CN106976167A - 金刚线切片机 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种金刚线切片机，包括具有切片室的机架、两个导线轮、金刚线和升降台，升降台上设有可拆卸的粘棒工装，粘棒工装上粘接有树脂板，树脂板上粘接有晶棒；升降台上具有T型滑槽，粘棒工装上具有T型滑轨，T型滑槽内设置有活动条，在T型滑槽的一侧壁上设置有锁紧螺栓，锁紧螺栓的内端伸入T型滑槽内与活动条相抵，T型滑轨与T型滑槽配合后，通过旋紧锁紧螺栓带动活动条移动从而将T型滑轨锁紧在T型滑槽内。本发明中的金刚线切片机在使用时，晶棒定位可靠，能保证切片精度和合格率。
Description
技术领域
本发明涉及一种金刚线切片机，属于硅晶片生产用设备。
背景技术
所谓金刚线切片机主要是利用在钢线上镶嵌微小颗粒的金刚石，从而做成金刚线，由于金刚线具有了金刚石微型锯齿，因而金刚线本身具备了切割能力，将金刚线在导线轮上织成金刚线网，然后通过金刚线网的高速运动，将晶棒切割成硅晶片的机器。
现有的金刚线切片机包括具有切片室的机架、平行设置在所述切片室内的两个导线轮、缠绕在所述的两导线轮上的金刚线和设置在所述切片室内所述金刚线上方的可上下移动的升降台，所述升降台上设有可拆卸的粘棒工装，所述粘棒工装上粘接有树脂板，所述树脂板上粘接有晶棒；所述升降台上具有沿所述导线轮轴线方向延伸的T型滑槽，所述粘棒工装上具有适于与所述T型滑槽相配合的T型滑轨，在所述T型滑槽的一侧壁上设置有锁紧螺栓，所述锁紧螺栓的内端伸入所述T型滑槽内，在将粘棒工装定位在切片室内时，先将所述T型滑轨插入所述T型滑槽内使两者相配合，然后通过旋拧锁紧螺栓将T型滑轨锁定在T型滑槽内部，锁紧螺栓的数量为三个以上。上述现有金刚线切片机存在的问题是，对粘棒工装的定位效果一般，在切片过程中粘棒工装仍有活动可能，不利于保证硅晶片的加工精度。
发明内容
对此，本发明旨在提供一种金刚线切片机，其结构合理，能有效确保粘棒工装的锁定可靠性。
实现本发明目的的技术方案是：
一种金刚线切片机，包括具有切片室的机架、平行设置在所述切片室内的两个导线轮、缠绕在所述的两导线轮上的金刚线和设置在所述切片室内所述金刚线上方的可上下移动的升降台，所述升降台上设有可拆卸的粘棒工装，所述粘棒工装上粘接有树脂板，所述树脂板上粘接有晶棒；所述升降台上具有沿所述导线轮轴线方向延伸的T型滑槽，所述粘棒工装上具有适于与所述T型滑槽相配合的T型滑轨，所述T型滑槽内一侧设置有沿T型滑槽长度方向延伸的活动条，在所述T型滑槽的一侧壁上设置有锁紧螺栓，所述锁紧螺栓的内端伸入所述T型滑槽内与所述活动条相抵，所述T型滑轨与所述T型滑槽插接配合后，通过旋紧所述锁紧螺栓带动所述活动条移动从而将T型滑轨锁紧在所述T型滑槽内；所述T型滑轨两侧设有受压斜面，所述活动条和所述T型滑槽内一侧设有分别与两受压斜面相对应的抵压斜面，旋紧所述锁紧螺栓推动所述活动条移动，进而所述抵压斜面对所述受压斜面产生抵压力将所述T型滑轨锁紧在所述T型滑槽内。
上述技术方案中，所述晶棒的下端面上粘接有沿晶棒长度方向延伸的树脂条，所述树脂条的数量为两条，两条树脂条相平行。
上述技术方案中，所述锁紧螺栓的数量至少为两个，所述的至少两个锁紧螺栓沿所述T型滑槽长度方向间隔设置。
