JP5076876B2 - 流体噴射装置及び流体噴射装置のメンテナンス方法 - Google Patents

Description

本発明は、流体噴射装置に関する。

流体を噴射する流体噴射装置として、例えばインクジェット式記録装置などが知られている。インクジェット式記録装置は、記録媒体に文字や画像等を記録する装置であり、記録ヘッド（噴射ヘッド）に設けられたノズルから記録媒体にインクが噴射される構成になっている。

このインクジェット式記録装置には、ノズル内が乾燥したりノズル内に埃が入ったりするのを防止するキャッピング機構が設けられている。キャッピング機構は、記録ヘッドに対して着脱可能に設けられ、ノズルの設けられたノズル領域を含む空間を密閉する壁状のシール部材を有している。また、乾燥等によって噴射特性が悪化したノズルの噴射特性の回復を図るため、この密閉された空間全体を減圧してノズルからインクを吸引する吸引機構が設けられている。また、キャッピング機構には密閉空間内を大気開放する大気開放機構が設けられている。
特開平１０−１８１０３４号公報

しかしながら、吸引動作を行った後にはインク供給系には一定の負圧が残った状態になる。ノズル内のメニスカス強度よりも強い負圧がインク供給系に残っている状態で大気開放を行うと、残負圧によってインクがノズル内部に引き込まれてしまい、インクのメニスカスが破壊されてしまう虞がある。
以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、流体のメニスカスの破壊を回避することが可能な流体噴射装置及び流体噴射装置のメンテナンス方法を提供することにある。

上記目的を達成するため、本発明に係る流体噴射装置は、流体を噴射する複数のノズル開口が配列されたノズル領域を有する噴射ヘッドと、前記ノズル領域を含む空間を密閉するキャッピング機構と、前記空間に接続され前記空間を吸引する吸引機構と、前記空間を大気開放可能に接続された流路と、前記流路に設けられた第１の弁と、前記第１の弁の開放側に接続された開閉自在の第２の弁を有する大気開放機構とを備える流体噴射装置において、前記第１の弁は、前記流路を閉塞可能な開閉部材と、密閉された前記空間内の負圧が前記ノズル開口内の流体のメニスカス強度よりも弱くなった状態で前記開閉部材が開状態になるように弾性力が調整され、該開閉部材を支持する弾性部材とを備え、
前記キャッピング機構により前記空間が密閉された状態における前記吸引機構の吸引動作の途中で、前記第２の弁を閉状態から開状態とすることを特徴とする。

本発明によれば、噴射ヘッドのうちノズル開口内の負圧が流体のメニスカス強度よりも弱くなった状態で空間内を大気開放することができるので、ノズル開口に配置される流体が大気圧によってノズル開口内に引き込まれるのを回避することができる。これにより、流体のメニスカスの破壊を回避することができる。
また、大気開放機構が、第１の弁の開放側に接続された開閉自在の第２の弁を有することとしたので、第１の弁と第２の弁とを組み合わせて大気開放動作を行うことができる。これにより、第１の弁に加わる負荷を軽減することができると共に、大気開放動作のバリエーションが広がることになる。

上記の流体噴射装置は、前記大気開放機構は、前記第１の弁の開閉を制御するアクチュエータを有することを特徴とする。
本発明によれば、大気開放機構が第１の弁の開閉を制御するアクチュエータを有することとしたので、空間内の圧力を高い自由度で調整することができる。

上記の流体噴射装置は、前記大気開放機構は、前記第１の弁の開放側に接続され前記流体の拡散蒸発抑制用の流路を有することを特徴とする。
本発明によれば、大気開放機構が、第１の弁の開放側に接続され流体の拡散蒸発抑制用の流路を有することとしたので、大気開放機構内に流入した流体が乾燥するのを回避することができる。これにより、大気開放機構内で流体が詰ってしまう現象を回避することができる。

以下、図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。本実施形態では、本発明に係る液体噴射装置として、インクジェット式プリンタ（以下、プリンタ１という）を例示する。

図１は、本実施形態に係るプリンタ１の概略構成を示す一部分解図である。
プリンタ１は、プリンタ本体５と、サブタンク２及び記録ヘッド３を搭載したキャリッジ４とを有している。

