CN203092804U - 具有实时清洗功能的两导轮多线切割机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了具有实时清洗功能的两导轮多线切割机，包括输入机构、切割机构、若干砂浆喷管以及若干第一喷吹管，砂浆喷管和第一喷吹管上设有若干喷孔，输入机构位于切割机构的上方，输入机构包括依次固定连接的工作台、工件架以及工件板，切割机构包括两个导轮和若干钢线，两个导轮的中心轴线相互平行，导轮上设有若干相互平行的线槽，钢线通过线槽相互平行地缠绕在两个导轮上，砂浆喷管和第一喷吹管位于导轮的上方。本实用新型采用上述结构，能保证钢线的带砂能力，防止引起钢线的跳线甚至断线，避免影响硅片切割质量及成品率。

Description

具有实时清洗功能的两导轮多线切割机

技术领域

本实用新型涉及硅片加工领域，具体是一种具有实时清洗功能的两导轮多线切割机。

背景技术

多线切割技术是目前比较先进的硅片加工技术，被世界范围内绝大多数硅片生产厂家所采用。其原理是将一根极细的钢线相互平行的缠绕在两个或多个导线轮上形成一个水平的切割线网（钢线间的距离由导线轮槽距决定），切割时导线轮带动线网做高速运动，喷砂嘴持续不断地向线网喷射含有磨料的研磨浆液（通常为PEG及SiC的混合液），同时工件台以工艺要求的速度以垂直于线网的方向朝着线网运动，线网将磨料带入待加工工件区域对工件进行磨销，将硅块等硬脆材料切割成数以千计的薄片。

在整个切割过程中，线网的带砂能力及平整度对硅片的质量及成品率起着重要的作用。在实际切割过程中，随着切割的进行，会产生导向条残渣，碎硅屑，金属颗粒等杂质，这些杂质如果附着在钢线上将影响钢线的带砂能力，钢线进入硅块后，由于带砂不足及杂质的影响容易使硅片产生线痕等不良品，同时若杂质混同砂浆团聚在硅片表面也不利于硅片表面的清洁；若杂质附着在导线轮上，极易引起钢线的跳线，严重的甚至断线，影响硅片切割质量及成品率。

实用新型内容

本实用新型提供了具有实时清洗功能的两导轮多线切割机，解决了以往的两导轮多线切割机在进行切割时，钢线上常常附着杂质，影响钢线的带砂能力，进而可能导致硅片产生线痕，同时还可能引起钢线的跳线，严重的甚至断线，影响硅片切割质量及成品率的问题。

本实用新型为解决技术问题主要通过以下技术方案实现：具有实时清洗功能的两导轮多线切割机，包括输入机构、切割机构、若干砂浆喷管以及若干第一喷吹管，所述砂浆喷管和第一喷吹管上设有若干喷孔，所述输入机构位于切割机构的上方，所述输入机构包括依次固定连接的工作台、工件架以及工件板，所述切割机构包括两个导轮和若干钢线，两个导轮的中心轴线相互平行，导轮上设有若干相互平行的线槽，钢线通过线槽相互平行地缠绕在两个导轮上，所述砂浆喷管和第一喷吹管位于导轮的上方。工件板用于固定待切割的硅片，工作台带动硅片向下运动进行切割；导轮与钢线组成一个高速运行的切割带，同时砂浆喷管将研磨浆液喷在钢线上，当硅片进入切割带后，被高速运行的切割带切割成数以千计的薄片；第一喷吹管可采用压缩空气喷吹的方式，对钢线上的残渣进行喷吹清洁，确保钢线的带砂能力。

进一步地，作为优选方案，本实用新型还包括收集槽，所述收集槽位于两个导轮之间，且收集槽位于输入机构的正下方。在切割的过程中，会产生碎硅片等残渣，用收集槽收集该残渣后，能够避免其过多地附着在钢线上。

进一步地，所述两个导轮的内外侧分别设有内挡板和外挡板。内挡板和外挡板能够阻挡一部分碎屑，防止其飞溅。

更进一步地，所述外挡板与导轮之间设有至少一根第二喷吹管。第二喷吹管能够将钢线上的碎硅屑吹掉，减少钢线上附着的残渣。

所述第二喷吹管的中心轴线与导轮的中心轴线相互平行。

作为优选方案，本实用新型还包括至少一根第三喷吹管，所述第三喷吹管位于两个导轮之间，且位于导轮的中心轴线以下。第三喷吹管是为了进一步减小钢线上的残渣附着，提升钢线的带砂能力。

所述第三喷吹管的中心轴线与导轮的中心轴线相互平行。

所述砂浆喷管垂直于钢线，且砂浆喷管的长度等于或大于导轮的宽度。

所述第一喷吹管与砂浆喷管平行。

本实用新型与现有技术相比具有以下优点和有益效果：

（1）本实用新型通过设置第一喷吹管，实时地将钢线上的碎硅屑等残渣吹掉，避免残渣影响钢线的带砂能力，进而保证了硅片切割的质量，同时通过增设第二喷吹管、第三喷吹管，进一步提高清洁能力，确保钢线上的残渣被彻底吹干净。