上述技术方案中，各导线轮的外侧可拆卸设置有砂浆遮挡板。
上述技术方案中，在所述两导线轮之间所述晶棒的下方可拆卸设置有过滤板，所述过滤板上均布有过滤孔，所述过滤孔的孔径小于2mm，所述过滤板的周边具有向上凸起的环形挡边。
本发明具有积极的效果：(1)采用本发明中的结构，能够将粘棒工装可靠的定位在升降台上，从而防止在切割过程中粘棒工装活动，进而有利于保证硅晶片的加工精度。(2)本发明中通过在晶棒的下端面上粘接树脂条，在切片时金刚线先接触并切割树脂条，而后才会切割到晶棒，这样能有效防止金刚线入刀时出现轻微打滑的问题，从而保证硅晶片的加工质量。(3)本发明中通过设置砂浆遮挡板，在切片时飞溅的砂浆会被砂浆遮挡板所遮挡，避免砂浆飞溅出切片室。
附图说明
图1为本发明中金刚线切片机的结构示意图；
图2为图1中A处的局部放大视图。
图中所示附图标记为：1-切片室；2-导线轮；3-金刚线；4-升降台；41-T型滑槽；5-粘棒工装；51-T型滑轨；52-受压斜面；6-树脂板；7-晶棒；71-树脂条；8-活动条；81-抵压斜面；9-锁紧螺栓；10-砂浆遮挡板；11-过滤板。
具体实施方式
下面结合说明书附图对本发明中金刚线切片机的具体结构做以说明：
一种金刚线切片机，如图1和图2所示，其包括具有切片室1的机架、平行设置在所述切片室1内的两个导线轮2、缠绕在所述的两导线轮2上的金刚线3和设置在所述切片室1内所述金刚线3上方的可上下移动的升降台4，所述升降台4上设有可拆卸的粘棒工装5，所述粘棒工装5上粘接有树脂板6，所述树脂板6上粘接有晶棒7；所述升降台4上具有沿所述导线轮2轴线方向延伸的T型滑槽41，所述粘棒工装5上具有适于与所述T型滑槽41相配合的T型滑轨51，所述T型滑槽41内一侧设置有沿T型滑槽41长度方向延伸的活动条8，在所述T型滑槽41的一侧壁上设置有锁紧螺栓9，所述锁紧螺栓9的内端伸入所述T型滑槽41内与所述活动条8相抵，实践操作中为了对活动条8起到限位作用，可在所述活动条8上与各锁紧螺栓9对应的位置设置限位盲孔，所述各螺紧螺栓9的内端伸入相应所述限位盲孔中，该限位盲孔为圆形孔，所述T型滑轨51与所述T型滑槽41插接配合后，通过旋紧所述锁紧螺栓9带动所述活动条8移动从而将T型滑轨51锁紧在所述T型滑槽41内；所述T型滑轨51两侧设有受压斜面52，所述活动条8和所述T型滑槽41内一侧设有分别与两受压斜面52相对应的抵压斜面81；旋紧所述锁紧螺栓9推动所述活动条8移动，进而所述抵压斜面81对所述受压斜面52产生抵压力将所述T型滑轨51锁紧在所述T型滑槽41内。采用本实施例中的结构，能够将粘棒工装5可靠的锁定在升降台4上，从而防止在切割过程中粘棒工装活动，进而有利于保证硅晶片的加工精度。在锁定粘棒工装时，拧紧所述锁紧螺栓9，活动条被锁紧螺栓9推动向内移动进而抵压斜面81对受压斜面52产生抵压力使得T型滑轨51在水平方向和垂直方向均上被抵压锁定，这样一来可以将T型滑轨51在T型滑槽41内充分夹紧，从而确保粘棒工装5锁定的可靠性。
本实施例中，所述晶棒7的下端面上粘接有沿晶棒7长度方向延伸的树脂条71，所述树脂条71的数量为两条，两条树脂条71相平行，在切片时金刚线先接触并切割树脂条71，而后才会切割到晶棒7，这样能有效防止金刚线入刀时出现轻微打滑的问题，从而保证硅晶片的加工质量。
