CN110176416A - 一种具有除尘功能的高效型芯片拾取设备 - Google Patents

一种具有除尘功能的高效型芯片拾取设备 Download PDF

Info

Publication number
CN110176416A
CN110176416A CN201910378574.5A CN201910378574A CN110176416A CN 110176416 A CN110176416 A CN 110176416A CN 201910378574 A CN201910378574 A CN 201910378574A CN 110176416 A CN110176416 A CN 110176416A
Authority
CN
China
Prior art keywords
motor
workbench
cylinder
fixed
picking
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201910378574.5A
Other languages
English (en)
Other versions
CN110176416B (zh
Inventor
陈科
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Zhongyi (Hangzhou) Pharmaceutical Technology Co.,Ltd.
Original Assignee
Shenzhen Intelligent CAD CAM Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shenzhen Intelligent CAD CAM Technology Co Ltd filed Critical Shenzhen Intelligent CAD CAM Technology Co Ltd
Priority to CN201910378574.5A priority Critical patent/CN110176416B/zh
Publication of CN110176416A publication Critical patent/CN110176416A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN110176416B publication Critical patent/CN110176416B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B13/00—Accessories or details of general applicability for machines or apparatus for cleaning
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B5/00—Cleaning by methods involving the use of air flow or gas flow
    • B08B5/02—Cleaning by the force of jets, e.g. blowing-out cavities
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67271—Sorting devices
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67748—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber horizontal transfer of a single workpiece

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

本发明涉及一种具有除尘功能的高效型芯片拾取设备，包括顶板、检测装置、工作台、支撑机构和两个支架，工作台上设有拾取机构，工作台的上方设有除尘机构，拾取机构包括传送带、第一气缸、连接条和拾取组件，拾取组件包括若干拾取单元，拾取单元包括竖板和支撑板，除尘机构包括移动组件、第一电机、转杆和风机，移动组件包括滑轨、移动块、齿条和驱动单元，驱动单元包括连接杆、第二电机和齿轮，该具有除尘功能的高效型芯片拾取设备，通过拾取机构一次拾取多个芯片，改善了拾取效率更高，不仅如此，通过除尘机构对芯片表面进行除尘，与提高了实用性。

