KR101455935B1 - 태양전지용 웨이퍼 수분제거이송장치 - Google Patents

Abstract

태양전지용 웨이퍼 수분제거이송장치가 개시된다. 본 발명은 스플리터로부터 카세트로 이송되는 웨이퍼의 수분을 중앙과 에지로 각각 분사하는 에어 노즐을 설치하여 카세트에 수용되기 전에 웨이퍼의 수분을 완전히 제거하여 웨이퍼가 수분에 의해 점착되어 서로 들러 붙는 것을 방지할 수 있는 태양전지용 웨이퍼 수분제거이송장치에 관한 것이다. 본 발명에 의한 태양전지용 웨이퍼 수분제거이송장치는 롤러들이 일정 간격으로 배열 설치되어 스플리터로부터 웨이퍼를 전달받아 카세트로 이송시키는 이송컨베이어와, 상기 이송컨베이어에서 이송되는 웨이퍼의 중앙부에 상기 웨이퍼 이송방향과 평행한 방향으로 에어를 분사하는 중앙노즐과, 상기 중앙노즐 양 옆에 인접하여 설치되어 상기 웨이퍼의 이송방향에 대하여 일정각도 기울어져 외측방향으로 에어를 분사하는 에지노즐을 포함한다.

Description

태양전지용 웨이퍼 수분제거이송장치 {Apparatus moving and drying wafer for solar battery}

본 발명은 태양전지용 웨이퍼 수분제거이송장치에 관한 것으로, 더욱 상세히는 스플리터로부터 카세트로 이송되는 웨이퍼의 수분을 중앙과 에지로 각각 분사하는 에어 노즐을 설치하여 카세트에 수용되기 전에 웨이퍼의 수분을 완전히 제거하여 웨이퍼가 수분에 의해 점착되어 서로 들러 붙는 것을 방지할 수 있는 태양전지용 웨이퍼 수분제거이송장치에 관한 것이다.

일반적으로 웨이퍼는 반도체의 재료가 되는 얇은 원판으로 실리콘을 녹여 만든 잉곳형태의 덩어리를 소잉가공으로 얇게 절단하여 제조되며, 소잉가공을 거쳐 절단된 웨이퍼들은 여러 장의 웨이퍼가 서로 겹쳐진 상태로 양산된다.

이렇게 서로 겹쳐져 붙어 있는 여러 장의 얇은 웨이퍼들을 태양전지 또는 반도체기판 등으로 제조하기 위해서는 웨이퍼다발로부터 낱장 웨이퍼로 한 장씩 분리시켜 후공정으로 이송시켜야 한다.

그런데 웨이퍼는 두께가 160~200㎛로 매우 얇고 부서지기 쉬운 성질을 가지고, 각각의 웨이퍼들이 서로 달라붙는 점착력을 가지기 있어 파손, 흡집, 자국 등이 쉬워 낱장 분리가 어렵고 까다롭다.

이러한 웨이퍼들은 후공정을 위하여 컨베이어 이송장치에 의해 카세트로 이송되어 적재되는데, 웨이퍼가 컨베이어를 통과하여 카세트에 삽입될 때 웨이퍼 위의 많은 물기로 인하여 이전 피치(pitch)에 삽입되어 있는 웨이퍼와 붙는 현상이 발생되고, 이로 인하여 웨이퍼가 카세트에 완전히 삽입되지 못하면서 불량 발생 위험이 높아지는 문제점이 있다.

또, 웨이퍼가 카세트에 완전히 삽입되지 않고 상승될 경우, 그 뒤에 진입해서 들어오는 웨이퍼와 충돌 또는 붙는 현상이 발생되어 칩이나 크랙 유발의 원인이 되는 문제점이 있다.

대한민국 등록특허공보 10-1167033

본 발명은 전술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 스플리터로부터 슬라이싱되어 카세트로 이송되는 웨이퍼의 이송장비에 웨이퍼 상에 노즐을 사용하여 유체를 분사함으로써 그 수분을 제거할 수 있는 태양전지용 웨이퍼 수분제거이송장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

상기한 목적을 달성하기 위한 구체적인 수단으로서 본 발명은, 롤러들이 일정 간격으로 배열 설치되어 스플리터로부터 웨이퍼를 전달받아 카세트로 이송시키는 이송컨베이어와, 상기 이송컨베이어에서 이송되는 웨이퍼의 중앙부에 상기 웨이퍼 이송방향과 평행한 방향으로 유체를 분사하는 중앙노즐과, 상기 중앙노즐 양 옆에 인접하여 설치되어 상기 웨이퍼의 이송방향에 대하여 일정각도 기울어져 외측방향으로 유체를 분사하는 에지노즐을 포함한다.