进一步，所述锁紧螺栓9的数量至少为两个，所述的至少两个锁紧螺栓9沿所述T型滑槽41长度方向间隔设置。
再进一步，如图1所示，在各导线轮2的外侧可拆卸设置(如通过卡接或螺丝的方式)有砂浆遮挡板10，在切片时飞溅的砂浆会被砂浆遮挡板10所遮挡，避免砂浆飞溅出切片室。
实践操作中，在所述两导线轮2之间所述晶棒7的下方可拆卸设置(如通过卡接或螺丝的方式)有过滤板11，所述过滤板11上均布有过滤孔，所述过滤孔的孔径小于2mm，所述过滤板11的周边具有向上凸起的环形挡边，通过过滤板11的设置能够将切割时所产生的碎片过滤，防止碎片落在下层的金刚丝上而被带入导线轮的线槽中。
显然，本发明的上述实施例仅仅是为清楚地说明本发明所作的举例，而并非是对本发明的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而这些属于本发明的实质精神所引伸出的显而易见的变化或变动仍属于本发明的保护范围。
Claims (5)
1.一种金刚线切片机，包括具有切片室(1)的机架、平行设置在所述切片室(1)内的两个导线轮(2)、缠绕在所述的两导线轮(2)上的金刚线(3)和设置在所述切片室(1)内所述金刚线(3)上方的可上下移动的升降台(4)，所述升降台(4)上设有可拆卸的粘棒工装(5)，所述粘棒工装(5)上粘接有树脂板(6)，所述树脂板(6)上粘接有晶棒(7)；其特征在于：所述升降台(4)上具有沿所述导线轮(2)轴线方向延伸的T型滑槽(41)，所述粘棒工装(5)上具有适于与所述T型滑槽(41)相配合的T型滑轨(51)，所述T型滑槽(41)内一侧设置有沿T型滑槽(41)长度方向延伸的活动条(8)，在所述T型滑槽(41)的一侧壁上设置有锁紧螺栓(9)，所述锁紧螺栓(9)的内端伸入所述T型滑槽(41)内与所述活动条(8)相抵，所述T型滑轨(51)与所述T型滑槽(41)插接配合后，通过旋紧所述锁紧螺栓(9)带动所述活动条(8)移动从而将T型滑轨(51)锁紧在所述T型滑槽(41)内；所述T型滑轨(51)两侧设有受压斜面(52)，所述活动条(8)和所述T型滑槽(41)内一侧设有分别与两受压斜面(52)相对应的抵压斜面(81)，旋紧所述锁紧螺栓(9)推动所述活动条(8)移动，进而所述抵压斜面(81)对所述受压斜面(52)产生抵压力将所述T型滑轨(51)锁紧在所述T型滑槽(41)内。
2.根据权利要求1所述的金刚线切片机，其特征在于：所述晶棒(7)的下端面上粘接有沿晶棒(7)长度方向延伸的树脂条(71)，所述树脂条(71)的数量为两条，两条树脂条(71)相平行。
3.根据权利要求1或2所述的金刚线切片机，其特征在于：所述锁紧螺栓(9)的数量至少为两个，所述的至少两个锁紧螺栓(9)沿所述T型滑槽(41)长度方向间隔设置。
4.根据权利要求1或2所述的金刚线切片机，其特征在于：各导线轮(2)的外侧可拆卸设置有砂浆遮挡板(10)。
5.根据权利要求1或2所述的金刚线切片机，其特征在于：在所述两导线轮(2)之间所述晶棒(7)的下方可拆卸设置有过滤板(11)，所述过滤板(11)上均布有过滤孔，所述过滤孔的孔径小于2mm，所述过滤板(11)的周边具有向上凸起的环形挡边。
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