Description

一种具有除尘功能的高效型芯片拾取设备
技术领域
本发明涉及芯片拾取设备领域，特别涉及一种具有除尘功能的高效型芯片拾取设备。
背景技术
半导体芯片是将不同尺寸的晶片切断成所定大小，为了不使得切断时切断的半导体芯片零乱，晶片在背面粘接具有粘接性的保持带，由晶片切断装置等从表面侧切断晶片，此时，粘接在背面的保持带虽然被切入一部分，但没有被切断，以此保持各半导体芯片的状态，接着，芯片拾取机从保持带上拾取被切断的各半导体芯片，拾取过程中，芯片首先从晶圆上被顶起，随后通过吸嘴吸附芯片表面，实现剥离并转移。
现有的芯片拾取机在拾取芯片时需要吸嘴将检测合格的芯片一个一个吸附并转移，拾取效率较低，不仅如此，现有的芯片拾取机在拾取芯片时容易有灰尘落到芯片表面，影响芯片的使用，而无法除去这些灰尘，降低了实用性。
发明内容
本发明要解决的技术问题是：为了克服现有技术的不足，提供一种具有除尘功能的高效型芯片拾取设备。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种具有除尘功能的高效型芯片拾取设备，包括顶板、检测装置、工作台、支撑机构和两个支架，所述顶板架设在两个支架的上方，所述检测装置固定在顶板的下方，所述工作台的两侧分别与两个支架固定连接，所述工作台的中心处设有开口，所述支撑机构设置在开口的下方，两个支架中，其中一个支架上设有控制器，所述工作台上设有拾取机构，所述工作台的上方设有除尘机构，所述控制器内设有PLC，所述检测装置与PLC电连接；
所述拾取机构包括传送带、第一气缸、连接条和拾取组件，所述传送带位于工作台上的与支架垂直的一侧，所述第一气缸的缸体水平固定在传送带的上方，所述第一气缸与传送带垂直，所述第一气缸的气杆与连接条的中心处固定连接，所述拾取组件包括若干拾取单元，所述拾取单元均匀分布在连接条的远离第一气缸的一侧，所述拾取单元包括竖板和支撑板，所述竖杆与连接条固定连接，所述支撑板水平固定在竖板的上方，所述第一气缸与PLC电连接；
所述除尘机构包括移动组件、第一电机、转杆和风机，所述移动组件设置在两个支架之间，所述第一电机与滑动组件连接，所述第一电机向下设置，所述第一电机与转杆的一端传动连接，所述风机固定在转杆的另一端，所述风机倾斜向下设置，所述第一电机和风机均与PLC电连接。
作为优选，为了调整风机在水平方向上的位置，所述移动组件包括滑轨、移动块、齿条和驱动单元，所述滑轨的两端分别与两个支架固定连接，所述移动块设置在滑轨内，所述移动块与滑轨滑动连接，所述齿条与移动块的远离滑轨的一侧固定连接，所述第一电机固定在齿条的下方，所述驱动单元与滑轨的上方连接。
作为优选，为了驱动齿条移动，所述驱动单元包括连接杆、第二电机和齿轮，所述第二电机通过连接杆固定在滑轨的上方，所述第二电机与齿轮传动连接，所述齿轮与齿条啮合，所述第二电机与PLC电连接。
作为优选，为了防止移动块脱离滑轨，所述滑轨为燕尾槽。
作为优选，为了检测第一气缸到芯片之间的距离，所述第一气缸上固定有距离传感器，所述距离传感器与PLC电连接。
作为优选，为了减轻支撑板对芯片的磨损，所述支撑板的上方涂有橡胶。
作为优选，为了防止在拾取过程中灰尘落到芯片表面，所述拾取组件的上方设有玻璃罩，所述玻璃罩与连接条固定连接。
作为优选，为了将检验合格的芯片顶起，所述支撑机构包括固定板和若干支撑组件，所述固定板设置在工作台的下方，所述固定板的两端分别固定在两个支架上，所述支撑组件均匀分布在开口的下方，所述支撑组件包括第二气缸和顶针，所述第二气缸的缸体固定在固定板上，所述第二气缸的气杆与顶针固定连接，所述第二气缸与PLC电连接。
作为优选，为了固定保持带，所述工作台上设有固定机构，所述固定机构包括四个固定组件，四个固定组件分别位于工作台的上方的四角，所述固定组件包括第三电机、丝杆、压块和限位单元，所述第三电机位于工作台的上方，所述第三电机向下设置，所述第三电机与丝杆传动连接，所述丝杆竖向设置，所述压块套设在丝杆的底端，所述压块的与丝杆的连接处设有与丝杆匹配的螺纹，所述限位单元与压块连接，所述第三电机与PLC电连接，所述丝杆到工作台的最短距离小于压块在竖直方向上的长度。
作为优选，为了限制压块的移动方向，所述限位单元包括限位环和限位杆，所述第三电机通过限位杆固定在工作台的上方，所述限位环与压块固定连接，所述限位环套设在限位杆上。
