CN204414389U - 一种用于金刚线切片机的进刀装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及金刚线切片机的辅助设备，旨在提供一种用于金刚线切片机的进刀装置。该种用于金刚线切片机的进刀装置包括主支撑座、导轨座、电机座、驱动电机、减速机、联轴器、丝杆、导轨、滑块、丝杆螺母座、升降平台、锁紧油缸、锁紧底板、锁紧块、限位开关、限位开关支架、限位挡板、限位挡板固定架。本实用新型采用滚珠丝杆传动，晶棒进给时运动平稳，无爬行现象；采用滚柱直线导轨，使整个装置刚度高，能承受更大的切削力。使用本实用新型切割出的硅片厚薄均匀，无线痕，无翘曲。

Description

一种用于金刚线切片机的进刀装置

技术领域

本实用新型是关于金刚线切片机的辅助设备，特别涉及一种用于金刚线切片机的进刀装置。

背景技术

单晶硅棒从单晶炉中拉制出来以后需要继续进行一系列工序，前期包括有截断、开方、磨圆角和磨平面等机械加工；接着，还需将硅棒粘胶后进行切片、清洗、倒角、腐蚀和再清洗等；最后硅片进行制绒、扩散、制结、镀膜和烧结等工序后就能制造出用于光伏发电的太阳能电池片。

切片机用于切片工序，它将磨削完成的晶棒切割成厚度在0.13～0.18mm之间的硅片。金刚线切片机利用金刚钻石线作为切割线，金刚钻石线是通过树脂粘接或电镀的方法将钻石粘附在钢线表面，金刚钻石线简称金刚线。金刚线切片机通过金刚线上的钻石与硅棒二者之间的摩擦达到切割作用。一般地，一根600mm长的晶棒一次切出近1800片硅片，切削力非常大，这就要求晶棒的进刀装置刚性足够好、负载量大。同时，进刀速度在0.1～1mm/min之间，在这样底的速度下，要求进刀装置进给时不爬行、不窜动。目前，有些切片机的进刀装置采用气缸驱动，精度低、不易控制。切割过程中，若进刀装置抖动容易造成线网断线，进给不平稳容易造成切出来的硅片出现线痕和厚薄片，这对硅片生产厂商来说都是非常大的损失。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于克服现有技术中的不足，提供一种能使晶棒进给时运动平稳、无爬行现象的进刀装置。为解决上述技术问题，本实用新型的解决方案是：

提供一种用于金刚线切片机的进刀装置，用于将待切割晶棒送入金刚线网，所述用于金刚线切片机的进刀装置包括主支撑座、导轨座、电机座、驱动电机、减速机、联轴器、丝杆、导轨、滑块、丝杆螺母座、升降平台、锁紧油缸、锁紧底板、锁紧块、限位开关、限位开关支架、限位挡板、限位挡板固定架；

所述导轨设有两根，且两根导轨对称安装在导轨座上；每根导轨上嵌套有两个滑块，滑块能沿导轨滑动，滑块固定在主支撑座上；所述驱动电机的输出端与减速机的输入端相连，减速机固定在电机座上，电机座安装在主支撑座的顶部；减速机的输出端通过联轴器与丝杆的输入端相连，丝杆与丝杆螺母座固定，丝杆螺母座安装在导轨座上；所述升降平台固定在导轨座的底部，升降平台的底部安装有锁紧组件；锁紧组件包括锁紧底板、锁紧油缸、锁紧块，锁紧底板安装在升降平台的底部，锁紧油缸安装在锁紧底板上，锁紧油缸的头部与锁紧块固定，锁紧块用于将在底部粘有待切割晶棒的晶棒架，锁在升降平台的底部；

所述限位开关支架安装在主支撑座的侧面，限位开关支架上安装有两个限位开关，限位开关用于限制升降平台的行程；所述限位挡板和限位挡板固定架各设有两块，两块限位挡板固定架分别安装在导轨座同一侧的顶部和中部，两块限位挡板分别安装在两块限位挡板固定架上。

作为进一步的改进，所述升降平台的底部安装有两组锁紧组件，即锁紧底板、锁紧油缸、锁紧块各设有两个。

作为进一步的改进，所述驱动电机采用伺服电机。

作为进一步的改进，所述丝杆采用滚珠丝杆，丝杆上带有丝杆螺母。

作为进一步的改进，所述导轨采用滚柱直线导轨。

作为进一步的改进，所述限位开关采用电磁式接近传感器。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型采用滚珠丝杆传动，晶棒进给时运动平稳，无爬行现象；采用滚柱直线导轨，使整个装置刚度高，能承受更大的切削力。使用本实用新型切割出的硅片厚薄均匀，无线痕，无翘曲。

附图说明

图1为本实用新型的三维轴侧图。

图2为本实用新型的主视图。

图3为本实用新型的剖视图。

图4为本实用新型切割晶棒示意图。

图中的附图标记为：1升降平台；2限位开关支架；3限位开关；4限位挡板；5限位挡板固定架；6导轨座；7导轨；8驱动电机；9减速机；10电机座；11滑块；12主支撑座；13联轴器；14丝杆螺母座；15丝杆；16锁紧底板；17锁紧块；18锁紧油缸；19晶棒；20晶棒架；21金刚线网。