プリンタ本体５には、キャリッジ４を往復移動させるキャリッジ移動機構７５と、記録ヘッド３の各ノズルから増粘したインクＬを吸引するクリーニング動作等に用いられるキャッピング機構５０と、インク供給チューブ３４を介して記録ヘッド３に供給するインクＬを貯留したインクカートリッジ６とが設けられている。

このプリンタ本体５には、記録紙を搬送する不図示の紙送り機構が設けられており、この紙送り機構は紙送りモータやこの紙送りモータによって回転駆動される紙送りローラ（いずれ不図示）等から構成され、記録紙を記録（印字・印刷）動作に連動させてプラテン１３の上に順次送り出すようになっている。また、プリンタ本体５には、プリンタ１の動作を統括的に制御する制御部８０が設けられている。

キャリッジ移動機構７５は、プリンタ本体５の幅方向に架設されたガイド軸８と、パルスモータ９と、パルスモータ９の回転軸に接続されてこのパルスモータ９によって回転駆動される駆動プーリー１０と、駆動プーリー１０とはプリンタ本体５の幅方向の反対側に設けられた遊転プーリー１１と、駆動プーリー１０と遊転プーリー１１との間に掛け渡されてキャリッジ４に接続されたタイミングベルト１２を有しており、パルスモータ９を駆動することによってキャリッジ４がガイド軸８に沿って主走査方向に往復移動するようになっている。

キャッピング機構５０はキャップ部材５１を有している。キャップ部材５１は例えばゴム等の弾性材から構成されたトレー形状の部材であり、キャリッジ４の移動領域内のうち記録領域から外れた場所、例えばプリンタ本体５の端部（駆動プーリー１０側）に配置されている。キャップ部材５１が配置されている場所はキャリッジ４のホームポジションとなる。ホームポジションとは、プリンタ１の電源がオフになっている場合や長時間にわたって記録が行われない場合などに、キャリッジ４が待機する場所である。キャップ部材５１は空間５２を有しており、底部には吸引口５３及び大気開放口５４が設けられている。吸引口５３は吸引機構７０に接続されている。吸引機構７０はキャッピング機構５０の空間５２を吸引するポンプを有している。また、大気開放口５４は本実施形態における特徴的構成要素である大気開放機構６０に接続されている。

図２は記録ヘッド３の構成を説明する断面図、図３は記録ヘッド３の要部断面図である。
記録ヘッド３は、導入針ユニット１７、ヘッドケース１８、流路ユニット１９及びアクチュエータユニット２０を主な構成要素としている。

導入針ユニット１７の上面にはフィルタ２１を介在させた状態で２本のインク導入針２２が横並びで取り付けられている。これらのインク導入針２２には、サブタンク２がそれぞれ装着される。導入針ユニット１７の内部には、各インク導入針２２に対応したインク導入路２３が形成されている。

このインク導入路２３の上端はフィルタ２１を介してインク導入針２２に連通し、下端はパッキン２４を介してヘッドケース１８内部に形成されたケース流路２５と連通する。本実施形態では２種類のインクを使用する構成であるためサブタンク２が２つ配置されているが、３種類以上のインクを使用する構成であっても勿論構わない。

サブタンク２は、ポリプロピレン等の樹脂製材料によって成型されている。このサブタンク２には、インク室２７となる凹部が形成され、この凹部の開口面に透明な弾性シート２６を貼設してインク室２７が区画されている。

サブタンク２の下部にはインク導入針２２が挿入される針接続部２８が下方に向けて突設されている。サブタンク２におけるインク室２７は断面視で擂り鉢形状になっている。インク室２７の側面のうち上下方向中央部よりも少し下の位置には、針接続部２８との間を連通する接続流路２９の上流側開口が配置されている。この上流側開口には、インクＬを濾過するタンク部フィルタ３０が取り付けられている。

針接続部２８の内部空間にはインク導入針２２が液密に嵌入されるシール部材３１が嵌め込まれている。このサブタンク２には、インク室２７に連通する延出部３２が形成されており、この延出部３２の上面にはインク流入口３３が突設されている。

インク流入口３３には、インクカートリッジ６に貯留されたインクＬを供給するインク供給チューブ３４が接続されており、インク供給チューブ３４を通ってきたインクＬが当該インク流入口３３から延出部３２を通ってインク室２７に流入するようになっている。

