JP5078392B2 - 半導体ウエハのダイシング方法 - Google Patents
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ダイシングラインに従い前記半導体ウエハの端部まで切断した直後、隣接するダイシングラインの切断開始位置に回転ブレードを移動する第1のダイシング工程と、
ダイシングラインに従い前記半導体ウエハの端部まで切断された後、前記半導体ウエハ全体がエアー噴射ノズルを横切るまで更に送りだすことによって前記半導体ウエハ表面の水分を完全に除去し、その後隣接するダイシングラインの切断開始位置に回転ブレードを移動する第2のダイシング工程とを有することを特徴とする。
2、12 半導体ウエハ
3、13 回転ブレード
4、14 洗浄水噴射ノズル
5、15 エアー噴射ノズル
6、 認識カメラ
Claims (3)
- 素子が形成された半導体ウエハを保持するテーブルと、前記テーブルを相対的に移動させ、前記半導体ウエハをダイシングラインに沿って切断する回転ブレードと、切断された前記半導体ウエハが送り出された前方上部に配置され、前記半導体ウエハに対して洗浄水を噴射する洗浄水噴射ノズルと、前記洗浄水噴射ノズルと平行してその外側に配置され、前記半導体ウエハに対してエアーを噴射するエアー噴射ノズルと、を有する切削加工装置による半導体ウエハのダイシング方法であって、
ダイシングラインに従い前記半導体ウエハの端部まで切断した直後、回転ブレードの位置を隣接するダイシングラインの切断開始位置に設定する第1のダイシング工程と、
ダイシングラインに従い前記半導体ウエハの端部まで切断された後、前記半導体ウエハ全体がエアー噴射ノズルを横切るまで更に送りだすことによって前記半導体ウエハ表面の水分を完全に除去し、その後回転ブレードの位置を隣接するダイシングラインの切断開始位置に設定する第2のダイシング工程とを有し、一枚の前記半導体ウエハのダイシングを完了するまでに、前記第1のダイシング工程及び前記第2のダイシング工程はそれぞれ複数回行われ、複数回行われる前記第2のダイシング工程のうちの一部にカーフチェック工程又はセットアップ工程が含まれることを特徴とする半導体ウエハのダイシング方法。 - 第1のダイシング工程30回以下に対し、第2のダイシング工程1回の頻度で設定することを特徴とする請求項1記載の半導体ウエハのダイシング方法。
- 前記第2のダイシング工程中での、エアー噴射ノズルから噴射されるエアーは複数のノズル孔から前記半導体ウエハ全面に噴射されて強さは風速0.1m/秒以上であり、その時の前記テーブルの相対的な移動速度は10〜70mm/秒であることを特徴とする請求項1記載の半導体ウエハのダイシング方法。
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