本发明的有益效果是，该具有除尘功能的高效型芯片拾取设备，通过拾取机构一次拾取多个芯片，与现有的拾取机构相比，该拾取机构拾取效率更高，节省了拾取所有合格芯片的时间，不仅如此，通过除尘机构对芯片表面进行除尘，与现有的除尘机构相比，提高了芯片表面的清洁度，减轻了灰尘对芯片使用的影响，从而提高了实用性。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
图1是本发明的具有除尘功能的高效型芯片拾取设备的结构示意图；
图2是本发明的具有除尘功能的高效型芯片拾取设备的拾取机构的结构示意图；
图3是本发明的具有除尘功能的高效型芯片拾取设备的除尘机构的结构示意图；
图4是本发明的具有除尘功能的高效型芯片拾取设备的固定组件的结构示意图；
图中：1.顶板，2.检测装置，3.工作台，4.支架，5.控制器，6.传送带，7.第一气缸，8.连接条，9.竖板，10.支撑板，11.玻璃罩，12.滑轨，13.移动块，14.齿条，15.连接杆，16.第二电机，17.齿轮，18.第一电机，19.风机，20.转杆，21.丝杆，22.压块，23.第三电机，24.限位杆，25.限位环，26.第二气缸，27.顶针，28.固定板，29.距离传感器。
具体实施方式
现在结合附图对本发明作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本发明的基本结构，因此其仅显示与本发明有关的构成。
如图1所示，一种具有除尘功能的高效型芯片拾取设备，包括顶板1、检测装置2、工作台3、支撑机构和两个支架4，所述顶板1架设在两个支架4的上方，所述检测装置2固定在顶板1的下方，所述工作台3的两侧分别与两个支架4固定连接，所述工作台3的中心处设有开口，所述支撑机构设置在开口的下方，两个支架4中，其中一个支架4上设有控制器5，所述工作台3上设有拾取机构，所述工作台3的上方设有除尘机构，所述控制器5内设有PLC，所述检测装置2与PLC电连接；
PLC，即可编程逻辑控制器，它采用一类可编程的存储器，用于其内部存储程序，执行逻辑运算、顺序控制、定时、计数与算术操作等面向用户的指令，并通过数字或模拟式输入/输出控制各种类型的机械或生产过程，其实质是一种专用于工业控制的计算机，其硬件结构基本上与微型计算机相同，一般用于数据的处理以及指令的接收和输出，用于实现中央控制。
用户将带有芯片的保持带固定到工作台3上，检测装置2对芯片进行检测，并发送信号给PLC，PLC收到信号后控制支撑机构将合格的芯片顶起，合格的芯片经过除尘机构吹去灰尘，再由拾取机构拾取。
如图2所示，所述拾取机构包括传送带6、第一气缸7、连接条8和拾取组件，所述传送带6位于工作台3上的与支架4垂直的一侧，所述第一气缸7的缸体水平固定在传送带6的上方，所述第一气缸7与传送带6垂直，所述第一气缸7的气杆与连接条8的中心处固定连接，所述拾取组件包括若干拾取单元，所述拾取单元均匀分布在连接条8的远离第一气缸7的一侧，所述拾取单元包括竖板9和支撑板10，所述竖杆与连接条8固定连接，所述支撑板10水平固定在竖板9的上方，所述第一气缸7与PLC电连接；
实际上，传送带6是由电动机驱动的，所述电动机与PLC电连接，PLC控制电动机驱动传送带6转动，带动第一气缸7的缸体平移，PLC再控制第一气缸7的气杆带动连接条8移动，通过拾取组件与支撑机构的配合，将合格的芯片都移动到支撑板10上，然后PLC再控制第一气缸7的气杆收回，通过电动机驱动传送带6转动，带动拾取组件传送芯片。
如图3所示，所述除尘机构包括移动组件、第一电机18、转杆20和风机19，所述移动组件设置在两个支架4之间，所述第一电机18与滑动组件连接，所述第一电机18向下设置，所述第一电机18与转杆20的一端传动连接，所述风机固定在转杆20的另一端，所述风机19倾斜向下设置，所述第一电机18和风机19均与PLC电连接。
通过移动组件调整风机19的水平位置，再由PLC控制第一电机24驱动转杆20转动，带动风机19转动，同时PLC控制风机19对芯片吹风，从而将芯片上的灰尘吹走。
作为优选，为了调整风机19在水平方向上的位置，所述移动组件包括滑轨12、移动块13、齿条14和驱动单元，所述滑轨12的两端分别与两个支架4固定连接，所述移动块13设置在滑轨12内，所述移动块13与滑轨12滑动连接，所述齿条14与移动块13的远离滑轨12的一侧固定连接，所述第一电机18固定在齿条14的下方，所述驱动单元与滑轨12的上方连接。
作为优选，为了驱动齿条14移动，所述驱动单元包括连接杆15、第二电机16和齿轮17，所述第二电机16通过连接杆15固定在滑轨12的上方，所述第二电机16与齿轮17传动连接，所述齿轮17与齿条14啮合，所述第二电机16与PLC电连接。