바람직하게는, 상기 중앙노즐은 상기 에지노즐보다 앞쪽에 설치되어 웨이퍼에 유체를 먼저 분사한다.

바람직하게는, 상기 중앙노즐 및 에지노즐은 유체 유입구보다 분출구의 폭이 크게 형성된다.

바람직하게는, 상기 에지노즐은 상기 중앙노즐에 대하여 10-45도 기울어져 설치된다.

바람직하게는, 상기 중앙노즐과 에지노즐은 각각 두 개씩 설치된다.

바람직하게는, 상기 중앙노즐과 에지노즐은 각각 개별적으로 분사 압력이 조절 가능하다.

상기한 바와 같은 본 발명에 의하면 다음과 같은 효과가 있다.

본 발명에 의한 태양전지용 웨이퍼 수분제거이송장치는 스플리터로부터 이송되는 수분이 남아 있는 웨이퍼에 유체를 분사하여 그 수분을 깨끗이 제거함으로써 카세트 적재 전후에 웨이퍼 간에 점착되는 현상을 미연에 방지하여 불량 유발을 최소화할 수 있는 효과를 제공한다.

도 1은 본 발명에 의한 태양전지용 웨이퍼 수분제거이송장치의 개략적인 구성도이다.
도 2는 본 발명에 의한 태양전지용 웨이퍼 수분제거이송장치의 측면도이다.
도 3은 본 발명에 의한 태양전지용 웨이퍼 수분제거이송장치의 일부 구성요소인 노즐들이 설치된 사시도이다.

상술한 본 발명의 목적, 특징 및 장점은 다음의 상세한 설명을 통하여 보다 분명해질 것이다. 이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.

본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 태양전지용 웨이퍼 수분제거이송장치는 도 1내지 도 3을 참고하면, 롤러들(31)이 일정 간격으로 배열 설치되어 스플리터로부터 웨이퍼(W)를 전달받아 카세트로 이송시키는 이송컨베이어(30)와, 상기 이송컨베이어(30)에서 이송되는 웨이퍼(W)의 중앙부에 상기 웨이퍼(W) 이송방향과 평행한 방향으로 에어를 분사하는 중앙노즐(41)과, 상기 중앙노즐(41) 양 옆에 인접하여 설치되어 상기 웨이퍼(W)의 이송방향에 대하여 일정각도 기울어져 외측방향으로 에어를 분사하는 에지노즐(42)로 구성된다. 상기 중앙노즐(41)과 에지노즐(42)은 노즐유닛(40)을 구성한다.

스플리터에서 슬라이싱되어 수조(10)에 담겨 있는 웨이퍼(W)들이 도 1에 도시된 바와 같이 캐리어(20)에서부터 롤러(21)의 동작에 의해 하나씩 상기 이송컨베이어(30)로 올라타게 된다. 그 웨이퍼(W)들은 이송컨베이어(30)의 롤러(31)들의 회전에 의해 화살표 방향으로 이송되어 카세트까지 이송된 다음 적재된다.

상기 이송컨베이어(30)는 통상 롤러(31)들이 일정간격으로 배열되어 있고, 롤러(31) 중에 일정한 롤러에만 구동모터가 연결되어 회전되도록 되어 있다. 따라서 각 구동모터의 제어에 의해 웨이퍼(W)의 그 구간에서의 이송속도가 제어된다. 물론 구동모터에 연결되지 않은 롤러들은 아이들 상태이다.

상기 중앙노즐(41)은 두 개가 웨이퍼(W)의 중앙을 중심으로 대칭되게 설치되어 있고, 중앙노즐(41)에 의해 웨이퍼(W) 중앙에 있던 수분들이 제거된다. 이러한 중앙노즐(41)은 각각 그 분사압력을 조절할 수 있게 되어 있다.

여기서, 상기 중앙노즐(41)은 상기 에지노즐(42)보다 앞쪽에 설치되어 웨이퍼(W)에 에어를 먼저 분사한다. 따라서 웨이퍼의 수분 중에 중앙에 있는 수분이 먼저 건조되고, 나머지 에지 부분이 건조되도록 동작한다.

