이종철 | 절연 시트 및 이를 구비한 가스켓 |
| CN113847491A (zh) * | 2021-09-29 | 2021-12-28 | 常州三众弹性技术有限公司 | 一种法兰密封结构及其用途、及密封性能检测方法 |
-
1995
- 1995-07-17 JP JP18045895A patent/JPH0932928A/ja not_active Withdrawn
Cited By (10)
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