PLC控制第二电机16驱动齿轮17转动，带动齿条14移动，使第一电机18、转杆20和风机19跟着移动，从而调节风机19的水平位置，同时随着齿条14移动，移动块13在滑轨12内滑动，从而限制了齿条14的移动方向。
作为优选，为了防止移动块13脱离滑轨12，所述滑轨12为燕尾槽
作为优选，为了检测第一气缸7到芯片之间的距离，所述第一气缸7上固定有距离传感器29，所述距离传感器29与PLC电连接。
距离传感器29检测第一气缸7到芯片之间的距离并发送给PLC，PLC收到信号后控制第一气缸7的气杆移动，便于拾取组件拾取芯片。
作为优选，为了减轻支撑板10对芯片的磨损，所述支撑板10的上方涂有橡胶。
作为优选，为了防止在拾取过程中灰尘落到芯片表面，所述拾取组件的上方设有玻璃罩11，所述玻璃罩11与连接条8固定连接。
作为优选，为了将检验合格的芯片顶起，所述支撑机构包括固定板28和若干支撑组件，所述固定板28设置在工作台3的下方，所述固定板28的两端分别固定在两个支架4上，所述支撑组件均匀分布在开口的下方，所述支撑组件包括第二气缸26和顶针27，所述第二气缸26的缸体固定在固定板28上，所述第二气缸26的气杆与顶针27固定连接，所述第二气缸26与PLC电连接。
PLC控制第二气缸26的气杆上移，带动顶针27将合格的芯片顶起，使芯片的高度位于支撑板10的高度和玻璃罩11的高度之间，然后PLC控制第一气缸7的气杆向靠近芯片的方向移动，使各拾取单元从各顶针27之间的空隙中穿过，然后PLC控制第二气缸26的气杆向下移动，使芯片移动到支撑板10上，顶针27继续下移，然后PLC控制第一气缸7的气杆收回，传送带6带动第一气缸7和拾取组件移动从而传送芯片。
如图4所示，所述工作台3上设有固定机构，所述固定机构包括四个固定组件，四个固定组件分别位于工作台3的上方的四角，所述固定组件包括第三电机23、丝杆21、压块22和限位单元，所述第三电机23位于工作台3的上方，所述第三电机23向下设置，所述第三电机23与丝杆21传动连接，所述丝杆21竖向设置，所述压块22套设在丝杆21的底端，所述压块22的与丝杆21的连接处设有与丝杆21匹配的螺纹，所述限位单元与压块22连接，所述第三电机23与PLC电连接，所述丝杆21到工作台3的最短距离小于压块22在竖直方向上的长度。
用户将保持带的四角分别放到各压块22和工作台3的空隙中，PLC控制第三电机23驱动丝杆21转动，使压块22向下移动，从而固定保持带。
作为优选，为了限制压块22的移动方向，所述限位单元包括限位环25和限位杆24，所述第三电机23通过限位杆24固定在工作台3的上方，所述限位环25与压块22固定连接，所述限位环25套设在限位杆24上。
压块22移动的同时，限位环25沿着限位杆24移动，从而限制压块22的移动方向，同时限位杆24还起到支撑第三电机23的作用。
用户将带有芯片的保持带固定到工作台3上，检测装置2对芯片检测后发送信号给PLC，PLC收到信号后控制各合格的芯片的下方的第二气缸26的气杆上移，带动顶针27将合格的芯片顶起，PLC控制第二电机16驱动齿轮17转动，带动齿条14移动，移动块13在滑轨12内滑动限制齿条14移动的方向，同时PLC控制第一电机18驱动转杆20转动，带动风机19转动，PLC控制风机19对芯片吹风，从而实现除尘的功能，然后PLC控制第二气缸26的气杆调节芯片的高度，使芯片的高度位于支撑板10的高度和玻璃罩11的高度之间，然后PLC控制第一气缸7的气杆向靠近芯片的方向移动，使各竖板9和支撑板10从各顶针27之间的空隙中穿过，然后PLC控制第二气缸26的气杆向下移动，使芯片移动到支撑板10上，顶针27继续下移，然后PLC控制第一气缸7的气杆收回，传送带6带动第一气缸7和拾取组件移动从而传送芯片。
与现有技术相比，该具有除尘功能的高效型芯片拾取设备，通过拾取机构一次拾取多个芯片，与现有的拾取机构相比，该拾取机构拾取效率更高，节省了拾取所有合格芯片的时间，不仅如此，通过除尘机构对芯片表面进行除尘，与现有的除尘机构相比，提高了芯片表面的清洁度，减轻了灰尘对芯片使用的影响，从而提高了实用性。
以上述依据本发明的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项发明技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项发明的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。