上記の弾性シート２６は、インク室２７を収縮させる方向及びインク室２７膨張させる方向の両方向に変形可能である。弾性シート２６の変形によってインクＬの圧力変動が吸収され、インクＬがサブタンク２内で圧力変動が吸収された状態で記録ヘッド３側に供給されるようになっている。このようにサブタンク２は圧力ダンパとして機能するようになっている。

ヘッドケース１８は、合成樹脂製の中空箱体状部材である。ヘッドケース１８の下端面には流路ユニット１９が接合されており、内部に形成された収容空部３７内にアクチュエータユニット２０が収容され、流路ユニット１９側とは反対側の上端面にパッキン２４を介在した状態で導入針ユニット１７が取り付けられている。ヘッドケース１８の内部には、高さ方向を貫通してケース流路２５が設けられている。ケース流路２５の上端は、パッキン２４を介して導入針ユニット１７のインク導入路２３と連通されている。

ケース流路２５の下端は、流路ユニット１９内の共通インク室４４に連通されており、インク導入針２２から導入されたインクＬがインク導入路２３及びケース流路２５を通じて共通インク室４４側に供給されるようになっている。

ヘッドケース１８の収容空部３７内に収容されるアクチュエータユニット２０は、櫛歯状に配列された複数の圧電振動子３８と、この圧電振動子３８が接合される固定板３９と、プリンタ本体側からの駆動信号を圧電振動子３８に供給する配線部材としてのフレキシブルケーブル４０とから構成される。各圧電振動子３８は固定端部側が固定板３９上に接合され自由端部側が固定板３９の先端面よりも外側に突出しており、所謂片持ち梁の状態で固定板３９上に取り付けられている。

各圧電振動子３８を支持する固定板３９は、例えば厚さ１ｍｍ程度のステンレス鋼によって構成されている。アクチュエータユニット２０は、収容空部３７を区画するケース内壁面に固定板３９の背面を接着することで収容空部３７内に収納・固定されている。

流路ユニット１９は、振動板（封止板）４１、流路基板４２及びノズル基板４３を有している。これら振動板４１、流路基板４２及びノズル基板４３が積層された状態になっており、不図示の接着剤で接合され一体化されている。振動板４１、流路基板４２及びノズル基板４３は、共通インク室４４からインク供給口４５及び圧力室４６を通りノズル開口４７に至るまでの一連のインク流路（液体流路）を形成する部材である。圧力室４６は、ノズル開口４７の列設方向（ノズル列方向）に対して直交する方向に細長い室として形成されている。共通インク室４４は、ケース流路２５と連通されており、インク導入針２２側からのインクＬが導入される室である。共通インク室４４に導入されたインクＬは、インク供給口４５を通じて各圧力室４６に分配供給されるようになっている。

流路ユニット１９の底部に配置されるノズル基板４３は、ドット形成密度に対応したピッチ（例えば１８０ｄｐｉ）で複数のノズル開口４７を列状に開設した金属製の薄い板材である。本実施形態のノズル基板４３は、ステンレス鋼の板材によって作製され、例えばノズル開口４７の列が、各サブタンク２に対応して合計２２列設けられた状態になっている。１つのノズル列は、例えば、１８０個のノズル開口４７によって構成されている。以下、このノズル開口４７が配列されているノズル基板４３上の領域をノズル領域４７Ｒと表記する（図２参照）。

ノズル基板４３と振動板４１との間に配置される流路基板４２は、インク流路となる流路部、具体的には、共通インク室４４、インク供給口４５及び圧力室４６となる空部が区画形成された板状の部材である。

流路基板４２は例えば結晶性を有する基材であるシリコンウェハーを異方性エッチング処理することによって作製されている。振動板４１は、ステンレス鋼等の金属製の支持板上に弾性フィルムをラミネート加工した二重構造の複合板材である。この振動板４１の圧力室４６に対応する部分には、エッチングなどによって支持板を環状に除去することで、圧電振動子３８の先端面が接合される島部４８が形成されている。この島部４８は、ダイヤフラム部として機能する。振動板４１は、圧電振動子３８の作動に応じて島部４８の周囲の弾性フィルムが弾性変形するように構成されており、流路基板４２の一方の開口面を封止し、コンプライアンス部４９として機能するようにもなっている。このコンプライアンス部４９に相当する部分についてはダイヤフラム部と同様にエッチングなどにより支持板が除去され弾性フィルムだけが残った状態になっている。