具体实施方式

下面结合附图与具体实施方式对本实用新型作进一步详细描述：

如图1、图2、图3所示的一种用于金刚线切片机的进刀装置，包括主支撑座12、导轨座6、电机座10、驱动电机8、减速机9、联轴器13、丝杆15、导轨7、滑块11、丝杆螺母座14、升降平台1、锁紧油缸18、锁紧底板16、锁紧块17、限位开关3、限位开关支架2、限位挡板4、限位挡板固定架5。

导轨7设有两根，且两根导轨7对称安装在导轨座6上；这里的导轨7采用滚柱直线导轨，精度高，载荷大，刚性好。每根导轨7上嵌套有两个滑块11，滑块11能沿导轨7滑动，滑块11固定在主支撑座12上。驱动电机8采用伺服电机，可精确地控制升降平台1的进给速度和行程；驱动电机8的输出端与减速机9的输入端相连，减速机9固定在电机座10上，电机座10安装在主支撑座12的顶部。减速机9的输出端通过联轴器13与丝杆15的输入端相连，丝杆15与丝杆螺母座14固定，丝杆螺母座14安装在导轨座6上；这里的丝杆15采用滚珠丝杆，丝杆15上带有丝杆螺母。升降平台1固定在导轨座6的底部，升降平台1的底部安装有两组锁紧组件。如图4所示，锁紧组件包括锁紧底板16、锁紧油缸18、锁紧块17，锁紧底板16安装在升降平台1的底部，锁紧油缸18安装在锁紧底板16上，即锁紧底板16、锁紧油缸18、锁紧块17各设有两个。锁紧油缸18的头部与锁紧块17固定，锁紧块17用于将在底部粘有待切割晶棒19的晶棒架20，锁在升降平台1的底部。

限位开关支架2安装在主支撑座12的侧面，限位开关支架2上安装有两个限位开关3；限位开关3采用电磁式接近传感器，用于限制升降平台1的行程。限位挡板4和限位挡板固定架5各设有两块，两块限位挡板4固定架分别安装在导轨座6同一侧的顶部和中部，两块限位挡板4分别安装在两块限位挡板固定架5上。

工作时，驱动电机8转动带动丝杆15同步转动，使丝杆螺母座14沿着丝杆15上下移动，由于升降平台1与导轨座6相连，且导轨座6又与丝杆螺母14固定，所以驱动电机8转动可直接驱动升降平台1升降。待切割晶棒19粘在晶棒架20底部，晶棒架20由锁紧块17锁在升降平台1底部。当升降平台1向下进给时，带动晶棒19进入金刚线网21，从而达到切割晶棒19的目的。

最后，需要注意的是，以上列举的仅是本实用新型的具体实施例。显然，本实用新型不限于以上实施例，还可以有很多变形。本领域的普通技术人员能从本实用新型公开的内容中直接导出或联想到的所有变形，均应认为是本实用新型的保护范围。

Claims (6)

1.一种用于金刚线切片机的进刀装置，用于将待切割晶棒送入金刚线网，其特征在于，所述用于金刚线切片机的进刀装置包括主支撑座、导轨座、电机座、驱动电机、减速机、联轴器、丝杆、导轨、滑块、丝杆螺母座、升降平台、锁紧油缸、锁紧底板、锁紧块、限位开关、限位开关支架、限位挡板、限位挡板固定架；

所述导轨设有两根，且两根导轨对称安装在导轨座上；每根导轨上嵌套有两个滑块，滑块能沿导轨滑动，滑块固定在主支撑座上；所述驱动电机的输出端与减速机的输入端相连，减速机固定在电机座上，电机座安装在主支撑座的顶部；减速机的输出端通过联轴器与丝杆的输入端相连，丝杆与丝杆螺母座固定，丝杆螺母座安装在导轨座上；所述升降平台固定在导轨座的底部，升降平台的底部安装有锁紧组件；锁紧组件包括锁紧底板、锁紧油缸、锁紧块，锁紧底板安装在升降平台的底部，锁紧油缸安装在锁紧底板上，锁紧油缸的头部与锁紧块固定，锁紧块用于将在底部粘有待切割晶棒的晶棒架，锁在升降平台的底部；

所述限位开关支架安装在主支撑座的侧面，限位开关支架上安装有两个限位开关，限位开关用于限制升降平台的行程；所述限位挡板和限位挡板固定架各设有两块，两块限位挡板固定架分别安装在导轨座同一侧的顶部和中部，两块限位挡板分别安装在两块限位挡板固定架上。

2.根据权利要求1所述的一种用于金刚线切片机的进刀装置，其特征在于，所述升降平台的底部安装有两组锁紧组件，即锁紧底板、锁紧油缸、锁紧块各设有两个。

3.根据权利要求1所述的一种用于金刚线切片机的进刀装置，其特征在于，所述驱动电机采用伺服电机。

4.根据权利要求1所述的一种用于金刚线切片机的进刀装置，其特征在于，所述丝杆采用滚珠丝杆，丝杆上带有丝杆螺母。

5.根据权利要求1所述的一种用于金刚线切片机的进刀装置，其特征在于，所述导轨采用滚柱直线导轨。

6.根据权利要求1所述的一种用于金刚线切片机的进刀装置，其特征在于，所述限位开关采用电磁式接近传感器。