Claims (10)

1.一种具有除尘功能的高效型芯片拾取设备，包括顶板(1)、检测装置(2)、工作台(3)、支撑机构和两个支架(4)，所述顶板(1)架设在两个支架(4)的上方，所述检测装置(2)固定在顶板(1)的下方，所述工作台(3)的两侧分别与两个支架(4)固定连接，所述工作台(3)的中心处设有开口，所述支撑机构设置在开口的下方，两个支架(4)中，其中一个支架(4)上设有控制器(5)，其特征在于，所述工作台(3)上设有拾取机构，所述工作台(3)的上方设有除尘机构，所述控制器(5)内设有PLC，所述检测装置(2)与PLC电连接；
所述拾取机构包括传送带(6)、第一气缸(7)、连接条(8)和拾取组件，所述传送带(6)位于工作台(3)上的与支架(4)垂直的一侧，所述第一气缸(7)的缸体水平固定在传送带(6)的上方，所述第一气缸(7)与传送带(6)垂直，所述第一气缸(7)的气杆与连接条(8)的中心处固定连接，所述拾取组件包括若干拾取单元，所述拾取单元均匀分布在连接条(8)的远离第一气缸(7)的一侧，所述拾取单元包括竖板(9)和支撑板(10)，所述竖杆与连接条(8)固定连接，所述支撑板(10)水平固定在竖板(9)的上方，所述第一气缸(7)与PLC电连接；
所述除尘机构包括移动组件、第一电机(18)、转杆(20)和风机(19)，所述移动组件设置在两个支架(4)之间，所述第一电机(18)与滑动组件连接，所述第一电机(18)向下设置，所述第一电机(18)与转杆(20)的一端传动连接，所述风机固定在转杆(20)的另一端，所述风机(19)倾斜向下设置，所述第一电机(18)和风机(19)均与PLC电连接。
2.如权利要求1所述的具有除尘功能的高效型芯片拾取设备，其特征在于，所述移动组件包括滑轨(12)、移动块(13)、齿条(14)和驱动单元，所述滑轨(12)的两端分别与两个支架(4)固定连接，所述移动块(13)设置在滑轨(12)内，所述移动块(13)与滑轨(12)滑动连接，所述齿条(14)与移动块(13)的远离滑轨(12)的一侧固定连接，所述第一电机(18)固定在齿条(14)的下方，所述驱动单元与滑轨(12)的上方连接。
3.如权利要求2所述的具有除尘功能的高效型芯片拾取设备，其特征在于，所述驱动单元包括连接杆(15)、第二电机(16)和齿轮(17)，所述第二电机(16)通过连接杆(15)固定在滑轨(12)的上方，所述第二电机(16)与齿轮(17)传动连接，所述齿轮(17)与齿条(14)啮合，所述第二电机(16)与PLC电连接。
4.如权利要求3所述的具有除尘功能的高效型芯片拾取设备，其特征在于，所述滑轨(12)为燕尾槽。
5.如权利要求1所述的具有除尘功能的高效型芯片拾取设备，其特征在于，所述第一气缸(7)上固定有距离传感器(29)，所述距离传感器(29)与PLC电连接。
6.如权利要求1所述的具有除尘功能的高效型芯片拾取设备，其特征在于，所述支撑板(10)的上方涂有橡胶。
7.如权利要求1所述的具有除尘功能的高效型芯片拾取设备，其特征在于，所述拾取组件的上方设有玻璃罩(11)，所述玻璃罩(11)与连接条(8)固定连接。
8.如权利要求1所述的具有除尘功能的高效型芯片拾取设备，其特征在于，所述支撑机构包括固定板(28)和若干支撑组件，所述固定板(28)设置在工作台(3)的下方，所述固定板(28)的两端分别固定在两个支架(4)上，所述支撑组件均匀分布在开口的下方，所述支撑组件包括第二气缸(26)和顶针(27)，所述第二气缸(26)的缸体固定在固定板(28)上，所述第二气缸(26)的气杆与顶针(27)固定连接，所述第二气缸(26)与PLC电连接。
9.如权利要求1所述的具有除尘功能的高效型芯片拾取设备，其特征在于，所述工作台(3)上设有固定机构，所述固定机构包括四个固定组件，四个固定组件分别位于工作台(3)的上方的四角，所述固定组件包括第三电机(23)、丝杆(21)、压块(22)和限位单元，所述第三电机(23)位于工作台(3)的上方，所述第三电机(23)向下设置，所述第三电机(23)与丝杆(21)传动连接，所述丝杆(21)竖向设置，所述压块(22)套设在丝杆(21)的底端，所述压块(22)的与丝杆(21)的连接处设有与丝杆(21)匹配的螺纹，所述限位单元与压块(22)连接，所述第三电机(23)与PLC电连接，所述丝杆(21)到工作台(3)的最短距离小于压块(22)在竖直方向上的长度。
10.如权利要求9所述的具有除尘功能的高效型芯片拾取设备，其特征在于，所述限位单元包括限位环(25)和限位杆(24)，所述第三电机(23)通过限位杆(24)固定在工作台(3)的上方，所述限位环(25)与压块(22)固定连接，所述限位环(25)套设在限位杆(24)上。
CN201910378574.5A 2019-05-08 2019-05-08 一种具有除尘功能的芯片拾取设备 Active CN110176416B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910378574.5A CN110176416B (zh) 2019-05-08 2019-05-08 一种具有除尘功能的芯片拾取设备