上記の記録ヘッド３において、フレキシブルケーブル４０を通じて駆動信号が圧電振動子３８に供給されると、この圧電振動子３８が素子長手方向に伸縮し、これに伴い島部４８が圧力室４６に近接する方向或いは離隔する方向に移動するようになっている。島部４８の移動によって圧力室４６の容積が変化し、圧力室４６内のインクＬに圧力変動が生じ、この圧力変動によってノズル開口４７からインク滴Ｄが吐出されるようになっている。

図４は本実施形態におけるキャッピング機構５０、大気開放機構６０及び吸引機構７０の構成を模式的に示す図であり、特に大気開放機構６０の構成を示している。
同図に示すように、大気開放機構６０は、接続管６１及びダイヤフラム部６２を有している。

接続管６１は一端がキャッピング機構５０の大気開放口５４に接続されており、他端がダイヤフラム部６２に接続されている。
ダイヤフラム部６２は、接続部材６３、開閉部材６４及び弾性部材６５を有している。接続部材６３は平面視中央部に空間６３ａを有するトレー状に構成されており、底部６３ｂに開口部６３ｃが設けられている。開口部６３ｃからは接続管６１に接続される管部６３ｄが図中下方に設けられている。

開閉部材６４は接続部材６３の底部６３ｂに対向するように配置されており、接続部材６３の空間６３ａ内に突出している突出部６４ａ及び突出部６４ａの上端側に鍔状に形成されたフランジ部６４ｂを有している。突出部６４ａの下端面６４ｃは接続部材６３の開口部６３ｃを閉塞するようになっている。フランジ部６４ｂの下端面６４ｄは接続部材６３の空間６３ａを閉塞するようになっている。

弾性部材６５は例えば複数のバネなどから構成されており、接続部材６３の底部６３ｂに下端部が固定されている。弾性部材６５の上端部は開閉部材６４のフランジ部６４ｂの下端面６４ｄに固定されており、開閉部材６４の自重を弾性力によって支持する構成になっている。この弾性部材６５によって、開口部６３ｃに対して管部６１側の圧力が所定の圧力よりも大きくなったときに開閉部材６４が開状態となるように調整されている。所定の圧力として、本実施形態では記録ヘッド３に設けられるノズル開口４７のインクのメニスカス強度とほぼ等しい圧力に設定されている。

次に、上記のように構成されたプリンタ１の動作を説明する。ここでは、吸引動作を中心に説明する。
外部から印刷データが送信されると、制御部８０は、ドットパターンに対応した噴射データに展開して記録ヘッド３に送信する。記録ヘッド３では、受信した噴射データに基づき、記録（印字・印刷）処理、すなわち記録紙に対するインク滴の噴射を実行する。記録処理の後、例えば予め設定されている時間が経過すると、定期メンテナンス処理を開始する。制御部８０は、記録ヘッド３をホームポジションまで移動させ、記録ヘッド３とキャッピング機構５０とを対向させる。制御部８０は、ノズル領域４７Ｒとキャッピング機構５０とを対向させた状態からキャップ部材５１を記録ヘッド３に当接させ、キャップ部材５１の空間５２によってノズル領域４７Ｒを含む空間を密閉し、密閉空間を形成する。密閉空間を形成後、制御装置８０は、吸引機構７０を駆動することによって、密閉空間を減圧状態とする。密閉空間を減圧することにより、図５に示すように大気開放機構６０の開閉部材６４が閉状態となる。この状態で更に密閉空間内を減圧し、負圧によってノズル開口４７から記録ヘッド３の内部からインクを強制排出させる。

インクを排出後、ノズル開口４７内のインク供給系及び密閉空間内は負圧状態になっており、この状態で吸引機構７０の動作を停止して一定期間保持する。この期間に、負圧によってインク供給系からインクが供給され、インク供給系及び密閉空間内の負圧がつりあった状態で次第に弱くなっていく。

インク供給系及び密閉空間内の負圧がインク開口４７のインクのメニスカス強度よりも弱くなると、図６に示すように弾性部材６５の弾性力によって大気開放機構６０の開閉部材６４が開状態になる。開閉部材６４が開状態になることにより、密閉空間が大気開放される。この場合、インク供給系の負圧をメニスカス強度よりも弱い負圧にした状態で密閉空間が大気開放される。