상기 중앙노즐(41) 및 에지노즐(42)은 에어 유입구보다 분출구의 폭이 크게 형성된 형태의 소위 에어 나이프를 적용한 것이다. 마치 오리발처럼 형성된 노즐을 구비하도록 한 것이다. 따라서 작은 유입구로 유입된 에어는 폭이 확대된 형태의 분출구를 통하여 분출되는 동작을 하게 된다. 그에 따라 적절한 웨이퍼(W)의 폭을 모두 건조하도록 동작할 수 있게 된다.

상기 에지노즐(42)은 상기 중앙노즐(41)에 대하여 일정각도 기울어져 설치되되, 그 각도는 10-45도 기울어져 설치되는 것이 적절하다. 이렇게 상기 에어노즐(42)이 중앙노즐(41)에 기울어 설치됨으로써 웨이퍼(W) 에지부분에 남아 있을 수 있는 여분의 수분도 완전히 제거하게 된다. 즉 수분제거의 완성도를 높일 수 있게 된다.

물론, 전술한 바와 같이 상기 중앙노즐(41)과 에지노즐(42)은 각각 개별적으로 분사 압력이 조절 가능하게 설치된다는 것은 전술한 바와 같다.

이러한 구성에 의하여 수조(10) 내에서 롤러(21)에 의해 이송컨베이어(30)에 올라탄 웨이퍼(W)는 이송컨베이어(30)의 롤러(31)들에 의해 카세트 쪽으로 이송된다. 이때 중앙노즐(41) 하부 위치에 웨이퍼(W)가 도착하면, 중앙노즐(41)에 의해 중앙부의 넓은 넓이에 남아 있는 수분이 중앙노즐(41)로부터 분사되는 에어에 의해 날라가 건조되고, 이와 동시에 중앙노즐(41) 후방에 있는 에지노즐(42)에 의해 웨이퍼(W)의 에지 부분에 남아 있는 마지막 수분마저 날아가 완전히 건조된다.

이렇게 중앙노즐(41)과 에지노즐(42)을 통과하여 완전히 건조된 웨이퍼(W)는 카세트로 이송되어 차곡차곡 적재는 바, 특히 웨이퍼(W)가 완전 건조된 상태이기 때문에 카세트에 완전히 삽입되지 않고 상승될 경우, 그 뒤에 진입해서 들어오는 웨이퍼와 충돌 또는 붙는 현상이 발생되어 칩이나 크랙 유발의 원인이 되는 문제점을 완전히 해결하게 된다.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능함은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명백할 것이다.

W : 웨이퍼
10 : 수조
20 : 캐리어
30 : 이송컨베이어
40 : 노즐유닛
41 : 중앙노즐
42 : 에지노즐

Claims (6)

1. 롤러들이 일정 간격으로 배열 설치되어 스플리터로부터 웨이퍼를 전달받아 카세트로 이송시키는 이송컨베이어;
   상기 이송컨베이어에서 이송되는 웨이퍼의 중앙부에 상기 웨이퍼 이송방향과 평행한 방향으로 에어를 분사하는 중앙노즐;
   상기 중앙노즐 양 옆에 인접하여 설치되어 상기 웨이퍼의 이송방향에 대하여 일정각도 기울어져 외측방향으로 에어를 분사하는 에지노즐;
   을 포함하고,
   상기 중앙노즐은 상기 에지노즐보다 앞쪽에 설치되어 웨이퍼에 에어를 먼저 분사하며,
   상기 중앙노즐 및 에지노즐은 에어 유입구보다 분출구의 폭이 크게 형성되고,
   상기 에지노즐은 상기 중앙노즐에 대하여 상기 웨이퍼와 평행한 수평면 상에서 10-45도 기울어져 설치된 것을 특징으로 하는 태양전지용 웨이퍼 수분제거이송장치.
2. 삭제
3. 삭제
4. 삭제
5. 제1항에 있어서,
   상기 중앙노즐과 에지노즐은 각각 두 개씩 설치된 것을 특징으로 하는 태양전지용 웨이퍼 수분제거이송장치.
6. 제1항에 있어서,
   상기 중앙노즐과 에지노즐은 각각 개별적으로 분사 압력이 조절 가능한 것을 특징으로 하는 태양전지용 웨이퍼 수분제거이송장치.
   

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