JP5082224B2 - フィルタの製造方法 - Google Patents
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Description
また、セラミックス層から基材を除去することにより、フィルタ全体の厚さをより薄くすることができ、フィルタによる流体の流動抵抗(圧力損失)をさらに小さく抑えることができる。
まず、流路ユニット2について説明する。図3、図4に示すように、流路ユニット2はキャビティプレート10、ベースプレート11、マニホールドプレート12、及びノズルプレート13を備えており、これら4枚のプレート10〜13が上から順に積層されて接着されている。また、圧電アクチュエータ3は振動板30を備えており、振動板30は流路ユニット2のキャビティユニット10の上部に積層されて接合されている。
次に、前述のセラミックス製のフィルタ43を製造する方法について説明する。
(変形例1)
前期実施形態では、基材52(金属層60)を利用してセラミックス層61を形成した後に、セラミックス層61から基材52の全体を除去しているが、このときに基材52の周縁部分はそのまま残しておいて、基材52の中央部分のみを除去してもよい。具体的には、図5(d)に示すように、基材52の平滑な面(下面)にセラミックス層61を形成した後に、図7(a)に示すように、基材52の他方の面(上面)にマスク72を形成する。次に図7(b)に示すように、基材52にエッチング施す。マスク72が形成されていない基材52の中央部分がセラミックス層61から除去される。この場合には、周縁部分が剛性の高い金属性の枠で補強されたフィルタ73を得ることができる。フィルタ73は破損しにくく、インクジェットヘッド1に組み付ける際の取り扱いが容易である。なお、基材52の中央部分をセラミックス層61から除去した後に、図7(c)に示すように、薬剤等による洗浄によってマスク72を除去してもよい。
(変形例2)
前記実施形態では、基材52にセラミックス層61を形成した後に、セラミックス層61から基材52を除去しているが、この基材52を除去する工程を省略してもよい。この場合には、基材52が存在する分、フィルタ全体の厚さは厚くなる。しかし、一般的に靭性が低く破損しやすいセラミックス材料の層が、ニッケルや銅等の金属材料からなる基材52により補強されることになり、フィルタの強度が高まる。
(変形例3)
図6(a)に示すように、基材52の平滑な面(下面)にセラミックス層70を形成した後、図6(b)に示すように、やや丸みを帯びた面(上面)及び孔52aの内面にもセラミックス材料を堆積させることにより、基材52の全体をセラミックス層70でコーティングしてもよい。この場合には、強度の高い金属製の基材52の全体が耐摩耗性及び耐食性の高いセラミックス層70でコーティングされるため、優れた耐摩耗性及び耐食性と、高い強度とを兼ね備えたフィルタ43Aを得ることができる。
(変形例4)
前記実施形態は、インクジェットヘッドのフィルタに本発明を適用した一例であるが、本発明のフィルタの耐食性は高いことから、インク以外の、腐食性の流体を含む様々な流体(水などの液体のみならず、空気などの気体も含む)を使用する種々の装置にこのフィルタを適用できる。
43a 孔
50 基板
51 レジストパターン
52 基材
52a 孔
60 金属層
61 セラミックス層
70 セラミックス層
Claims (5)
- 複数の孔を有する金属製の板状の基材を作製する基材作製工程と、
前記基材の一方の表面の前記複数の孔が無い部分にセラミックス材料の粒子を堆積させて、前記複数の孔を備えるセラミックス層を形成するセラミックス層形成工程と、
前記セラミックス層形成工程の後に、前記基材を前記セラミックス層から除去する基材除去工程と、を備えたことを特徴とするフィルタ製造方法。 - 前記セラミックス層は、エアロゾルデポジション法、スパッタ法、又は、化学蒸着法の何れかによって形成されることを特徴とする請求項1に記載のフィルタの製造方法。
- 前記基材作製工程において、基板に前記複数の孔に対応するレジストパターンを形成してから、前記基板の前記レジストパターンが形成されていない部分に電気めっきにより金属層を形成した後に、この金属層から前記基板を剥離することにより、前記基材を作製することを特徴とする請求項1に記載のフィルタの製造方法。
- 前記基材をセラミックス層から除去する工程において、基材の中央部のみをセラミックス層から除去し、基材の周縁部分をセラミックス層から除去しないことを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載のフィルタ製造方法。
- 前記基材をセラミックス層から除去する工程は、基材の他方の面に前記周縁部分に対応するマスクを形成する工程と、エッチングにより第1基板の中央部分をセラミックス層から除去する工程と、を備えることを特徴とする請求項4に記載のフィルタの製造方法。
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