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910378574.5A CN110176416B (zh) 2019-05-08 2019-05-08 一种具有除尘功能的芯片拾取设备

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN110176416A true CN110176416A (zh) 2019-08-27
CN110176416B CN110176416B (zh) 2021-09-03

Family

ID=67691342

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201910378574.5A Active CN110176416B (zh) 2019-05-08 2019-05-08 一种具有除尘功能的芯片拾取设备

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN110176416B (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110783235A (zh) * 2019-11-04 2020-02-11 黄倩倩 一种基于光感元件的led晶片检测挑拣设备
CN113252555A (zh) * 2020-02-07 2021-08-13 由田新技股份有限公司 用于除尘的承载装置、检测装置、输送装置及除尘装置
CN115069684A (zh) * 2022-07-21 2022-09-20 山东睿芯半导体科技有限公司 芯片自动除尘设备

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009253019A (ja) * 2008-04-07 2009-10-29 Denso Corp 半導体チップのピックアップ装置及び半導体チップのピックアップ方法
JP2014099652A (ja) * 2014-02-05 2014-05-29 Fuji Mach Mfg Co Ltd 部品供給装置
CN104117505A (zh) * 2013-04-25 2014-10-29 夏普株式会社 自动清洁设备
KR20160060423A (ko) * 2014-11-20 2016-05-30 서우테크놀로지 주식회사 반도체 스트립 그라인더
CN105642613A (zh) * 2015-12-31 2016-06-08 天津市东方龙光电测控技术有限公司 吹扫式防尘设备
CN206334905U (zh) * 2016-11-03 2017-07-18 江苏大亿智能科技有限公司 改进的自动工业清洗装置
CN108273774A (zh) * 2018-01-19 2018-07-13 德淮半导体有限公司 清洁装置及清洁方法、晶圆加工装置及加工方法
CN108899270A (zh) * 2018-07-11 2018-11-27 陈涛 一种芯片生产方法