図７は吸引動作及び大気開放動作における密閉空間内の負圧を示すグラフである。グラフの縦軸は負圧の大きさ（Ｐａ）を表す。グラフの横軸は時間を表す。同図に示すように、吸引動作においては密閉空間の負圧Ｖ１が７０ｋＰａ程度になるように減圧する。大気開放動作においては、吸引機構７０の動作を一定期間保持している間に負圧が弱まっていき、メニスカス強度Ｖ２（Ｖ２は５Ｐａ〜７Ｐａ程度）以下の負圧Ｖ３になったときに開閉部材を開状態にする。

大気開放後、制御装置８０は、記録ヘッド３を上昇させることによって、ノズル領域４７Ｒからキャップ部材５１を離間させ、必要に応じて記録ヘッド３を用いて記録紙に対する記録動作を行う。記録ヘッド３を上昇させるタイミングについては、例えば吸引動作を停止させてから開閉部材６４が開状態になるまでの時間を測定しておき、実際に吸引動作を行ってから当該時間が経過したときに当該記録ヘッド３を上昇させるなどの手法が挙げられる。

このように、本実施形態によれば、噴射ヘッド３のうちノズル開口４７内の負圧がインクのメニスカス強度よりも弱くなった状態で密閉空間内を大気開放することができるので、ノズル開口４７に配置されるインクが大気圧及びインク供給系の負圧によってノズル開口４７内に引き込まれるのを回避することができる。これにより、インクのメニスカスの破壊を回避することができる。

［第２実施形態］
次に、図８をもとにして本発明の第２実施形態を説明する。図８は本実施形態に係るプリンタ１０１のキャッピング機構１５０、大気開放機構１６０及び吸引機構１７０の構成を模式的に示す図であり、第１実施形態における図４に対応している。

同図に示すように、大気開放機構１６０は第１実施形態の構成に加えて圧力センサ１６６を設けた構成になっている。この圧力センサ１６０は接続部材１６３に設けられた開口部１６３ｃよりも管部１６１側の圧力を測定できるように設けられている。開閉部材１６４が開口部１６３ｃに対して開状態になった場合、管部１６１側の圧力、すなわち大気開放されたときの空間１５２の圧力が大気圧に変化する。このときの圧力の変化を圧力センサ１６０で検出できるようになっている。

本実施形態によれば、開口部１６３ｃの管部１６１の圧力変化を検出することにより、開閉部材１６４が開状態になるタイミングをすぐに把握することができるので、大気開放動作の時間短縮を図ることができる。

［第３実施形態］
次に、図９をもとにして本発明の第３実施形態を説明する。図９は本実施形態に係るプリンタ２０１のキャッピング機構２５０、大気開放機構２６０及び吸引機構２７０の構成を模式的に示す図であり、第１実施形態における図４に対応している。

同図に示すように、大気開放機構２６０はダイヤフラム部２６２の開放側に第２の弁として開閉機構２６６を設けた構成になっている。この開閉機構２６６は管部２６６ａによって接続部材２６３の側壁の一部を介してダイヤフラム部２６２内部に連通されている。管部２６６ａの他方は接続部材２６６ｂに設けられた開口部２６６ｃに連通されており、開閉部材２６６ｄによってこの開口部２６６ｃが開閉自在となるように設けられている。

本実施形態によれば、開閉機構２６６が大気開放機構２６０の開放側に接続された開閉自在の開閉機構２６６を有することとしたので、ダイヤフラム部２６２の開閉状態と開閉機構２６６の開閉状態とを組み合わせて大気開放動作を行うことができる。これにより、ダイヤフラム部２６２に加わる負荷を軽減することができると共に、大気開放動作のバリエーションが広がることになる。

ダイヤフラム部２６２と開閉機構２６６とを組み合わせた大気開放動作としては、例えばインク吸引動作の途中で開閉機構２６６を開放し、ダイヤフラム部２６２のみを閉状態として吸引速度を徐々に低下させるようにすることができる。このようにすれば、吸引動作を行いながらキャップ部材２５１の空間２５２内を大気開放させることができるので、大気開放動作を効率的に行うことができる。

［第４実施形態］
次に、図１０をもとにして本発明の第４実施形態を説明する。図１０は本実施形態に係るプリンタ３０１のキャッピング機構３５０、大気開放機構３６０及び吸引機構３７０の構成を模式的に示す図であり、第１実施形態における図４に対応している。

同図に示すように、大気開放機構３６０はダイヤフラム部３６２の開放側にインクの拡散蒸発を抑制するための流路として配管部３６６が設けられている。この配管部３６６は接続部材３６３の側壁の一部を介してダイヤフラム部３６２内部に連通されており、外部へ向けて蛇行するように設けられている。

ノズル領域を吸引する際又は大気開放動作の際には、ノズル開口からインクが噴射されキャップ部材３５１の開口部３５４を介して大気開放機構３６０内に流入する場合がる。大気開放機構３６０内に流入したインクは拡散蒸発によって固化し、大気開放機構３６０内部（例えば管部３６１や開口部３６３ｃなど）の詰まりの原因となる場合がある。

本実施形態によれば、ダイヤフラム部３６２の開放側に配管部３６２が設けられているので、大気開放機構３６０内に流入したインクの拡散蒸発による乾燥を防止することができる。これにより、大気開放機構３６０内でインクが詰ってしまうのを回避することができる。

本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更を加えることができる。
例えば上記各実施形態においては、ダイヤフラム部の開閉部材と接続部材との間に弾性部材が設けられており、当該弾性部材の弾性力によって開閉部材の開閉を調節する構成としたが、これに限られることはなく、例えば弾性部材の代わりに開閉部材の開閉を制御するアクチュエータを設けた構成としても構わない。また、弾性部材とは別にアクチュエータを設けた構成としても勿論構わない。これにより、大気開放動作時の自由度を向上させることができる。

また、上記第２実施形態〜第４実施形態では、それぞれ第１実施形態の構成に圧力センサ、開閉機構、配管部を単独で設けた構成を例に挙げて説明したが、これらの構成を組み合わせた場合であっても当然に本発明の目的を達成することができる。上記のアクチュエータを設ける場合についても同様である。

本発明の第１実施形態に係るプリンタの概略構成図。 記録ヘッド周辺の要部平面図。 記録ヘッドのノズル形成面を示す平面図。 キャッピング機構、大気開放機構及び吸引機構の構成を示す図。 大気開放機構の一部の構成を示す動作図。 同、動作図。 吸引動作及び大気開放動作における密閉空間内の負圧の変化示すグラフ。 本発明の第２実施形態に係るプリンタの一部の構成を示す図。 本発明の第３実施形態に係るプリンタの一部の構成を示す図。 本発明の第４実施形態に係るプリンタの一部の構成を示す図。

符号の説明

Ｓ…空間（接続空間） １…プリンタ（流体噴射装置） ３…記録ヘッド（噴射ヘッド） ４７…ノズル開口 ４７Ｒ…ノズル領域 ５０…キャッピング機構 ５２…空間 ６０…大気開放機構 ６２…ダイヤフラム部（第１の弁） ７０…吸引機構 １６６…圧力センサ ２６６…開閉機構（第２の弁） ３６６…配管部（流路）

Claims (3)

1. 流体を噴射する複数のノズル開口が配列されたノズル領域を有する噴射ヘッドと、
   前記ノズル領域を含む空間を密閉するキャッピング機構と、
   前記空間に接続され前記空間を吸引する吸引機構と、
   前記空間を大気開放可能に接続された流路と、前記流路に設けられた第１の弁と、前記第１の弁の開放側に接続された開閉自在の第２の弁を有する大気開放機構と
   を備える流体噴射装置において、
   前記第１の弁は、前記流路を閉塞可能な開閉部材と、
   密閉された前記空間内の負圧が前記ノズル開口内の流体のメニスカス強度よりも弱くなった状態で前記開閉部材が開状態になるように弾性力が調整され、該開閉部材を支持する弾性部材とを備え、
   前記キャッピング機構により前記空間が密閉された状態における前記吸引機構の吸引動作の途中で、前記第２の弁を閉状態から開状態とすることを特徴とする流体噴射装置。
2. 前記大気開放機構は、
   前記第２の弁の開閉を制御するアクチュエータを有する
   ことを特徴とする請求項１に記載の流体噴射装置。
3. 前記大気開放機構は、
   前記第１の弁の開放側に接続され前記流体の拡散蒸発抑制用の流路を有する
   ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の流体噴射装置。

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