（2）本实用新型通过设置收集槽，将硅片切割过程中产生的碎屑进行收集，防止碎屑散落或附着在钢线上，进而减小残渣对硅片切割的影响。

（3）本实用新型的第一喷水管、第二喷吹管及第三喷吹管还能对钢线起到一定的冷却降温作用，保证切割质量。

附图说明

图1为本实用新型的实施例1的结构示意图；

图2为本实用新型的实施例2的结构示意图；

图3为本实用新型的实施例3的结构示意图；

图4为本实用新型的实施例4的结构示意图；

图5为本实用新型的实施例5的立体图；

图6为本实用新型的实施例5的主视图。

具体实施方式

下面结合实施例对本实用新型作进一步的详细说明，但本实用新型的实施方式不限于此。

实施例1：

如图1所示，本实施例包括输入机构、切割机构、若干砂浆喷管5以及若干第一喷吹管8，砂浆喷管5和第一喷吹管8上设有若干喷孔，输入机构位于切割机构的上方，输入机构包括依次固定连接的工作台1、工件架2以及工件板3，切割机构包括两个导轮9和若干钢线11，两个导轮9的中心轴线相互平行，导轮9上设有若干相互平行的线槽，钢线11通过线槽相互平行地缠绕在两个导轮9上，砂浆喷管5和第一喷吹管8位于导轮9的上方。

作为优选，本实施例的砂浆喷管5垂直于钢线11，且砂浆喷管5的长度等于或大于导轮9的宽度。

另外，作为优选，本实施例的第一喷吹管8与砂浆喷管5平行。

本实施例的工作原理：导轮9带动钢线11高速运行，形成切割网，工作台1带动待切割的硅片4向下运动并逐渐与切割网接触，切割网将硅片4切割成数以千计的薄片，在切割过程中，砂浆喷管5不断地将浆液喷在钢线11上，而第一喷吹管8不断地将钢线上可能携带的碎屑等残渣吹掉，保证钢线11的带砂能力。

实施例2：

如图2所示，本实施例与实施例1基本相同，不同的地方是，本实施例在两个导轮9之间增设收集槽10，且使收集槽10位于输入机构的正下方，硅片切割产生的碎屑就直接进入到收集槽10内。

实施例3：

如图3所示，为了防止硅片碎屑飞溅，本实施例在实施例2的基础上，在两个导轮9的内外侧分别设置内挡板6和外挡板7。

实施例4：

如图4所示，为了获得更好的清洁效果，本实施例在实施例3的基础上，在外挡板7与导轮9之间设置至少一根第二喷吹管12，而作为优选，本实施例在外挡板7与导轮9之间设置一根第二喷吹管12即可；另外，为使喷吹效果更好，使第二喷吹管12的中心轴线与导轮9的中心轴线相互平行。

实施例5：

如图5及图6所示，本实施例还包括至少一根第三喷吹管13，作为优选，本实施例在两个导轮9之间设置两根第三喷吹管13，且位于导轮9的中心轴线以下。

作为优选，本实施例的第三喷吹管13的中心轴线与导轮9的中心轴线相互平行。

以上实施例中提到的喷液管的数量以及位置关系可根据需要而定，以能够符合生产要求为准；同时，以上所述的喷吹管的数量也以能够符合生产要求为准，而具体位置关系，比如是在钢线内侧还是外侧、距导轮或钢线的距离是多少，这些可根据需要而定，只要能实现本发明的目的即可。

Claims (9)

1.具有实时清洗功能的两导轮多线切割机，其特征在于：包括输入机构、切割机构、若干砂浆喷管（5）以及若干第一喷吹管（8），所述砂浆喷管（5）和第一喷吹管（8）上设有若干喷孔，所述输入机构位于切割机构的上方，所述输入机构包括依次固定连接的工作台（1）、工件架（2）以及工件板（3），所述切割机构包括两个导轮（9）和若干钢线（11），两个导轮（9）的中心轴线相互平行，导轮（9）上设有若干相互平行的线槽，钢线（11）通过线槽相互平行地缠绕在两个导轮（9）上，所述砂浆喷管（5）和第一喷吹管（8）位于导轮（9）的上方。

2.根据权利要求1所述的具有实时清洗功能的两导轮多线切割机，其特征在于：还包括收集槽（10），所述收集槽（10）位于两个导轮（9）之间，且收集槽（10）位于输入机构的正下方。

3.根据权利要求1所述的具有实时清洗功能的两导轮多线切割机，其特征在于：所述两个导轮（9）的内外侧分别设有内挡板（6）和外挡板（7）。

4.根据权利要求3所述的具有实时清洗功能的两导轮多线切割机，其特征在于：所述外挡板（7）与导轮（9）之间设有至少一根第二喷吹管（12）。

5.根据权利要求4所述的具有实时清洗功能的两导轮多线切割机，其特征在于：所述第二喷吹管（12）的中心轴线与导轮（9）的中心轴线相互平行。

6.根据权利要求1所述的具有实时清洗功能的两导轮多线切割机，其特征在于：还包括至少一根第三喷吹管（13），所述第三喷吹管（13）位于两个导轮（9）之间，且位于导轮（9）的中心轴线以下。

7.根据权利要求6所述的具有实时清洗功能的两导轮多线切割机，其特征在于：所述第三喷吹管（13）的中心轴线与导轮（9）的中心轴线相互平行。

8.根据权利要求1所述的具有实时清洗功能的两导轮多线切割机，其特征在于：所述砂浆喷管（5）垂直于钢线（11），且砂浆喷管（5）的长度等于或大于导轮（9）的宽度。

9.根据权利要求8所述的具有实时清洗功能的两导轮多线切割机，其特征在于：所述第一喷吹管（8）与砂浆喷管（5）平行。

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