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009253019A (ja) * 2008-04-07 2009-10-29 Denso Corp 半導体チップのピックアップ装置及び半導体チップのピックアップ方法
CN104117505A (zh) * 2013-04-25 2014-10-29 夏普株式会社 自动清洁设备
JP2014099652A (ja) * 2014-02-05 2014-05-29 Fuji Mach Mfg Co Ltd 部品供給装置
KR20160060423A (ko) * 2014-11-20 2016-05-30 서우테크놀로지 주식회사 반도체 스트립 그라인더
CN105642613A (zh) * 2015-12-31 2016-06-08 天津市东方龙光电测控技术有限公司 吹扫式防尘设备
CN206334905U (zh) * 2016-11-03 2017-07-18 江苏大亿智能科技有限公司 改进的自动工业清洗装置
CN108273774A (zh) * 2018-01-19 2018-07-13 德淮半导体有限公司 清洁装置及清洁方法、晶圆加工装置及加工方法
CN108899270A (zh) * 2018-07-11 2018-11-27 陈涛 一种芯片生产方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110783235A (zh) * 2019-11-04 2020-02-11 黄倩倩 一种基于光感元件的led晶片检测挑拣设备
CN113252555A (zh) * 2020-02-07 2021-08-13 由田新技股份有限公司 用于除尘的承载装置、检测装置、输送装置及除尘装置
CN115069684A (zh) * 2022-07-21 2022-09-20 山东睿芯半导体科技有限公司 芯片自动除尘设备
CN115069684B (zh) * 2022-07-21 2022-10-28 山东睿芯半导体科技有限公司 芯片自动除尘设备

Also Published As

Publication number Publication date
CN110176416B (zh) 2021-09-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107791011B (zh) 一种全纹螺柱自动化装配系统及方法
CN110176416A (zh) 一种具有除尘功能的高效型芯片拾取设备
CN106601659B (zh) 新型晶圆转移装置
CN105798609A (zh) 限位开关组装机
CN108282991A (zh) 一种自动化pcb板生产线
CN106060531B (zh) 一种全自动四工位摄像头测试机
CN207954349U (zh) 一种硅棒自动粘棒系统
CN107737774A (zh) 键盘全自动拆卸清洗机
CN109048339A (zh) 一种齿轮滚针全自动组装设备
CN109048268A (zh) 一种齿轮滚针全自动组装生产方法
CN104175213B (zh) 智能机械手
CN105666130B (zh) 绳扣全自动组装机
CN103972590A (zh) 卷绕机的自动收料和装盘装置
CN109462756A (zh) 一种摄像头模组自动检测机
CN105057222A (zh) 一种物料柔性分拣系统
CN108507518A (zh) 一种锂电池检验设备
CN108598592A (zh) 锂电池检验设备
CN110116905A (zh) 物料搬运装置
CN207698531U (zh) 一种硅棒存储用立体库系统
CN203887493U (zh) 一种全自动拧螺丝机
CN114653622A (zh) Led和半导体激光器芯片分选机控制方法及分选机
CN105242194B (zh) 一种用于设有视觉定位系统的电路板测试系统
CN206148784U (zh) 一种多工位碳刷自动装配机
CN109911612A (zh) 一种便于更换的自动化程度高的芯片拾取设备
CN207954348U (zh) 一种自动粘棒机

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
TA01 Transfer of patent application right

Effective date of registration: 20210803

Address after: 311200 room 602, 6th floor, building 1, No.111, Hongxing Road, economic and Technological Development Zone, Xiaoshan District, Hangzhou City, Zhejiang Province

Applicant after: Zhongyi (Hangzhou) Pharmaceutical Technology Co.,Ltd.

Address before: 518000 room 209, SED science and technology building, 1 Nanshan District science and technology road, Shenzhen, Guangdong.

Applicant before: SHENZHEN ZHONGKE ZHICHENG TECHNOLOGY Co.,Ltd.

TA01 Transfer of patent application right
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant