JP5067178B2 - グリッド偏光子 - Google Patents
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Description
(1) 透明樹脂層と、グリッドと、保護層Aとがこの順で積層されてなり、
該保護層Aはイソシアネート基を有する有機化合物を含む組成物から得られる、グリッド偏光子。
(2) 前記組成物は活性水素含有基を有する有機化合物をさらに含む、(1)に記載のグリッド偏光子。
(3) 前記組成物はシリル基および/またはチタニア基を有する有機化合物をさらに含む、(1)または(2)に記載のグリッド偏光子。
(4) 前記活性水素含有基が、水酸基、アミノ基およびチオール基からなる群から選ばれる少なくとも1種の基である、(1)〜(3)のいずれか1項に記載のグリッド偏光子。
(5) 保護層Aの上に保護層Bがさらに積層されている、(1)〜(4)のいずれか1項に記載のグリッド偏光子。
(6) 透明樹脂層は、グリッド側表面に略平行に並んだ直線状の畝を有し、
グリッドは、該畝の頂面にまたは該畝の頂面および畝間に形成された溝の底面に形成された吸光性膜からなる、(1)〜(5)のいずれか1項に記載のグリッド偏光子。
その結果、グリッドが保護層によって守られ、搬送ロールなどで、表面が擦られたり、引掻かれたりなどしても、グリッドに傷がつき難いので、偏光分離機能などの光学特性が低下しない。また、本発明のグリッド偏光子は摩擦、引掻きに強いので、操作性が高い。本発明のグリッド偏光子を用いることによって、偏光分離膜等を高い効率で生産することができる。
これらのうち、透明性、低吸湿性、寸法安定性、加工性の観点から脂環式構造含有重合体が好適である。
また、透明樹脂層は、その波長550nmで測定したレターデーションReによって特に制限されない。なお、Reは、Re=d×(nx−ny)で定義される値である。nxおよびnyは透明樹脂層の面内主屈折率(nx≧ny)であり、dは透明樹脂層の平均厚さである。面内の任意2点のレターデーションReの差(レターデーションむら)は、好ましくは10nm以下であり、より好ましくは5nm以下である。レターデーションむらが大きいと、液晶表示装置に用いた場合に表示面の明るさにバラツキが生じやすくなる。
吸光性材料としては、導電性のものが好ましく、具体的には、アルミニウム、インジウム、マグネシウム、ロジウム、スズ等の金属が挙げられる。成膜の方法は特に制限されず、例えば、湿式メッキ法、乾式メッキ法などが挙げられる。
まず、前記透明樹脂層の少なくとも一方の表面に略平行に並んだ直線状の畝を形成する。畝は、細長く直線状に伸びる突起部である。この突起部が複数あり、それらが略平行に並んでいる。隣り合う畝の間には溝が形成される。ここで略平行とは隣り合う2本の畝の伸びる方向が±5℃以内の角度になっていることをいう。
畝は、その幅が好ましくは25〜300nmであり、畝の長さが好ましくは800nm以上である。
また、畝の高さは、好ましくは5〜3000nm、より好ましくは20〜1000nm、特に好ましくは50〜300nmである。畝は非周期的に並んだものであってもよいが、偏光分離特性などの光学特性を得るために畝が周期的に並んだものが好ましい。畝の中心線間距離(ピッチ)は、好ましくは20〜500nm、より好ましくは30〜300nmである。
PVD法は、蒸着材料を蒸発・イオン化し、被膜を形成させる方法である。具体的には、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、イオンビームデポジション法等の中から適宜選択することができる。これらのうち真空蒸着法が好適である。真空蒸着法は、真空にした容器の中で、蒸着材料を加熱し、気化もしくは昇華させて、離れた位置に置かれた基板の表面に付着させ、薄膜を形成する方法である。加熱方法は、蒸着材料や基板の種類に応じて、抵抗加熱、電子ビーム、高周波誘導、レーザーなどの方法から適宜選択される。積層される吸光性膜の平均厚さは、特に制限されないが、通常20〜500nm、好ましくは30〜300nm、より好ましくは40〜200nmである。なお吸光性膜の平均厚さは畝の頂面に積層された吸光性膜の平均厚さである。
無機化合物は、後述の湿式エッチングに耐えるものであれば特に限定されず、例えば、酸化ケイ素、窒化ケイ素、炭化ケイ素、窒化酸化ケイ素などの化合物が挙げられる。この中では特に酸化ケイ素が好ましい。積層される無機化合物膜の平均厚さは、特に制限されないが、通常1〜100nm、好ましくは2〜50nm、より好ましくは3〜20nmである。
PVD法によって積層された吸光性膜が、畝の幅よりも通常広い幅になっており、畝間に形成された溝の入り口を狭めているので、無機化合物膜は、主に畝頂面に積層された吸光性膜の上に積層される。
本発明に好適に用いられるイソシアネート基を有する有機化合物は、イソシアネート当量(イソシアネート基1モル当りの分子量)が、好ましくは80〜600g/mol、より好ましくは80〜400g/molである。イソシアネート当量は、中和滴定法を用いて測定することができる。
前記シリル基を有する有機化合物としては、N−β(アミノエチル)γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−(β−アミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−フェニル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン等のアミノ基含有アルコキシシラン;γ−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、β−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン等のエポキシ基含有アルコキシシラン;γ−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ−アクリロキシプロピルトリエトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリス(β−メトキシエトキシ)シラン等の(メタ)アクリロキシ基含有アルコキシシラン;γ−メルカプトプロピルトリエトキシシラン、γ−メルカプトプロピルメチルジエトキシシラン、γ−メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、γ−メルカプトメチルトリメトキシラン、γ−メルカプトメチルトリエトキシラン、γ−メルカプトヘキサメチルジシラザン等のメルカプト基含有アルコキシシラン;ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(β−メトキシエトキシ)シラン、ビニルトリクロロシラン、ビニルトリアセトキシシラン等のビニル基含有アルコキシシランなどを挙げることができる。
なお、シリル基および/またはチタニア基を有する有機化合物は、前記活性水素含有基を有していてもよい。その場合には、シリル基および/またはチタニア基を有する有機化合物は、活性水素含有基を有する化合物として扱う。
該組成物を用いた製膜をグリッド上で行うと、グリッド偏光子の性能を低下させることなく、グリッド上に保護層Aを形成させることが可能となる。
前記の反応をさせるときの温度は、好ましくは10〜120℃、より好ましくは20〜80℃である。この温度範囲にすることによって、光学特性と強度を両立することが可能となる。
本発明においては、前記の組成物の反応生成物が3次元架橋体であることが好ましい。3次元架橋体となることによって保護層Aの強度が向上する。
前記保護層Aの平均厚さは、好ましくは0.01〜10μm、より好ましくは0.1〜5μmである。
保護層Bの平均厚さは、取り扱い性の観点から通常5μm〜1mm、好ましくは20〜200μmである。保護層Bは、400〜700nmの可視領域の光の透過率が80%以上であるものが好ましい。
また、保護層Bは、その波長550nmで測定したレターデーションReによって特に制限されない。なお、Reは、d×(nx−ny)で定義される値である。nxおよびnyは保護層Bの面内主屈折率(nx≧ny)であり、dは保護層Bの平均厚さである。面内の任意2点のレターデーションReの差(レターデーションむら)は、好ましくは10nm以下であり、より好ましくは5nm以下である。レターデーションむらが大きいと、液晶表示装置に用いた場合に表示面の明るさにバラツキが生じやすくなる。
前記分子中に重合性不飽和結合もしくはエポキシ基を有するオリゴマーとしては、不飽和ジカルボン酸と多価アルコールとの縮合物等の不飽和ポリエステル類;ポリエステルメタクリレート、ポリエーテルメタクリレート等のメタクリレート類;ポリエステルアクリレート、エポキシアクリレート、ウレタンアクリレート、ポリエーテルアクリレート、ポリオールアクリレート、メラミンアクリレート等のアクリレート類;もしくはカチオン重合型エポキシ化合物等が挙げられる。
これらオリゴマー及び/又はモノマーは1種単独であるいは2種以上を組み合わせて用いることができる。
保護層Bを形成可能な低分子化合物からなる組成物は、硬化する条件により適宜ラジカル重合開始剤等を組み合わせて用いる。
イソシアネート基含有化合物(固形分)0.1gを三角フラスコに入れ、約20mlのジメチルホルムアミドを加えて均一に溶解した。0.1規定のジ−n−ブチルアミンのジメチルホルムアミド溶液40mlを加え、温度60℃にて2時間放置した。
0.1規定の塩酸のメタノール溶液でブロムフェノールブルーを指示薬として用いて中和滴定を行った。中和に要した塩酸量A〔ml〕を測定し、以下の式によりイソシアネート基含有化合物のイソシアネート当量を算出した。
イソシアネート当量〔g/mol〕 = 1000/(40−A)
80℃および90%RHの環境下に、グリッド偏光子を20時間放置した。
グリッド偏光子の端部を電界放出型走査電子顕微鏡S−4700(日立製作所製)で観察し、保護層とグリッドとの界面の剥離の有無を調べた。
波長450nmにおけるグリッド偏光子の偏光透過率および偏光反射率を、分光光度計V−570(日本分光製)を用いてそれぞれ測定した。
なお、偏光透過率および偏光反射率の測定には直線偏光を使用し、偏光透過率はグリッド偏光子の透過軸と入射する光の偏光方向を平行にして透過率を測定することによって、偏光反射率はグリッド偏光子の透過軸と入射する光の偏光方向を直交させ入射角5°における反射率を測定することによって、求めた。なお、偏光透過率および偏光反射率が大きいほど、偏光分離性能に優れていることを示す。
反応容器にエクセノール720(OH末端ポリオール、数平均分子量:約700、旭硝子社製)50g、トルエン30g、およびジブチル錫ラウレート0.007gを添加し、均一に溶解させた。該溶液の温度を50℃にした。該溶液を撹拌しながら、それにヘキサメチレンジイソシアネート(イソシアネート当量=84g/mol)24gを添加して反応を開始させた。FT−IRの測定において2250cm-1のピーク(イソシアネート基のシグナル)の高さに変化が無くなるまで反応させた。
室温まで冷まして、イソシアネートプレポリマーを回収した。回収されたイソシアネートプレポリマーのイソシアネート当量は517g/molであった。
25mm×25mm×0.5mmのガラス平板上に、電子線レジストZEP520(日本ゼオン製、ポジ型電子線レジスト)をスピンコーターにて塗布し、塗膜を得た。電子線描画装置にて、前記塗膜面中央部の12mm×12mmの領域全面に、幅150nmの直線をピッチ300nmで平行に描画した。現像液(日本ゼオン製)に約3分間接触させた。これを水で洗浄し、窒素ブロアーにて乾燥した。ガラス平板上にフォトレジストからなる格子が形成された。
格子パターン形成面にCrを電子線蒸着装置にて蒸着した。アセトンに浸して超音波を掛けて洗浄し、フォトレジストを除去した。フォトレジストの除去と同時にフォトレジスト上のCr膜が除去され、フォトレジストの無かった部分のCr膜がガラス平板上に残った。
残されたCr膜の領域をドライエッチングした。Cr膜の無かった部分のガラスが削られ、ガラス平板表面に溝が格子状に形成された。酸で洗浄してCr膜を除去し、格子パターンを有するガラス平板を得た。
該保護層A1は、赤外分光分析において、3500〜3000cm-1付近と、1727cm-1付近にピークが現れるものであった。このことから、保護層A1は尿素結合を有する化合物を含んでいることが判った。なお、尿素結合はイソシアネート基とアミノ基が反応することによって形成されるものである。該グリッド偏光子の評価結果を表1に示す。
実施例1におけるイソホロンジイソシアネート(イソシアネート当量:111g/mol)5重量%および3−アミノプロピルトリエトキシシラン2重量%が含まれるメチルエチルケトン溶液を、p−フェニレンジイソシアネート(イソシアネート当量:80g/mol)6重量%および3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン2重量%が含まれるメチルエチルケトン溶液に代えた以外は、実施例1と同じ方法にて、保護層A2が積層されたグリッド偏光子を得た。
保護層A2は、赤外分光分析において、3500〜3000cm-1付近と、1658cm-1付近にピークが現れるものであった。このことから、保護層A2はチオウレタン結合を有する化合物を含んでいることがわかった。なお、チオウレタン結合はイソシアネート基とチオール基が反応することによって形成されるものである。該グリッド偏光子の評価結果を表1に示す。
8mm×8mm×60mmのSUS製シャンクにろう付けされた寸法0.2mm×1mm×1mmの直方体単結晶ダイヤモンドの0.2mm×1mmの面に、集束イオンビーム加工装置SMI3050(セイコーインスツルメンツ製)を用いてアルゴンによる集束イオンビーム加工を行い、長さ1mmの辺に平行な幅100nmおよび深さ80nmの直線状の溝をピッチ200nmで平行に彫り込み、切削工具を作製した。
50mm×50mm×10mmのステンレス鋼SUS430の平板表面に、平均厚さ100μmのニッケル−リン無電解メッキを施した。上記切削工具をセットした精密微細加工機(ナガセインテグレックス製、超精密微細加工機NIC200)による切削加工を行って、ニッケル−リン無電解メッキ面の全面に、幅100nmおよび高さ80nmの直線状の畝をピッチ200nmで平行に形成させ、転写金型を得た。
なお、切削工具および転写金型の作製は、温度が20.0±0.2℃に、振動制御システム(昭和サイエンス製)により0.5Hz以上の振動の変位が10μm以下に管理された恒温低振動室内で行った。
硬化膜面には、深さ80nmおよび開口部幅100nmの断面矩形の溝がピッチ200nmで形成されていることが透過電子顕微鏡H−7500(日立製作所製)にて観察された。なお、観察用試料は、集束イオンビーム加工観察装置FB−2100(日立製作所製)を使用して作製した。
硝酸5.2重量%、リン酸73.0重量%、酢酸3.4重量%、および残部が水からなる(酸成分相当濃度:81.6重量%)温度33℃のエッチング液に、アルミニウムを蒸着させた前記フィルムを30秒間浸漬した。純水で洗浄し、乾燥空気を吹き付けて液を除去した。
アルミニウムが、硬化膜の溝の底面および溝の間に形成された畝の頂面に積層されていることが透過電子顕微鏡H−7500(日立製作所製)にて観察された。観察用試料は、集束イオンビーム加工観察装置FB−2100(日立製作所製)を使用して作製した。
保護層A3は、赤外分光分析において、3500〜3000cm-1付近と、1735cm-1付近と、1727cm-1付近にピークが現れるものであった。このことから、保護層A3は尿素結合およびウレタン結合を有する化合物を含んでいることが判った。なお、尿素結合はイソシアネート基とアミノ基が反応することによって、ウレタン結合はイソシアネート基と水酸基が反応することによって、それぞれ形成されるものである。該グリッド偏光子の評価結果を表1に示す。
実施例3において用いられた、製造例1で製造したイソシアネートプレポリマー(イソシアネート当量:517g/mol)2重量%、ジエチレングリコール1重量%、および3−アミノプロピルトリエトキシシラン1重量%が含まれるメチルエチルケトン溶液を、製造例1で製造したイソシアネートプレポリマー(イソシアネート当量:517g/mol)4重量%、およびアミノ基含有チタネート化合物(KR44、味の素ファインテクノ社製)1重量%が含まれるメチルエチルケトン溶液に代え、該溶液に浸漬した後の乾燥時間を10分間に変更した以外は実施例3と同じ方法で保護層A4が積層されたグリッド偏光子を得た。
保護層A4は、赤外分光分析において、3500〜3000cm-1付近と、1727cm-1付近にピークが現れるものであった。このことから、保護層A4は尿素結合を有する化合物を含んでいることが判った。なお、尿素結合はイソシアネート基とアミノ基が反応することによって形成されるものである。該グリッド偏光子の評価結果を表1に示す。
実施例4において用いられた、製造例1で製造したイソシアネートプレポリマー(イソシアネート当量:517g/mol)4重量%、およびアミノ基含有チタネート化合物(KR44、味の素ファインテクノ社製)1重量%が含まれるメチルエチルケトン溶液を、3−イソシアネートプロピルトリエトキシシラン(イソシアネート当量:247g/mol)5重量%が含まれるメチルエチルケトン溶液に代えた以外は、実施例4と同じ方法で保護層A5が積層されたグリッド偏光子を得た。
保護層A5は、赤外分光分析において、3500〜3000cm-1付近と、1727cm-1付近にピークが現れるものであった。このことから、保護層A5は尿素結合を有する化合物を含んでいることが判った。なお、この尿素結合はグリッド構造表面上に残存した水とイソシアネート基が反応して生成したアミノ基と、3−イソシアネートプロピルトリエトキシシラン由来のイソシアネート基が反応することによって形成されたものである。
保護フィルムと基材フィルムとに挟まれた線状のアルミニウム蒸着膜間に、保護層A5中のイソシアネート基と水との反応により発生した二酸化炭素によって形成されたと思われる空間が存在していることが、透過型電子顕微鏡(日立ハイテクノロジーズ社製、H−7500)によって観察された。なお、観察用超薄切片は、LEICAウルトラミクロトーム(日立ハイテクノロジーズ社製、ULTRACUT−UCT)を用いて作成した。得られたグリッド偏光子の評価結果を表1に示す。
イソホロンジイソシアネート(イソシアネート当量:111g/mol)5重量%および3−アミノプロピルトリエトキシシラン2重量%が含まれるメチルエチルケトン溶液に浸漬して保護層を形成する代わりに、イソボルニルアクリレート86.6重量部、ジメチロールトリシクロデカンジアクリレート9.6重量部、および光重合開始剤(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ製、イルガキュアー184)3.8重量部からなる塗布液をアルミニウム蒸着面に塗布し、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)板を塗布面に密着させ、ガラス平板側から紫外線を照射して塗膜を硬化させた以外は、実施例1と同じ方法でグリッド偏光子を得た。該グリッド偏光子の評価結果を表1に示す。
Claims (5)
- 透明樹脂層と、グリッドと、保護層Aとがこの順で積層されてなり、
該保護層Aは、イソシアネート基を有する有機化合物、並びにシリル基および/またはチタニア基を有する有機化合物を含む組成物から得られる、グリッド偏光子。 - 前記組成物は活性水素含有基を有する有機化合物をさらに含む、請求項1に記載のグリッド偏光子。
- 前記活性水素含有基が、水酸基、アミノ基およびチオール基からなる群から選ばれる少なくとも1種の基である、請求項2に記載のグリッド偏光子。
- 保護層Aの上に保護層Bがさらに積層されている、請求項1〜3のいずれか1項に記載のグリッド偏光子。
- 透明樹脂層は、グリッド側表面に略平行に並んだ直線状の畝を有し、
グリッドは、該畝の頂面にまたは該畝の頂面および畝間に形成された溝の底面に形成された吸光性膜からなる、請求項1〜4のいずれ1項に記載のグリッド偏光子。
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